JPH0797129B2 - Ｌｓｉテストシステム - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ この発明は、LSIの良否を判定するLSIテストシステムに
関し、特に高速で測定する事が出来るLSIテストシスム
に関するものである。

＜従来技術＞ LSIテストシステムは被測定LSIに信号を印加し、それに
対する被測定LSIの出力を測定してその良否を判定する
ものである。一般にLSIの良否を判定するためには複数
のテストが必要であり、これらのテストは連続してシリ
アルに行われる。第４図にこの様なLSIテストシステム
のブロック図を示す。第４図において、２は計測部であ
り、コントローラ１によって統括される。各計測部２は
コントローラ１の設定に基づいてテストの為の信号を作
成して被測定LSI3に出力し、また被測定LSI3の出力を測
定してコントローラ１に転送する。コントローラ１は計
測部２から転送されたデータに基づいて被測定LSI3の良
否を判定する。

第５図にテストの手順を示す。第５図において、（Ａ）
はテストプログラムであり、複数個のサブプログラムか
ら構成される。各サブプログラムは１つのテストに対応
し、テスト番号の定義（指定）、設定の記述、測定の記
述及び判定の記述の４つの部分から構成され、これらが
順番に実行される。（Ｂ）、（Ｃ）はｉ番目のプログラ
ムにおけるコントローラ１及び計測部２の動作を示すタ
イムチャートである。テスト番号の定義ではコントロー
ラ１がA_i時間動作する。設定の記述ではコントローラ１
がB_i時間、計測部２がC_i時間動作する。また、測定記述
では計測部２がD_i時間、コントローラ１がE_i時間動作す
る。さらに、判定記述ではコントローラ１がF_i時間動作
する。従って、ｉ番目のサブプログラムの実行の総時間
T_iは、 T_i＝A_i＋B_i＋C_i＋D_i＋E_i＋F_i になる。

この様なLSIテストシステムではコントローラ１と計測
部２は同時に動作することはないので、待ち時間が多く
なり、テストに長時間要する。従って、テストプログラ
ムの記述を変えて、コントローラ１と計測部２が並列に
動作するようにして、テスト時間を短縮する事も考えら
れる。

＜発明が解決すべき課題＞ しかしながら、第５図に示すような処理方法ではテスト
に長時間を要し、かつ待ち時間が多いために効率的でな
いという課題があった。

また、テストプログラムを変更してコントローラ１と計
測部２を並列に動作させる処理方法では、テストプログ
ラムを記述するときに並列動作を意識しなければならな
いためプログラムの作成が難しくなり、かつ複数のサブ
プログラムが混在するのでプログラムの視認性が悪くな
るという課題もあった。

＜発明の目的＞ この発明の目的は、プログラムの作成が容易で、プログ
ラムの視認性が悪化せず、かつ高速処理が可能なLSIテ
ストシステムを提供することにある。

＜課題を解決する為の手段＞ 前記課題を解決するために本発明では、複数のテストを
シリアルに実行するLSIテストシステムにおいて、コン
トローラから各計測部に測定の為の情報を転送し、かつ
前記計測部から転送された被測定LSIからの信号に基づ
いて該LSIの良否を判定するようにしたLSIテストシステ
ムであって、このコントローラが実行するテスト番号を
指定するためのテスト番号情報及びそのテストにおける
判定処理のステートメントのテストプログラム中におけ
る位置をテーブルに記憶して、前記計測部が処理を行っ
ているときに、コントローラが前記テーブルを参照して
前回のテストのテスト番号の定義及び判定処理を実行す
るようにしたものである。

＜作用＞ コントローラが実行するステートメントの位置をテーブ
ルに記憶する事により、並列動作を意識しないで作成し
たテストプログラムでも、並列動作を可能にする事が出
来る。

＜実施例＞ 第１図に本発明に係るLSIテストシステムの一実施例の
構成図を示す。第１図において、10はコントローラであ
り、このLSIテストシステム全体の制御を統括する。11
はメモリであり、テストの手順を記述したテストプログ
ラムが格納されている。12は計測部である。この実施例
では２つの計測部から構成される。各計測部12はモジュ
ールコントローラ13及び計測モジュール14から構成され
る。モジュールコントローラ13はコントローラから送ら
れてきた測定条件に従って計測モジュール14を駆動す
る。計測モジュール14は測定器に対応するものであり、
被測定LSI3に電圧、電流、周波数等の信号を出力し、ま
た被測定LSI3の指定されたピンの電圧、電流、周波数等
の値を測定してそのデータをモジュールコントローラ13
に転送する。15は標準バスであり、コントローラ10、メ
モリ11及び計測部12を接続する。コントローラ10はこの
標準バス15を介してメモリ11のテストプログラムを読み
込み、またモジュールコントローラ13に測定条件のデー
タを転送する。また、モジュールコントローラ13は計測
モジュール14が集めた被測定LSI3のデータをこの標準バ
ス15を介してコントローラ10に転送する。16は専用バス
であり、コントローラ10と各計測部12を接続する。コン
トローラ10は測定条件を各モジュールコントローラ13に
転送後、この専用バスを介してテストシーケンスを同時
に開始するための専用コードを各モジュールコントロー
ラ13に転送し、かつ割り込みをかける。

次に、この実施例の動作を第２図に基いて説明する。第
２図（Ａ）は１つのサブプログラムの動作を説明したも
のである。各サブプログラムはテスト番号の定義（指
定）、設定処理、測定処理及び判定処理の４つの処理か
ら構成され、これらの処理はシーケンシャルに実行され
る。テスト番号の定義は、サブプログラムを特定するた
めの例えば１から始まる数値であり、コントローラ10が
認識する。設定処理はコントローラ10が行う処理とモジ
ュールコントローラ13が行う処理の２つに分けられる。
コントローラ10は測定条件などをモジュールコントロー
ラ13に設定し、モジュールコントローラ13はこの条件に
基づいて計測モジュール14を制御する。測定処理は被測
定LSIに信号を与えてその出力を収集する過程であり、
全ての計測部12が同時に動作するようにされる。判定処
理はコントローラ10が行う処理であり、収集されたデー
タを評価してテストの結果を判定する。これらの処理の
間には、処理の流れの関係で次の制約がある。

（１）コントローラ10が行う設定処理は、モジュールコ
ントローラ13が行う設定処理及び測定処理の前に行わな
ければならない。

（２）判定処理はテスト番号の定義、設定処理及び測定
処理の後に行わなければならない。

ここで、判定処理前にテスト番号の定義（指定）を行わ
なければならないのは、判定処理の結果、被測定LSIが
不良品と判定された場合、テスト番号と測定結果とを保
存するためである。この保存されたデータにより、不良
品となった原因などを解析する。この解析を行うに当た
って、テストの内容が必要であり、テスト番号より計測
結果がどのサブプログラムによって得られたものかがわ
かる。要するに、テスト番号の定義（指定）は、判定処
理中にテスト番号を特定するのに必要であり、遅くとも
判定処理の直前に行わなければならない。

（３）コントローラ10が行う設定処理は、１つ前のサブ
プログラムの測定処理の後に行わなければならない。

これらの制約条件のため、従来は第５図に示すようにコ
ントローラ10と計測部12は交互に動作するようにし、一
方が動作中の時は他方が待ち合わせるようにしていた。
また、この制約条件の為、並列動作を行うプログラムを
作成する事が困難であった。この実施例では、上記の制
約条件を満たすように、第２図（Ｂ）に示すタイムチャ
ートでコントローラ10及びモジュールコントローラ13を
駆動するようにする。すなわち、時刻T₁でｉ番目のサブ
プログラムの処理が開始されると、コントローラ10は設
定処理を実行する。時刻T₂で設定処理が終了すると、モ
ジュールコントローラ13は設定処理を開始し、続いて時
刻T₃から測定処理を開始する。一方、コントローラ10は
時刻T₂から前回（ｉ−１）のサブプログラムにおけるテ
スト番号の定義を行い、時刻T₃まで待ち合わせて前回の
判定処理を実行する。モジュールコントローラ13の測定
処理またはコントローラ10の判定処理が終了する時刻T₄
でサブプログラムｉの処理が終了する。従って、サブプ
ログラムｉに要する処理時間はコントローラ10の設定処
理の時間（T₂−T₁）とモジュールコントローラ13の設定
処理及び測定処理の合計時間（T₄−T₂）を加算した時間
になり、テスト番号の定義と判定処理に要する時間の分
だけ処理時間を短くすることが出来る。なお、通常は測
定処理の時間が長いので、第２図（Ｂ）のようにコント
ローラ側に待ち時間が発生するが、コントローラ10のテ
スト番号の定義及び判定処理の時間がモジュールコント
ローラ13の設定処理時間と測定処理時間より長いとモジ
ュールコントローラ13が待ち合わせることになり、処理
時間はモジュールコントローラ13の設定処理と測定処理
の時間だけ短くなる。

本発明では、テストプログラムの構成を変えることな
く、第２図（Ｂ）のタイムチャートに示す並列処理を実
現することが出来るものである。第３図にその為の構成
を示す。第３図はコントローラ10が保持しているテーブ
ルの構成であり、各サブプログラムのテスト番号の定義
と判定処理のステートメントのメモリ11における位置情
報が格納されている。これらの位置情報はこの順に１番
目のサブプログラムから順番にテーブルに格納される。
通常LSIテストシステムでは、各テスト項目は汎用プロ
グラミング言語をベースとした高級言語で記述され、メ
モリ11にはオブジェクトコードなどの実行可能形式で格
納されている。コントローラ10はメモリ11に格納された
プログラムを順番に読みだし、実行する。その際、コン
トローラ10は設定処理が終了すると第３図に示したテー
ブルを参照して１つ前とサブプログラムのテスト番号の
定義のステートメント及び判定処理のステートメントの
位置を特定し、メモリ11から該当するステートメントを
読み出して実行する。このようにすることにより、特に
並列処理を意識しないで作成したプログラムでも、第２
図（Ｂ）に示すような並列処理を実行することが出来、
テスト時間を短縮することが出来る。

なお、テーブルには各サブプログラムの先頭でテスト番
号の定義のステートメントの位置を書き込み、サブプロ
グラムの終了時点で判定処理のステートメントの位置を
書き込むようにする。従って、実際にはこれらのステー
トメントの位置情報を書き込む時間が必要になるが、他
の処理時間に比べて無視できる。

また、実際のプログラムにおいては、第２図（Ａ）に示
した各処理の数が異なる。例えばテスト番号の定義及び
判定処理が多いことがあるが、この場合はテーブルにこ
れらの処理のステートメントの位置情報が残っているの
で、実行し残すことはない。

さらに、通常のテストでは測定処理の時間が長く、従っ
てコントローラ10の待ち時間が多くなる。この待ち時間
を利用して測定処理を実行しない計測部のモジュールコ
ントローラとして動作させることが出来る。また、判定
処理以外に種々のデータ処理を要求されると、従来では
全てのテストの終了後に行っていたが、この待ち時間に
行わせるようにすると、テスト時間を一層短縮すること
が出来る。

＜発明の効果＞ 以上、実施例に基づいて具体的に説明したように、この
発明ではテスト番号を指定するためのテスト番号情報及
び判定処理のステートメントの位置情報をテーブルに保
持しておき、計測部が設定処理及び測定処理を行ってい
る間に前回のテストのテスト番号の指定及び測定処理を
行うようにした。その為、コントローラとモジュールコ
ントローラを並列に動作させることが出来るので、テス
トに要する時間を短縮することが出来る。特に、LSIの
試験は数百項目のサブプログラムからなるテストを行う
ことが普通なので、処理時間の短縮の効果は大きい。

また、テスト番号を指定するためのテスト番号情報と判
定処理のステートメントの位置情報をテーブルに格納す
るようにしたので、特に並列処理を意識しないで作成し
たプログラムでも並列処理が可能になるため、プログラ
ムの作成が容易であり、かつその視認性が悪化すること
がないという効果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るLSIテストシステムの一実施例を
示す構成図、第２図は処理の手順をしめす図、第３図は
テーブルの構成を示す図、第４図は従来のLSIテストシ
ステムの構成図、第５図はその処理の手順を示す図であ
る。 ３……被測定LSI、10……コントローラ、11……メモ
リ、12……計測部、13……モジュールコントローラ、14
……計測モジュール、15……標準バス、16……専用バ
ス。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】計測部から信号を被測定LSIに印加し、該
   被測定LSIからの出力を測定してその良否を判定する複
   数のサブプログラムからなるテストプログラムをシリア
   ルに実行するLSIテストシステムにおいて、 前記計測部に被測定LSIを測定するためのサブプログラ
   ムの情報を転送し、かつ前記計測部から転送された被測
   定LSIからの出力に基づいて該LSIの良否を判定するコン
   トローラを有し、 このコントローラが実行するサブプログラムを特定する
   テスト番号及び判定処理のステートメントの位置をテー
   ブルに記憶して、前記計測部が処理を行っているとき
   に、前記コントローラは前記テーブルを参照して前回の
   サブプログラムを特定するテスト番号の指定及び前回の
   判定処理を実行するようにしたことを特徴とするLSIテ
   ストシステム。