JPH0811056A - 板状体の周縁研削方法及びその装置 - Google Patents
板状体の周縁研削方法及びその装置Info
- Publication number
- JPH0811056A JPH0811056A JP14944494A JP14944494A JPH0811056A JP H0811056 A JPH0811056 A JP H0811056A JP 14944494 A JP14944494 A JP 14944494A JP 14944494 A JP14944494 A JP 14944494A JP H0811056 A JPH0811056 A JP H0811056A
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- Japan
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- grinding
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- glass plate
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- Pending
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- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 面取砥石１２の研削面１２Ａをガラス板１６
の研削周縁１６Ｃに当接してガラス板１６の研削周縁１
６Ｃを研削する板状体の周縁研削装置１０において、面
取砥石１２の進行方向の後方に高圧洗浄手段１４を配設
し、この高圧洗浄手段１４でガラス板１６の研削後の周
縁１６Ｂに高圧水を吹き付ける。これにより、ガラス板
１６の研削後の周縁１６Ｂに埋め込まれたように付着し
た切粉が周縁１６Ｂから除去される。 【効果】 ガラス板１６の研削後の周縁１６Ｂに埋め込
まれたように付着した切粉を研削後の周縁１６Ｂから除
去して、ガラス板１６の研削後の周縁１６Ｂをガラス板
の表面と同様に透明にする。
の研削周縁１６Ｃに当接してガラス板１６の研削周縁１
６Ｃを研削する板状体の周縁研削装置１０において、面
取砥石１２の進行方向の後方に高圧洗浄手段１４を配設
し、この高圧洗浄手段１４でガラス板１６の研削後の周
縁１６Ｂに高圧水を吹き付ける。これにより、ガラス板
１６の研削後の周縁１６Ｂに埋め込まれたように付着し
た切粉が周縁１６Ｂから除去される。 【効果】 ガラス板１６の研削後の周縁１６Ｂに埋め込
まれたように付着した切粉を研削後の周縁１６Ｂから除
去して、ガラス板１６の研削後の周縁１６Ｂをガラス板
の表面と同様に透明にする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は砥石の研削面を板状体の
周縁に当接して板状体の周縁を研削する板状体の周縁研
削方法及びその装置に関する。
周縁に当接して板状体の周縁を研削する板状体の周縁研
削方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ガラス板等の板状体の面取砥石
は円盤状に形成され、その周面部に研削部が形成されて
いる。研削部はボンド剤にダイヤモンド砥粒が埋設され
て形成され、ボンド剤から突出しているダイヤモンド砥
粒でガラス板等の周縁を研削する。研削は砥石をガラス
板の周縁に当接させて、砥石を自転すると共にガラス板
の周縁に沿って移動して行われる。そして、研削完了後
ガラス板をブラシで洗って、ガラス板に付着したガラス
粉（切粉）を除去する。
は円盤状に形成され、その周面部に研削部が形成されて
いる。研削部はボンド剤にダイヤモンド砥粒が埋設され
て形成され、ボンド剤から突出しているダイヤモンド砥
粒でガラス板等の周縁を研削する。研削は砥石をガラス
板の周縁に当接させて、砥石を自転すると共にガラス板
の周縁に沿って移動して行われる。そして、研削完了後
ガラス板をブラシで洗って、ガラス板に付着したガラス
粉（切粉）を除去する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、砥石で
研削されたガラス板の研削面には切粉が埋め込まれたよ
うに付着し、ブラシで洗ってもガラス板の研削面から切
粉を除去することができないという問題がある。本発明
はこのような事情に鑑みてなされたもので、ガラス板の
研削面から切粉を除去して、ガラス板の研削面をガラス
板の表面と同様に透明にすることができる板状体の周縁
研削方法及びその装置を提供することを目的とする。
研削されたガラス板の研削面には切粉が埋め込まれたよ
うに付着し、ブラシで洗ってもガラス板の研削面から切
粉を除去することができないという問題がある。本発明
はこのような事情に鑑みてなされたもので、ガラス板の
研削面から切粉を除去して、ガラス板の研削面をガラス
板の表面と同様に透明にすることができる板状体の周縁
研削方法及びその装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決する為の手段】本発明は、回転砥石の研削
面を板状体の周縁に当接して前記板状体の周縁を研削す
る板状体の周縁研削方法において、研削後の板状体の周
縁に高圧水を吹き付けて前記板状体の周縁から研削屑を
除去することを特徴とする板状体の周縁研削方法、及
び、その方法を実施する装置である。
面を板状体の周縁に当接して前記板状体の周縁を研削す
る板状体の周縁研削方法において、研削後の板状体の周
縁に高圧水を吹き付けて前記板状体の周縁から研削屑を
除去することを特徴とする板状体の周縁研削方法、及
び、その方法を実施する装置である。
【０００５】また、本発明は、前記高圧水を前記板状体
の研削位置に吹き付けることを特徴とする板状体の周縁
研削方法、及び、その方法を実施する装置である。
の研削位置に吹き付けることを特徴とする板状体の周縁
研削方法、及び、その方法を実施する装置である。
【０００６】
【作用】本発明によれば、回転砥石の研削面を板状体の
周縁に当接して板状体の周縁を研削する板状体の周縁研
削装置において、砥石の進行方向の後方に高圧洗浄手段
を配設し、この高圧洗浄手段で研削後の板状体の周面に
高圧水を吹き付ける。従って、研削後の板状体の周面に
埋め込まれたように付着した切削屑が周縁から除去され
る。
周縁に当接して板状体の周縁を研削する板状体の周縁研
削装置において、砥石の進行方向の後方に高圧洗浄手段
を配設し、この高圧洗浄手段で研削後の板状体の周面に
高圧水を吹き付ける。従って、研削後の板状体の周面に
埋め込まれたように付着した切削屑が周縁から除去され
る。
【０００７】また、本発明によれば、高圧水を板状体の
研削位置に吹き付けることにより板状体の周縁に付着し
た切削屑を周縁から除去するとともに、回転砥石の研削
面に付着した切削屑を研削面から除去することができ
る。さらに、高圧水を板状体の研削位置に吹き付けるこ
とにより回転砥石の研削部や板状体の被研削部を冷却す
ることができる。
研削位置に吹き付けることにより板状体の周縁に付着し
た切削屑を周縁から除去するとともに、回転砥石の研削
面に付着した切削屑を研削面から除去することができ
る。さらに、高圧水を板状体の研削位置に吹き付けるこ
とにより回転砥石の研削部や板状体の被研削部を冷却す
ることができる。
【０００８】
実施例１ 以下添付図面に従って本発明に係る板状体の周縁研削方
法及びその装置の好ましい実施例について説明する。図
１に示す板状体の周縁研削装置１０は面取砥石１２及び
高圧洗浄手段１４を備えている。面取砥石１２は円盤状
に形成され、その外周に研削部１２Ａが形成されてい
る。研削部１２Ａはボンド剤にダイヤモンド砥粒が埋設
されて形成され、ボンド剤から突出しているダイヤモン
ド砥粒でガラス板１６の周縁１６Ａを研削する。すなわ
ち、周縁１６Ａの研削は面取砥石１２をガラス板１６の
周縁１６Ａに当接させて、面取砥石１２を反時計回り方
向に自転すると共にガラス板１６の周縁１６Ａに沿って
左方向に移動して行われる。
法及びその装置の好ましい実施例について説明する。図
１に示す板状体の周縁研削装置１０は面取砥石１２及び
高圧洗浄手段１４を備えている。面取砥石１２は円盤状
に形成され、その外周に研削部１２Ａが形成されてい
る。研削部１２Ａはボンド剤にダイヤモンド砥粒が埋設
されて形成され、ボンド剤から突出しているダイヤモン
ド砥粒でガラス板１６の周縁１６Ａを研削する。すなわ
ち、周縁１６Ａの研削は面取砥石１２をガラス板１６の
周縁１６Ａに当接させて、面取砥石１２を反時計回り方
向に自転すると共にガラス板１６の周縁１６Ａに沿って
左方向に移動して行われる。
【０００９】高圧洗浄手段１４は高圧水発生部２０及び
高圧スプレーノズル２２を有している。高圧水発生部２
０はホース２４を介して高圧スプレーノズル２２に連通
されている。高圧スプレーノズル２２は面取砥石１２の
進行方向に対して後方に配置され、高圧スプレーノズル
２２はノズル口がガラス板１６の研削後の周縁１６Ｂに
高圧水を吹き付ける位置に位置決めされている。
高圧スプレーノズル２２を有している。高圧水発生部２
０はホース２４を介して高圧スプレーノズル２２に連通
されている。高圧スプレーノズル２２は面取砥石１２の
進行方向に対して後方に配置され、高圧スプレーノズル
２２はノズル口がガラス板１６の研削後の周縁１６Ｂに
高圧水を吹き付ける位置に位置決めされている。
【００１０】また、高圧水発生部２０はホース２６を介
して給水タンク２８内に連通され、給水タンク２８内に
は供給水２８Ａが充填されている。さらに、ホース２６
には電磁バルブ３０が設けられている。高圧水発生部２
０は、給水タンク２８内から供給された供給水２８Ａを
高圧噴射することができ、高圧噴射の最大圧力及び最大
流量はそれぞれ７０ｋｇｆ／ｃｍ2 及び１０ｌ／ｍｉｎ
に設定されている。
して給水タンク２８内に連通され、給水タンク２８内に
は供給水２８Ａが充填されている。さらに、ホース２６
には電磁バルブ３０が設けられている。高圧水発生部２
０は、給水タンク２８内から供給された供給水２８Ａを
高圧噴射することができ、高圧噴射の最大圧力及び最大
流量はそれぞれ７０ｋｇｆ／ｃｍ2 及び１０ｌ／ｍｉｎ
に設定されている。
【００１１】電磁バルブ３０は流路の開閉制御が可能で
あり、電磁バルブ３０を開放して高圧水発生部２０を作
動すると、給水タンク２８内の水２８Ａは高圧水発生部
２０に供給され、高圧水発生部２０から高圧噴射され
る。高圧水発生部２０から高圧噴射された水はホース２
４を介して高圧スプレーノズル２２まで導かれ、高圧ス
プレーノズル２２のノズル口から高圧スプレー水３２が
噴霧状に噴射される。
あり、電磁バルブ３０を開放して高圧水発生部２０を作
動すると、給水タンク２８内の水２８Ａは高圧水発生部
２０に供給され、高圧水発生部２０から高圧噴射され
る。高圧水発生部２０から高圧噴射された水はホース２
４を介して高圧スプレーノズル２２まで導かれ、高圧ス
プレーノズル２２のノズル口から高圧スプレー水３２が
噴霧状に噴射される。
【００１２】これにより、噴霧状の高圧スプレー水３２
がガラス板１６の研削後の周縁１６Ｂに吹き付けられ、
周縁１６Ｂに埋め込まれたように付着した切粉等が周縁
１６Ｂから除去される。なお、面取砥石１２の研削部１
２Ａで研削するガラス板１６の研削周縁１６Ｃには散水
手段３６が配設され、散水手段３６の散水口３６Ａ、３
６Ａ…から、ガラス板１６の研削周縁１６Ｃに切削水が
供給される。
がガラス板１６の研削後の周縁１６Ｂに吹き付けられ、
周縁１６Ｂに埋め込まれたように付着した切粉等が周縁
１６Ｂから除去される。なお、面取砥石１２の研削部１
２Ａで研削するガラス板１６の研削周縁１６Ｃには散水
手段３６が配設され、散水手段３６の散水口３６Ａ、３
６Ａ…から、ガラス板１６の研削周縁１６Ｃに切削水が
供給される。
【００１３】この散水口３６Ａ、３６Ａ…から供給され
る切削水は、圧力及び流量がそれぞれ１ｋｇｆ／ｃｍ2
〜４ｋｇｆ／ｃｍ2 及び５０ｌ／ｍｉｎ以下に設定され
ている。そして、切削水がガラス板１６の研削周縁１６
Ｃに供給されることにより、ガラス板１６や面取砥石１
２の研削部１２Ａが冷却される。前記の如く構成された
板状体の周縁研削装置の作用について説明する。先ず、
電磁バルブ３０を開放した状態で高圧水発生部２０を作
動して給水タンク２８内の供給水２８Ａを高圧水発生部
２０に供給して高圧水発生部２０から高圧噴射する。高
圧水発生部２０から高圧噴射された供給水２８Ａはホー
ス２４を介して高圧スプレーノズル２２まで導かれ、高
圧スプレーノズル２２のノズル口から噴霧状に噴射され
る。これにより、噴霧状の高圧スプレー水３２がガラス
板１６の研削後の周縁１６Ｂに吹き付けられる。同時
に、散水手段３６の散水口３６Ａ、３６Ａ…からガラス
板１６の研削周縁１６Ｃに切削水が供給される。
る切削水は、圧力及び流量がそれぞれ１ｋｇｆ／ｃｍ2
〜４ｋｇｆ／ｃｍ2 及び５０ｌ／ｍｉｎ以下に設定され
ている。そして、切削水がガラス板１６の研削周縁１６
Ｃに供給されることにより、ガラス板１６や面取砥石１
２の研削部１２Ａが冷却される。前記の如く構成された
板状体の周縁研削装置の作用について説明する。先ず、
電磁バルブ３０を開放した状態で高圧水発生部２０を作
動して給水タンク２８内の供給水２８Ａを高圧水発生部
２０に供給して高圧水発生部２０から高圧噴射する。高
圧水発生部２０から高圧噴射された供給水２８Ａはホー
ス２４を介して高圧スプレーノズル２２まで導かれ、高
圧スプレーノズル２２のノズル口から噴霧状に噴射され
る。これにより、噴霧状の高圧スプレー水３２がガラス
板１６の研削後の周縁１６Ｂに吹き付けられる。同時
に、散水手段３６の散水口３６Ａ、３６Ａ…からガラス
板１６の研削周縁１６Ｃに切削水が供給される。
【００１４】次に、面取砥石１２を回転した状態で、散
水口３６Ａ、３６Ａ…から切削水が供給されているガラ
ス板１６の研削周縁１６Ｃに、面取砥石１２の研削部１
２Ａを当接して研削周縁１６Ｃを研削する。この研削で
ガラス板１６の研削後の周縁１６Ｂに切粉が埋め込まれ
たように付着するが、ガラス板１６の研削後の周縁１６
Ｂには噴霧状の高圧スプレー水３２が吹き付けられてい
るので、周縁１６Ｂに付着した切粉が除去される。これ
により、ガラス板１６の研削後の周面１６Ｂをガラス板
１６の表面と同様に透明にすることができる。
水口３６Ａ、３６Ａ…から切削水が供給されているガラ
ス板１６の研削周縁１６Ｃに、面取砥石１２の研削部１
２Ａを当接して研削周縁１６Ｃを研削する。この研削で
ガラス板１６の研削後の周縁１６Ｂに切粉が埋め込まれ
たように付着するが、ガラス板１６の研削後の周縁１６
Ｂには噴霧状の高圧スプレー水３２が吹き付けられてい
るので、周縁１６Ｂに付着した切粉が除去される。これ
により、ガラス板１６の研削後の周面１６Ｂをガラス板
１６の表面と同様に透明にすることができる。
【００１５】実施例２ 前記実施例１では、高圧スプレーノズル２２でガラス板
１６の研削後の周縁１６Ｂに高圧水を吹き付ける場合に
ついて説明したが、これに限らず、図３に示すように高
圧スプレーノズル２２でガラス板１６の被研削面１６Ｃ
に高圧水を吹き付けてもよい。尚、図３おいて図１上の
実施例１と同一類似部材については同一符号を付して説
明を省略する。
１６の研削後の周縁１６Ｂに高圧水を吹き付ける場合に
ついて説明したが、これに限らず、図３に示すように高
圧スプレーノズル２２でガラス板１６の被研削面１６Ｃ
に高圧水を吹き付けてもよい。尚、図３おいて図１上の
実施例１と同一類似部材については同一符号を付して説
明を省略する。
【００１６】このように、高圧スプレーノズル２２でガ
ラス板１６の被研削面１６Ｃに高圧水を吹き付けること
により、板ガラス１６の周縁１６Ｂに付着した切粉を周
縁１６Ｂから除去するとともに、面取砥石１２の研削部
１２Ａに付着した切粉を研削部１２Ａから除去すること
ができる。また、高圧水をガラス板１６の被研削面１６
Ｃに吹き付けることにより面取砥石１２の研削部１２Ａ
やガラス板１６の被研削面１６ｃを冷却することができ
る。
ラス板１６の被研削面１６Ｃに高圧水を吹き付けること
により、板ガラス１６の周縁１６Ｂに付着した切粉を周
縁１６Ｂから除去するとともに、面取砥石１２の研削部
１２Ａに付着した切粉を研削部１２Ａから除去すること
ができる。また、高圧水をガラス板１６の被研削面１６
Ｃに吹き付けることにより面取砥石１２の研削部１２Ａ
やガラス板１６の被研削面１６ｃを冷却することができ
る。
【００１７】実施例３ 実施例１、２では高圧スプレーノズル２２を面取砥石１
２の後方に配設した場合について説明したが、これに限
らず、図４に示すように新たな高圧スプレーノズル４０
を面取砥石１２の前方に配設してもよい。図４に示すよ
うに、高圧スプレーノズル４０はノズル口４２がガラス
板１６の被研削面１６Ｃの近傍に向けて配設されてい
る。なお、図４上で面取砥石１２は反時計回り方向に自
転しながら左方向に移動する。
２の後方に配設した場合について説明したが、これに限
らず、図４に示すように新たな高圧スプレーノズル４０
を面取砥石１２の前方に配設してもよい。図４に示すよ
うに、高圧スプレーノズル４０はノズル口４２がガラス
板１６の被研削面１６Ｃの近傍に向けて配設されてい
る。なお、図４上で面取砥石１２は反時計回り方向に自
転しながら左方向に移動する。
【００１８】従って、高圧スプレーノズル４０のノズル
口４２から噴射された高圧水４４は、面取砥石１２の研
削部１２Ａとガラス板１６の被研削面１６Ｂとの隙間に
吹き付けられる。これにより、面取砥石１２の研削部１
２Ａでガラス板１６の被研削面１６Ｂを研削する場合の
熱を吸収することができるので、面取砥石１２の焼けつ
きやガラス板１６のチッピング等を防止することができ
る。また、実施例２と同様に面取砥石１２の研削部１２
Ａに高圧水４４が吹き付けられるので、被研削面１６Ｂ
の切粉等が除去されて面取砥石１２の研削部１２Ａの目
詰まりを防止することができる。尚、図４おいて図１上
の実施例１と同一類似部材については同一符号を付して
説明を省略する。
口４２から噴射された高圧水４４は、面取砥石１２の研
削部１２Ａとガラス板１６の被研削面１６Ｂとの隙間に
吹き付けられる。これにより、面取砥石１２の研削部１
２Ａでガラス板１６の被研削面１６Ｂを研削する場合の
熱を吸収することができるので、面取砥石１２の焼けつ
きやガラス板１６のチッピング等を防止することができ
る。また、実施例２と同様に面取砥石１２の研削部１２
Ａに高圧水４４が吹き付けられるので、被研削面１６Ｂ
の切粉等が除去されて面取砥石１２の研削部１２Ａの目
詰まりを防止することができる。尚、図４おいて図１上
の実施例１と同一類似部材については同一符号を付して
説明を省略する。
【００１９】前記実施例１、２、３では被加工材として
ガラス板１６について説明したが、これに限らず、セラ
ミック、シリコン等の硬脆材料やアルミ板、金属板、プ
ラスチック板等にも使用することができる。また、噴射
する高圧水の最大圧力の設定を７０Ｋｇｆ／ｃｍ2 とし
ているが、本発明において好適に被研削面の切粉等の除
去や研削部の目詰まりを防止する水圧としては、７０Ｋ
ｇｆ／ｃｍ2 以上であるため、最大圧力の設定も７０Ｋ
ｇｆ／ｃｍ2 以上とすることが好ましい。この時に噴射
される水の流量は、１０ｌ／ｍｉｎが好ましい。
ガラス板１６について説明したが、これに限らず、セラ
ミック、シリコン等の硬脆材料やアルミ板、金属板、プ
ラスチック板等にも使用することができる。また、噴射
する高圧水の最大圧力の設定を７０Ｋｇｆ／ｃｍ2 とし
ているが、本発明において好適に被研削面の切粉等の除
去や研削部の目詰まりを防止する水圧としては、７０Ｋ
ｇｆ／ｃｍ2 以上であるため、最大圧力の設定も７０Ｋ
ｇｆ／ｃｍ2 以上とすることが好ましい。この時に噴射
される水の流量は、１０ｌ／ｍｉｎが好ましい。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る板状
体の周縁研削方法及びその装置によれば、回転砥石の研
削面を板状体の周縁に当接して板状体の周縁を研削する
板状体の周縁研削装置において、砥石の進行方向の後方
に高圧洗浄手段を配設し、この高圧洗浄手段で研削後の
板状体の周面に高圧水を吹き付ける。従って、研削後の
板状体の周面に埋め込まれたように付着した切削屑が周
縁から除去されるので、研削後の板状体の周面を板状体
の表面と同様に透明にすることができる。
体の周縁研削方法及びその装置によれば、回転砥石の研
削面を板状体の周縁に当接して板状体の周縁を研削する
板状体の周縁研削装置において、砥石の進行方向の後方
に高圧洗浄手段を配設し、この高圧洗浄手段で研削後の
板状体の周面に高圧水を吹き付ける。従って、研削後の
板状体の周面に埋め込まれたように付着した切削屑が周
縁から除去されるので、研削後の板状体の周面を板状体
の表面と同様に透明にすることができる。
【００２１】また、本発明によれば、高圧水を板状体の
研削位置に吹き付けることにより板状体の周縁に付着し
た切削屑を周縁から除去するとともに、回転砥石の研削
面に付着した切削屑を研削面から除去することができ
る。さらに、高圧水を板状体の研削位置に吹き付けるこ
とにより回転砥石の研削部や板状体の被研削部を冷却す
ることができる。
研削位置に吹き付けることにより板状体の周縁に付着し
た切削屑を周縁から除去するとともに、回転砥石の研削
面に付着した切削屑を研削面から除去することができ
る。さらに、高圧水を板状体の研削位置に吹き付けるこ
とにより回転砥石の研削部や板状体の被研削部を冷却す
ることができる。
【図１】本発明に係る板状体の周縁研削装置の実施例１
を示す全体図
を示す全体図
【図２】本発明に係る板状体の周縁研削装置の実施例１
を示す斜視図
を示す斜視図
【図３】本発明に係る板状体の周縁研削装置の実施例２
を説明する説明図
を説明する説明図
【図４】本発明に係る板状体の周縁研削装置の実施例３
を説明する説明図
を説明する説明図
１０…板状体の周縁研削装置 １２…面取砥石（砥石） １２Ａ…研削部（研削面） １４…高圧洗浄手段 １６…ガラス板（板状体） １６Ａ…周縁 １６Ｂ…研削後の周縁 １６Ｃ…研削周縁
Claims (4)
- 【請求項１】 回転砥石の研削面を板状体の周縁に当接
して前記板状体の周縁を研削する板状体の周縁研削方法
において、 研削後の板状体の周縁に高圧水を吹き付けて前記板状体
の周縁から研削屑を除去することを特徴とする板状体の
周縁研削方法。 - 【請求項２】 前記高圧水を前記板状体の研削位置に吹
き付けることを特徴とする請求項１の板状体の周縁研削
方法。 - 【請求項３】 回転砥石の研削面を板状体の周縁に当接
して前記板状体の周縁を研削する板状体の周縁研削装置
において、 研削後の板状体の周縁に高圧水を吹き付ける高圧洗浄手
段を備えたことを特徴とする板状体の周縁研削装置。 - 【請求項４】 前記高圧洗浄手段は、前記高圧水を前記
板状体の研削位置に吹き付けることができる位置に設け
られていることを特徴とする請求項３の板状体の周縁研
削装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14944494A JPH0811056A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 板状体の周縁研削方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14944494A JPH0811056A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 板状体の周縁研削方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0811056A true JPH0811056A (ja) | 1996-01-16 |
Family
ID=15475257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14944494A Pending JPH0811056A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 板状体の周縁研削方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0811056A (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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