JPH0799569B2 - 磁気記録媒体 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は高密度磁気記録に適する強磁性金属薄膜を磁気
記録層とする磁気記録媒体に関する。

従来の技術 近年、磁気記録の高密度化の進歩は著しく、強磁性金属
薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体の実用化が期待さ
れ各方面で開発が進められている〔例えば特公昭56−23
208号公報，特公昭41−19389号公報，特公昭58−91号公
報等参照〕。かかる磁気記録媒体の課題は、信号出力対
雑音（S/N）比の確保と耐久性の確保にあり、面内磁化
磁では、特開昭53−42010号公報に開示されるように、
斜め蒸着を微量の酸素を介在させて行う方法で高分子フ
ィルム上に直接又は下地層を介して磁気記録層となる強
磁性金属薄膜を形成して，保護膜，潤滑剤層を配したも
のが実用に近い水準であり，垂直磁化膜ではスパッタ法
で得られるCrを20wt％前後含むCo−Cr系合金膜の開発が
最も進んでいる〔特開昭61−77126乃至77128号公報等参
照〕。

第２図は従来の磁気記録媒体の一例を示すもので、１は
ポリエチレンテレフタレートフィルム等の高分子フィル
ム、２はカーボンやAl₂O₃等の微粒子を分散させて，樹
脂で固定した微粒子塗布層、３は円筒キャンに沿わせて
酸素を導入しながら、Co−Ni（例えばNi;20wt％含有）
合金を電子ビーム蒸着した斜め蒸着膜、４はステアリン
酸等の潤滑膜である。

かかる構成の磁気テープは，記録波長が0.75μｍに於い
て、Fe微粒子を中心にした合金強磁性微粒子を樹脂で固
定した，いわゆる合金粉末型テープに比べて出力で５
（dB）,S/Nで３（dB）程度の優位性があり、高密度記録
特性からみて、今後の磁気記録の改良に中心的役割を果
たすものと期待されており、現在、耐久性の向上に向け
て各方面で勢力的に検討が行われている。耐久性の向上
に有効とされるのは、酸化膜の利用であり、上記したよ
うな酸素中で蒸着するか，後にプラズマ酸化で表面酸化
を行うか，酸化物をスパッタリング形成する等が検討さ
れている。

発明が解決しようとする問題点 しかしながら、斜め蒸着した蒸着膜のプラズマ酸化や，
酸化膜のスパッタリング蒸着での保護効果は十分ではな
く，斜め蒸着時に介在させる酸素量の調節では耐久性が
改良されると，飽和磁束密度が低下し、電磁変換特性、
特にS/Nが低下するために改善が望まれていた。

本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、S/Nと耐
久性をバランスよく改良した磁気記録媒体を提供するも
のである。

問題点を解決するための手段 上記した問題点を解決するために本発明の磁気記録媒体
は、高分子フィルム上に強磁性合金を斜め蒸着した第１
磁性層上に、同一強磁性合金をスパッタ形成したスパッ
タ磁性層を配し、かつ前記スパッタ磁性層の表面が酸化
層を有するようにしたものである。

作用 本発明の磁気記録媒体は上記した構成により、斜め蒸着
した磁性層に含ませる酸素量を小さくしても耐久性が得
られるので、飽和磁束密度をあまり低下させずに構成で
きることになる。また、斜め蒸着層を構成する柱状微粒
子の表面でのスパッタ金属素子のモビリティーが大きい
ので、被覆度合が大きくなり、付着強度が大きくなり、
スパッタ磁性層自身が表面酸化層をもつため、耐久性も
良好となり、S/Nと耐久性が共に満足できるようになる
のである。

実 施 例 以下、図面を参照しながら本発明の実施例に係る磁気記
録媒体について詳しく説明する。

第１図は本発明の実施例に係る磁気記録媒体の拡大断面
図で、図中の５は厚み３μｍから15μｍのポリエチレン
テレフタレト，ポリエチレンナフタレート，ポリカーボ
ネート，ポリフェニレンサルファイド，ポリエーテルサ
ルフォン，ポリアミド，ポリアミドイミド，ポリイミド
等の高分子フィルム、６はミミズ状の隆起，粒状突起の
単独又は複合の表面形状を配した下塗り層、７はCo−N
i,Co−Fe,Co−Sm,Co−Ta,Co−Cr,Co−Mo,Co−Pr,Co−B,
Co−W,Co−Ti,Co−Si,Co−O,Co−Os,Co−Y,Co−La,Co−
Ni−O,Co−Cr−Nb等の斜め蒸着により得られる第１磁性
層、８はスパッタ磁性層で、第１磁性層７上には、第１
磁性層７と同じ合金元素のスパッタ膜９を配し、10はス
パッタ磁性層の酸化された酸化層を模式的に示したもの
である。

合金から酸化層への移行は、別の層として構成されるも
のではなく、構成を得る製造条件の調節で行われるもの
である。11は保護潤滑剤層で、脂肪酸，脂肪酸エステ
ル，弗素化合物等の単独又はアモルファスカーボン膜等
の保護膜との積層のいずれでもよいが、スペーシング損
失が短波長になる程大きくなるので、全体の保護潤滑剤
層の厚みは高々100Åまでで効果の持続するものがよ
い。

次に、本発明の実施例の一例と比較例について相互比較
した結果について説明する。

厚みが10μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム上
に、直径120ÅのAl₂O₃微粒子をポリエステル樹脂で（樹
脂厚みは50Å換算量になるように設定した）平均10ケ／
μm²固定した下塗り層を配し、その上に直径1mの円筒キ
ャンに沿わせて、最小入射角46度でCo−Ni（Ni20wt％）
を電子ビーム蒸着した。その時、酸素の導入量は0.1/
minで、膜厚は0.15μｍとした。その上にCo−Niをター
ゲットにして高周波スパッタリング法で0.05μm Co−Ni
膜を形成した。その際、ガス導入ノズルを２ケ所設け
て、一方は水素ガスを導入し、もう一方を酸素ガス導入
として用い、表面側に酸化層ができるようにした。この
上に、パーフロロベヘン酸を50Å真空蒸着し、８ミリ幅
の磁気テープとした。比較例は、直径1mの円筒キャンに
沿わせて最小入射角38度でCo−Ni（Ni20wt％）を電子ビ
ーム蒸着した。その際、酸素の導入量は0.38/minで膜
厚は0.19μｍとし、その上にパーフロロベヘン酸を50Å
蒸着した８ミリ幅の磁気テープである。

８ミリビデオテープレコーダでの輝度信号S/Nは、比較
例に対し実施例は2.8（dB）良好である。初期のPCMエラ
ー率は２×10^-6と３×10^-5で比較例は実施例に比べ10倍
強であり、55℃90％RHに２ケ月放置した後のPCMエラー
率は実施例が4.5×10^-6〜7.3×10^-6と変化はあるが比較
例が５×10^-5〜９×10^-5であり、両者の差はやはり10倍
近く保たれている。

発明の効果 以上のように本発明によれば、強磁性金属薄膜を磁気記
録とした磁気記録媒体のS/Nと耐久性の双方を改善する
ことができるといったすぐれた効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係る磁気記録媒体の拡大断面
図、第２図は従来の磁気記録媒体の拡大断面図である。 ５……高分子フィルム、７……第１磁性層、８……スパ
ッタ磁性層、10……酸化層。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】高分子フィルム上に強磁性合金を斜め蒸着
   した第１磁性層上に，同一強磁性合金をスパッタ形成し
   たスパッタ磁性層を配し、かつ、前記スパッタ磁性層の
   表面が酸化層を有することを特徴とする磁気記録媒体。