JPH0799571B2 - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPH0799571B2 JPH0799571B2 JP29107486A JP29107486A JPH0799571B2 JP H0799571 B2 JPH0799571 B2 JP H0799571B2 JP 29107486 A JP29107486 A JP 29107486A JP 29107486 A JP29107486 A JP 29107486A JP H0799571 B2 JPH0799571 B2 JP H0799571B2
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、高密度磁気記録に適する強磁性金属薄膜を磁
気記録層とする磁気記録媒体に関する。
気記録層とする磁気記録媒体に関する。
従来の技術 近年、磁気記録の高密度化への要求は、より記録波長を
短縮化する方向にあり、塗布型の磁気記録層に代って真
空蒸着，スパッタリング等の薄膜化技術により、Co−N
i,Co−Cr,Co−Ni−Ｏ等の強磁性金属薄膜を高分子フィ
ルム上に直接又は下地層を介して形成してなるいわゆる
金属薄膜型の磁気記録媒体の実用化が強く望まれてきて
いる〔例えば外国論文誌アイイーイーイー トランザク
ション オン マグネティクス（IEEE TRANSACTIONS
ON MAGNETICS）vol.MAG−21,NO−3,P.P.1217〜1220（1
985）参照〕。
短縮化する方向にあり、塗布型の磁気記録層に代って真
空蒸着，スパッタリング等の薄膜化技術により、Co−N
i,Co−Cr,Co−Ni−Ｏ等の強磁性金属薄膜を高分子フィ
ルム上に直接又は下地層を介して形成してなるいわゆる
金属薄膜型の磁気記録媒体の実用化が強く望まれてきて
いる〔例えば外国論文誌アイイーイーイー トランザク
ション オン マグネティクス（IEEE TRANSACTIONS
ON MAGNETICS）vol.MAG−21,NO−3,P.P.1217〜1220（1
985）参照〕。
強磁性金属薄膜を実用化する上で重要な物性は、磁気特
性，機械強度，耐食性等で、これまで数多くの，磁気記
録層自身，磁気記録層の製造方法等についての提案がな
されてきている。第２図はこれまで提案された磁気記録
媒体の代表例の拡大断面図で、第２図で１は、ポリエチ
レンテレフタレート，ポリイミド等の高分子フィルム
で、必要に応じて、表面に各種の凹凸形状を形成するた
め下塗り層を配したものもある。２は、米国特許第3342
632号及び第3342633号明細書等に述べられている斜め蒸
着法により形成されたCo,Fe,Co−Ni等をはじめとして、
スパッタリング法で形成されたCo−Cr等の強磁性金属薄
膜からなる磁気記録層で３は保護層で、脂肪酸，パーフ
ロロカルボン酸や、フロラズマ重合膜，非晶質炭素膜,M
oS2膜等から構成されている。
性，機械強度，耐食性等で、これまで数多くの，磁気記
録層自身，磁気記録層の製造方法等についての提案がな
されてきている。第２図はこれまで提案された磁気記録
媒体の代表例の拡大断面図で、第２図で１は、ポリエチ
レンテレフタレート，ポリイミド等の高分子フィルム
で、必要に応じて、表面に各種の凹凸形状を形成するた
め下塗り層を配したものもある。２は、米国特許第3342
632号及び第3342633号明細書等に述べられている斜め蒸
着法により形成されたCo,Fe,Co−Ni等をはじめとして、
スパッタリング法で形成されたCo−Cr等の強磁性金属薄
膜からなる磁気記録層で３は保護層で、脂肪酸，パーフ
ロロカルボン酸や、フロラズマ重合膜，非晶質炭素膜,M
oS2膜等から構成されている。
〔特開昭61−77128号，同61−142523号、同61−139919
号等の公報、ジャーナル オブ アプライド フィジッ
クス（Journal of Applied Physics）vol.50,4285（197
9）、特開昭61−142525号、61−151835号等の公報等参
照〕 磁気記録層の改良は、磁気記録層自身の耐久性を向上す
るため、酸化層を利用することや（特公昭56−23208号
公報参照）窒化物を利用する〔ジャーナル オブ アプ
ライド フィジックス（Journal of Applied Physics）
vol53,6941（1982）参照〕か，磁気記録層は金属で構成
し〔特開昭61−77128号，同61−224127号，特公昭58−9
1号等の公報参照〕保護層で、金属薄膜に傷が入らない
ようにする方法が中心に検討さ８￥められている。
号等の公報、ジャーナル オブ アプライド フィジッ
クス（Journal of Applied Physics）vol.50,4285（197
9）、特開昭61−142525号、61−151835号等の公報等参
照〕 磁気記録層の改良は、磁気記録層自身の耐久性を向上す
るため、酸化層を利用することや（特公昭56−23208号
公報参照）窒化物を利用する〔ジャーナル オブ アプ
ライド フィジックス（Journal of Applied Physics）
vol53,6941（1982）参照〕か，磁気記録層は金属で構成
し〔特開昭61−77128号，同61−224127号，特公昭58−9
1号等の公報参照〕保護層で、金属薄膜に傷が入らない
ようにする方法が中心に検討さ８￥められている。
発明が解決しようとする問題点 しかしながら上記した構成の範囲では、記録波長が0.8
μｍを下まわるようになると、保護膜に頼ると、スペー
シング損失で信号対雑音比（S/N）が低下する問題があ
った。又雑音や耐食性を改良するため、同種又は異種の
材料の積層構成〔特開昭57−133519,59−119534,59−11
9531,59−116933号公報等参照〕による改良も上記した
波長域では改善効果が不十分で、一層の改善が望まれて
いた。本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、耐
久性とS/Nの両者を共に満足できる磁気記録媒体を提供
するものである。
μｍを下まわるようになると、保護膜に頼ると、スペー
シング損失で信号対雑音比（S/N）が低下する問題があ
った。又雑音や耐食性を改良するため、同種又は異種の
材料の積層構成〔特開昭57−133519,59−119534,59−11
9531,59−116933号公報等参照〕による改良も上記した
波長域では改善効果が不十分で、一層の改善が望まれて
いた。本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、耐
久性とS/Nの両者を共に満足できる磁気記録媒体を提供
するものである。
問題点を解決するための手段 本発明の磁気記録媒体は上記した問題点を解決するた
め、回転支持体に沿って形成された斜め蒸着膜が柱状微
粒子群から成り、該柱状微粒子群が厚み方向に磁気的に
分割されるようにしたものである。
め、回転支持体に沿って形成された斜め蒸着膜が柱状微
粒子群から成り、該柱状微粒子群が厚み方向に磁気的に
分割されるようにしたものである。
作用 本発明の磁気記録媒体は上記した構成により、柱状微粒
子が従来の積層構成のように厚み方向に分割されないた
め、機械強度が低下しないため耐久性の低下を防ぐこと
ができる、一方では厚み方向に磁気的に分割されるた
め、雑音低下と感度向上がはかれるためS/Nとして改善
されるのである。
子が従来の積層構成のように厚み方向に分割されないた
め、機械強度が低下しないため耐久性の低下を防ぐこと
ができる、一方では厚み方向に磁気的に分割されるた
め、雑音低下と感度向上がはかれるためS/Nとして改善
されるのである。
実 施 例 以下、図面に沿って本発明の実施例について詳しく説明
する。第１図は本発明の磁気記録媒体の要部拡大断面図
である。第１図で４は、ポリエチレンテレフタレート，
ポリエチレンナフタレート，ポリフェニレンサルファイ
ド，ポリイミド，ポリアミドイミド，ポリエーテルサル
フオン，ポリカーボネート等の高分子フィルムか形状付
与のための水溶性高分子，微粒子を含む樹脂等の下塗り
層を配した高分子フィルムで、５は強磁性金属薄膜構成
柱状微粒子で６は非磁性分離層で５を強磁性部I,7と強
磁性部II,8とに磁気的に分離するための層である。
する。第１図は本発明の磁気記録媒体の要部拡大断面図
である。第１図で４は、ポリエチレンテレフタレート，
ポリエチレンナフタレート，ポリフェニレンサルファイ
ド，ポリイミド，ポリアミドイミド，ポリエーテルサル
フオン，ポリカーボネート等の高分子フィルムか形状付
与のための水溶性高分子，微粒子を含む樹脂等の下塗り
層を配した高分子フィルムで、５は強磁性金属薄膜構成
柱状微粒子で６は非磁性分離層で５を強磁性部I,7と強
磁性部II,8とに磁気的に分離するための層である。
柱状微粒子は、円筒キャン，エンドレスベルト等の回転
支持体に沿って高分子フィルムを移動しながら斜め蒸着
することにより得られるもので、磁気分離のための非磁
性分離層形成は、斜め蒸着の開始から終了までの間に、
１回又は必要回数、集束したイオンビームを照射するの
が適当である。装置としては、従来の蒸着装置にイオン
照射機構を設ける必要があるが、２層以上の構成にする
従来法の多層化による磁気分離手法に比して、生産性に
も優れるものといえる。
支持体に沿って高分子フィルムを移動しながら斜め蒸着
することにより得られるもので、磁気分離のための非磁
性分離層形成は、斜め蒸着の開始から終了までの間に、
１回又は必要回数、集束したイオンビームを照射するの
が適当である。装置としては、従来の蒸着装置にイオン
照射機構を設ける必要があるが、２層以上の構成にする
従来法の多層化による磁気分離手法に比して、生産性に
も優れるものといえる。
本発明に用いることのできる材料は、Co,Co−Ni,Co−O,
Co−Os,Co−Ti,Co−Cr,Co−Mo,Co−Nb,Co−Ni−O,Co−
Ｂ−O,Co−Mg−O,Co−Cr−Nb,Co−Ni−Ｐ等で、非磁性
分離層形成は、酸素イオンが優れているが他に、耐食性
面，イオンの形成が効率よく出来る元素を選んでもよい
のは勿論である。
Co−Os,Co−Ti,Co−Cr,Co−Mo,Co−Nb,Co−Ni−O,Co−
Ｂ−O,Co−Mg−O,Co−Cr−Nb,Co−Ni−Ｐ等で、非磁性
分離層形成は、酸素イオンが優れているが他に、耐食性
面，イオンの形成が効率よく出来る元素を選んでもよい
のは勿論である。
更に具体的な比較例と実施例での測定データから本発明
の意義についてみてみることにする。
の意義についてみてみることにする。
厚み10μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム上に
平均100Åのカーボン微粒子を30ケ／（μｍ）２配した
ものを直径1mの円筒キャン（キャン温度30℃）に沿わせ
て、75m/minで巻取りながら、入射角90度から30度まで
の斜め入射で蒸着を行った。蒸着時に酸素を６×10
-5（Torr）になるよう導入し、膜厚は0.15μｍ一定とし
た。蒸着はCo−Ni（Ni,20wt％）の電子ビーム蒸着で、
テープＡは、酸素イオンを入射角が49度の位置に120μA
/cm2,1.2KeVで照射したもので、非磁性分離層は約40Å
である。テープＢは、入射角60度と、44度の位置に夫々
1.2KeVで60μA/cm2,130μA/cm2の酸素イオンを照射した
もので、非磁性分離層は夫々60Å,35Åである。テープ
C,Dは酸素イオンをCrイオンに変えて、電流密度を0.6倍
にして実施したもので、テープＥは照射を全く行わなか
ったもので、テープＡ〜Ｅは８ミリ幅で表面にはいずれ
も約60Åのパーフロロプロピオン酸を真空蒸着した。テ
ープＡ〜Ｅを８ミリ仕様での輝度S/Nで相対比較した。
耐食性にからむ耐久性の評価は、60℃90％RHに22日間放
置後８ミリ仕様のPCMエラー率の変化で比較した。
平均100Åのカーボン微粒子を30ケ／（μｍ）２配した
ものを直径1mの円筒キャン（キャン温度30℃）に沿わせ
て、75m/minで巻取りながら、入射角90度から30度まで
の斜め入射で蒸着を行った。蒸着時に酸素を６×10
-5（Torr）になるよう導入し、膜厚は0.15μｍ一定とし
た。蒸着はCo−Ni（Ni,20wt％）の電子ビーム蒸着で、
テープＡは、酸素イオンを入射角が49度の位置に120μA
/cm2,1.2KeVで照射したもので、非磁性分離層は約40Å
である。テープＢは、入射角60度と、44度の位置に夫々
1.2KeVで60μA/cm2,130μA/cm2の酸素イオンを照射した
もので、非磁性分離層は夫々60Å,35Åである。テープ
C,Dは酸素イオンをCrイオンに変えて、電流密度を0.6倍
にして実施したもので、テープＥは照射を全く行わなか
ったもので、テープＡ〜Ｅは８ミリ幅で表面にはいずれ
も約60Åのパーフロロプロピオン酸を真空蒸着した。テ
ープＡ〜Ｅを８ミリ仕様での輝度S/Nで相対比較した。
耐食性にからむ耐久性の評価は、60℃90％RHに22日間放
置後８ミリ仕様のPCMエラー率の変化で比較した。
輝度S/NはテープＥをＯ（dB）とすると初期値は、テー
プA,B,C,Dは夫々，＋2.9（dB），＋3.4（dB），＋3.1
（dB），＋4.0（dB）で、40℃85％RHで夫々165回くり返
し記録したテープを再生した時の165回目の再生S/Nはテ
ープA,B,C,D,Eは夫々＋2.7（dB），＋3.3（dB），＋3.0
（dB），＋4.1（dB），−2.4（dB）であった。
プA,B,C,Dは夫々，＋2.9（dB），＋3.4（dB），＋3.1
（dB），＋4.0（dB）で、40℃85％RHで夫々165回くり返
し記録したテープを再生した時の165回目の再生S/Nはテ
ープA,B,C,D,Eは夫々＋2.7（dB），＋3.3（dB），＋3.0
（dB），＋4.1（dB），−2.4（dB）であった。
PCMエラー率は、初期値はテープA,B,C,D,Eが夫々２×10
-5,1×10-5,3×10-5,1.1×10-5,5×10-5で、60℃90％放
置後は、夫々,3×10-5,2×10-5,3.5×10-5,1.4×10-5,3
×10-4でいずれも実施例の優れた特性が確かめられる。
-5,1×10-5,3×10-5,1.1×10-5,5×10-5で、60℃90％放
置後は、夫々,3×10-5,2×10-5,3.5×10-5,1.4×10-5,3
×10-4でいずれも実施例の優れた特性が確かめられる。
発明の効果 以上のように本発明によれば、耐久性とS/Nの両者共満
足せしめた磁気記録媒体が得られるといったすぐれた効
果がある。
足せしめた磁気記録媒体が得られるといったすぐれた効
果がある。
第１図は本発明の実施例に係る磁気記録媒体の要部拡大
断面図、第２図は従来の磁気記録媒体の拡大断面図であ
る。 ４……高分子フィルム、５……強磁性金属薄膜構成柱状
微粒子、６……非磁性分離層。
断面図、第２図は従来の磁気記録媒体の拡大断面図であ
る。 ４……高分子フィルム、５……強磁性金属薄膜構成柱状
微粒子、６……非磁性分離層。
Claims (1)
- 【請求項１】回転支持体に沿って形成された斜め蒸着膜
が柱状微粒子群から成り、該柱状微粒子が、厚み方向に
磁気的に分割されていることを特徴とする磁気記録媒
体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29107486A JPH0799571B2 (ja) | 1986-12-05 | 1986-12-05 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29107486A JPH0799571B2 (ja) | 1986-12-05 | 1986-12-05 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63144412A JPS63144412A (ja) | 1988-06-16 |
| JPH0799571B2 true JPH0799571B2 (ja) | 1995-10-25 |
Family
ID=17764092
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29107486A Expired - Lifetime JPH0799571B2 (ja) | 1986-12-05 | 1986-12-05 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0799571B2 (ja) |
-
1986
- 1986-12-05 JP JP29107486A patent/JPH0799571B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63144412A (ja) | 1988-06-16 |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |