JPH0799362A - レーザ出力制御装置 - Google Patents
レーザ出力制御装置Info
- Publication number
- JPH0799362A JPH0799362A JP26040493A JP26040493A JPH0799362A JP H0799362 A JPH0799362 A JP H0799362A JP 26040493 A JP26040493 A JP 26040493A JP 26040493 A JP26040493 A JP 26040493A JP H0799362 A JPH0799362 A JP H0799362A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 37
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims abstract description 14
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims abstract description 14
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 4
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザ出力制御装置において、長時間にわた
りレーザ出力を一定に制御する。 【構成】 全反射鏡６からの検出ビーム７を受光する第
一検出センサー８からの出力信号と、部分反射鏡５から
の出力ビーム１５を受光する第二検出センサーからの出
力信号を比較することにより増幅器１７、１８の増幅率
を決定する。第一検出センサー８の出力信号とレーザ出
力指令信号１０を増幅器１７、１８で増幅し、比較器１
２で比較した後、その偏差信号を増幅器１４によって増
幅して電源２の出力電圧または出力電流を制御してレー
ザの出力を一定に制御する。
りレーザ出力を一定に制御する。 【構成】 全反射鏡６からの検出ビーム７を受光する第
一検出センサー８からの出力信号と、部分反射鏡５から
の出力ビーム１５を受光する第二検出センサーからの出
力信号を比較することにより増幅器１７、１８の増幅率
を決定する。第一検出センサー８の出力信号とレーザ出
力指令信号１０を増幅器１７、１８で増幅し、比較器１
２で比較した後、その偏差信号を増幅器１４によって増
幅して電源２の出力電圧または出力電流を制御してレー
ザの出力を一定に制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は主に板金加工用に使用さ
れているガスレーザ発振装置のレーザ出力制御装置に関
する。
れているガスレーザ発振装置のレーザ出力制御装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来技術について図２を用いて説明をす
る。図２はレーザ発振装置のレーザ出力制御装置を示す
概略構成図である。真空容器１をレーザ媒質ガスで満た
し、電源２によって電極３Ａ．３Ｂ間に高電圧を印加し
放電４を生成する。放電４によって励起したレーザ媒質
ガスはレーザビームを放出し、放出されたレーザビーム
を平行に設置した部分反射鏡５とわずかな透過率を持つ
全反射鏡６によって増幅し部分反射鏡５からレーザ発振
装置の外部へ出力する。一方わずかな透過率を持った全
反射鏡６から出力した数Ｗから数十Ｗ程度の微小な検出
ビーム７を第一検出センサー８に照射する。第一検出セ
ンサー８からの出力信号を増幅器９で所定の増幅率で増
幅し、その信号と増幅器１１で所定の増幅率で増幅した
レーザ出力指令信号１０とを比較器１２で比較する。そ
して、その偏差信号を増幅器１４によって増幅して、電
源２の出力電圧または出力電流を制御し、レーザビーム
１５の出力を一定に制御している。
る。図２はレーザ発振装置のレーザ出力制御装置を示す
概略構成図である。真空容器１をレーザ媒質ガスで満た
し、電源２によって電極３Ａ．３Ｂ間に高電圧を印加し
放電４を生成する。放電４によって励起したレーザ媒質
ガスはレーザビームを放出し、放出されたレーザビーム
を平行に設置した部分反射鏡５とわずかな透過率を持つ
全反射鏡６によって増幅し部分反射鏡５からレーザ発振
装置の外部へ出力する。一方わずかな透過率を持った全
反射鏡６から出力した数Ｗから数十Ｗ程度の微小な検出
ビーム７を第一検出センサー８に照射する。第一検出セ
ンサー８からの出力信号を増幅器９で所定の増幅率で増
幅し、その信号と増幅器１１で所定の増幅率で増幅した
レーザ出力指令信号１０とを比較器１２で比較する。そ
して、その偏差信号を増幅器１４によって増幅して、電
源２の出力電圧または出力電流を制御し、レーザビーム
１５の出力を一定に制御している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のレーザ
出力制御装置の増幅器９、１１の増幅率は、検出ビーム
７の出力をＰ１、レーザビーム１５の出力をＰ２とする
と、Ｐ２＝Ｋ・Ｐ１という、ある決まった比例関係にあ
ることを前提に求められたものである。従って、短時間
の出力変動を監視するには有効であるが、レーザ発振装
置を長時間使用して反射鏡５，６が劣化した場合など、
前記比例係数Ｋが変化してしまうために、設定したレー
ザビームの出力と実際のレーザビームの出力が違ってく
るという問題があった。本発明は上述した事情から成さ
れたものであり、本発明の目的は、長時間にわたりレー
ザ出力をほぼ一定に制御できるレーザ出力制御装置を提
供する事にある。
出力制御装置の増幅器９、１１の増幅率は、検出ビーム
７の出力をＰ１、レーザビーム１５の出力をＰ２とする
と、Ｐ２＝Ｋ・Ｐ１という、ある決まった比例関係にあ
ることを前提に求められたものである。従って、短時間
の出力変動を監視するには有効であるが、レーザ発振装
置を長時間使用して反射鏡５，６が劣化した場合など、
前記比例係数Ｋが変化してしまうために、設定したレー
ザビームの出力と実際のレーザビームの出力が違ってく
るという問題があった。本発明は上述した事情から成さ
れたものであり、本発明の目的は、長時間にわたりレー
ザ出力をほぼ一定に制御できるレーザ出力制御装置を提
供する事にある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は対向した部分反
射鏡とわずかな透過率を持つ全反射鏡の間でレーザビー
ムを増幅するようにしたレーザ発振装置のレーザ出力制
御装置に関するものであり、本発明の上記目的は、前記
全反射鏡を透過した微弱な検出ビームを検出するための
第一検出センサーと、前記部分反射鏡を透過したレーザ
ビームの光路上に出し入れ可能に設けた第二検出センサ
ーと、前記第一検出センサーからの出力信号及び前記第
二検出センサーからの出力信号を比較する制御装置と、
前記制御装置からの指令により前記第一検出センサーか
らの出力信号もしくは所定のレーザ出力指令信号のうち
少なくとも一方の増幅率を変化させることが可能な増幅
器とを具備することによって達成される。
射鏡とわずかな透過率を持つ全反射鏡の間でレーザビー
ムを増幅するようにしたレーザ発振装置のレーザ出力制
御装置に関するものであり、本発明の上記目的は、前記
全反射鏡を透過した微弱な検出ビームを検出するための
第一検出センサーと、前記部分反射鏡を透過したレーザ
ビームの光路上に出し入れ可能に設けた第二検出センサ
ーと、前記第一検出センサーからの出力信号及び前記第
二検出センサーからの出力信号を比較する制御装置と、
前記制御装置からの指令により前記第一検出センサーか
らの出力信号もしくは所定のレーザ出力指令信号のうち
少なくとも一方の増幅率を変化させることが可能な増幅
器とを具備することによって達成される。
【０００５】
【作用】本発明にあっては、出力したレーザビームの光
路上に直接レーザ出力を検出する第二検出センサーを出
し入れ可能に設け、第一検出センサーと第二検出センサ
ーからの出力信号を比較し、比例係数Ｋを求めることに
より、第一検出センサーの出力信号もしくはレーザ出力
指令信号を増幅する増幅器のうち少なくとも一方の増幅
率を変化させるようにしているので、レーザ出力を長期
間ほぼ一定に制御することができる。
路上に直接レーザ出力を検出する第二検出センサーを出
し入れ可能に設け、第一検出センサーと第二検出センサ
ーからの出力信号を比較し、比例係数Ｋを求めることに
より、第一検出センサーの出力信号もしくはレーザ出力
指令信号を増幅する増幅器のうち少なくとも一方の増幅
率を変化させるようにしているので、レーザ出力を長期
間ほぼ一定に制御することができる。
【０００６】
【実施例】図１は本発明のレーザ出力制御装置の実施例
を示す図であって、１６は出し入れ可能に設けられた第
二検出センサー、１７、１８は増幅率を可変可能な増幅
器、１３は第一検出センサー８の出力信号と第二検出セ
ンサー１６の出力信号を比較、演算する為の制御装置、
その他の符号は図２と同様である。続いて本実施例の作
用について図１を用いて説明する。第二検出センサー１
６の作動時、第一検出センサー８の出力信号Ｖ１と第二
検出センサー１６の出力信号Ｖ２を制御装置１３へ送
り，比例係数Ｋ＝（Ｖ２／Ｖ１）に変換し記憶した後、
増幅器１７，１８ごとに定められた係数Ｘを乗じて増幅
率Ｑ＝Ｘ×Ｋに変換し、増幅率指令信号として増幅器１
７，１８へ送る。第一検出センサー８からの出力信号Ｖ
１とレーザ出力指令信号１０を、それぞれ増幅器１７、
１８へ送り、増幅率Ｑで増幅した後、比較器１２で比較
する。そして、その偏差信号を増幅器１４によって増幅
して、電源２の出力電圧または出力電流を制御すること
で、レーザ出力を長期間ほぼ一定に制御する。本発明に
おけるレーザ出力制御装置は常時作動するものではない
が、短時間の出力変動は従来のレーザ出力制御装置と同
様の制御により対応しており、反射鏡５，６の劣化等に
よる長期間の出力変動は非常に緩やかに進行するので、
たとえば比例係数の変化量が規定値をオーバーした場合
等、断続的に作動してもレーザ出力をほぼ一定に制御す
ることが可能である。また、増幅器１７、１８のうち、
一方の増幅器の増幅率を固定したとしても、係数Ｘを適
当に選ぶことによって、上記実施例と同様の出力制御が
可能である
を示す図であって、１６は出し入れ可能に設けられた第
二検出センサー、１７、１８は増幅率を可変可能な増幅
器、１３は第一検出センサー８の出力信号と第二検出セ
ンサー１６の出力信号を比較、演算する為の制御装置、
その他の符号は図２と同様である。続いて本実施例の作
用について図１を用いて説明する。第二検出センサー１
６の作動時、第一検出センサー８の出力信号Ｖ１と第二
検出センサー１６の出力信号Ｖ２を制御装置１３へ送
り，比例係数Ｋ＝（Ｖ２／Ｖ１）に変換し記憶した後、
増幅器１７，１８ごとに定められた係数Ｘを乗じて増幅
率Ｑ＝Ｘ×Ｋに変換し、増幅率指令信号として増幅器１
７，１８へ送る。第一検出センサー８からの出力信号Ｖ
１とレーザ出力指令信号１０を、それぞれ増幅器１７、
１８へ送り、増幅率Ｑで増幅した後、比較器１２で比較
する。そして、その偏差信号を増幅器１４によって増幅
して、電源２の出力電圧または出力電流を制御すること
で、レーザ出力を長期間ほぼ一定に制御する。本発明に
おけるレーザ出力制御装置は常時作動するものではない
が、短時間の出力変動は従来のレーザ出力制御装置と同
様の制御により対応しており、反射鏡５，６の劣化等に
よる長期間の出力変動は非常に緩やかに進行するので、
たとえば比例係数の変化量が規定値をオーバーした場合
等、断続的に作動してもレーザ出力をほぼ一定に制御す
ることが可能である。また、増幅器１７、１８のうち、
一方の増幅器の増幅率を固定したとしても、係数Ｘを適
当に選ぶことによって、上記実施例と同様の出力制御が
可能である
【０００７】
【発明の効果】以上説明したように本発明のレーザ出力
制御装置によれば、第一検出センサーの出力信号増幅率
もしくはレーザ出力指令信号増幅率の少なくとも一方を
変化させるようにしているので、長期間にわたりレーザ
出力をほぼ一定に制御することができ、加工精度を向上
させることができる。
制御装置によれば、第一検出センサーの出力信号増幅率
もしくはレーザ出力指令信号増幅率の少なくとも一方を
変化させるようにしているので、長期間にわたりレーザ
出力をほぼ一定に制御することができ、加工精度を向上
させることができる。
【図１】本発明のレーザ出力制御装置の実施例を示す概
略構成図である。
略構成図である。
【図２】従来のレーザ出力制御装置を示す概略構成図で
ある。
ある。
【符号の説明】 １ 真空容器 ２ 電源 ３Ａ、３Ｂ 電極 ４ 放電 ５ 部分反射鏡 ６ 全反射鏡 ７ 検出ビーム ８ 第一検出センサー ９、１１、１４、１７、１８ 増幅器 １０ 出力指令信号 １２ 比較器 １３ 制御装置 １５ レーザビーム １６ 第二検出センサー
Claims (1)
- 【請求項１】 対向した部分反射鏡とわずかな透過率を
持つ全反射鏡の間でレーザビームを増幅するようにした
レーザ発振装置のレーザ出力制御装置において、前記全
反射鏡を透過した微弱な検出ビームを検出するための第
一検出センサーと、前記部分反射鏡を透過したレーザビ
ームの光路上に出し入れ可能に設けた第二検出センサー
と、前記第一検出センサーからの出力信号及び前記第二
検出センサーからの出力信号を比較する制御装置と、前
記制御装置からの指令により前記第一検出センサーから
の出力信号もしくは所定のレーザ出力指令信号のうち少
なくとも一方の増幅率を変化させる増幅器とを備えたこ
とを特徴とするレーザ出力制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26040493A JPH0799362A (ja) | 1993-09-27 | 1993-09-27 | レーザ出力制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26040493A JPH0799362A (ja) | 1993-09-27 | 1993-09-27 | レーザ出力制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0799362A true JPH0799362A (ja) | 1995-04-11 |
Family
ID=17347449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26040493A Pending JPH0799362A (ja) | 1993-09-27 | 1993-09-27 | レーザ出力制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0799362A (ja) |
-
1993
- 1993-09-27 JP JP26040493A patent/JPH0799362A/ja active Pending
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