JPH0795563B2 - パスゲートマルチプレクサレシーバ集積回路 - Google Patents
パスゲートマルチプレクサレシーバ集積回路Info
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- JPH0795563B2 JPH0795563B2 JP2411551A JP41155190A JPH0795563B2 JP H0795563 B2 JPH0795563 B2 JP H0795563B2 JP 2411551 A JP2411551 A JP 2411551A JP 41155190 A JP41155190 A JP 41155190A JP H0795563 B2 JPH0795563 B2 JP H0795563B2
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- Japan
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- pass gate
- integrated circuit
- transistor
- field effect
- channel
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
- H10D89/00—Aspects of integrated devices not covered by groups H10D84/00 - H10D88/00
- H10D89/60—Integrated devices comprising arrangements for electrical or thermal protection, e.g. protection circuits against electrostatic discharge [ESD]
- H10D89/601—Integrated devices comprising arrangements for electrical or thermal protection, e.g. protection circuits against electrostatic discharge [ESD] for devices having insulated gate electrodes, e.g. for IGFETs or IGBTs
- H10D89/711—Integrated devices comprising arrangements for electrical or thermal protection, e.g. protection circuits against electrostatic discharge [ESD] for devices having insulated gate electrodes, e.g. for IGFETs or IGBTs using bipolar transistors as protective elements
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
- H10D84/00—Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers
- H10D84/80—Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers characterised by the integration of at least one component covered by groups H10D12/00 or H10D30/00, e.g. integration of IGFETs
- H10D84/82—Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers characterised by the integration of at least one component covered by groups H10D12/00 or H10D30/00, e.g. integration of IGFETs of only field-effect components
- H10D84/83—Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers characterised by the integration of at least one component covered by groups H10D12/00 or H10D30/00, e.g. integration of IGFETs of only field-effect components of only insulated-gate FETs [IGFET]
- H10D84/85—Complementary IGFETs, e.g. CMOS
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
- H10D84/00—Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers
- H10D84/90—Masterslice integrated circuits
- H10D84/998—Input and output buffer/driver structures
Landscapes
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電子回路に関し、より
詳細には、パスゲートマルチプレクサレシーバ集積回路
に関する。
詳細には、パスゲートマルチプレクサレシーバ集積回路
に関する。
【0002】
【従来の技術】レシーバ集積回路は、外部信号に晒され
ている。従って、集積回路デバイス上に含まれるレシー
バと他の回路を保護するために、いくつかの機能が与え
られなければならない。これら機能は、静電放電保護、
伝送路信号クランプ及びラッチアップ保護を含んでい
る。更に、レシーバは、オンチップ負荷に適切な駆動を
与える必要がある。また、ある例では、テスト用に境界
走査マルチプレキシング能力が与えられる。従来は、こ
れら機能は、いくつかの異なる別個の構成によって行わ
れている。例えば、静電放電保護は、特殊仕様のなだれ
降伏デバイスによって与えられる。伝送路信号クランプ
は、オフチップ抵抗器によって処理される。ラッチアッ
プ保護とオンチップ負荷に対する適切な駆動は、電界効
果トランジスタのゲート入力を有する大型のバッファで
行われる(ゲート酸化物は、過度のオフチップ電圧がチ
ップ拡散に達するのを防止する)。境界走査マルチプレ
キシング(チップ内のラッチをテストするために入力を
入力ピンから切断する能力)は、内部チップ論理の設計
者が組み込むようになっている。
ている。従って、集積回路デバイス上に含まれるレシー
バと他の回路を保護するために、いくつかの機能が与え
られなければならない。これら機能は、静電放電保護、
伝送路信号クランプ及びラッチアップ保護を含んでい
る。更に、レシーバは、オンチップ負荷に適切な駆動を
与える必要がある。また、ある例では、テスト用に境界
走査マルチプレキシング能力が与えられる。従来は、こ
れら機能は、いくつかの異なる別個の構成によって行わ
れている。例えば、静電放電保護は、特殊仕様のなだれ
降伏デバイスによって与えられる。伝送路信号クランプ
は、オフチップ抵抗器によって処理される。ラッチアッ
プ保護とオンチップ負荷に対する適切な駆動は、電界効
果トランジスタのゲート入力を有する大型のバッファで
行われる(ゲート酸化物は、過度のオフチップ電圧がチ
ップ拡散に達するのを防止する)。境界走査マルチプレ
キシング(チップ内のラッチをテストするために入力を
入力ピンから切断する能力)は、内部チップ論理の設計
者が組み込むようになっている。
【0003】次の従来技術は、パスゲート又は転送ゲー
ト受信回路を示している。 −IBM Technical Disclosure
Bulletin、1986年、10月、第5号、第
19巻、「TTL回路用のFET信号レシーバ」これ
は、公知技術の単一パスゲート回路を示している。 −IBM Technical Disclosure
Bulletin、1987年、5月、第12号、第
29巻、「高速水準コンバータ回路」これは、負荷駆動
能力を与える従来の方法であるバッファに接続されたパ
スゲートを示している。 −IBM Technical Disclosure
Bulletin、1986年、1月、第8号、第2
8巻、「短いチャネルのCMOSによる装置を使用する
汎用インタフェースレシーバ」これは、CMOSレシー
バ回路を示している。 −IBM Technical Disclosure
Bulletin、1986年、2月、第9号、第2
8巻、「両極性アプリケーション用の中電力、最小領域
のクランプ回路」これは、クランプ回路を示している。 −IBM Technical Disclosure
Bulletin、1988年、7月、第2号、第3
1巻、「ハイエンドシステム用の高速ECL・BIFE
Tレシーバ」これもレシーバ回路を示している。 −IBM Technical Disclosure
Bulletin、1973年、10月、第5号、第
16巻、「低電力のゲートされたレシーバ」これもCM
OSレシーバ回路を示している。
ト受信回路を示している。 −IBM Technical Disclosure
Bulletin、1986年、10月、第5号、第
19巻、「TTL回路用のFET信号レシーバ」これ
は、公知技術の単一パスゲート回路を示している。 −IBM Technical Disclosure
Bulletin、1987年、5月、第12号、第
29巻、「高速水準コンバータ回路」これは、負荷駆動
能力を与える従来の方法であるバッファに接続されたパ
スゲートを示している。 −IBM Technical Disclosure
Bulletin、1986年、1月、第8号、第2
8巻、「短いチャネルのCMOSによる装置を使用する
汎用インタフェースレシーバ」これは、CMOSレシー
バ回路を示している。 −IBM Technical Disclosure
Bulletin、1986年、2月、第9号、第2
8巻、「両極性アプリケーション用の中電力、最小領域
のクランプ回路」これは、クランプ回路を示している。 −IBM Technical Disclosure
Bulletin、1988年、7月、第2号、第3
1巻、「ハイエンドシステム用の高速ECL・BIFE
Tレシーバ」これもレシーバ回路を示している。 −IBM Technical Disclosure
Bulletin、1973年、10月、第5号、第
16巻、「低電力のゲートされたレシーバ」これもCM
OSレシーバ回路を示している。
【0004】−IBM Technical Disc
losure Bulletin、1988年、7月、
第2号、第31巻、「ハイパフォーマンスオフチップ共
通I/O回路」これは、機能形式で、異なる機能構成要
素を指示する異なる機能モジュールの有する入出力回路
を開示している。
losure Bulletin、1988年、7月、
第2号、第31巻、「ハイパフォーマンスオフチップ共
通I/O回路」これは、機能形式で、異なる機能構成要
素を指示する異なる機能モジュールの有する入出力回路
を開示している。
【0005】静電放電保護は、いくつかの文献に示され
ている。
ている。
【0006】−IBM Technical Disc
losure Bulletin、1980年、8月、
第3号、第23巻、「電流スイッチレシーバ用の静電放
電保護装置」これは、静電放電ダイオードの使用を示し
ている。 −IBM Technical Disclosure
Bulletin、1983年、12月、第7A号、
第26巻、「FETプロダクト用のESD保護TTLレ
シーバ」これは、静電放電保護を与える非統合アプロー
チを示している。 −IBM Technical Disclosure
Bulletin、1980年、9月、第4号、第2
3巻、「単一保護装置の有する多重I/O保護」これ
は、レシーバ用のいくつかの入力を横切って接続された
単一保護装置を開示している。 −IBM Technical Disclosure
Bulletin、1978年、5月、第12号、第
20巻、「低電力消失プッシュブルドライバ」これは、
活動状態の終止プログラムの判断でクランプ保護を含む
レシーバを示している。 −IBM Technical Disclosure
Bulletin、1982年、8月、第3A号、第
25巻、「低電圧インバータレシーバ回路」これは、E
SD機能、クランプ回路及び受信回路を含むインバータ
レシーバ回路を示している。しかしながら、これら機能
は、同一の機能の異なる要素によって行われている。
losure Bulletin、1980年、8月、
第3号、第23巻、「電流スイッチレシーバ用の静電放
電保護装置」これは、静電放電ダイオードの使用を示し
ている。 −IBM Technical Disclosure
Bulletin、1983年、12月、第7A号、
第26巻、「FETプロダクト用のESD保護TTLレ
シーバ」これは、静電放電保護を与える非統合アプロー
チを示している。 −IBM Technical Disclosure
Bulletin、1980年、9月、第4号、第2
3巻、「単一保護装置の有する多重I/O保護」これ
は、レシーバ用のいくつかの入力を横切って接続された
単一保護装置を開示している。 −IBM Technical Disclosure
Bulletin、1978年、5月、第12号、第
20巻、「低電力消失プッシュブルドライバ」これは、
活動状態の終止プログラムの判断でクランプ保護を含む
レシーバを示している。 −IBM Technical Disclosure
Bulletin、1982年、8月、第3A号、第
25巻、「低電圧インバータレシーバ回路」これは、E
SD機能、クランプ回路及び受信回路を含むインバータ
レシーバ回路を示している。しかしながら、これら機能
は、同一の機能の異なる要素によって行われている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、電子
放電保護や伝送路信号クランプ等のいくつかの機能を与
えるパスゲートマルチプレクサレシーバ集積回路を提供
することである。
放電保護や伝送路信号クランプ等のいくつかの機能を与
えるパスゲートマルチプレクサレシーバ集積回路を提供
することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、パスゲ
ートマルチプレクサレシーバ集積回路が提供される。こ
のレシーバ回路は、単一半導体基板上に集積され、パス
ゲート回路を含む。このパスゲート回路は、入力信号を
出力ラインへ供給するための互いに反対極性の第1と第
2の電界効果トランジスタを含む。この第1の電界効果
トランジスタは、信号クランプと静電放電保護を与える
第1のバイポーラ・トランジスタを含む。第2の電界効
果トランジスタもまたクランプと静電放電保護を与える
第2のバイポーラ・トランジスタを含む。レシーバ回路
は、さらにパスゲート回路の動作を制御する制御回路を
含む。
ートマルチプレクサレシーバ集積回路が提供される。こ
のレシーバ回路は、単一半導体基板上に集積され、パス
ゲート回路を含む。このパスゲート回路は、入力信号を
出力ラインへ供給するための互いに反対極性の第1と第
2の電界効果トランジスタを含む。この第1の電界効果
トランジスタは、信号クランプと静電放電保護を与える
第1のバイポーラ・トランジスタを含む。第2の電界効
果トランジスタもまたクランプと静電放電保護を与える
第2のバイポーラ・トランジスタを含む。レシーバ回路
は、さらにパスゲート回路の動作を制御する制御回路を
含む。
【0009】好適実施例において、パスゲート部分は、
互いに反対極性の2個の電界効果トランジスタから成っ
ている。これらの電界効果トランジスタは、それぞれバ
イポーラ・トランジスタを含むよう製造される。Pチャ
ネルPNPバイポーラ・トランジスタは、Pチャネルト
ランジスタのソース、半導体デバイスのN−のNウェル
基板領域およびP基板領域の間の相互接続を含む。好適
実施例において、P基板領域は、大地電位へ至る低抵抗
接続を与える。Nチャネルデバイス用のバイポーラ・ト
ランジスタは、N+ドレイン領域とそれを取り囲むPエ
ピタキシー領域の間にあり、るVddへ至るN領域リタ
ーンが設けられる。好適実施例において、Nドレイン領
域とVddへのN領域リターンは、第2バイポーラ・ト
ランジスタの動作特性を向上するように非常に接近して
製造される。
互いに反対極性の2個の電界効果トランジスタから成っ
ている。これらの電界効果トランジスタは、それぞれバ
イポーラ・トランジスタを含むよう製造される。Pチャ
ネルPNPバイポーラ・トランジスタは、Pチャネルト
ランジスタのソース、半導体デバイスのN−のNウェル
基板領域およびP基板領域の間の相互接続を含む。好適
実施例において、P基板領域は、大地電位へ至る低抵抗
接続を与える。Nチャネルデバイス用のバイポーラ・ト
ランジスタは、N+ドレイン領域とそれを取り囲むPエ
ピタキシー領域の間にあり、るVddへ至るN領域リタ
ーンが設けられる。好適実施例において、Nドレイン領
域とVddへのN領域リターンは、第2バイポーラ・ト
ランジスタの動作特性を向上するように非常に接近して
製造される。
【0010】第2の好適実施例においては、パスゲート
回路は、入力クランプ回路を含む。この入力クランプ回
路は、2個のバイポーラ・トランジスタを備える。第2
のバイポーラ・トランジスタは、入力ラインへ接続され
たN領域、Pエピタキシー領域及びVddへのN領域リ
ターンの間にある。更に、入力ラインへ接続されたN領
域とVddへのN領域リターンは、第1のバイポーラ・
トランジスタの動作特性を最大にするよう非常に接近し
た位置に置かれる。第1のバイポーラ・トランジスタ
は、入力ラインへ接続されたP領域、P領域を取り囲む
Nウェル領域及びP基板領域又は第1のP領域の近傍の
もう1つのP領域の間に形成される。P基板領域は、大
地電位へ至る低抵抗接続を与えるように製造される。
回路は、入力クランプ回路を含む。この入力クランプ回
路は、2個のバイポーラ・トランジスタを備える。第2
のバイポーラ・トランジスタは、入力ラインへ接続され
たN領域、Pエピタキシー領域及びVddへのN領域リ
ターンの間にある。更に、入力ラインへ接続されたN領
域とVddへのN領域リターンは、第1のバイポーラ・
トランジスタの動作特性を最大にするよう非常に接近し
た位置に置かれる。第1のバイポーラ・トランジスタ
は、入力ラインへ接続されたP領域、P領域を取り囲む
Nウェル領域及びP基板領域又は第1のP領域の近傍の
もう1つのP領域の間に形成される。P基板領域は、大
地電位へ至る低抵抗接続を与えるように製造される。
【0011】上記第2の好適実施例から、相補形両極性
クランプが相補形MOS(CMOS)デバイスにつきも
のであることが分かる。必要なことは、他の電気操作を
要することなく所望の入力信号クランプを達成するデバ
イスの設計とバイアスである。
クランプが相補形MOS(CMOS)デバイスにつきも
のであることが分かる。必要なことは、他の電気操作を
要することなく所望の入力信号クランプを達成するデバ
イスの設計とバイアスである。
【0012】
【実施例】本発明は、単一のコンパクトな集積回路に、
静電放電保護、伝送路信号クランプ、ラッチアップ保
護、オンチップ負荷に対する適切な駆動及びテスト用の
境界走査マルチプレキシングを提供する。これら特徴
は、本発明のパスゲートマルチプレクサレシーバ回路で
行われる。静電放電保護、伝送路信号クランプ、及びラ
ッチアップ保護の全ては、相補形パスゲートデバイスの
寄生バイポーラ・トランジスタと保護リングによって与
えられる。適切な駆動は、オフチップ源によって大きな
パスゲートデバイスの低インピーダンスを介して与えら
れる。境界走査マルチプレキシング機能は、パスゲート
トランジスタをオフにし、かつ、境界走査テストラッチ
によって提供される小さいオンチップバッファを駆動す
ることにより与えられる。
静電放電保護、伝送路信号クランプ、ラッチアップ保
護、オンチップ負荷に対する適切な駆動及びテスト用の
境界走査マルチプレキシングを提供する。これら特徴
は、本発明のパスゲートマルチプレクサレシーバ回路で
行われる。静電放電保護、伝送路信号クランプ、及びラ
ッチアップ保護の全ては、相補形パスゲートデバイスの
寄生バイポーラ・トランジスタと保護リングによって与
えられる。適切な駆動は、オフチップ源によって大きな
パスゲートデバイスの低インピーダンスを介して与えら
れる。境界走査マルチプレキシング機能は、パスゲート
トランジスタをオフにし、かつ、境界走査テストラッチ
によって提供される小さいオンチップバッファを駆動す
ることにより与えられる。
【0013】図1は、パスゲートマルチプレクサレシー
バ回路の略図である。好適実施例において、デバイス1
0と12を含むパスゲート部分は、静電放電保護とオー
バシュートエネルギー吸収を与えるように大きく作ら
れ、且つオフチップ信号源からのハイパフォーマンスパ
スを与えるように比較的大きく作られる。パスゲートデ
バイスの寄生容量は、これらのデバイスがこれらデバイ
スによる容量よりずっと大きな容量を駆動するのに必要
なオフチップ源によって駆動されるので、重要ではな
い。パスゲートデバイスは、標準のラッチアップ防止手
法に従って設計され、又は、製造される。外部に接続さ
れるPとN拡散は、あらゆるものから且つ互いに分離さ
れねばならない。チップパッドへ接続されたN拡散は、
N拡散に接触せずにそれを取り囲むVddへ接続された
Nウェルリングによって保護される。チップパッドへ接
続されたP拡散は、P拡散を取り囲むVddへ接続され
たN+拡散リングによって保護される。N+リングはP
拡散と同じNウェルリング中になければならない。P拡
散もまたN拡散によって保護される。それと同時に、こ
れらの手法はまた保護リングを介してVddへ至るそし
て基板を介して大地へ至るバイポーラ・トランジスタを
提供する(図2参照)。これらバイポーラ・トランジス
タは、いずれかの極性の静電放電パルス用のクランプと
して且つ伝送路信号クランプとして動作する。
バ回路の略図である。好適実施例において、デバイス1
0と12を含むパスゲート部分は、静電放電保護とオー
バシュートエネルギー吸収を与えるように大きく作ら
れ、且つオフチップ信号源からのハイパフォーマンスパ
スを与えるように比較的大きく作られる。パスゲートデ
バイスの寄生容量は、これらのデバイスがこれらデバイ
スによる容量よりずっと大きな容量を駆動するのに必要
なオフチップ源によって駆動されるので、重要ではな
い。パスゲートデバイスは、標準のラッチアップ防止手
法に従って設計され、又は、製造される。外部に接続さ
れるPとN拡散は、あらゆるものから且つ互いに分離さ
れねばならない。チップパッドへ接続されたN拡散は、
N拡散に接触せずにそれを取り囲むVddへ接続された
Nウェルリングによって保護される。チップパッドへ接
続されたP拡散は、P拡散を取り囲むVddへ接続され
たN+拡散リングによって保護される。N+リングはP
拡散と同じNウェルリング中になければならない。P拡
散もまたN拡散によって保護される。それと同時に、こ
れらの手法はまた保護リングを介してVddへ至るそし
て基板を介して大地へ至るバイポーラ・トランジスタを
提供する(図2参照)。これらバイポーラ・トランジス
タは、いずれかの極性の静電放電パルス用のクランプと
して且つ伝送路信号クランプとして動作する。
【0014】本アプローチに対する主な欠点は、パスゲ
ートデバイスがオフにされる場合に、寄生バイポーラ・
トランジスタ効果によりオフチップ信号オーバーシュー
トがそのデバイスを通じて伝播されることである。大地
レベル以下のオーバーシュートは、NPNトランジスタ
をNチャネルFETパスゲートデバイスを通して作動さ
せる。チップVddの上のオーバーシュートは、PNP
トランジスタをPチャネルFETパスゲートデバイスを
通して作動させる。好ましくない伝播は、マルチプレク
サ出力に論理エラーを生ずる。更に、アンダシュート中
に流れる電流は、レシーバによって駆動されるパスゲー
ト回路中にバイポーラ動作をさらに行わせる。これらの
問題は、設計の制限や補助的なクランプによって軽減さ
れる。この制限付きのアプローチは、チップ内部のテス
ト中にオフチップ信号を切替えたり、パスゲートレシー
バを機能モードマルチプレクサとして使用したり、パス
ゲートをパスゲートレシーバで駆動したりするのを禁止
する。補助的なクランプアプローチを以下に論じる。
ートデバイスがオフにされる場合に、寄生バイポーラ・
トランジスタ効果によりオフチップ信号オーバーシュー
トがそのデバイスを通じて伝播されることである。大地
レベル以下のオーバーシュートは、NPNトランジスタ
をNチャネルFETパスゲートデバイスを通して作動さ
せる。チップVddの上のオーバーシュートは、PNP
トランジスタをPチャネルFETパスゲートデバイスを
通して作動させる。好ましくない伝播は、マルチプレク
サ出力に論理エラーを生ずる。更に、アンダシュート中
に流れる電流は、レシーバによって駆動されるパスゲー
ト回路中にバイポーラ動作をさらに行わせる。これらの
問題は、設計の制限や補助的なクランプによって軽減さ
れる。この制限付きのアプローチは、チップ内部のテス
ト中にオフチップ信号を切替えたり、パスゲートレシー
バを機能モードマルチプレクサとして使用したり、パス
ゲートをパスゲートレシーバで駆動したりするのを禁止
する。補助的なクランプアプローチを以下に論じる。
【0015】図1に、入力信号は、それぞれパスゲート
デバイスゲート8と13を含むパスゲートデバイス10
と12へのライン26に与えられる。この実施例におい
て、デバイス10はPチャネルであり、また、デバイス
12はNチャネルデバイスである。選択信号は、ライン
28に与えられ、このライン28は、直接、デバイス1
0のゲート8へ接続されると共に、インバータ14を介
してデバイス12のゲート13へ接続される。デバイス
10と12の出力は、ライン32へ供される。テスト入
力はライン30で与えられる。ライン30の信号は、イ
ンバータ20を介してデバイス18と22のゲートへ入
力され、これらゲートは、それぞれデバイス18と22
を介するVdd31からライン32への又は大地からラ
イン32への通路のいずれかを供する。選択ライン28
が作動する場合、選択ライン28は、デバイス24のゲ
ートへの入力とインバータ14を介するデバイス16へ
の入力を供し、ノード21をVdd31と大地から絶縁
する。
デバイスゲート8と13を含むパスゲートデバイス10
と12へのライン26に与えられる。この実施例におい
て、デバイス10はPチャネルであり、また、デバイス
12はNチャネルデバイスである。選択信号は、ライン
28に与えられ、このライン28は、直接、デバイス1
0のゲート8へ接続されると共に、インバータ14を介
してデバイス12のゲート13へ接続される。デバイス
10と12の出力は、ライン32へ供される。テスト入
力はライン30で与えられる。ライン30の信号は、イ
ンバータ20を介してデバイス18と22のゲートへ入
力され、これらゲートは、それぞれデバイス18と22
を介するVdd31からライン32への又は大地からラ
イン32への通路のいずれかを供する。選択ライン28
が作動する場合、選択ライン28は、デバイス24のゲ
ートへの入力とインバータ14を介するデバイス16へ
の入力を供し、ノード21をVdd31と大地から絶縁
する。
【0016】図2は、図1のパスゲートデバイス10と
12の断面図である。図2で、Pチャネルデバイス10
は、それぞれ2つの領域60と63に亘って配置された
ゲート78を含む。このPチャネルデバイス10は、保
護リング61と62によって取り囲まれる。Pチャネル
デバイス10の、領域61と62を含む保護リング、及
びソースとドレイン60と63は、N領域74中に配置
される。Nチャネルデバイス12は、ソースとドレイン
領域51と52の上に配置されたゲート50を含み、デ
バイスを構成する。Nチャネルデバイス12は、保護リ
ング54と56によって取り囲まれる。もう1つの保護
リング67は、Pチャネルデバイス10の反対側に置か
れる。実際には、保護リング67、56及び54は全
て、チップの上方から見て、“8”の字状の単一の保護
リングの同じ部分である。
12の断面図である。図2で、Pチャネルデバイス10
は、それぞれ2つの領域60と63に亘って配置された
ゲート78を含む。このPチャネルデバイス10は、保
護リング61と62によって取り囲まれる。Pチャネル
デバイス10の、領域61と62を含む保護リング、及
びソースとドレイン60と63は、N領域74中に配置
される。Nチャネルデバイス12は、ソースとドレイン
領域51と52の上に配置されたゲート50を含み、デ
バイスを構成する。Nチャネルデバイス12は、保護リ
ング54と56によって取り囲まれる。もう1つの保護
リング67は、Pチャネルデバイス10の反対側に置か
れる。実際には、保護リング67、56及び54は全
て、チップの上方から見て、“8”の字状の単一の保護
リングの同じ部分である。
【0017】Nチャネルデバイス12用の保護リング5
4と56と、Pチャネルデバイス10用の保護リング6
1、62、56及び67は、ラッチアップ保護を与え
る。Nチャネルデバイス12の製造により、12Aと1
2Bとして図示された2個の寄生バイポーラ・トランジ
スタが作られる。寄生バイポーラ・トランジスタ12B
は、エミッタ領域52、コレクタ領域51及びPエピタ
キシー領域であるベース領域66から成る。この寄生バ
イポーラ・トランジスタ12Bは、Nチャネルデバイス
12の製造により生ずる。もう1つの寄生バイポーラ・
トランジスタ12Aは、保護リング56に対してエミッ
タ52を配置することから生ずる。保護リング56は、
コレクタとして動作し、また、Pエピタキシー領域は、
ベースを形成する。好適実施例において、N領域52が
保護リング領域56へ出来る限り接近して置かれる。こ
の寄生バイポーラ・トランジスタ12Aは、クランプを
与え、更に、重要な静電放電保護を与える。
4と56と、Pチャネルデバイス10用の保護リング6
1、62、56及び67は、ラッチアップ保護を与え
る。Nチャネルデバイス12の製造により、12Aと1
2Bとして図示された2個の寄生バイポーラ・トランジ
スタが作られる。寄生バイポーラ・トランジスタ12B
は、エミッタ領域52、コレクタ領域51及びPエピタ
キシー領域であるベース領域66から成る。この寄生バ
イポーラ・トランジスタ12Bは、Nチャネルデバイス
12の製造により生ずる。もう1つの寄生バイポーラ・
トランジスタ12Aは、保護リング56に対してエミッ
タ52を配置することから生ずる。保護リング56は、
コレクタとして動作し、また、Pエピタキシー領域は、
ベースを形成する。好適実施例において、N領域52が
保護リング領域56へ出来る限り接近して置かれる。こ
の寄生バイポーラ・トランジスタ12Aは、クランプを
与え、更に、重要な静電放電保護を与える。
【0018】第2の好適実施例においては、パスゲート
回路は、入力クランプ回路を含む。この入力クランプ回
路は、2個のバイポーラ・トランジスタを備える。第2
のバイポーラ・トランジスタは、入力ラインへ接続され
たN領域、Pエピタキシー領域及びVddへのN領域リ
ターンの間にある。更に、入力ラインへ接続されたN領
域とVddへのN領域リターンは、第1のバイポーラ・
トランジスタの動作特性を最大にするよう非常に接近し
た位置に置かれる。第1のバイポーラ・トランジスタ
は、入力ラインへ接続されたP領域、P領域を取り囲む
Nウェル領域及びP基板領域又は第1のP領域の近傍の
もう1つのP領域の間に形成される。P基板領域は、接
地電位へ至る低抵抗接続を与えるように製造される。
回路は、入力クランプ回路を含む。この入力クランプ回
路は、2個のバイポーラ・トランジスタを備える。第2
のバイポーラ・トランジスタは、入力ラインへ接続され
たN領域、Pエピタキシー領域及びVddへのN領域リ
ターンの間にある。更に、入力ラインへ接続されたN領
域とVddへのN領域リターンは、第1のバイポーラ・
トランジスタの動作特性を最大にするよう非常に接近し
た位置に置かれる。第1のバイポーラ・トランジスタ
は、入力ラインへ接続されたP領域、P領域を取り囲む
Nウェル領域及びP基板領域又は第1のP領域の近傍の
もう1つのP領域の間に形成される。P基板領域は、接
地電位へ至る低抵抗接続を与えるように製造される。
【0019】保護リングに接近したNチャネルデバイス
の配置と、P基板68と大地70間の抵抗の減少が、こ
れら2つのデバイスのクランプと静電放電能力を高める
ことが理解できよう。従って、これらの機能、即ちクラ
ンプと静電放電保護を与える付加的なデバイスは必要と
されない。この結果、回路設計用の空間が節約される。
の配置と、P基板68と大地70間の抵抗の減少が、こ
れら2つのデバイスのクランプと静電放電能力を高める
ことが理解できよう。従って、これらの機能、即ちクラ
ンプと静電放電保護を与える付加的なデバイスは必要と
されない。この結果、回路設計用の空間が節約される。
【0020】つまり、CMOS構造に固有のバイポーラ
・トランジスタの物理的設計は、ベース幅とベース接点
からの距離を最小にするよう最適化される。この組合せ
は、トランジスタゲインを最大にし、かつ、ベース抵抗
を最小にすることによりクランプとESD作用を高め
る。
・トランジスタの物理的設計は、ベース幅とベース接点
からの距離を最小にするよう最適化される。この組合せ
は、トランジスタゲインを最大にし、かつ、ベース抵抗
を最小にすることによりクランプとESD作用を高め
る。
【0021】図2の実施例の1つの主な欠点は、回路が
オフにされた場合でさえ、寄生バイポーラ・トランジス
タ効果によりオフチップ信号オーバシュートがパスゲー
トデバイスを介して伝播されることである。大地レベル
以下のオーバシュートは、Nチャネルデバイス12を通
して寄生バイポーラ・トランジスタ10を作動させる。
チップ電圧Vddより上のオーバシュートは、Pチャネ
ルデバイス10を通して寄生バイポーラ・トランジスタ
10Bを作動させる。この不当な伝播は、マルチプレク
サ回路の出力上に論理エラーを生じる。更に、オーバシ
ュート中に流れる電流は、レシーバによって駆動された
パスゲート回路内で異なるバイポーラ動作を促す。
オフにされた場合でさえ、寄生バイポーラ・トランジス
タ効果によりオフチップ信号オーバシュートがパスゲー
トデバイスを介して伝播されることである。大地レベル
以下のオーバシュートは、Nチャネルデバイス12を通
して寄生バイポーラ・トランジスタ10を作動させる。
チップ電圧Vddより上のオーバシュートは、Pチャネ
ルデバイス10を通して寄生バイポーラ・トランジスタ
10Bを作動させる。この不当な伝播は、マルチプレク
サ回路の出力上に論理エラーを生じる。更に、オーバシ
ュート中に流れる電流は、レシーバによって駆動された
パスゲート回路内で異なるバイポーラ動作を促す。
【0022】これらの問題は、図3に示された回路によ
って解決される。図3の回路は、付加的なクランプ回路
6が2個のパスゲートデバイス10′と12′への入力
として付加された他は、図1の回路と同一である。更
に、好適実施例において、設計の制限がなされる。この
設計制限アプローチは、チップ内部テスト間でオフチッ
プ信号を切り換えることと、機能モードマルチプレクサ
としてパスゲートレシーバを使用することを禁止するも
のである。補助的なクランプ6が図4に断面図で示され
る。図4に図示された構造により、前に論じたオーバシ
ュート伝播問題を避けるに充分に大きい電流分路を与え
るために、レシーバクランプトランジスタ12Aと10
Aと同様な付加的な寄生バイポーラ・トランジスタが製
造される。
って解決される。図3の回路は、付加的なクランプ回路
6が2個のパスゲートデバイス10′と12′への入力
として付加された他は、図1の回路と同一である。更
に、好適実施例において、設計の制限がなされる。この
設計制限アプローチは、チップ内部テスト間でオフチッ
プ信号を切り換えることと、機能モードマルチプレクサ
としてパスゲートレシーバを使用することを禁止するも
のである。補助的なクランプ6が図4に断面図で示され
る。図4に図示された構造により、前に論じたオーバシ
ュート伝播問題を避けるに充分に大きい電流分路を与え
るために、レシーバクランプトランジスタ12Aと10
Aと同様な付加的な寄生バイポーラ・トランジスタが製
造される。
【0023】図4を参照するに、1つのトランジスタ1
24は、Pエピタキシー領域122であるベース領域と
N領域102であるエミッタ領域、保護リングのN領域
104中のコレクタから成る。もう1つのトランジスタ
126は、示される通りP基板領域128中のコレクタ
と、エミッタP領域108へ連結されたN領域118で
あるベース領域から成る。N領域102が、取り囲む保
護リング100と104と一緒に1つのクランプを形成
する。同様に、P領域108は、N領域118とエピタ
キシー122と共に1つのクランプを形成し、かつ、1
06、110、104及び112として図示された1つ
の保護リングによって取り囲まれる。図2の通り、領域
112は、領域100と104と同じ程包括的な同一の
保護リングの1部である。互いに反対極性のこれら2つ
のクランプをパスゲートデバイスの入力を通るクランプ
として与えることにより、オーバシュート伝播問題は、
回避される。
24は、Pエピタキシー領域122であるベース領域と
N領域102であるエミッタ領域、保護リングのN領域
104中のコレクタから成る。もう1つのトランジスタ
126は、示される通りP基板領域128中のコレクタ
と、エミッタP領域108へ連結されたN領域118で
あるベース領域から成る。N領域102が、取り囲む保
護リング100と104と一緒に1つのクランプを形成
する。同様に、P領域108は、N領域118とエピタ
キシー122と共に1つのクランプを形成し、かつ、1
06、110、104及び112として図示された1つ
の保護リングによって取り囲まれる。図2の通り、領域
112は、領域100と104と同じ程包括的な同一の
保護リングの1部である。互いに反対極性のこれら2つ
のクランプをパスゲートデバイスの入力を通るクランプ
として与えることにより、オーバシュート伝播問題は、
回避される。
【0024】更に、好適実施例において、ライン26上
のチップI/Oと第1クランプ間の配線抵抗は、それが
トランジスタ12Bと10Bであるか、図4の領域10
2と108から成るクランプであるにかかわらず、伝送
路信号クランプと干渉しない程度に低く保たれねばなら
ない。
のチップI/Oと第1クランプ間の配線抵抗は、それが
トランジスタ12Bと10Bであるか、図4の領域10
2と108から成るクランプであるにかかわらず、伝送
路信号クランプと干渉しない程度に低く保たれねばなら
ない。
【0025】境界走査マルチプレキシングは、選択ライ
ン28(図1)を“1”に設定することにより簡単に達
成される。ついでチップ入力26は、チップ内部回路3
2から絶縁され、このチップ内部回路32は、代わりに
境界テスト保持30へ接続される。
ン28(図1)を“1”に設定することにより簡単に達
成される。ついでチップ入力26は、チップ内部回路3
2から絶縁され、このチップ内部回路32は、代わりに
境界テスト保持30へ接続される。
【0026】オンチップ負荷用の適切な駆動は、FET
の10と12の全体幅を選択することにより得られる。
相当の余裕度が得られる。普通のオンチップ回路(約
0、99チャネル長さのCMOS用)の寸法の約10倍
の寸法まで、ESDとオーバシュートエネルギーを吸収
するに充分な駆動と拡散バルクが与えられる。この寸法
でさえ、レシーバ領域は、全体のチップの1%まであ
る。オフチップネット上の寄生負荷もなお適度である。
の10と12の全体幅を選択することにより得られる。
相当の余裕度が得られる。普通のオンチップ回路(約
0、99チャネル長さのCMOS用)の寸法の約10倍
の寸法まで、ESDとオーバシュートエネルギーを吸収
するに充分な駆動と拡散バルクが与えられる。この寸法
でさえ、レシーバ領域は、全体のチップの1%まであ
る。オフチップネット上の寄生負荷もなお適度である。
【0027】拡散バルク用のESD必要条件は、駆動条
件を満たすことにより満たされる。チップ入力26(図
1)の金属と接点は、ESDサージに耐えるに充分な断
面と領域を有さなければならない。
件を満たすことにより満たされる。チップ入力26(図
1)の金属と接点は、ESDサージに耐えるに充分な断
面と領域を有さなければならない。
【図1】本発明のパスゲートマルチプレクサレシーバ回
路の第1実施例の略図である。
路の第1実施例の略図である。
【図2】図1で図示されたパスゲートトランジスタの集
積回路部分の断面図である。
積回路部分の断面図である。
【図3】パスゲートトランジスタの前段に置かれたクラ
ンプ回路を含む本発明の第2実施例の略図である。
ンプ回路を含む本発明の第2実施例の略図である。
【図4】図3で図示されたクランプデバイスの構成を図
示する集積回路の断面図である。
示する集積回路の断面図である。
6 クランプ 8、8′ ゲート 10、10′ Pチャネルデバイス 10A,10B トランジスタ 12、12′ Nチャネルデバイス 12A,12B トランジスタ 13、13′ ゲート 14、14′ インバータ 16、16′ デバイス 18、18′ デバイス 20、20′ インバータ 21、21′ ノード 22、22′ デバイス 24、24′ デバイス 26、26′ ライン 28、28′ ライン 30、30′ ライン 31、31′ Vdd 32、32′ ライン 50 ゲート 51 コレクタ領域 52 エミッタ領域 54 保護リング 56 保護リング 60 コレクタ領域 61 保護リング 62 保護リング 63 コレクタ領域 66 ベース領域 67 保護リング 68 コレクタ領域 70 大地 74 ベース領域 78 ゲート 100 保護リング 102 エミッタ領域 104 保護リング(コレクタ領域) 106 保護リング 108 エミッタ領域 110 保護リング 112 N領域 118 N領域 122 ベース領域 124 トランジスタ 126 トランジスタ 128 コレクタ領域
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 27/088 H01L 27/04 H
Claims (11)
- 【請求項1】半導体基板上のパスゲートマルチプレクサ
レシーバ集積回路であって、 入力信号を出力ラインへ供給する互いに反対極性の第1
と第2の電界効果トランジスタを含むパスゲート手段
と、前記パスゲート手段の動作を制御する制御手段とよ
りなり、 前記第1の電界効果トランジスタはクランプ作用と静電
放電保護を与える第1のバイポーラ・トランジスタおよ
び前記第1の電界効果トランジスタに対する保護リング
領域を含み、前記第2の電界効果トランジスタはクラン
プ作用と静電放電保護を与える第2のバイポーラ・トラ
ンジスタおよび前記第2の電界効果トランジスタに対す
る保護リング領域を含むことを特徴とするパスゲートマ
ルチプレクサレシーバ集積回路。 - 【請求項2】前記出力ライン上に所定の電圧を与えるテ
スト手段をさらに含み、前記制御手段は前記パスゲート
手段と前記テスト手段の間で前記出力ラインを切り換え
る手段を含む請求項1のパスゲートマルチプレクサレシ
ーバ集積回路。 - 【請求項3】前記第2のバイポーラトランジスタの基板
領域は接地電位へ至る低抵抗接続を与える、請求項1の
パスゲートマルチプレクサレシーバ集積回路。 - 【請求項4】前記パスゲート手段はパスゲート手段の入
力へ接続されラッチアップ保護を与えるクランプ手段を
含む、請求項1のパスゲートマルチプレクサレシーバ集
積回路。 - 【請求項5】前記クランプ手段は第3と第4のバイポー
ラ・トランジスタよりなる、請求項4のパスゲートマル
チプレクサレシーバ集積回路。 - 【請求項6】前記第3および第4のバイポーラ・トラン
ジスタはそれぞれ保護リングを含む、請求項5のパスゲ
ートマルチプレクサレシーバ集積回路。 - 【請求項7】半導体基板上のパスゲートマルチプレクサ
レシーバ集積回路であって、 入力信号を出力ラインへ供給する第1のpチャネル電界
効果トランジスタと第1のnチャネル電界効果トランジ
スタを含むパスゲート手段と、前記第1のpチャネルト
ランジスタのゲートへ接続され、かつ、インバータを介
して前記第1のnチャネルトランジスタのゲートへ接続
された、前記パスゲート手段の動作を制御するための制
御手段とよりなり、 前記第1のpチャネル電界効果トランジスタはクランプ
作用と静電放電保護を与える第1のパイポーラ・トラン
ジスタ及び前記第1のpチャネル電界効果トランジスタ
に対する保護リング領域を含み、前記第1のnチャネル
電界効果トランジスタはクランプ作用と静電放電保護を
与える第2のバイポーラ・トランジスタおよび前記第1
のnチャネル電界効果トランジスタに対する保護リング
領域を含むことを特徴とする、パスゲートマルチプレク
サレシーバ集積回路。 - 【請求項8】前記出力ラインに所定の電圧を与えるテス
ト手段をさらに含み、前記テスト手段がテスト入力信号
を受信するためのテスト入力ラインを含み、前記テスト
入力ラインは第2のインバータを介して第2のpチャネ
ル電界効果トランジスタのゲートへ接続され、かつ、第
2のnチャネル電界効果トランジスタのゲートへ接続さ
れ、前記第2のpチャネルと第2のnチャネルトランジ
スタは前記出力ラインへ接続され、前記制御手段はパス
ゲート手段と前記テスト手段の間で前記出力ラインを切
り換える切り換え手段を含み、前記切り換え手段は前記
第1のインバータへ接続され、かつ、ある電位と前記第
2のpチャネルトランジスタの間に接続されたゲートを
有する第3のpチャネルトランジスタと、制御入力ライ
ンへ接続され、かつ、接地電位と前記第2のnチャネル
トランジスタの間に接続されたゲートを有する第3のn
チャネルトランジスタを含む、請求項7のパスゲートマ
ルチプレクサレシーバ集積回路。 - 【請求項9】前記第2のバイポーラトランジスタの基板
領域は接地電位へ至る低抵抗接続を与える、請求項7の
パスゲートマルチプレクサレシーバ集積回路。 - 【請求項10】前記パスゲート手段はラッチアップ保護
を与えるパスゲート手段の入力へ接続されたクランプ手
段を含む、請求項7のパスゲートマルチプレクサレシー
バ集積回路。 - 【請求項11】前記クランプ手段は第3と第4のバイポ
ーラ・トランジスタよりなる、請求項10のパスゲート
マルチプレクサレシーバ集積回路。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US471893 | 1990-01-29 | ||
| US07/471,893 US5036215A (en) | 1990-01-29 | 1990-01-29 | Pass gate multiplexer receiver circuit |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04114465A JPH04114465A (ja) | 1992-04-15 |
| JPH0795563B2 true JPH0795563B2 (ja) | 1995-10-11 |
Family
ID=23873406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2411551A Expired - Lifetime JPH0795563B2 (ja) | 1990-01-29 | 1990-12-18 | パスゲートマルチプレクサレシーバ集積回路 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5036215A (ja) |
| EP (1) | EP0440331A2 (ja) |
| JP (1) | JPH0795563B2 (ja) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5200907A (en) * | 1990-04-16 | 1993-04-06 | Tran Dzung J | Transmission gate logic design method |
| US5111069A (en) * | 1990-08-27 | 1992-05-05 | Dallas Semiconductor Corporation | Layout of integrated circuit with very large transistors |
| JP3375659B2 (ja) * | 1991-03-28 | 2003-02-10 | テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド | 静電放電保護回路の形成方法 |
| US5519355A (en) * | 1992-11-19 | 1996-05-21 | At&T Global Information Solutions Company | High speed boundary scan multiplexer |
| US5453719A (en) * | 1993-12-17 | 1995-09-26 | Nec Corporation | Oscillator circuit generating oscillation signal responsive to one of resonant element and external clock signal |
| US5543650A (en) * | 1995-01-12 | 1996-08-06 | International Business Machines Corporation | Electrostatic discharge protection circuit employing a mosfet device |
| US5815354A (en) * | 1997-03-21 | 1998-09-29 | International Business Machines Corporation | Receiver input voltage protection circuit |
| US6028758A (en) * | 1998-01-16 | 2000-02-22 | Vantis Corporation | Electrostatic discharge (ESD) protection for a 5.0 volt compatible input/output (I/O) in a 2.5 volt semiconductor process |
| US6219812B1 (en) * | 1998-06-11 | 2001-04-17 | Sun Microsystems, Inc. | Apparatus and method for interfacing boundary-scan circuitry with DTL output drivers |
| US6380022B1 (en) * | 2000-04-20 | 2002-04-30 | Hewlett-Packard Company | Method for creating a useful biopolar junction transistor from a parasitic bipolar junction transistor on a MOSFET |
| US6362653B1 (en) | 2001-02-06 | 2002-03-26 | International Business Machines Corporation | High voltage tolerant receivers |
| KR100468787B1 (ko) * | 2003-05-02 | 2005-01-29 | 삼성전자주식회사 | 래치-업(Latch-up)에 의한 전류 흐름을 방지할 수있는 반도체 장치 |
| US8230281B2 (en) * | 2009-04-13 | 2012-07-24 | Altera Corporation | Techniques for boundary scan testing using transmitters and receivers |
| US8482029B2 (en) * | 2011-05-27 | 2013-07-09 | Infineon Technologies Austria Ag | Semiconductor device and integrated circuit including the semiconductor device |
| US11211342B1 (en) * | 2020-07-21 | 2021-12-28 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Multiplexer cell and semiconductor device having camouflage design, and method for forming multiplexer cell |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4286173A (en) * | 1978-03-27 | 1981-08-25 | Hitachi, Ltd. | Logical circuit having bypass circuit |
| US4763020B1 (en) * | 1985-09-06 | 1997-07-08 | Ricoh Kk | Programmable logic device having plural programmable function cells |
| JPS62220879A (ja) * | 1986-03-22 | 1987-09-29 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
| US4710649A (en) * | 1986-04-11 | 1987-12-01 | Raytheon Company | Transmission-gate structured logic circuits |
| JP2679046B2 (ja) * | 1987-05-22 | 1997-11-19 | ソニー株式会社 | メモリ装置 |
| JPS63300529A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-07 | Nec Corp | 半導体集積回路 |
| US4755696A (en) * | 1987-06-25 | 1988-07-05 | Delco Electronics Corporation | CMOS binary threshold comparator |
| JPH0196573A (ja) * | 1987-10-08 | 1989-04-14 | Matsushita Electron Corp | 集積回路 |
| JPH01130554A (ja) * | 1987-11-17 | 1989-05-23 | Fujitsu Ltd | 静電保護回路 |
| JPH0671203B2 (ja) * | 1987-12-23 | 1994-09-07 | 株式会社東芝 | 論理回路 |
-
1990
- 1990-01-29 US US07/471,893 patent/US5036215A/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-12-18 JP JP2411551A patent/JPH0795563B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-01-04 EP EP91300070A patent/EP0440331A2/en not_active Ceased
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0440331A2 (en) | 1991-08-07 |
| US5036215A (en) | 1991-07-30 |
| EP0440331A3 (ja) | 1994-02-02 |
| JPH04114465A (ja) | 1992-04-15 |
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