JPH08106106A - 液晶ライトバルブ - Google Patents
液晶ライトバルブInfo
- Publication number
- JPH08106106A JPH08106106A JP24143394A JP24143394A JPH08106106A JP H08106106 A JPH08106106 A JP H08106106A JP 24143394 A JP24143394 A JP 24143394A JP 24143394 A JP24143394 A JP 24143394A JP H08106106 A JPH08106106 A JP H08106106A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- light valve
- crystal light
- layer
- inorganic film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims abstract description 50
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 7
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 abstract 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 2
- 239000004988 Nematic liquid crystal Substances 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明の目的は、高輝度画像投影装置に応用
可能な、耐光性の高い液晶ライトバルブを提供する事に
ある。 【構成】 本発明の液晶ライトバルブは、液晶に垂直配
向を導入する配向膜層１３ａ，１３ｂを、柱状構造を呈
する無機膜を製膜する工程、エッチング工程の２段階の
工程を経て、完全に無機物のみで構成した事を特徴とす
る。 【効果】 本発明の方法に依れば、一般に用いられる有
機配向剤を用いた方法に比べて、強力な読み出し光の暴
露を受けても信頼性の高い液晶ライトバルブを製造する
事が可能となり、高輝度画像投影装置への応用を格段に
容易にする効果がある。
可能な、耐光性の高い液晶ライトバルブを提供する事に
ある。 【構成】 本発明の液晶ライトバルブは、液晶に垂直配
向を導入する配向膜層１３ａ，１３ｂを、柱状構造を呈
する無機膜を製膜する工程、エッチング工程の２段階の
工程を経て、完全に無機物のみで構成した事を特徴とす
る。 【効果】 本発明の方法に依れば、一般に用いられる有
機配向剤を用いた方法に比べて、強力な読み出し光の暴
露を受けても信頼性の高い液晶ライトバルブを製造する
事が可能となり、高輝度画像投影装置への応用を格段に
容易にする効果がある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、画像投影装置、ビデオ
プロジェクター等の高輝度画像投影装置に用いられる液
晶ライトバルブに関するものである。
プロジェクター等の高輝度画像投影装置に用いられる液
晶ライトバルブに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶ライトバルブは、米国特許３５９２
５２７等に開示されているように、典型的に光導電層、
光反射層、液晶層を組み合わせた形態のデバイスであ
る。特に、光変調層である液晶層としてネマティック液
晶を垂直配向させたＥＣＢモードを用いた液晶ライトバ
ルブは、高いコントラストがえられるため、これを光増
幅のために用いた高輝度画像投影装置が製品化されてい
る。
５２７等に開示されているように、典型的に光導電層、
光反射層、液晶層を組み合わせた形態のデバイスであ
る。特に、光変調層である液晶層としてネマティック液
晶を垂直配向させたＥＣＢモードを用いた液晶ライトバ
ルブは、高いコントラストがえられるため、これを光増
幅のために用いた高輝度画像投影装置が製品化されてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】液晶ライトバルブを高
輝度画像投影装置へ応用する場合等に於いては、強力な
読み出し光をもちいる必要がある。しかし、液晶を垂直
配向させるために一般に用いられる有機配向膜は耐光性
が悪いため、強力な読み出し光を用いる高輝度画像投影
装置へ応用すると、液晶ライトバルブの寿命が極端に短
くなり、必然的に短期間での液晶ライトバルブの交換が
必要になる、といった課題があった。
輝度画像投影装置へ応用する場合等に於いては、強力な
読み出し光をもちいる必要がある。しかし、液晶を垂直
配向させるために一般に用いられる有機配向膜は耐光性
が悪いため、強力な読み出し光を用いる高輝度画像投影
装置へ応用すると、液晶ライトバルブの寿命が極端に短
くなり、必然的に短期間での液晶ライトバルブの交換が
必要になる、といった課題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】そこで、この発明は、垂
直配向を導入する液晶配向膜を、柱状構造をなす無機膜
を形成する工程と、無機膜をエッチングする工程を経て
形成した。
直配向を導入する液晶配向膜を、柱状構造をなす無機膜
を形成する工程と、無機膜をエッチングする工程を経て
形成した。
【０００５】
【作用】上記の方法を用いる事により、完全に無機膜の
みで液晶層に垂直配向を導入する事が出来、その結果液
晶ライトバルブの耐光性が格段に向上し、これを高輝度
画像投影装置に応用する場合、煩雑な素子の交換の頻度
が低く、且つ信頼性が高い製品が実現される、という効
果をもたらす。
みで液晶層に垂直配向を導入する事が出来、その結果液
晶ライトバルブの耐光性が格段に向上し、これを高輝度
画像投影装置に応用する場合、煩雑な素子の交換の頻度
が低く、且つ信頼性が高い製品が実現される、という効
果をもたらす。
【０００６】
【実施例】以下に図面を用いて本発明を詳細に説明する
図１は、本発明に係る液晶ライトバルブの構造を示す模
式図である。液晶分子を挟持するための基板１１ａ、１
１ｂとして、両面をＨｅ−Ｎｅレーザー波長に於て平行
平面度λ／５以下に研磨した厚さ５ｍｍの透明ガラス基
板を用いた。両基板の表面にはＩＴＯ透明電極層１２
ａ、１２ｂを設けた。光による書き込み側の透明電極層
１２ａ上には４．５μｍの厚さの水素化アモルファスシ
リコン（ａ−Ｓｉ：Ｈ）光導電層１５を形成した。光導
電層上には、ミラー層として誘電体多層膜ミラー１６を
形成した。ただし、ミラー層は互いに絶縁された金属膜
が配列された構造等であっても問題ない。
図１は、本発明に係る液晶ライトバルブの構造を示す模
式図である。液晶分子を挟持するための基板１１ａ、１
１ｂとして、両面をＨｅ−Ｎｅレーザー波長に於て平行
平面度λ／５以下に研磨した厚さ５ｍｍの透明ガラス基
板を用いた。両基板の表面にはＩＴＯ透明電極層１２
ａ、１２ｂを設けた。光による書き込み側の透明電極層
１２ａ上には４．５μｍの厚さの水素化アモルファスシ
リコン（ａ−Ｓｉ：Ｈ）光導電層１５を形成した。光導
電層上には、ミラー層として誘電体多層膜ミラー１６を
形成した。ただし、ミラー層は互いに絶縁された金属膜
が配列された構造等であっても問題ない。
【０００７】さらに、透明電極上に光導電層及びミラー
層が形成されないガラス基板の上にＩＴＯ透明電極を形
成した。これらの基板は、ミラー層１６上及び透明電極
１２ｂ上に配向膜１３ａ、１３ｂを形成した後、スペー
サーを介して貼り合わせ、間隙に液晶層１４を挟持し
た。
層が形成されないガラス基板の上にＩＴＯ透明電極を形
成した。これらの基板は、ミラー層１６上及び透明電極
１２ｂ上に配向膜１３ａ、１３ｂを形成した後、スペー
サーを介して貼り合わせ、間隙に液晶層１４を挟持し
た。
【０００８】図２は、本発明に係る配向膜層の形成過程
を示した図である。まず誘電体多層膜ミラー上及び対向
基板のＩＴＯ上に無機膜を形成する。本実施例に於いて
は、無機膜として二酸化チタンを真空蒸着法により５０
００オングストロームの厚さに形成した。なお無機膜と
しては、成膜時に自ずから柱状の構造に成長するもので
あれば、二酸化チタン以外の材料を用いても何等問題は
ない。また、無機膜の膜厚は最終的に山状の構造が残る
範囲で有れば良く、３００Åから１００００Åの範囲が
好ましいことがわかった。さらに、無機膜の形成方法に
は何等の制限がないと思われ、スパッタリング、蒸着、
ＣＶＤ等の技術を応用する事が出来ることがわかった。
を示した図である。まず誘電体多層膜ミラー上及び対向
基板のＩＴＯ上に無機膜を形成する。本実施例に於いて
は、無機膜として二酸化チタンを真空蒸着法により５０
００オングストロームの厚さに形成した。なお無機膜と
しては、成膜時に自ずから柱状の構造に成長するもので
あれば、二酸化チタン以外の材料を用いても何等問題は
ない。また、無機膜の膜厚は最終的に山状の構造が残る
範囲で有れば良く、３００Åから１００００Åの範囲が
好ましいことがわかった。さらに、無機膜の形成方法に
は何等の制限がないと思われ、スパッタリング、蒸着、
ＣＶＤ等の技術を応用する事が出来ることがわかった。
【０００９】次に、無機膜をエッチングする工程を実施
する。本実施例に於いては、硝酸によるエッチングを実
施したところ、蒸着によって形成された二酸化珪素膜は
膜成長時に生じる柱状の構造に応じて、柱状構造の柱間
にもエッチングが起こり、結果的に山状の構造が得られ
た。この山状構造の無機膜を液晶配向膜として用いる事
により、液晶光変調層に垂直配列が導入された。なお、
エッチングはドライエッチング等の他の技術を用いても
同様の効果が得られた。
する。本実施例に於いては、硝酸によるエッチングを実
施したところ、蒸着によって形成された二酸化珪素膜は
膜成長時に生じる柱状の構造に応じて、柱状構造の柱間
にもエッチングが起こり、結果的に山状の構造が得られ
た。この山状構造の無機膜を液晶配向膜として用いる事
により、液晶光変調層に垂直配列が導入された。なお、
エッチングはドライエッチング等の他の技術を用いても
同様の効果が得られた。
【００１０】上記工程を経て形成された無機垂直配向膜
を対向させた間隙には、誘電異方性が負の液晶組成物を
挟持した。本実施例に於いては、液晶組成物としてメル
ク社製のＺＬＩ４８５０を用いた。なお、液晶組成物に
ついては材料系等に制約はなく、誘電異方性が負の組成
物であれば何れを用いても問題ない。
を対向させた間隙には、誘電異方性が負の液晶組成物を
挟持した。本実施例に於いては、液晶組成物としてメル
ク社製のＺＬＩ４８５０を用いた。なお、液晶組成物に
ついては材料系等に制約はなく、誘電異方性が負の組成
物であれば何れを用いても問題ない。
【００１１】斯様にして製作した液晶ライトバルブは、
配向膜層に完全無機膜を用いているため、強力な読み出
し光に暴露されても一般の有機配向膜のようにダメージ
を被る事はなく、而して耐光性が高く、信頼性の高いデ
バイスであった。
配向膜層に完全無機膜を用いているため、強力な読み出
し光に暴露されても一般の有機配向膜のようにダメージ
を被る事はなく、而して耐光性が高く、信頼性の高いデ
バイスであった。
【００１２】
【発明の効果】本発明を用いることにより、液晶ライト
バルブの高輝度画像投影装置への応用に於いて、耐光
性、信頼性を格段に高める事ができる。
バルブの高輝度画像投影装置への応用に於いて、耐光
性、信頼性を格段に高める事ができる。
【図１】本発明に係る液晶ライトバルブの構造を示す模
式図である。
式図である。
【図２】本発明に係る液晶ライトバルブの配向膜の形成
工程を示す図である。
工程を示す図である。
１１ａ、１１ｂ 透明基板 １２ａ、１２ｂ 透明電極 １３ａ、１３ｂ 配向膜層 １４ 液晶層 １５ 光導電層 １６ ミラー層
Claims (6)
- 【請求項１】 光による書き込み手段、光による読み出
し手段及び電圧印加手段を具備し、透明電極上に光導電
層及びミラー層が形成されたガラス基板と、透明電極の
形成されたガラス基板の、それぞれの対向する表面に液
晶配向膜が形成された一組のガラス基板が対向配置さ
れ、その間隙に液晶組成物が封入されて液晶光変調層が
形成されてなる液晶ライトバルブであって、該液晶配向
膜が、柱状構造をなす無機膜を形成する工程と、無機膜
をエッチングする工程を経て形成されることによって液
晶配向膜が形成され、該液晶配向膜によって該液晶光変
調層の液晶が垂直配向することを特徴とする液晶ライト
バルブ。 - 【請求項２】 該透明電極はＩＴＯであり、該光導電層
は水素化アモルファスシリコンであることを特徴とする
請求項１記載の液晶ライトバルブ。 - 【請求項３】 該液晶層に用いられる液晶組成物は誘電
異方性が負の常温でネマチック相を呈する組成物である
ことを特徴とする請求項１記載の液晶ライトバルブ。 - 【請求項４】 該無機膜はスパッタリング、蒸着、ＣＶ
Ｄのいずれかの方法で形成されたことを特徴とする請求
項１記載の液晶ライトバルブ。 - 【請求項５】 該無機膜をエッチングする事によって得
られる液晶配向膜は、該無機膜の本来有する柱状構造に
応じて残された山状の構造を利用する事によって液晶層
に垂直配列を導入するものであることを特徴とする請求
項１記載の液晶ライトバルブ。 - 【請求項６】 該無機膜は垂直入射方向から測定した膜
厚が３００オングストロームから１００００オングスト
ロームの範囲であることを特徴とする請求項１記載の液
晶ライトバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24143394A JPH08106106A (ja) | 1994-10-05 | 1994-10-05 | 液晶ライトバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24143394A JPH08106106A (ja) | 1994-10-05 | 1994-10-05 | 液晶ライトバルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08106106A true JPH08106106A (ja) | 1996-04-23 |
Family
ID=17074237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24143394A Pending JPH08106106A (ja) | 1994-10-05 | 1994-10-05 | 液晶ライトバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08106106A (ja) |
-
1994
- 1994-10-05 JP JP24143394A patent/JPH08106106A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3132193B2 (ja) | 液晶表示デバイス及び液晶表示デバイスの製造方法 | |
| CN103048723B (zh) | 一种l形波片及其制备方法 | |
| JP2004045784A (ja) | 液晶パネルおよびその製造方法 | |
| JPH049925A (ja) | 光書き込み型液晶表示素子 | |
| JPH08106106A (ja) | 液晶ライトバルブ | |
| JPH08106093A (ja) | 液晶ライトバルブ | |
| JPH08106092A (ja) | 液晶ライトバルブ | |
| JPS63253924A (ja) | ライトバルブ及びその製造法 | |
| JP2886237B2 (ja) | 光導電型液晶ライトバルブ | |
| JPS5937527A (ja) | 液晶表示素子 | |
| JPH0253028A (ja) | 液晶表示装置 | |
| JPH05165050A (ja) | 光導電型液晶ライト・バルブ | |
| KR0141909B1 (ko) | 액정 표시 디바이스 제조 방법 | |
| JP2000231109A (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 | |
| JPH04301819A (ja) | 空間光変調素子 | |
| JPS5853527Y2 (ja) | 電界効果型複屈折制御液晶表示素子のセル構造 | |
| JPH0822019A (ja) | 液晶ライトバルブ | |
| JPH04141630A (ja) | 液晶電気光学装置 | |
| JPH0553134A (ja) | 光導電型液晶ライトバルブ | |
| JPH06235910A (ja) | 強誘電性液晶表示パネルおよびその製造方法 | |
| JP2545976B2 (ja) | 液晶の配向方法 | |
| JPH08106088A (ja) | 空間光変調器およびその製造方法 | |
| JPS5834816B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
| JPS61179419A (ja) | 強誘電性液晶の配向方法 | |
| JP2002107733A (ja) | 液晶表示素子 |