JPH0810680B2 - 熱処理用ボ−ト - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体ウエーハなどの被熱処理物を熱処
理装置で特定の熱処理を行うためにその被熱処理物を載
せる熱処理用ボートに関する。

〔従来の技術〕

従来、拡散炉などの熱処理装置において、半導体ウエ
ーハに特定の処理を施す場合、その処理は半導体ウエー
ハを処理用治具としての熱処理用ボートに載せて処理チ
ューブ内で行われる。熱処理用ボートは、円板状の半導
体ウエーハを一定の間隔を以て保持するものである。

従来、この熱処理用ボートは、半導体ウエーハを着脱
することから、その上面側を解放状態とし、底面側に半
導体ウエーハを保持するための複数の溝を一定の間隔で
形成したものである。

〔発明が解決しようとする問題点〕

このため、縦型炉のように処理チューブが垂直に設置
された場合、処理チューブに熱処理用ボートが垂直に立
てられることになり、処理チューブの下方で熱処理用ボ
ートの出し入れが行われる。この場合、半導体ウエーハ
に振動によって傷を生じさせたり、脱落させたりするこ
とがあった。また、処理中に処理チューブ内で回転させ
る場合にも、遠心力で半導体ウエーハが変位してしまう
などのおそれもあった。

そこで、この発明は、半導体ウエーハなどの被熱処理
物を収容する熱処理用ボートにおいて、その被熱処理物
の脱落や振動を伴うことなく、水平または垂直など任意
の角度に設定可能にしたものである。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明の熱処理用ボートは、第１図に例示するよう
に、側板部６、８の間に板状を成す被熱処理物（たとえ
ば半導体ウエーハ２）の全周縁の半周より狭い間隔で複
数の支柱10、12、14、16が取り付けられ、各支柱に前記
被熱処理物を保持する複数の溝部（溝24）を設け、各溝
部に前記被熱処理物の周縁の一部を挿入して前記被熱処
理物を支持する支持部４と、この支持部の前記側板部に
前記支柱を延長する方向に突設されてチャック32、34に
より把持可能な把持突部５と、前記側板部との間に前記
チャックによって把持可能な間隔を設けて前記把持突部
の周縁方向に突設された鍔部30とを備えたことを特徴と
する。

〔作用〕

このように構成すると、被熱処理物としてたとえば、
半導体ウエーハ２の周縁を全周縁の1/2以下の間隔で支
持点が設定されることになり、半導体ウエーハ２の支持
によるストレスを防止でき、角度設定は、把持突部５を
以て操作し、任意の角度に設定できるとともに、把持突
部５及び鍔部30を用いて垂直に保持させることができ
る。

〔実施例〕

第１図の（Ａ）、（Ｂ）および（Ｃ）はこの発明の熱
処理用ボートの実施例を示す。

この熱処理用ボートは、石英などの耐熱性材料によっ
て一体的構造を成しており、被熱処理物としての半導体
ウエーハ２を支持するための支持部４とともに、移送の
ための把持突部５を備えている。

支持部４は、両端に円板状の側板部６、８を設けると
ともに、側板部６、８間に支持部材として４本の支柱1
0、12、14、16を設置したものである。支柱10〜16は、
被支持物としての半導体ウエーハ２の円周上に、半導体
ウエーハ２の全周縁の1/2以下の間隔で設置されてい
る。すなわち、支柱10〜16は、全周縁の1/2以下の間隔
で設定されることから、各支柱10、14は、水平軸ｌに対
して僅かな角度θだけ上方になるように設定されるので
ある。側板部６、８の中央には気体の通流を補助するた
めの透孔18が形成され、支柱10〜16の中途部には、支柱
10〜16をその中間で補強するとともに仕切板を兼ねる中
間補強板20が設けられている。そして、中間補強板20と
側板部６または側板部８との間に保持腕部22が設けられ
ている。したがって、支持部４は、側板部６、８、支柱
10〜16、中間補強板20および保持腕部22によって機械的
を強固な筐体構造を成し、半導体ウエーハ２を収容する
容器を成しているのである。中間補強板20は、第２図
（第１図（Ｂ）のII−II線断面図）に示すように、側板
部６、８と同様に円板状を成し、中央部に透孔18を備え
ている。

各支柱10〜16は、第３図に示すように、一定の間隔で
半導体ウエーハ２を保持する溝24を形成するとともに、
その溝24の開口部に半導体ウエーハ２の挿入を容易にす
るための傾斜した拡がりを持つ案内面26を設けてある。

そして、一方の側板部８には、外面側に段部28を設け
て同心円上に円筒状の一定の長さを持つ把持突部５が設
けられ、この把持突部５の中途部に鍔部30が設けられて
いる。把持突部５は、第４図に示すように、側板部８の
透孔18に通じるように円筒状を成すとともに、側板部８
の同心円軸上に設置されている。

このように熱処理用ボートを構成することによって、
第５図に示すように、４本の支柱10〜16上に半導体ウエ
ーハ２を支持することができる。この場合、支柱10、14
は、周縁側に半導体ウエーハ２の全周縁の1/2以下の間
隔で設置されているので、半導体ウエーハ２の中心Ｏを
通る水平軸ｌより角度θだけ上方に位置して、半導体ウ
エーハ２はその周縁を散点的に支持されている。このよ
うな支持によって、半導体ウエーハ２に対するストレス
を抑制して半導体ウエーハ２の変形などを防止できると
ともに、移送の際の振動や脱落が防止されるのである。

そして、この熱処理用ボートには、その側部に把持突
部５が設置されていることから、第６図に示すように、
開閉可能なチャック32、34を用いて側板部８と鍔部30と
の間の把持突部５を把持して熱処理用ボートを移送する
ことができる。その場合、熱処理用ボートは、チャック
32、34を持つ移送手段によって矢印Ｘ、Ｙ、Ｚの方向に
移送できるとともに、矢印R_Hで示す水平方向、矢印R_Vで
示す垂直方向に旋回して立てることができる。

また、チャック32、34に把持させて移送された熱処理
用ボートは、第７図に示すように、昇降手段の支持部材
36の保持孔38に把持突部５の一部を挿入し、把持突部５
およびその鍔部30によって支持させれば、矢印Ｗで示す
方向に昇降させることができ、たとえば、加熱装置の処
理チューブに対する出し入れを容易に行うことができ
る。この場合、半導体ウエーハ２は、支持部４によって
確実に支持され、特に、支持部材36を矢印Ｖで示すよう
に回転させた場合にも、半導体ウエーハ２の中心が熱処
理用ボートによって回転中心に合致されているので、遠
心力による脱落を防止できる。

なお、実施例では被熱処理物として半導体ウエーハを
例に取って説明したが、この発明は、半導体ウエーハ以
外の被熱処理物の支持に用いることができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明によれば、半導体ウエ
ーハなどの被熱処理物を確実に支持できるとともに、把
持突部を用いて自由に移送でき、回転や角度設定を容易
に行うことができ、しかも、把持突部にはチャックに対
応した間隔を設けて形成された鍔部が備えられているの
で、把持した際に安定した位置決めや位置的な操作が可
能になり、操作性を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の熱処理用ボートの実施例を示す図、
第２図は第１図の（Ｂ）に示した熱処理用ボートのII−
II線断面図、第３図は第１図に示した熱処理用ボートの
支柱の一部を示す図、第４図は第１図に示した熱処理用
ボートの把持突部の断面を示す断面図、第５図は第１図
に示した熱処理用ボートによって半導体ウエーハが支持
される状態を示す図、第６図は第１図に示した熱処理用
ボートの把持突部を把持する形態を示す斜視図、第７図
は第１図に示した熱処理用ボートを支持部材に載せての
昇降を示す図である。 ２……半導体ウエーハ（被熱処理物） ４……支持部 ５……把持突部 ６、８……側板部 10、12、14、16……支柱 24……溝（溝部） 30……鍔部 32、34……チャック

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】側板部の間に板状を成す被熱処理物の全周
   縁の半周より狭い間隔で複数の支柱が取り付けられ、各
   支柱に前記被熱処理物を保持する複数の溝部を設け、各
   溝部に前記被熱処理物の周縁の一部を挿入して前記被熱
   処理物を支持する支持部と、 この支持部の前記側板部に前記支柱を延長する方向に突
   設されてチャックにより把持可能な把持突部と、 前記側板部との間に前記チャックによって把持可能な間
   隔を設けて前記把持突部の周縁方向に突設された鍔部
   と、 を備えたことを特徴とする熱処理用ボート。