JPH0422083Y2 - - Google Patents
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- JPH0422083Y2 JPH0422083Y2 JP12065787U JP12065787U JPH0422083Y2 JP H0422083 Y2 JPH0422083 Y2 JP H0422083Y2 JP 12065787 U JP12065787 U JP 12065787U JP 12065787 U JP12065787 U JP 12065787U JP H0422083 Y2 JPH0422083 Y2 JP H0422083Y2
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- Servomotors (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本考案は、入力電気信号に比例する出力空気圧
によつて動作する空気圧機器に関するものであ
る。
によつて動作する空気圧機器に関するものであ
る。
[従来の技術]
従来公知の入力電気信号に比例する出力空気圧
によつて動作する空気圧機器は、例えば第2図に
示すように、入力信号をコントロールするコント
ローラ1と、該コントローラ1から出力される信
号電流によつて駆動するトルクモータ2と、トル
クモータ2の駆動によつて揺動するフラツパ3及
び該フラツパ3に対向して開口するノズル4より
なるノズルフラツパ機構5と、ノズル4の出力空
気圧によつて動作するコントロールバルブ6の位
置をフラツパ3にフイードバツクするフイードバ
ツク機構7とを備え、該フイードバツク機構7
は、コントロールバルブ6と一体的に動作するバ
ルブレバー10により回動するフイードバツクレ
バー11、軸12、伝達アーム13、及びレバー
14を有し、レバー14と上記フラツパ3はフイ
ードバツクスプリング15で連結されている。
によつて動作する空気圧機器は、例えば第2図に
示すように、入力信号をコントロールするコント
ローラ1と、該コントローラ1から出力される信
号電流によつて駆動するトルクモータ2と、トル
クモータ2の駆動によつて揺動するフラツパ3及
び該フラツパ3に対向して開口するノズル4より
なるノズルフラツパ機構5と、ノズル4の出力空
気圧によつて動作するコントロールバルブ6の位
置をフラツパ3にフイードバツクするフイードバ
ツク機構7とを備え、該フイードバツク機構7
は、コントロールバルブ6と一体的に動作するバ
ルブレバー10により回動するフイードバツクレ
バー11、軸12、伝達アーム13、及びレバー
14を有し、レバー14と上記フラツパ3はフイ
ードバツクスプリング15で連結されている。
上記空気圧機器は、ノズルフラツパ機構5が平
衡状態にあるときに、トルクモータ2にコントロ
ーラ1から信号電流が入力すると、トルクモータ
2に電流と磁界との方向に互いに直角な力が生
じ、これによつてフラツパ3が支点3aを中心に
揺動してノズル4を開放するので、低下したノズ
ルの背圧がパイロツト弁8で増幅されてコントロ
ールバルブ6を駆動し、これと一体に駆動するバ
ルブレバー10がフイードバツクレバー11、軸
12及び伝達アーム13を図において時計方向に
回動させる。伝達アーム13の時計方向への回動
により、レバー14が反時計方向に回動し、フイ
ードバツクスプリング15がフラツパ3に作用す
る力と、入力電気信号がトルクモータ2を介して
フラツパ3に作用する力とが等しくなると、新た
な平衡状態になつてノズルフラツパ機構5が安定
する。
衡状態にあるときに、トルクモータ2にコントロ
ーラ1から信号電流が入力すると、トルクモータ
2に電流と磁界との方向に互いに直角な力が生
じ、これによつてフラツパ3が支点3aを中心に
揺動してノズル4を開放するので、低下したノズ
ルの背圧がパイロツト弁8で増幅されてコントロ
ールバルブ6を駆動し、これと一体に駆動するバ
ルブレバー10がフイードバツクレバー11、軸
12及び伝達アーム13を図において時計方向に
回動させる。伝達アーム13の時計方向への回動
により、レバー14が反時計方向に回動し、フイ
ードバツクスプリング15がフラツパ3に作用す
る力と、入力電気信号がトルクモータ2を介して
フラツパ3に作用する力とが等しくなると、新た
な平衡状態になつてノズルフラツパ機構5が安定
する。
しかしながら、上記公知の空気圧機器は、入力
電気信号を、コイル、ヨーク、アーマチユア、マ
グネツト等で構成されるトルクモータによつて空
気圧に変換するために、電空変換部の容積や重量
が大きいので、電空変換部を小形で軽量にするこ
とが困難である。また、ヨークやアーマチユアに
は、通常ニツケル含有率の高いパーマロイ等の素
材を使用するので、製品コストに占めるトルクモ
ータの割合が大きくなつて、電空変換部を安価に
することが難しいという問題もある。
電気信号を、コイル、ヨーク、アーマチユア、マ
グネツト等で構成されるトルクモータによつて空
気圧に変換するために、電空変換部の容積や重量
が大きいので、電空変換部を小形で軽量にするこ
とが困難である。また、ヨークやアーマチユアに
は、通常ニツケル含有率の高いパーマロイ等の素
材を使用するので、製品コストに占めるトルクモ
ータの割合が大きくなつて、電空変換部を安価に
することが難しいという問題もある。
[考案が解決しようとする問題点]
本考案は、入力電気信号に比例する出力空気圧
により動作する空気圧機器における電空変換部
を、小形、軽量でかつ安価にすることを、解決し
ようとする問題点とするものである。
により動作する空気圧機器における電空変換部
を、小形、軽量でかつ安価にすることを、解決し
ようとする問題点とするものである。
[問題点を解決するための手段]
本考案は、入力電気信号に比例する出力空気圧
によつて動作する空気圧機器において、上記空気
圧機器は、入力電気信号を該入力電気信号に比例
する信号空気圧に変換して出力する電空変換部
と、該電空変換部からの信号空気圧によつて動作
する空気圧動作部を備え、上記電空変換部を、上
記入力電気信号と、上記信号空気圧を電気信号に
変換する圧電センサからフイードバツクされるフ
イードバツク電気信号との大小を比較し、これら
の電気信号の大小によつて制御電圧を出力するコ
ントローラと、圧力空気源に連通する供給オリフ
イス、上記空気圧動作部に信号空気圧を出力する
ポート、及び上記コントローラからの制御電圧に
より歪曲して上記供給オリフイスを開閉する圧電
素子を有する第1の開閉弁と、外部に連通する排
気オリフイス、上記信号空気圧が入力するポー
ト、及び上記コントローラからの制御電圧により
歪曲して上記排気オリフイスを開閉する圧電素子
を有する第2の開閉弁とで構成したことによつ
て、上記問題点を解決したものである。
によつて動作する空気圧機器において、上記空気
圧機器は、入力電気信号を該入力電気信号に比例
する信号空気圧に変換して出力する電空変換部
と、該電空変換部からの信号空気圧によつて動作
する空気圧動作部を備え、上記電空変換部を、上
記入力電気信号と、上記信号空気圧を電気信号に
変換する圧電センサからフイードバツクされるフ
イードバツク電気信号との大小を比較し、これら
の電気信号の大小によつて制御電圧を出力するコ
ントローラと、圧力空気源に連通する供給オリフ
イス、上記空気圧動作部に信号空気圧を出力する
ポート、及び上記コントローラからの制御電圧に
より歪曲して上記供給オリフイスを開閉する圧電
素子を有する第1の開閉弁と、外部に連通する排
気オリフイス、上記信号空気圧が入力するポー
ト、及び上記コントローラからの制御電圧により
歪曲して上記排気オリフイスを開閉する圧電素子
を有する第2の開閉弁とで構成したことによつ
て、上記問題点を解決したものである。
[作用]
入力電気信号がコントローラに入力されると、
コントローラにおいて、入力電気信号と圧力セン
サからの信号空気圧が変換されたフイードバツク
電気信号との大小が比較され、入力電気信号がフ
イードバツク電気信号より大きい場合には、コン
トローラが、第1の開閉弁の電歪素子が供給オリ
フイスを開放する方向に、第2の開閉弁の電歪素
子が排気オリフイスを閉鎖する方向にそれぞれ歪
曲させる制御電圧を印加して、信号空気圧が上昇
する。これによつて、入力電気信号がフイードバ
ツク電気信号より小さくなると、コントローラ
が、第1及び第2の開閉弁の電歪素子に上記と逆
極性の制御電圧を印加するか或いは上記制御電圧
の印加を解除し、供給オリフイスを閉鎖して排気
オリフイスを開放するので、信号空気圧が低下す
る。
コントローラにおいて、入力電気信号と圧力セン
サからの信号空気圧が変換されたフイードバツク
電気信号との大小が比較され、入力電気信号がフ
イードバツク電気信号より大きい場合には、コン
トローラが、第1の開閉弁の電歪素子が供給オリ
フイスを開放する方向に、第2の開閉弁の電歪素
子が排気オリフイスを閉鎖する方向にそれぞれ歪
曲させる制御電圧を印加して、信号空気圧が上昇
する。これによつて、入力電気信号がフイードバ
ツク電気信号より小さくなると、コントローラ
が、第1及び第2の開閉弁の電歪素子に上記と逆
極性の制御電圧を印加するか或いは上記制御電圧
の印加を解除し、供給オリフイスを閉鎖して排気
オリフイスを開放するので、信号空気圧が低下す
る。
したがつて、電空変換部から入力電気信号に比
例した信号空気圧が出力され、空気圧動作部はこ
の信号空気圧によつて動作する。
例した信号空気圧が出力され、空気圧動作部はこ
の信号空気圧によつて動作する。
この場合、入力電気信号が一定で入力電気信号
とフイードバツク電気信号とが等しいときは、空
気圧動作部における空気消費がないために、供給
及び排気オリフイスを共に閉鎖して無駄な空気消
費をなくすことができる。
とフイードバツク電気信号とが等しいときは、空
気圧動作部における空気消費がないために、供給
及び排気オリフイスを共に閉鎖して無駄な空気消
費をなくすことができる。
上記電空変換部は、大きさ及び重量が大きく、
かつ高価な素材を必要とするトルクモータを使用
しないので、電空変換部を小型、軽量でかつ安価
なものとすることができばかりでなく、電気信号
の大小の比較のみで動作するので、コントローラ
の回路が簡単である。
かつ高価な素材を必要とするトルクモータを使用
しないので、電空変換部を小型、軽量でかつ安価
なものとすることができばかりでなく、電気信号
の大小の比較のみで動作するので、コントローラ
の回路が簡単である。
[実施例]
第1図は空気圧動作部を空気式ポジシヨナとし
た本考案の第1実施例を示し、この空気圧機器
は、電空変換部21と空気式ポジシヨナ22で構
成されている。
た本考案の第1実施例を示し、この空気圧機器
は、電空変換部21と空気式ポジシヨナ22で構
成されている。
上記電空変換部21は、信号電流が入力される
コントローラ24、電歪素子を利用した第1,第
2の開閉弁25,26、これらの開閉弁25,2
6と空気式ポジシヨナ22とを連通する信号空気
管路27、及び該信号空気管路27のアナログ的
な信号空気圧をフイードバツク電気信号に変換し
てコントローラ24フイードバツクする圧力セン
サ28を備え、上記コントローラ24は、入力電
気信号と上記フイードバツク電気信号との大小を
比較して、開閉弁25,26の電歪素子に制御電
圧を印加する。
コントローラ24、電歪素子を利用した第1,第
2の開閉弁25,26、これらの開閉弁25,2
6と空気式ポジシヨナ22とを連通する信号空気
管路27、及び該信号空気管路27のアナログ的
な信号空気圧をフイードバツク電気信号に変換し
てコントローラ24フイードバツクする圧力セン
サ28を備え、上記コントローラ24は、入力電
気信号と上記フイードバツク電気信号との大小を
比較して、開閉弁25,26の電歪素子に制御電
圧を印加する。
開閉弁25,26における共通の弁本体は弁室
29a,29bを備え、弁室29aは圧力空気源
に連通する供給オリフイス30と信号空気管路2
7に連通するポート31を有し、コントローラ2
4から印加される制御電圧によつて歪曲する電歪
素子32の自由端には、供給オリフイス30を開
閉する弁部材33が取付けられている。また、弁
室29bは外部に連通する排気オリフイス35と
信号空気管路27に連通するポート36を有し、
コントローラ24から印加される制御電圧によつ
て歪曲する電歪素子37の自由端には、排気オリ
フイス35を開閉する弁部材38が取付けられて
いる。
29a,29bを備え、弁室29aは圧力空気源
に連通する供給オリフイス30と信号空気管路2
7に連通するポート31を有し、コントローラ2
4から印加される制御電圧によつて歪曲する電歪
素子32の自由端には、供給オリフイス30を開
閉する弁部材33が取付けられている。また、弁
室29bは外部に連通する排気オリフイス35と
信号空気管路27に連通するポート36を有し、
コントローラ24から印加される制御電圧によつ
て歪曲する電歪素子37の自由端には、排気オリ
フイス35を開閉する弁部材38が取付けられて
いる。
上記電歪素子32,37は、電圧の印加極性に
よつて互いに伸縮する板状の圧電セラミツクを張
合わせて構成されるバイモルフ型、積層型等の電
歪素子で、所定の極性の電圧が印加されると一方
向に歪曲し、これと逆極性の電圧を印加しまたは
上記電圧の印加を解除すると、反対方向に歪曲
し、または元の状態に復帰する。
よつて互いに伸縮する板状の圧電セラミツクを張
合わせて構成されるバイモルフ型、積層型等の電
歪素子で、所定の極性の電圧が印加されると一方
向に歪曲し、これと逆極性の電圧を印加しまたは
上記電圧の印加を解除すると、反対方向に歪曲
し、または元の状態に復帰する。
一方、空気式ポジシヨナ22は、上記信号空気
管路27から入力される信号空気圧によつて変位
する入圧ダイヤフラム41、該ダイヤフラム41
の変位によつて揺動するフラツパ42と該フラツ
パ42に対向して開口するノズル43よりなるノ
ズルフラツパ機構44、上記ノズル43の背圧の
昇降によつて変位する背圧ダイヤフラム45、該
背圧ダイヤフラム45と一体に変位する弁棒4
6、弁棒46の変位と復帰ばね47の付勢力の大
小によつて圧力空気の供給ポートPと出力ポート
Aの連通路を通断する弁体48、出力ポートAと
ダイヤフラムバルブ49とを連通させる空気管路
50、及び該ダイヤフラムバルブ49の駆動を入
圧ダイヤフラム41にフイードバツクするフイー
ドバツク機構51を有し、該フイードバツク機構
51は、上記ダイヤフラムバルブ49と一体的に
駆動するバルブレバー54により回動するフイー
ドバツクレバー55、軸56、伝達アーム57及
びレバー58を備え、該レバー58と上記入圧ダ
イヤフラム41との間にフイードバツクスプリン
グ59を設けたものとして構成されている。
管路27から入力される信号空気圧によつて変位
する入圧ダイヤフラム41、該ダイヤフラム41
の変位によつて揺動するフラツパ42と該フラツ
パ42に対向して開口するノズル43よりなるノ
ズルフラツパ機構44、上記ノズル43の背圧の
昇降によつて変位する背圧ダイヤフラム45、該
背圧ダイヤフラム45と一体に変位する弁棒4
6、弁棒46の変位と復帰ばね47の付勢力の大
小によつて圧力空気の供給ポートPと出力ポート
Aの連通路を通断する弁体48、出力ポートAと
ダイヤフラムバルブ49とを連通させる空気管路
50、及び該ダイヤフラムバルブ49の駆動を入
圧ダイヤフラム41にフイードバツクするフイー
ドバツク機構51を有し、該フイードバツク機構
51は、上記ダイヤフラムバルブ49と一体的に
駆動するバルブレバー54により回動するフイー
ドバツクレバー55、軸56、伝達アーム57及
びレバー58を備え、該レバー58と上記入圧ダ
イヤフラム41との間にフイードバツクスプリン
グ59を設けたものとして構成されている。
次に、上記第1実施例の動作を説明する。
コントローラ24に信号電流が入力されると、
コントローラ24が、該入力電気信号と圧力セン
サ28からフイードバツクされる信号空気圧を変
換したフイードバツク電気信号との大小を比較
し、フイードバツク電気信号が入力電気信号より
も小さい場合には、コントローラ24が、電歪素
子32に供給オリフイス30を開放する方向に、
電歪素子37に排気オリフイス35を閉鎖する方
向に歪曲する極性の制御電圧をそれぞれ印加する
ので、圧力空気源からの圧力空気がポート31か
ら信号空気管路27に供給されて信号空気圧がア
ナログ的に上昇する。これによつてフイードバツ
ク電気信号が入力電気信号よりも大きくなると、
コントローラ24が、電歪素子32,37に上記
と逆極性の制御電圧を印加するか或いは上記電圧
の印加を解除して、電歪素子32を供給オリフイ
ス30を閉鎖する方向に、電歪素子37を排気オ
リフイス35を開放する方向に復帰させるので、
信号空気圧がアナログ的に低下する。
コントローラ24が、該入力電気信号と圧力セン
サ28からフイードバツクされる信号空気圧を変
換したフイードバツク電気信号との大小を比較
し、フイードバツク電気信号が入力電気信号より
も小さい場合には、コントローラ24が、電歪素
子32に供給オリフイス30を開放する方向に、
電歪素子37に排気オリフイス35を閉鎖する方
向に歪曲する極性の制御電圧をそれぞれ印加する
ので、圧力空気源からの圧力空気がポート31か
ら信号空気管路27に供給されて信号空気圧がア
ナログ的に上昇する。これによつてフイードバツ
ク電気信号が入力電気信号よりも大きくなると、
コントローラ24が、電歪素子32,37に上記
と逆極性の制御電圧を印加するか或いは上記電圧
の印加を解除して、電歪素子32を供給オリフイ
ス30を閉鎖する方向に、電歪素子37を排気オ
リフイス35を開放する方向に復帰させるので、
信号空気圧がアナログ的に低下する。
この場合、入力信号が一定で入力電気信号とフ
イードバツク電気信号とが等しいときは、空気圧
動作部における空気消費がないために、供給及び
排気オリフイスを共に閉鎖して無駄な空気消費を
なくすことができる。
イードバツク電気信号とが等しいときは、空気圧
動作部における空気消費がないために、供給及び
排気オリフイスを共に閉鎖して無駄な空気消費を
なくすことができる。
また、コントローラ24を、入力電気信号とフ
イードバツク電気信号との差が予め定めた値にな
つたときに電歪素子32,37に制御電圧を印加
するものに調整すると、オリフイス30,35の
開閉を一部分だけオーバーラツプ(オリフイスが
共に閉鎖する状態をいう。)させたり、アンダー
ラツプ(オリフイスが共に開放する状態をいう。)
させたり、或いはラツプなしにすることができ、
これによつて空気式ポジヨシヨナ22の制御性を
変えることができる。
イードバツク電気信号との差が予め定めた値にな
つたときに電歪素子32,37に制御電圧を印加
するものに調整すると、オリフイス30,35の
開閉を一部分だけオーバーラツプ(オリフイスが
共に閉鎖する状態をいう。)させたり、アンダー
ラツプ(オリフイスが共に開放する状態をいう。)
させたり、或いはラツプなしにすることができ、
これによつて空気式ポジヨシヨナ22の制御性を
変えることができる。
上記電空変換部21は、大きさや重量が大きい
トルクモータを省略できるので、電空変換部を小
形で軽量なものにすることができ、また、コント
ローラ24は電気信号の大小を比較するのみなの
で、回路構成を簡単で安価なものにすることがで
きる。
トルクモータを省略できるので、電空変換部を小
形で軽量なものにすることができ、また、コント
ローラ24は電気信号の大小を比較するのみなの
で、回路構成を簡単で安価なものにすることがで
きる。
上記空気式ポジシヨナ22は、入圧ダイヤフラ
ム41及びノズルフラツパ機構44が平衡状態に
あるときのに、入力電気信号によつて信号空気管
路27の信号空気圧が上昇すると、入圧ダイヤフ
ラム41が図において左方に変位してフラツパ4
2が揺動し、ノズル43が開放してその背圧が低
下するので、圧力空気源に連通している背圧ダイ
ヤフラム45及び弁棒46が図において右動し、
弁体48が供給ポートPと出力ポートAを連通さ
せる。
ム41及びノズルフラツパ機構44が平衡状態に
あるときのに、入力電気信号によつて信号空気管
路27の信号空気圧が上昇すると、入圧ダイヤフ
ラム41が図において左方に変位してフラツパ4
2が揺動し、ノズル43が開放してその背圧が低
下するので、圧力空気源に連通している背圧ダイ
ヤフラム45及び弁棒46が図において右動し、
弁体48が供給ポートPと出力ポートAを連通さ
せる。
したがつて、圧力空気が空気管路50を通つて
ダイヤフラムバルブ49に供給されて該バルブ4
9が駆動し、バルブ49の駆動はフイードバツク
機構51によつて入圧ダイヤフラム41にフイー
ドバツクされる。このようにして、フイードバツ
クスプリング59が入圧ダイヤフラム41に作用
する力と、信号空気圧が入圧ダイヤフラム41に
作用する力とが等しくなると、新たな平衡状態に
なつて入圧ダイヤフラム41及びノズルフラツパ
機構44が安定する。
ダイヤフラムバルブ49に供給されて該バルブ4
9が駆動し、バルブ49の駆動はフイードバツク
機構51によつて入圧ダイヤフラム41にフイー
ドバツクされる。このようにして、フイードバツ
クスプリング59が入圧ダイヤフラム41に作用
する力と、信号空気圧が入圧ダイヤフラム41に
作用する力とが等しくなると、新たな平衡状態に
なつて入圧ダイヤフラム41及びノズルフラツパ
機構44が安定する。
なお、図示を省略しているが、電空変換部21
を小形で軽量なものにできるので、空気式ポジシ
ヨナ22と一体化することができる。
を小形で軽量なものにできるので、空気式ポジシ
ヨナ22と一体化することができる。
[考案の効果]
本考案の空気圧機器は、入力電気信号を該入力
信号に比例する信号空気圧に変換して出力する電
空変換部を、入力電気信号と、信号空気圧を電気
信号に変換する圧電センサからフイードバツクさ
れるフイードバツク電気信号との大小を比較し、
これらの電気信号の大小によつて制御電圧を出力
するコントローラと、該コントローラからの制御
電圧により歪曲して供給オリフイスとポート及び
排気オリフイスとポートの連通を通断する2個の
開閉弁とで構成したことにより、大きさや重量が
大きく、しかも高価な素材を必要とするトルクモ
ータを省略できるので、電空変換部を小形、軽量
でかつ安価にすることができ、しかもコントロー
ラの回路が比較的簡単である。
信号に比例する信号空気圧に変換して出力する電
空変換部を、入力電気信号と、信号空気圧を電気
信号に変換する圧電センサからフイードバツクさ
れるフイードバツク電気信号との大小を比較し、
これらの電気信号の大小によつて制御電圧を出力
するコントローラと、該コントローラからの制御
電圧により歪曲して供給オリフイスとポート及び
排気オリフイスとポートの連通を通断する2個の
開閉弁とで構成したことにより、大きさや重量が
大きく、しかも高価な素材を必要とするトルクモ
ータを省略できるので、電空変換部を小形、軽量
でかつ安価にすることができ、しかもコントロー
ラの回路が比較的簡単である。
また、上記電空変換部におけるコントローラ
を、入力電気信号とフイードバツク電気信号との
差が所定の値になつたときに電歪素子に制御電圧
を印加するものとして、供給及び排気オリフイス
の開閉をラツプさせたり或はラツプなしとする
と、空気圧動作部の制御性を変えることができ
る。
を、入力電気信号とフイードバツク電気信号との
差が所定の値になつたときに電歪素子に制御電圧
を印加するものとして、供給及び排気オリフイス
の開閉をラツプさせたり或はラツプなしとする
と、空気圧動作部の制御性を変えることができ
る。
第1図は本考案の実施例の構成図、第2図は従
来公知の空気圧機器の概略構成図である。 21……電空変換部、24……コントローラ、
25,26……開閉弁、28……圧電センサ、3
0……供給オリフイス、31,36……ポート、
32,37……電歪素子、35……排気オリフイ
ス。
来公知の空気圧機器の概略構成図である。 21……電空変換部、24……コントローラ、
25,26……開閉弁、28……圧電センサ、3
0……供給オリフイス、31,36……ポート、
32,37……電歪素子、35……排気オリフイ
ス。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 入力電気信号に比例する出力空気圧によつて動
作する空気圧機器において、 上記空気圧機器は、入力電気信号を該入力電気
信号に比例する信号空気圧に変換して出力する電
空変換部と、該電空変換部からの信号空気圧によ
つて動作する空気圧動作部を備え、 上記電空変換部を、 上記入力電気信号と、上記信号空気圧を電気信
号に変換する圧電センサからフイードバツクされ
るフイードバツク電気信号との大小を比較し、こ
れらの電気信号の大小によつて制御電圧を出力す
るコントローラと、 圧力空気源に連通する供給オリフイス、上記空
気圧動作部に信号空気圧を出力するポート、及び
上記コントローラからの制御電圧により歪曲して
上記供給オリフイスを開閉する圧電素子を有する
第1の開閉弁と、 外部に連通する排気オリフイス、上記信号空気
圧が入力するポート、及び上記コントローラから
の制御電圧により歪曲して上記排気オリフイスを
開閉する圧電素子を有する第2の開閉弁、 とで構成したことを特徴とする空気圧機器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12065787U JPH0422083Y2 (ja) | 1987-08-06 | 1987-08-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12065787U JPH0422083Y2 (ja) | 1987-08-06 | 1987-08-06 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6425502U JPS6425502U (ja) | 1989-02-13 |
| JPH0422083Y2 true JPH0422083Y2 (ja) | 1992-05-20 |
Family
ID=31366958
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12065787U Expired JPH0422083Y2 (ja) | 1987-08-06 | 1987-08-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0422083Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-08-06 JP JP12065787U patent/JPH0422083Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6425502U (ja) | 1989-02-13 |
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