JPH08114271A - 高真空圧バルブにおけるシールリングの取付け機構 - Google Patents
高真空圧バルブにおけるシールリングの取付け機構Info
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- JPH08114271A JPH08114271A JP6277047A JP27704794A JPH08114271A JP H08114271 A JPH08114271 A JP H08114271A JP 6277047 A JP6277047 A JP 6277047A JP 27704794 A JP27704794 A JP 27704794A JP H08114271 A JPH08114271 A JP H08114271A
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 9
- 238000003825 pressing Methods 0.000 abstract description 5
- 238000003780 insertion Methods 0.000 abstract description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
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- Details Of Valves (AREA)
- Sealing Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 取付溝へのシールリングの挿脱が容易で、し
かも捩じれることなく強固に取付けられる、高真空圧バ
ルブのシールリングの取付け機構を提供する。 【構成】 弁体２３の弁座１４との対向面に設けた取付
溝３０を、該取付溝に挿入されたシールリング３１が取
付溝内において僅かに移動可能な大きさとし、内側を円
筒面３０ａ外側を開口側が縮径するテーパ面３０ｂとす
る。また、円筒面の開口近くにテーパ面に向けて開口す
るリング溝３２を設けて、この溝に、シールリングを固
定するための欠円状の固定リング３３を取付ける。取付
溝への徐々の押し込みによってシールリング３１に捩じ
れが生じても、取付溝内において捩じれを戻すことがで
き、シールリングは、固定リング３３による押圧部及び
取付溝のテーパ面３０ｂと底面３０ｃとの圧接部の３点
において取付溝に固定される。
かも捩じれることなく強固に取付けられる、高真空圧バ
ルブのシールリングの取付け機構を提供する。 【構成】 弁体２３の弁座１４との対向面に設けた取付
溝３０を、該取付溝に挿入されたシールリング３１が取
付溝内において僅かに移動可能な大きさとし、内側を円
筒面３０ａ外側を開口側が縮径するテーパ面３０ｂとす
る。また、円筒面の開口近くにテーパ面に向けて開口す
るリング溝３２を設けて、この溝に、シールリングを固
定するための欠円状の固定リング３３を取付ける。取付
溝への徐々の押し込みによってシールリング３１に捩じ
れが生じても、取付溝内において捩じれを戻すことがで
き、シールリングは、固定リング３３による押圧部及び
取付溝のテーパ面３０ｂと底面３０ｃとの圧接部の３点
において取付溝に固定される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高真空圧バルブにおけ
る弁体に、弁座をシールするシールリングを取付けるシ
ールリングの取付け機構に関するものである。
る弁体に、弁座をシールするシールリングを取付けるシ
ールリングの取付け機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】複数のポートと、これらのポートを連通
させる流路中の弁座と、該弁座を開閉する弁体とを備
え、該弁体の弁座との対向面に形成した環状の取付溝
に、上記弁座をシールするＯリングを取付けた高真空圧
バルブは、既に知られている。上記公知の高真空圧バル
ブは、図４に示すように、弁体１における弁座２との対
向面に、両側壁を先細りのテーパ面３，３とした環状の
取付溝４を設けて、この取付溝４に、弁座２をシールす
るＯリング５を、その一部を取付溝４から突出させて取
付けている。
させる流路中の弁座と、該弁座を開閉する弁体とを備
え、該弁体の弁座との対向面に形成した環状の取付溝
に、上記弁座をシールするＯリングを取付けた高真空圧
バルブは、既に知られている。上記公知の高真空圧バル
ブは、図４に示すように、弁体１における弁座２との対
向面に、両側壁を先細りのテーパ面３，３とした環状の
取付溝４を設けて、この取付溝４に、弁座２をシールす
るＯリング５を、その一部を取付溝４から突出させて取
付けている。
【０００３】この場合、取付溝４の開口幅をＷ、Ｏリン
グ５の線径をｄとすると、Ｗ／ｄ＝０．８５〜０．９と
して、即ち取付溝４の開口幅をＯリング５の線径より１
０〜１５％小さくすることによって、取付溝４からのＯ
リング５の抜け出しを防止している。また、取付溝４に
Ｏリング５を気密に取付けるためには、Ｏリング５に上
記範囲とほぼ同程度の潰し代を設けて取付溝４に取付け
る必要があるが、高真空圧バルブにおいては、高真空と
いう使用条件のために、Ｏリング５に、取付溝４への挿
入を容易にするための潤滑剤を塗布することができな
い。
グ５の線径をｄとすると、Ｗ／ｄ＝０．８５〜０．９と
して、即ち取付溝４の開口幅をＯリング５の線径より１
０〜１５％小さくすることによって、取付溝４からのＯ
リング５の抜け出しを防止している。また、取付溝４に
Ｏリング５を気密に取付けるためには、Ｏリング５に上
記範囲とほぼ同程度の潰し代を設けて取付溝４に取付け
る必要があるが、高真空圧バルブにおいては、高真空と
いう使用条件のために、Ｏリング５に、取付溝４への挿
入を容易にするための潤滑剤を塗布することができな
い。
【０００４】高真空圧バルブにおいて、取付溝４にＯリ
ング５を取付ける方法としては、Ｏリング５を取付溝４
に徐々に押し込む方法か、または図示を省略している治
具によりＯリング５の幅を狭くして、全体を一度に取付
溝４に押し込む方法が採用されている。しかしながら、
Ｏリング５を徐々に押し込む方法は、押し込みによって
Ｏリングに捩じれが生じ、取付溝４への取付け後は、Ｏ
リング５が取付溝４の底面３ａと両側のテーパ面３，３
との３面で押圧されるために捩じれが戻らないので、こ
の捩じれがリークの原因となる一方、治具によってＯリ
ング５を取付ける方法は、生産現場においては問題がな
いが、Ｏリング５が傷付いたり破損したりした場合に、
ユーザーが現場において交換することができない。
ング５を取付ける方法としては、Ｏリング５を取付溝４
に徐々に押し込む方法か、または図示を省略している治
具によりＯリング５の幅を狭くして、全体を一度に取付
溝４に押し込む方法が採用されている。しかしながら、
Ｏリング５を徐々に押し込む方法は、押し込みによって
Ｏリングに捩じれが生じ、取付溝４への取付け後は、Ｏ
リング５が取付溝４の底面３ａと両側のテーパ面３，３
との３面で押圧されるために捩じれが戻らないので、こ
の捩じれがリークの原因となる一方、治具によってＯリ
ング５を取付ける方法は、生産現場においては問題がな
いが、Ｏリング５が傷付いたり破損したりした場合に、
ユーザーが現場において交換することができない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、取付溝へのシールリングの挿脱が容易で、
しかも捩じれることなく強固に取付けられる、高真空圧
バルブにおけるシールリングの取付け機構を提供するこ
とにある。
する課題は、取付溝へのシールリングの挿脱が容易で、
しかも捩じれることなく強固に取付けられる、高真空圧
バルブにおけるシールリングの取付け機構を提供するこ
とにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の高真空圧バルブにおけるシールリングの取
付け機構は、複数のポートと、これらのポートを連通さ
せる流路中の弁座と、該弁座を開閉する弁体とを備え、
該弁体の弁座との対向面に設けた環状の取付溝に上記弁
座をシールするシールリングを取付けた高真空圧バルブ
において、上記取付溝を、該取付溝内において上記シー
ルリングが僅かに移動可能な大きさとするとともに、開
口近くの側壁の少なくとも一方に、対向する側壁に向い
て開口するリング溝を設け、上記取付溝に挿入されたシ
ールリングを、上記リング溝に装着した固定リングによ
って取付溝の壁面に圧接させたことを特徴としている。
め、本発明の高真空圧バルブにおけるシールリングの取
付け機構は、複数のポートと、これらのポートを連通さ
せる流路中の弁座と、該弁座を開閉する弁体とを備え、
該弁体の弁座との対向面に設けた環状の取付溝に上記弁
座をシールするシールリングを取付けた高真空圧バルブ
において、上記取付溝を、該取付溝内において上記シー
ルリングが僅かに移動可能な大きさとするとともに、開
口近くの側壁の少なくとも一方に、対向する側壁に向い
て開口するリング溝を設け、上記取付溝に挿入されたシ
ールリングを、上記リング溝に装着した固定リングによ
って取付溝の壁面に圧接させたことを特徴としている。
【０００７】また、同様の課題を解決するため、上記取
付溝の側壁を、円筒面と開口側が縮径するテーパ面とす
るとともに、上記円筒面にリング溝を設け、上記取付溝
に挿入されたシールリングを、上記リング溝に装着した
固定リングによって取付溝のテーパ面と底面とに圧接さ
せたこと；または、取付溝の両側壁を円筒面とするとと
もに、これらの円筒面に、対向する側壁に向いて開口す
るリング溝をそれぞれ設け、上記取付溝に挿入されたシ
ールリングを、上記リング溝にそれぞれ装着した固定リ
ングによって取付溝の底面に圧接させたことを特徴とし
ている。
付溝の側壁を、円筒面と開口側が縮径するテーパ面とす
るとともに、上記円筒面にリング溝を設け、上記取付溝
に挿入されたシールリングを、上記リング溝に装着した
固定リングによって取付溝のテーパ面と底面とに圧接さ
せたこと；または、取付溝の両側壁を円筒面とするとと
もに、これらの円筒面に、対向する側壁に向いて開口す
るリング溝をそれぞれ設け、上記取付溝に挿入されたシ
ールリングを、上記リング溝にそれぞれ装着した固定リ
ングによって取付溝の底面に圧接させたことを特徴とし
ている。
【０００８】
【作用及び発明の効果】弁体に設けた取付溝にシールリ
ングを徐々に押し込んで挿入し、次いでリング溝に欠円
状の固定リングを取付けると、該固定シリングによって
シールリングが取付溝の壁面に圧接されるので、シール
リングを取付溝に気密に取付けることができる。
ングを徐々に押し込んで挿入し、次いでリング溝に欠円
状の固定リングを取付けると、該固定シリングによって
シールリングが取付溝の壁面に圧接されるので、シール
リングを取付溝に気密に取付けることができる。
【０００９】この場合、取付溝へのシールリングの押し
込みによってシールリングに多少の捩じれが生じても、
取付溝に挿入されたシールリングは取付溝内において僅
かに移動できるので、押し込みにより生じた捩じれを戻
すことができる。また、固定リングの取付けによって、
シールリングの外周面が取付溝の壁面に圧接されるの
で、シールリングが取付溝に気密に取付けられる。した
がって、治具を使用することなく、シールリングを現場
において容易に挿脱することができ、しかも固定リング
によって取付溝に圧接されるので、シールリングを強固
に取付けることができる。具体的には、シールリング
は、固定リングによる押圧部、及び取付溝のテーパ面と
底面、または固定リングによる２箇所の押圧部、及び取
付溝の底面との３点において圧接されるので、取付溝に
強固に取付けられる。
込みによってシールリングに多少の捩じれが生じても、
取付溝に挿入されたシールリングは取付溝内において僅
かに移動できるので、押し込みにより生じた捩じれを戻
すことができる。また、固定リングの取付けによって、
シールリングの外周面が取付溝の壁面に圧接されるの
で、シールリングが取付溝に気密に取付けられる。した
がって、治具を使用することなく、シールリングを現場
において容易に挿脱することができ、しかも固定リング
によって取付溝に圧接されるので、シールリングを強固
に取付けることができる。具体的には、シールリング
は、固定リングによる押圧部、及び取付溝のテーパ面と
底面、または固定リングによる２箇所の押圧部、及び取
付溝の底面との３点において圧接されるので、取付溝に
強固に取付けられる。
【００１０】
【実施例】図１及び図２は本発明の第１実施例を示し、
この高真空圧バルブにおけるバルブボディ１１は、直交
する方向に形成したポート１２，１３と、これらのポー
ト１２と１３を連通させる流路中の弁座１４と、弁座１
４に対向する開口１５とを備え、開口１５にベローズプ
レート１６を介して気密に取付けられたボンネット１７
に、後記する弁体を駆動するための空気圧シリンダ１９
のシリンダ２０が形成されている。また、開口１５とベ
ローズプレート１６との間は、図示を省略しているシー
ル材によって気密にシールされている。
この高真空圧バルブにおけるバルブボディ１１は、直交
する方向に形成したポート１２，１３と、これらのポー
ト１２と１３を連通させる流路中の弁座１４と、弁座１
４に対向する開口１５とを備え、開口１５にベローズプ
レート１６を介して気密に取付けられたボンネット１７
に、後記する弁体を駆動するための空気圧シリンダ１９
のシリンダ２０が形成されている。また、開口１５とベ
ローズプレート１６との間は、図示を省略しているシー
ル材によって気密にシールされている。
【００１１】上記弁座１４を開閉する弁体２３の弁棒２
４は、ボンネット１７を気密に貫通して空気圧シリンダ
１９のピストン２１に連結されており、弁体２３とボン
ネット１７との間に復帰ばね２５が縮設されている。ま
た、ボンネット１７には、ピストン２１で区画されたベ
ローズプレート１６側の圧力室２６に圧縮空気を給排す
るポート２７が開設されている。上記ベローズプレート
１６の内周面と弁体２３には、弁棒２４を囲むベローズ
２８の両端が気密に固着されており、ベローズプレート
１６とベローズ２８は、いずれも適宜の金属によって形
成されている。
４は、ボンネット１７を気密に貫通して空気圧シリンダ
１９のピストン２１に連結されており、弁体２３とボン
ネット１７との間に復帰ばね２５が縮設されている。ま
た、ボンネット１７には、ピストン２１で区画されたベ
ローズプレート１６側の圧力室２６に圧縮空気を給排す
るポート２７が開設されている。上記ベローズプレート
１６の内周面と弁体２３には、弁棒２４を囲むベローズ
２８の両端が気密に固着されており、ベローズプレート
１６とベローズ２８は、いずれも適宜の金属によって形
成されている。
【００１２】弁体２３における弁座１４との対向面に
は、シールリング３１を取付けるための環状の取付溝３
０が形成されている。図２に詳細を示す取付溝３０は、
内周が円筒面３０ａとされ、外周は開口側が縮径するテ
ーパ面３０ｂとされており、開口の幅Ｗ1 は、Ｏリング
で形成した上記シールリング３１の線径ｄの９２．５〜
９５％とされている。また、取付溝３０の幅及び深さ
は、取付溝３０に挿入されたシールリング３１が、取付
溝３０内において径方向及び軸方向に僅かに移動可能な
大きさとされている。上記円筒面３０ａの外径は、弁座
１４とシールリング３１の内径より若干小径で、かつ弁
座１４側に向けて延長されており、その突出長さは、取
付溝３０に取付けられたシールリング３１の取付溝から
の突出量より若干短くされている。また、円筒面３０ａ
のテーパ面３０ｂの先端とほぼ対向する箇所に、テーパ
面側に向けて開口するリング溝３２が形成されており、
該リング溝３２に、切欠部によって欠円状とされた金属
製の固定リング３３が取付けられる。
は、シールリング３１を取付けるための環状の取付溝３
０が形成されている。図２に詳細を示す取付溝３０は、
内周が円筒面３０ａとされ、外周は開口側が縮径するテ
ーパ面３０ｂとされており、開口の幅Ｗ1 は、Ｏリング
で形成した上記シールリング３１の線径ｄの９２．５〜
９５％とされている。また、取付溝３０の幅及び深さ
は、取付溝３０に挿入されたシールリング３１が、取付
溝３０内において径方向及び軸方向に僅かに移動可能な
大きさとされている。上記円筒面３０ａの外径は、弁座
１４とシールリング３１の内径より若干小径で、かつ弁
座１４側に向けて延長されており、その突出長さは、取
付溝３０に取付けられたシールリング３１の取付溝から
の突出量より若干短くされている。また、円筒面３０ａ
のテーパ面３０ｂの先端とほぼ対向する箇所に、テーパ
面側に向けて開口するリング溝３２が形成されており、
該リング溝３２に、切欠部によって欠円状とされた金属
製の固定リング３３が取付けられる。
【００１３】上記第１実施例は、取付溝３０にシールリ
ング３１を徐々に押し込むことによって、治具を使用す
ることなく取付溝３０にシールリング３１が挿入され
る。この場合、取付溝３０の開口幅Ｗ1 が公知の取付溝
３０の開口幅Ｗに比べて広いので、押し込みによるシー
ルリング３１の捩じれは殆ど生じない。また、捩じれが
生じても、取付溝３０に単に挿入された状態では、シー
ルリング３１が取付溝３０内において僅かに移動できる
ので、捩じれを戻すことができる。次いで、リング溝３
２に固定リング３３を取付けると、該固定リング３３に
よりシールリング３１が放射方向及び軸方向に押圧され
て、取付溝３０のテーパ面３０ｂと底面３０ｃとに圧接
される。したがって、シールリング３１は、固定リング
３３による押圧部及び取付溝３０のテーパ面３０ｂと底
面３０ｃへの圧接部との３点において、取付溝３０に強
固にかつ気密に取付けられ、外周面の一部が取付溝３０
から弁座１４に向いて突出する。
ング３１を徐々に押し込むことによって、治具を使用す
ることなく取付溝３０にシールリング３１が挿入され
る。この場合、取付溝３０の開口幅Ｗ1 が公知の取付溝
３０の開口幅Ｗに比べて広いので、押し込みによるシー
ルリング３１の捩じれは殆ど生じない。また、捩じれが
生じても、取付溝３０に単に挿入された状態では、シー
ルリング３１が取付溝３０内において僅かに移動できる
ので、捩じれを戻すことができる。次いで、リング溝３
２に固定リング３３を取付けると、該固定リング３３に
よりシールリング３１が放射方向及び軸方向に押圧され
て、取付溝３０のテーパ面３０ｂと底面３０ｃとに圧接
される。したがって、シールリング３１は、固定リング
３３による押圧部及び取付溝３０のテーパ面３０ｂと底
面３０ｃへの圧接部との３点において、取付溝３０に強
固にかつ気密に取付けられ、外周面の一部が取付溝３０
から弁座１４に向いて突出する。
【００１４】この場合、固定リング３３のリング溝３２
への取付けによって、シールリング３１に取付溝３０の
シールに必要な潰し代が与えられることは、勿論であ
る。また、円筒面３０ａの弁座１４側への突出長さが、
取付溝３０に取付けられたシールリング３１の取付溝３
０からの突出高さより短いので、円筒面３０ａの突出長
さが、バルブのコンダクタンス（流量特性）に影響を及
ぼすことはない。
への取付けによって、シールリング３１に取付溝３０の
シールに必要な潰し代が与えられることは、勿論であ
る。また、円筒面３０ａの弁座１４側への突出長さが、
取付溝３０に取付けられたシールリング３１の取付溝３
０からの突出高さより短いので、円筒面３０ａの突出長
さが、バルブのコンダクタンス（流量特性）に影響を及
ぼすことはない。
【００１５】シールリング３１が破損しまたは傷付いた
場合には、固定リング３３をリング溝３２から取り外す
と、シールリング３１を取付溝３０から取り出すことが
できるので、ユーザーが現場において交換することがで
きる。したがって、シールリング３１の取付溝３０への
挿脱が容易で、しかもシールリング３１を捩じれること
なく強固に取付溝３０に保持することができる。
場合には、固定リング３３をリング溝３２から取り外す
と、シールリング３１を取付溝３０から取り出すことが
できるので、ユーザーが現場において交換することがで
きる。したがって、シールリング３１の取付溝３０への
挿脱が容易で、しかもシールリング３１を捩じれること
なく強固に取付溝３０に保持することができる。
【００１６】上記第１実施例は、ポート１２を真空チャ
ンバにポート１３を真空ポンプ等の真空源（真空チャン
バ及び真空ポンプは、いずれも図示省略）に接続されて
使用される。ポート２７から圧力室２６に圧縮空気を供
給すると、ピストン２１及び弁体２３が図において上動
するので、シールリング３１が弁座１４を開放してポー
ト１２と１３間の流路が連通し、圧力室２６の圧縮空気
を外部に排出すると、復帰ばね２５の付勢力により弁体
２３とピストン２１が復帰して、シールリング３１が弁
座１４を閉鎖する。この場合、弁座１４の内径が円筒面
３０ａの内径より僅かに大きいので、シールリング３１
を押し潰すことができる。
ンバにポート１３を真空ポンプ等の真空源（真空チャン
バ及び真空ポンプは、いずれも図示省略）に接続されて
使用される。ポート２７から圧力室２６に圧縮空気を供
給すると、ピストン２１及び弁体２３が図において上動
するので、シールリング３１が弁座１４を開放してポー
ト１２と１３間の流路が連通し、圧力室２６の圧縮空気
を外部に排出すると、復帰ばね２５の付勢力により弁体
２３とピストン２１が復帰して、シールリング３１が弁
座１４を閉鎖する。この場合、弁座１４の内径が円筒面
３０ａの内径より僅かに大きいので、シールリング３１
を押し潰すことができる。
【００１７】図３は本発明の第２実施例を示し、第２実
施例の弁体３６に設けた環状の取付溝３７は、内外両面
が円筒面３７ａ，３７ａとして形成され、取付溝３７の
開口幅Ｗ2 は、シールリング３１の線径ｄより僅かに大
きくされている。また各円筒面３７ａの開口近くには、
対向して開口するリング溝３８，３８が形成されてい
る。第２実施例は、取付溝３７にリールリング３１を徐
々に押し込んだ後、リング溝３８，３８に固定リング３
３，３３を取付けると、これらの固定リングによりシー
ルリング３１が該リングの中心方向及び軸方向に押圧さ
れて、取付溝３７の底面３７ｂに圧接されるので、固定
リング３３，３３による押圧面及び取付溝３７の底面３
７ｂとの３点によって、シールリング３１を取付溝３７
に強固にかつ気密に取付けることができる。第２実施例
の他の構成及び作用は第１実施例と同じであるから、説
明は省略する。
施例の弁体３６に設けた環状の取付溝３７は、内外両面
が円筒面３７ａ，３７ａとして形成され、取付溝３７の
開口幅Ｗ2 は、シールリング３１の線径ｄより僅かに大
きくされている。また各円筒面３７ａの開口近くには、
対向して開口するリング溝３８，３８が形成されてい
る。第２実施例は、取付溝３７にリールリング３１を徐
々に押し込んだ後、リング溝３８，３８に固定リング３
３，３３を取付けると、これらの固定リングによりシー
ルリング３１が該リングの中心方向及び軸方向に押圧さ
れて、取付溝３７の底面３７ｂに圧接されるので、固定
リング３３，３３による押圧面及び取付溝３７の底面３
７ｂとの３点によって、シールリング３１を取付溝３７
に強固にかつ気密に取付けることができる。第２実施例
の他の構成及び作用は第１実施例と同じであるから、説
明は省略する。
【図１】第１実施例の縦断面図である。
【図２】同じく要部の拡大断面図である。
【図３】第２実施例の要部の拡大断面図である。
【図４】公知のシールリングの取付け機構を示す拡大断
面図である。
面図である。
１２，１３ ポート １４ 弁座 ２３，３６ 弁体 ３０，３７ 取付
溝 ３０ａ，３７ａ 円筒面 ３０ｂ テーパ面 ３０ｃ，３７ｂ 底面 ３１ シールリ
ング ３２，３８ リング溝 ３３ 固定リン
グ
溝 ３０ａ，３７ａ 円筒面 ３０ｂ テーパ面 ３０ｃ，３７ｂ 底面 ３１ シールリ
ング ３２，３８ リング溝 ３３ 固定リン
グ
Claims (3)
- 【請求項１】複数のポートと、これらのポートを連通さ
せる流路中の弁座と、該弁座を開閉する弁体とを備え、
該弁体の弁座との対向面に設けた環状の取付溝に上記弁
座をシールするシールリングを取付けた高真空圧バルブ
において、 上記取付溝を、該取付溝内において上記シールリングが
僅かに移動可能な大きさとするとともに、開口近くの側
壁の少なくとも一方に、対向する側壁に向いて開口する
リング溝を設け、 上記取付溝に挿入されたシールリングを、上記リング溝
に装着した固定リングによって取付溝の壁面に圧接させ
た、ことを特徴とする高真空圧バルブにおけるシールリ
ングの取付け機構。 - 【請求項２】取付溝の側壁を、円筒面と開口側が縮径す
るテーパ面とするとともに、上記円筒面にリング溝を設
け、 上記取付溝に挿入されたシールリングを、上記リング溝
に装着した固定リングによって取付溝のテーパ面と底面
とに圧接させた、ことを特徴とする請求項１に記載した
高真空圧バルブにおけるシールリングの取付け機構。 - 【請求項３】取付溝の両側壁を円筒面とするとともに、
これらの円筒面に、対向する側壁に向いて開口するリン
グ溝をそれぞれ設け、 上記取付溝に挿入されたシールリングを、上記リング溝
にそれぞれ装着した固定リングによって取付溝の底面に
圧接させた、ことを特徴とする請求項１に記載した高真
空圧バルブにおけるシールリングの取付け機構。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27704794A JP3574688B2 (ja) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | 高真空圧バルブにおけるシールリングの取付け機構 |
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|---|---|---|---|
| JP27704794A JP3574688B2 (ja) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | 高真空圧バルブにおけるシールリングの取付け機構 |
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| JP27704794A Expired - Fee Related JP3574688B2 (ja) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | 高真空圧バルブにおけるシールリングの取付け機構 |
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|---|---|
| JP (1) | JP3574688B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1293329C (zh) * | 2001-09-19 | 2007-01-03 | 速睦喜股份有限公司 | 提升型阀密封机构 |
| JP2011148396A (ja) * | 2010-01-21 | 2011-08-04 | Jtekt Corp | ラックアンドピニオン機構及びステアリング装置 |
| KR20180138496A (ko) * | 2017-06-21 | 2018-12-31 | 현대위아 주식회사 | 차량용 구동계 시스템 |
| CN117901036A (zh) * | 2024-03-20 | 2024-04-19 | 晋中宏泰液压机械有限公司 | 一种液压阀密封件安装设备 |
-
1994
- 1994-10-17 JP JP27704794A patent/JP3574688B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
| CN1293329C (zh) * | 2001-09-19 | 2007-01-03 | 速睦喜股份有限公司 | 提升型阀密封机构 |
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| KR20180138496A (ko) * | 2017-06-21 | 2018-12-31 | 현대위아 주식회사 | 차량용 구동계 시스템 |
| CN117901036A (zh) * | 2024-03-20 | 2024-04-19 | 晋中宏泰液压机械有限公司 | 一种液压阀密封件安装设备 |
| CN117901036B (zh) * | 2024-03-20 | 2024-05-28 | 晋中宏泰液压机械有限公司 | 一种液压阀密封件安装设备 |
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