JPH08100801A - 電空ポジショナ - Google Patents
電空ポジショナInfo
- Publication number
- JPH08100801A JPH08100801A JP23678894A JP23678894A JPH08100801A JP H08100801 A JPH08100801 A JP H08100801A JP 23678894 A JP23678894 A JP 23678894A JP 23678894 A JP23678894 A JP 23678894A JP H08100801 A JPH08100801 A JP H08100801A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- coil spring
- flapper
- control valve
- feedback loop
- Prior art date
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- Pending
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- Supply Devices, Intensifiers, Converters, And Telemotors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】安価で簡単な構成で、特性の異なるコントロー
ルバルブの弁位置制御を高い安定性および応答性で行え
る電空ポジショナを実現することにある。 【構成】入力電流に従ってフラッパーを変位させるトル
クモータと、このフラッパーに対向配置されたノズル
と、このノズルに絞りを介して空気圧を供給する空気源
と、前記ノズルの背圧を増幅してその出力空気圧により
コントロールバルブを駆動するパイロットリレーと、こ
のパイロットリレーの弁の変位をコイルバネを介してフ
ラッパーに帰還するマイナーフィードバックループと、
コントロールバルブの弁の変位をフラッパーに帰還する
フィードバックループとを有し、コントロールバルブの
弁の変位を入力電流に対応して制御するように構成され
た電空ポジショナにおいて、前記マイナーフィードバッ
クループのコイルバネの一端に螺合してバネ定数を連続
的に調整する調整機構を設けたことを特徴とするもの。
ルバルブの弁位置制御を高い安定性および応答性で行え
る電空ポジショナを実現することにある。 【構成】入力電流に従ってフラッパーを変位させるトル
クモータと、このフラッパーに対向配置されたノズル
と、このノズルに絞りを介して空気圧を供給する空気源
と、前記ノズルの背圧を増幅してその出力空気圧により
コントロールバルブを駆動するパイロットリレーと、こ
のパイロットリレーの弁の変位をコイルバネを介してフ
ラッパーに帰還するマイナーフィードバックループと、
コントロールバルブの弁の変位をフラッパーに帰還する
フィードバックループとを有し、コントロールバルブの
弁の変位を入力電流に対応して制御するように構成され
た電空ポジショナにおいて、前記マイナーフィードバッ
クループのコイルバネの一端に螺合してバネ定数を連続
的に調整する調整機構を設けたことを特徴とするもの。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コントロールバルブの
弁位置制御に用いられる電空ポジショナの改善に関し、
詳しくは、コントロールバルブの特性に応じた任意の応
答特性が高い安定性で得られるようにしたものである。
弁位置制御に用いられる電空ポジショナの改善に関し、
詳しくは、コントロールバルブの特性に応じた任意の応
答特性が高い安定性で得られるようにしたものである。
【０００２】
【従来の技術】コントロールバルブは入力される電流信
号に応じて弁の位置を決めるように構成されていて、補
助動力として例えば空気圧が用いられている。具体的に
は空気圧をダイアフラムの上部に加え、その力とダイア
フラムの下部に設けられているスプリングの力とを釣り
合わせて弁の位置を決める。ここで、ダイアフラムに加
える空気圧は調節器から出力される電流信号によって制
御されるが、一般には電空ポジショナを用いて電流信号
とコントロールバルブの弁位置とを比例させている。
号に応じて弁の位置を決めるように構成されていて、補
助動力として例えば空気圧が用いられている。具体的に
は空気圧をダイアフラムの上部に加え、その力とダイア
フラムの下部に設けられているスプリングの力とを釣り
合わせて弁の位置を決める。ここで、ダイアフラムに加
える空気圧は調節器から出力される電流信号によって制
御されるが、一般には電空ポジショナを用いて電流信号
とコントロールバルブの弁位置とを比例させている。
【０００３】図３はこのような従来の電空ポジショナの
一例を示す構成説明図である。図において、１は電流信
号を電磁力に変換するトルクモータであり、図示しない
調節器などから加えられる入力電流Ｉによりコイルを励
磁し、可動片１１を駆動するように構成されている。な
お、可動片１１は支点１２により回動可能に支持されて
いる。
一例を示す構成説明図である。図において、１は電流信
号を電磁力に変換するトルクモータであり、図示しない
調節器などから加えられる入力電流Ｉによりコイルを励
磁し、可動片１１を駆動するように構成されている。な
お、可動片１１は支点１２により回動可能に支持されて
いる。
【０００４】２はノズルであり、可動片１１の一端と対
向するように配置されていて、可動片１１との間でノズ
ルフラッパー機構を構成している。３はノンブリード形
のパイロットリレーであり、排気弁３１はケース３２に
ダイヤフラム３３，３４を介して固定されている。３５
はポペット弁で、一端はコイルバネ３６を介してケース
３２に固定されている。３７は固定絞りであり、この固
定絞り３７を介してケース３２とダイヤフラム３３の間
に供給空気圧信号Ｐ Sが加えられている。また、供給空
気圧信号ＰSは、固定絞り３７を介することなくダイヤ
フラム３３と３４の間およびポペット弁３５の吸気弁側
にもそれぞれ加えられている。このように構成されるパ
イロットリレー３は、ノズル２の背圧Ｐ bを出力圧ＰOと
して増幅するように機能する。
向するように配置されていて、可動片１１との間でノズ
ルフラッパー機構を構成している。３はノンブリード形
のパイロットリレーであり、排気弁３１はケース３２に
ダイヤフラム３３，３４を介して固定されている。３５
はポペット弁で、一端はコイルバネ３６を介してケース
３２に固定されている。３７は固定絞りであり、この固
定絞り３７を介してケース３２とダイヤフラム３３の間
に供給空気圧信号Ｐ Sが加えられている。また、供給空
気圧信号ＰSは、固定絞り３７を介することなくダイヤ
フラム３３と３４の間およびポペット弁３５の吸気弁側
にもそれぞれ加えられている。このように構成されるパ
イロットリレー３は、ノズル２の背圧Ｐ bを出力圧ＰOと
して増幅するように機能する。
【０００５】４はコントロールバルブであり、動力とし
てパイロットリレー３の出力圧ＰOが入力されている。
５はコントロールバルブ４のステム４１の変位信号を可
動片１１に帰還する帰還機構である。この帰還機構５
は、回転軸５１とＬ字形に形成されたレバー５２とコイ
ルバネ５３とで構成されている。レバー５２の一端には
切り溝５４が設けられていてこの切り溝５４にはコント
ロールバルブ４のステム４１に取り付けられているピン
４２が嵌合結合され、角部は回転軸５１に回転可能に取
り付けられ、他端はコイルバネ５３を介して可動片１１
に連結されている。
てパイロットリレー３の出力圧ＰOが入力されている。
５はコントロールバルブ４のステム４１の変位信号を可
動片１１に帰還する帰還機構である。この帰還機構５
は、回転軸５１とＬ字形に形成されたレバー５２とコイ
ルバネ５３とで構成されている。レバー５２の一端には
切り溝５４が設けられていてこの切り溝５４にはコント
ロールバルブ４のステム４１に取り付けられているピン
４２が嵌合結合され、角部は回転軸５１に回転可能に取
り付けられ、他端はコイルバネ５３を介して可動片１１
に連結されている。
【０００６】６はレバーであり、一端はパイロットリレ
ー３の排気弁３１に取り付けられ、他端はコイルバネ７
を介して可動片１１に連結されている。８は零点調整機
構であり、回転ノブ８１とコイルバネ８２と移動体８３
で構成されている。コイルバネ８２の一端は可動片１１
に連結され、他端は回転ノブ８１の回転に応じて移動す
る移動体８３に取り付けられている。これにより、コイ
ルバネ８２は、回転ノブ８１の回転方向に応じて伸縮す
ることになる。
ー３の排気弁３１に取り付けられ、他端はコイルバネ７
を介して可動片１１に連結されている。８は零点調整機
構であり、回転ノブ８１とコイルバネ８２と移動体８３
で構成されている。コイルバネ８２の一端は可動片１１
に連結され、他端は回転ノブ８１の回転に応じて移動す
る移動体８３に取り付けられている。これにより、コイ
ルバネ８２は、回転ノブ８１の回転方向に応じて伸縮す
ることになる。
【０００７】このような構成の動作を説明する。トルク
モータ１に電流Ｉが入力されて可動片１１がノズル２を
閉じるＸ方向に変位したとすると、ノズル２の背圧Ｐb
は上昇して排気弁３１を左方向に移動させ、排気弁３１
の左端とポペット弁３５が当接した状態でポペット弁３
５を左方向に移動させる。この移動によって吸気弁の開
度が変化し、空気の出力圧ＰOを増加させる。空気の出
力圧ＰOが増加することにより、コントロールバルブ４
のステム４１はＷ方向に変位する。ステム４１のＷ方向
の変位はレバー５２およびコイルバネ５３を介して可動
片１１に帰還され、可動片１１を引っ張っていた力を減
少させる。この力の減少は、可動片１１とノズル２の間
隙を開く方向に作用する。このような一連の動作が繰り
返されることにより電流Ｉとステム４１の位置は平衡
し、ステム４１は電流Ｉの値に応じた位置で停止するこ
とになる。
モータ１に電流Ｉが入力されて可動片１１がノズル２を
閉じるＸ方向に変位したとすると、ノズル２の背圧Ｐb
は上昇して排気弁３１を左方向に移動させ、排気弁３１
の左端とポペット弁３５が当接した状態でポペット弁３
５を左方向に移動させる。この移動によって吸気弁の開
度が変化し、空気の出力圧ＰOを増加させる。空気の出
力圧ＰOが増加することにより、コントロールバルブ４
のステム４１はＷ方向に変位する。ステム４１のＷ方向
の変位はレバー５２およびコイルバネ５３を介して可動
片１１に帰還され、可動片１１を引っ張っていた力を減
少させる。この力の減少は、可動片１１とノズル２の間
隙を開く方向に作用する。このような一連の動作が繰り
返されることにより電流Ｉとステム４１の位置は平衡
し、ステム４１は電流Ｉの値に応じた位置で停止するこ
とになる。
【０００８】一方、パイロットリレー３に入力されるノ
ズル背圧Ｐbが増加すると排気弁３１は左方向に移動
し、レバー６およびコイルバネ７を介して可動片１１を
ノズル背圧Ｐbを下げる方向に変位させる。このような
動作が繰り返されることにより電流Ｉに対応して排気弁
３１の位置も平衡する。すなわち、図４に示すようにマ
イナーフィードバックループが形成されることになる。
ズル背圧Ｐbが増加すると排気弁３１は左方向に移動
し、レバー６およびコイルバネ７を介して可動片１１を
ノズル背圧Ｐbを下げる方向に変位させる。このような
動作が繰り返されることにより電流Ｉに対応して排気弁
３１の位置も平衡する。すなわち、図４に示すようにマ
イナーフィードバックループが形成されることになる。
【０００９】このマイナーフィードバックループは、次
のような目的で設けられている。一般にコントロールバ
ルブ４の時定数はポジショナを構成する他の要素に比べ
て大きく、ステム４１の変位に応じた帰還信号も大きな
遅れを持つことになる。そこで、その前の構成要素であ
る遅れの少ないパイロットリレー３の排気弁３１の変位
信号を負帰還する。これにより、制御ループ全体の安定
性および応答特性を改善することができる。
のような目的で設けられている。一般にコントロールバ
ルブ４の時定数はポジショナを構成する他の要素に比べ
て大きく、ステム４１の変位に応じた帰還信号も大きな
遅れを持つことになる。そこで、その前の構成要素であ
る遅れの少ないパイロットリレー３の排気弁３１の変位
信号を負帰還する。これにより、制御ループ全体の安定
性および応答特性を改善することができる。
【００１０】ところで、電空ポジショナを用いて制御さ
れるコントロールバルブには多くのサイズや種類があ
り、それぞれの駆動部の容量やグランドパッキング部の
摩擦力も大きく異なって特性は一定ではない。これらバ
ルブの制御の安定性および応答特性を改善するために
は、前述のようにマイナーフィードバックループのゲイ
ンをバルブに合わせて個々に調整する必要がある。
れるコントロールバルブには多くのサイズや種類があ
り、それぞれの駆動部の容量やグランドパッキング部の
摩擦力も大きく異なって特性は一定ではない。これらバ
ルブの制御の安定性および応答特性を改善するために
は、前述のようにマイナーフィードバックループのゲイ
ンをバルブに合わせて個々に調整する必要がある。
【００１１】マイナーフィードバックループのゲイン調
整にあたっては、例えばバネ定数の異なる多数のコイル
バネを用意しておき、バルブの特性に適合したバネ定数
のコイルバネを選択することが考えられる。
整にあたっては、例えばバネ定数の異なる多数のコイル
バネを用意しておき、バルブの特性に適合したバネ定数
のコイルバネを選択することが考えられる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかし、用意できるコ
イルバネの種類には限界があり、しかもバネ定数はステ
ップ的にしか変えられないのでゲインを連続的に変える
ことはできず、それぞれのバルブに対して最適な調整が
行えないという問題がある。また、結果的には使用され
ることのないバネ定数の異なる多数のコイルバネを用意
することはコスト高の要因になり、好ましくない。
イルバネの種類には限界があり、しかもバネ定数はステ
ップ的にしか変えられないのでゲインを連続的に変える
ことはできず、それぞれのバルブに対して最適な調整が
行えないという問題がある。また、結果的には使用され
ることのないバネ定数の異なる多数のコイルバネを用意
することはコスト高の要因になり、好ましくない。
【００１３】また、バルブ毎に特性に適合したコイルバ
ネを選択して取り付けたり交換するためには相当の作業
工数がかかるという問題もある。本発明は、このような
従来の問題点を解決するものであって、その目的は、安
価で簡単な構成で、特性の異なるコントロールバルブの
弁位置制御を高い安定性および応答性で行える電空ポジ
ショナを実現することにある。
ネを選択して取り付けたり交換するためには相当の作業
工数がかかるという問題もある。本発明は、このような
従来の問題点を解決するものであって、その目的は、安
価で簡単な構成で、特性の異なるコントロールバルブの
弁位置制御を高い安定性および応答性で行える電空ポジ
ショナを実現することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明の電空ポジショナ
は、入力電流に従ってフラッパーを変位させるトルクモ
ータと、このフラッパーに対向配置されたノズルと、こ
のノズルに絞りを介して空気圧を供給する空気源と、前
記ノズルの背圧を増幅してその出力空気圧によりコント
ロールバルブを駆動するパイロットリレーと、このパイ
ロットリレーの弁の変位をコイルバネを介してフラッパ
ーに帰還するマイナーフィードバックループと、コント
ロールバルブの弁の変位をフラッパーに帰還するフィー
ドバックループとを有し、コントロールバルブの弁の変
位を入力電流に対応して制御するように構成された電空
ポジショナにおいて、前記マイナーフィードバックルー
プのコイルバネの一端に螺合してバネ定数を連続的に調
整する調整機構を設けたことを特徴とする。
は、入力電流に従ってフラッパーを変位させるトルクモ
ータと、このフラッパーに対向配置されたノズルと、こ
のノズルに絞りを介して空気圧を供給する空気源と、前
記ノズルの背圧を増幅してその出力空気圧によりコント
ロールバルブを駆動するパイロットリレーと、このパイ
ロットリレーの弁の変位をコイルバネを介してフラッパ
ーに帰還するマイナーフィードバックループと、コント
ロールバルブの弁の変位をフラッパーに帰還するフィー
ドバックループとを有し、コントロールバルブの弁の変
位を入力電流に対応して制御するように構成された電空
ポジショナにおいて、前記マイナーフィードバックルー
プのコイルバネの一端に螺合してバネ定数を連続的に調
整する調整機構を設けたことを特徴とする。
【００１５】
【作用】マイナーフィードバックループを形成するコイ
ルバネのバネ定数は、一端に螺合する調整機構の螺合長
さに応じて連続的に変化する。これにより、バネ定数の
調整可能範囲内においてマイナーフィードバックループ
のゲインを連続的に変化させることができ、特性の異な
るコントロールバルブの弁位置制御を高い安定性と応答
性で行える。
ルバネのバネ定数は、一端に螺合する調整機構の螺合長
さに応じて連続的に変化する。これにより、バネ定数の
調整可能範囲内においてマイナーフィードバックループ
のゲインを連続的に変化させることができ、特性の異な
るコントロールバルブの弁位置制御を高い安定性と応答
性で行える。
【００１６】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。図１は本発明の一実施例の要部を示す構成説明図で
あり、図３と共通する部分には同一符号を付けている。
図において、９はマイナーフィードバックループを形成
するコイルバネ７のバネ定数の調整機構として機能する
調整ネジである。このネジ９は、レバー６のネジ穴６１
に螺合されるとともに、その端部はコイルバネ７の一端
に螺合されている。コイルバネ７の他端は可動片１１に
設けられている凸部に嵌合されていている。すなわち、
レバー６と可動片１１は、コイルバネ７および調整ネジ
９を介して連結されている。
る。図１は本発明の一実施例の要部を示す構成説明図で
あり、図３と共通する部分には同一符号を付けている。
図において、９はマイナーフィードバックループを形成
するコイルバネ７のバネ定数の調整機構として機能する
調整ネジである。このネジ９は、レバー６のネジ穴６１
に螺合されるとともに、その端部はコイルバネ７の一端
に螺合されている。コイルバネ７の他端は可動片１１に
設けられている凸部に嵌合されていている。すなわち、
レバー６と可動片１１は、コイルバネ７および調整ネジ
９を介して連結されている。
【００１７】このような構成において、調整ネジ９を時
計方向に回転させることにより調整ネジ９の端部はコイ
ルバネ７の端部の内径部に螺入することになり、コイル
バネ７の伸縮可能な長さＬ（以下、有効長さという）が
短くなる。ここで、バネ定数Ｋは、次式で表される。 Ｋ＝Ｇ・ｄ4／８Ｎa・Ｄ3 ただし、Ｇ：コイルバネ材料の横弾性係数 ｄ：コイルバネの線径 Ｎa：有効巻数 Ｄ：コイルコイルバネの平均径［（外径＋内径）／２］ また、コイルバネ７のピッチをＰとすると、次の関係が
成り立つ。
計方向に回転させることにより調整ネジ９の端部はコイ
ルバネ７の端部の内径部に螺入することになり、コイル
バネ７の伸縮可能な長さＬ（以下、有効長さという）が
短くなる。ここで、バネ定数Ｋは、次式で表される。 Ｋ＝Ｇ・ｄ4／８Ｎa・Ｄ3 ただし、Ｇ：コイルバネ材料の横弾性係数 ｄ：コイルバネの線径 Ｎa：有効巻数 Ｄ：コイルコイルバネの平均径［（外径＋内径）／２］ また、コイルバネ７のピッチをＰとすると、次の関係が
成り立つ。
【００１８】Ｎa＝Ｌ／Ｐ これらから、 Ｋ＝Ｇ・ｄ4・Ｐ／８Ｌ・Ｄ3 の関係が成り立ち、調整ネジ９を回転させることによっ
てバネ定数Ｋを連続的に変化させられることが明らかで
ある。
てバネ定数Ｋを連続的に変化させられることが明らかで
ある。
【００１９】図２はこのようなコイルバネ７のバネ定数
の調整機構を備えたマイナーフィードバックループのブ
ロック図である。図から明らかなように、調整ネジ９を
回転させることによりコイルバネ７のバネ定数Ｋを連続
的に変化させることができてマイナーフィードバックル
ープのゲインを連続的に変えることができ、特性の異な
る各種のコントロールバルブ４に対する高い安定性およ
び応答性の最適な弁位置制御を、調整が容易でかつ安価
に実現できる。
の調整機構を備えたマイナーフィードバックループのブ
ロック図である。図から明らかなように、調整ネジ９を
回転させることによりコイルバネ７のバネ定数Ｋを連続
的に変化させることができてマイナーフィードバックル
ープのゲインを連続的に変えることができ、特性の異な
る各種のコントロールバルブ４に対する高い安定性およ
び応答性の最適な弁位置制御を、調整が容易でかつ安価
に実現できる。
【００２０】また、調整ネジ９を回転させたときに可動
片１１とレバー６の位置関係が同じであるにもかかわら
ず可動片１１に帰還される力が変化すると調整ネジ９を
回転させる前後で可動片１１に加わる力のバランスが変
化し、同一の入力電流が加えられているにもかかわらず
コントロールバルブ４のステム４１が変位することにな
る。これは、電空ポジショナの零点変化に相当し、零点
調整が必要になる。ここで、調整ネジ９に設けられてい
るネジ溝のピッチが、ポジショナの出力が零，つまりコ
ントロールバルブ４のステム４１の変位が零の状態のと
きにコイルバネ７が全長にわたり伸縮可能なように取り
付けられたときのコイルバネ７のピッチと等しければ調
整ネジ９を回転させても可動片１１に加わる力は変化せ
ず、零点調整を実施する必要はなくなる。
片１１とレバー６の位置関係が同じであるにもかかわら
ず可動片１１に帰還される力が変化すると調整ネジ９を
回転させる前後で可動片１１に加わる力のバランスが変
化し、同一の入力電流が加えられているにもかかわらず
コントロールバルブ４のステム４１が変位することにな
る。これは、電空ポジショナの零点変化に相当し、零点
調整が必要になる。ここで、調整ネジ９に設けられてい
るネジ溝のピッチが、ポジショナの出力が零，つまりコ
ントロールバルブ４のステム４１の変位が零の状態のと
きにコイルバネ７が全長にわたり伸縮可能なように取り
付けられたときのコイルバネ７のピッチと等しければ調
整ネジ９を回転させても可動片１１に加わる力は変化せ
ず、零点調整を実施する必要はなくなる。
【００２１】なお、以上の説明ではコイルバネ７が圧縮
コイルバネの例を説明したが、引っ張りコイルバネであ
ってもよい。また、バネ定数の調整機構は調整ネジに限
るものではなく、同等な機能を有するピンであってもよ
い。
コイルバネの例を説明したが、引っ張りコイルバネであ
ってもよい。また、バネ定数の調整機構は調整ネジに限
るものではなく、同等な機能を有するピンであってもよ
い。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
安価で簡単な構成で、特性の異なるコントロールバルブ
の弁位置制御を高い安定性および応答性で行える電空ポ
ジショナが実現できる。
安価で簡単な構成で、特性の異なるコントロールバルブ
の弁位置制御を高い安定性および応答性で行える電空ポ
ジショナが実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の要部を示す構成説明図であ
る。
る。
【図２】図１のバネ定数の調整機構を備えたマイナーフ
ィードバックループのブロック図である。
ィードバックループのブロック図である。
【図３】従来の電空ポジショナの一例を示す構成説明図
である。
である。
【図４】図３のフィードバックループのブロック図であ
る。
る。
１ トルクモータ ２ ノズル ３ パイロットリレー ４ コントロールバルブ ５ 帰還機構 ６ レバー ７ コイルバネ ８ 零点調整機構 ９ 調整ネジ
Claims (1)
- 【請求項１】入力電流に従ってフラッパーを変位させる
トルクモータと、 このフラッパーに対向配置されたノズルと、 このノズルに絞りを介して空気圧を供給する空気源と、 前記ノズルの背圧を増幅してその出力空気圧によりコン
トロールバルブを駆動するパイロットリレーと、 このパイロットリレーの弁の変位をコイルバネを介して
フラッパーに帰還するマイナーフィードバックループ
と、 コントロールバルブの弁の変位をフラッパーに帰還する
フィードバックループとを有し、 コントロールバルブの弁の変位を入力電流に対応して制
御するように構成された電空ポジショナにおいて、 前記マイナーフィードバックループのコイルバネの一端
に螺合してバネ定数を連続的に調整する調整機構を設け
たことを特徴とする電空ポジショナ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23678894A JPH08100801A (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | 電空ポジショナ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23678894A JPH08100801A (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | 電空ポジショナ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08100801A true JPH08100801A (ja) | 1996-04-16 |
Family
ID=17005810
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23678894A Pending JPH08100801A (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | 電空ポジショナ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08100801A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006098254A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Yokowo Co Ltd | プローブ |
| JP2007255581A (ja) * | 2006-03-23 | 2007-10-04 | Yokogawa Electric Corp | 電空変換システム、及び電空変換システムの制御方法 |
-
1994
- 1994-09-30 JP JP23678894A patent/JPH08100801A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006098254A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Yokowo Co Ltd | プローブ |
| JP2007255581A (ja) * | 2006-03-23 | 2007-10-04 | Yokogawa Electric Corp | 電空変換システム、及び電空変換システムの制御方法 |
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