JPH08115973A - マスク保護装置の収納ケース - Google Patents
マスク保護装置の収納ケースInfo
- Publication number
- JPH08115973A JPH08115973A JP25094894A JP25094894A JPH08115973A JP H08115973 A JPH08115973 A JP H08115973A JP 25094894 A JP25094894 A JP 25094894A JP 25094894 A JP25094894 A JP 25094894A JP H08115973 A JPH08115973 A JP H08115973A
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目 的】 マスク保護装置ガ装着されるケース本体
と、ケース本体上に被せられる上蓋と、ケース本体と上
蓋を四隅において止めるクリップよりなるマスク保護装
置の収納ケースにおいて、収納ケースを一定の間隔を存
して積み重ねることができるようにすると共に、収納ケ
ースがずれて多段に積み重ねたケースが傾いたり、捩じ
れたりすることのないようにする。 【構 成】 クリップ１１は、上側に斜辺に隣接して低
い突条１２を、下側に突条１２よりも内側に位置する箇
所に高い突条１３をそれぞれハ状に突出形成する。クリ
ップ１１で四隅を止めた収納ケースを積み重ねたとき、
下向きに突出する突条１３がクリップ１１に支持される
ことにより収納ケース間に一定の間隔が保たれ、また突
条１３が突条１２間に位置することにより収納ケースの
位置ずれが防止される。
と、ケース本体上に被せられる上蓋と、ケース本体と上
蓋を四隅において止めるクリップよりなるマスク保護装
置の収納ケースにおいて、収納ケースを一定の間隔を存
して積み重ねることができるようにすると共に、収納ケ
ースがずれて多段に積み重ねたケースが傾いたり、捩じ
れたりすることのないようにする。 【構 成】 クリップ１１は、上側に斜辺に隣接して低
い突条１２を、下側に突条１２よりも内側に位置する箇
所に高い突条１３をそれぞれハ状に突出形成する。クリ
ップ１１で四隅を止めた収納ケースを積み重ねたとき、
下向きに突出する突条１３がクリップ１１に支持される
ことにより収納ケース間に一定の間隔が保たれ、また突
条１３が突条１２間に位置することにより収納ケースの
位置ずれが防止される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マスクやレチクル（以
下「マスク」という）に塵埃等が付着するのを防止する
目的で用いられるマスク保護装置を収納するケースに関
し、ことにマスク保護装置が装着されるケース本体と、
上蓋と、四隅においてケース本体に上蓋を止めるための
クリップとよりなるマスク保護装置の収納ケースに関す
る。
下「マスク」という）に塵埃等が付着するのを防止する
目的で用いられるマスク保護装置を収納するケースに関
し、ことにマスク保護装置が装着されるケース本体と、
上蓋と、四隅においてケース本体に上蓋を止めるための
クリップとよりなるマスク保護装置の収納ケースに関す
る。
【０００２】
【従来技術】集積回路の製造工程におけるフォトリソグ
ラフィ工程では、マスク上に塵埃等が付着すると、これ
が半導体ウェハに投影され、不良製品となりがちであ
る。この問題を解消し、マスク上に異物等が付着するの
防止するため、マスクパターンを囲う大きさの枠の一側
面に透明な薄膜を張設し、他側端面をマスク上に粘着テ
ープ等の接着手段により接着してマスクを薄膜により一
定の間隔を存して覆うようにしたマスク保護装置が供さ
れるようになった。
ラフィ工程では、マスク上に塵埃等が付着すると、これ
が半導体ウェハに投影され、不良製品となりがちであ
る。この問題を解消し、マスク上に異物等が付着するの
防止するため、マスクパターンを囲う大きさの枠の一側
面に透明な薄膜を張設し、他側端面をマスク上に粘着テ
ープ等の接着手段により接着してマスクを薄膜により一
定の間隔を存して覆うようにしたマスク保護装置が供さ
れるようになった。
【０００３】こうしたマスク保護装置は出荷して使用に
供されるまで通常、塵埃等が付着することのないように
収納ケースに入れられて保管し、運搬される。図１は、
従来用いられてきたこの種の収納ケースについて示すも
ので、中央部にマスク保護装置１が位置決めして装着さ
れる台２を突状に形成したケース本体３と、ケース本体
上に被せて装着され、マスク保護装置の枠周縁を押える
押え部４を形成した上蓋５とよりなっており、ケース本
体３に上蓋５を被せて固定するときには、図２に示すよ
うなクリップ６を用い、これを図３に示すようにケース
本体３と、ケース本体３に被せた上蓋５との四隅にそれ
ぞれ嵌合して取付けていた。図中、７はクリップを押し
込んだのち、蓋周縁のリブ８によって抜け止めれるスト
ッパーである。
供されるまで通常、塵埃等が付着することのないように
収納ケースに入れられて保管し、運搬される。図１は、
従来用いられてきたこの種の収納ケースについて示すも
ので、中央部にマスク保護装置１が位置決めして装着さ
れる台２を突状に形成したケース本体３と、ケース本体
上に被せて装着され、マスク保護装置の枠周縁を押える
押え部４を形成した上蓋５とよりなっており、ケース本
体３に上蓋５を被せて固定するときには、図２に示すよ
うなクリップ６を用い、これを図３に示すようにケース
本体３と、ケース本体３に被せた上蓋５との四隅にそれ
ぞれ嵌合して取付けていた。図中、７はクリップを押し
込んだのち、蓋周縁のリブ８によって抜け止めれるスト
ッパーである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】マスク保護装置を格納
したケースは、保管若しくは運搬時に通常、図１に示す
ように、上蓋５に段状をなして形成される凸部９を台２
によって形成される凹部１０に嵌合した状態で多段に重
ねられるが、段数が多くなると、その自重により下層部
の上蓋５が撓んで格納するマスク保護装置の薄膜に接触
するおそれがある。
したケースは、保管若しくは運搬時に通常、図１に示す
ように、上蓋５に段状をなして形成される凸部９を台２
によって形成される凹部１０に嵌合した状態で多段に重
ねられるが、段数が多くなると、その自重により下層部
の上蓋５が撓んで格納するマスク保護装置の薄膜に接触
するおそれがある。
【０００５】本発明は、多段に積み重ねても自重により
上蓋が撓んでマスク保護装置に接触することのないよう
に、一定の間隔を存して積み重ねることができるような
マスク保護装置の収納ケースを提供することを目的とす
る。
上蓋が撓んでマスク保護装置に接触することのないよう
に、一定の間隔を存して積み重ねることができるような
マスク保護装置の収納ケースを提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題の解決手段】本発明の収納ケースはそのため、マ
スク保護装置が位置決めして装着される矩形状のケース
本体と、ケース本体に被せて装着され、マスク保護装置
の枠周縁を押える押え部を形成した矩形状の上蓋と、四
隅においてケース本体に装着される上蓋とケース本体と
に嵌挿され、両者を連結する台形状のクリップを備えた
マスク保護装置の収納ケースにおいて、上記クリップの
上下の少なくとも一方の側に積み重ねた収納ケース間に
間隙を形成するスペーサを突設したことを特徴とする。
スク保護装置が位置決めして装着される矩形状のケース
本体と、ケース本体に被せて装着され、マスク保護装置
の枠周縁を押える押え部を形成した矩形状の上蓋と、四
隅においてケース本体に装着される上蓋とケース本体と
に嵌挿され、両者を連結する台形状のクリップを備えた
マスク保護装置の収納ケースにおいて、上記クリップの
上下の少なくとも一方の側に積み重ねた収納ケース間に
間隙を形成するスペーサを突設したことを特徴とする。
【０００７】こゝでスペースサは、ピン状のものであっ
てもよいが、好ましくは突条、より好ましくはクリップ
の斜辺に沿ってハ状に形成される突条のものとされる。
スペーサはまた、クリップの上下に設けて収納ケースを
積み重ねたとき、上下のスペーサが係合して位置ずれを
防止できるようにするのが望ましい。こうしたものとし
ては、クリップの斜辺に沿ってハ状に形成される突条が
好ましい例として挙げられる。
てもよいが、好ましくは突条、より好ましくはクリップ
の斜辺に沿ってハ状に形成される突条のものとされる。
スペーサはまた、クリップの上下に設けて収納ケースを
積み重ねたとき、上下のスペーサが係合して位置ずれを
防止できるようにするのが望ましい。こうしたものとし
ては、クリップの斜辺に沿ってハ状に形成される突条が
好ましい例として挙げられる。
【０００８】
【作用】ケース本体に上蓋を装着し、その四隅において
クリップにより固定した収納ケースを積み重ねたとき、
スペーサが収納ケースを一定の間隔に保ち、収納ケース
同志を直接接触させない。しかもスペーサは収納ケース
の比較的剛性を有する隅に設けられるため、上方からの
重みによる収納ケースの変形が生じにくい。
クリップにより固定した収納ケースを積み重ねたとき、
スペーサが収納ケースを一定の間隔に保ち、収納ケース
同志を直接接触させない。しかもスペーサは収納ケース
の比較的剛性を有する隅に設けられるため、上方からの
重みによる収納ケースの変形が生じにくい。
【０００９】またスペーサを突条にして支持箇所を一方
向に長く伸ばせば、収納ケースを積み重ねたときの安定
性が増し、クリップの各斜辺に沿って一対形成すれば、
安定性がより向上する。またクリップの各斜辺に沿って
形成される突条をクリップの上下に設ければ、四隅のク
リップの突条をその下側のクリップの突条に嵌合状態に
することができ、これにより上下に重ねた収納ケースの
動きを拘束して位置ずれをなくすか、位置ずれを一定範
囲にとゞめることができる。この場合、クリップによる
固定機能を損なわないようにするには、突条の位置を上
下で変え、上側の突条が下側の突条に内側より或いは外
側より係合させるようにする必要がある。なお、突条に
位置ずれ防止機能を持たせるには、上下いづれか一方の
突条は他方の突条に単に係合できるような形状になって
いればよいため、スペーサとしての機能を有する他方の
突条より低くするのが望ましく、また突条に代え、短い
ピンを用いてもよい。
向に長く伸ばせば、収納ケースを積み重ねたときの安定
性が増し、クリップの各斜辺に沿って一対形成すれば、
安定性がより向上する。またクリップの各斜辺に沿って
形成される突条をクリップの上下に設ければ、四隅のク
リップの突条をその下側のクリップの突条に嵌合状態に
することができ、これにより上下に重ねた収納ケースの
動きを拘束して位置ずれをなくすか、位置ずれを一定範
囲にとゞめることができる。この場合、クリップによる
固定機能を損なわないようにするには、突条の位置を上
下で変え、上側の突条が下側の突条に内側より或いは外
側より係合させるようにする必要がある。なお、突条に
位置ずれ防止機能を持たせるには、上下いづれか一方の
突条は他方の突条に単に係合できるような形状になって
いればよいため、スペーサとしての機能を有する他方の
突条より低くするのが望ましく、また突条に代え、短い
ピンを用いてもよい。
【００１０】
【実施例】図４〜図６に示すクリップ１１は、樹脂製
で、上述のクリップ６と同様、上下方向から見て台形状
をなし、上側には斜辺に隣接して低い突条１２よりも内
側に位置する箇所に高い突条１３をそれぞれハ状に突出
形成し、短辺側にはテーパ状をなす突状のストッパー７
を下向きに、また該ストッパー７に対向する位置に低い
突部１５を形成してなるもので、図１に示すケース本体
３と、該本体３に装着される上蓋５を固定するときに
は、従来例と同様、クリップ１１の長辺側よりケース本
体３と上蓋５の角に押込む。すると、クリップ１１が変
形しながらストッパー７が蓋周縁のリブ８を乗り越え、
リブ８の内側に嵌合して抜け止めとなり、また突部１５
がケース本体３に下側より押付けられて止められるよう
になっている。
で、上述のクリップ６と同様、上下方向から見て台形状
をなし、上側には斜辺に隣接して低い突条１２よりも内
側に位置する箇所に高い突条１３をそれぞれハ状に突出
形成し、短辺側にはテーパ状をなす突状のストッパー７
を下向きに、また該ストッパー７に対向する位置に低い
突部１５を形成してなるもので、図１に示すケース本体
３と、該本体３に装着される上蓋５を固定するときに
は、従来例と同様、クリップ１１の長辺側よりケース本
体３と上蓋５の角に押込む。すると、クリップ１１が変
形しながらストッパー７が蓋周縁のリブ８を乗り越え、
リブ８の内側に嵌合して抜け止めとなり、また突部１５
がケース本体３に下側より押付けられて止められるよう
になっている。
【００１１】図７は、収納ケースＡを積み重ねたときの
クリップについて示すもので、クリップ１１は、突条１
３が下側のクリップ１１に当たることにより、下側のク
リップ上に支持され、これにより収納ケースＡを一定の
間隔で支持するようになっている。また突条１３が突条
１２間に嵌合することにより、収納ケースＡの位置ずれ
を防止するようになっている。
クリップについて示すもので、クリップ１１は、突条１
３が下側のクリップ１１に当たることにより、下側のク
リップ上に支持され、これにより収納ケースＡを一定の
間隔で支持するようになっている。また突条１３が突条
１２間に嵌合することにより、収納ケースＡの位置ずれ
を防止するようになっている。
【００１２】本実施例によれば、ケース本体と上蓋とを
クリップで止めた収納ケースＡを積み重ねたとき、四隅
の各クリップ１１は、下側の各クリップ上に位置ずれを
防止されて支持されるようになり、収納ケースＡを等間
隔で互いに接触させることなく、また位置ずれを生じる
ことなく支持させることができる。しかも上方からの重
みはクリップに作用し、クリップはケース本体と上蓋と
が重なって比較的剛性を有し、かつリブ８により強度を
有する収納ケースの角に取付けられるため、上方からの
重みによる収納ケースの変形を生じない。
クリップで止めた収納ケースＡを積み重ねたとき、四隅
の各クリップ１１は、下側の各クリップ上に位置ずれを
防止されて支持されるようになり、収納ケースＡを等間
隔で互いに接触させることなく、また位置ずれを生じる
ことなく支持させることができる。しかも上方からの重
みはクリップに作用し、クリップはケース本体と上蓋と
が重なって比較的剛性を有し、かつリブ８により強度を
有する収納ケースの角に取付けられるため、上方からの
重みによる収納ケースの変形を生じない。
【００１３】
【発明の効果】本発明は以上のように構成され、次のよ
うな効果を奏する。請求項１記載の収納ケースによれ
ば、積み重ねたときスペーサにより収納ケース間に一定
の間隔が保たれて収納ケース同志が直接接触しないよう
になり、上方からの収納ケースによる重みがクリップ部
分に作用するため、上蓋が撓んでマスク保護装置に接触
するおそれがない。
うな効果を奏する。請求項１記載の収納ケースによれ
ば、積み重ねたときスペーサにより収納ケース間に一定
の間隔が保たれて収納ケース同志が直接接触しないよう
になり、上方からの収納ケースによる重みがクリップ部
分に作用するため、上蓋が撓んでマスク保護装置に接触
するおそれがない。
【００１４】請求項２記載の収納ケースにおいては、突
条により線状に支持されるため、収納ケースを積み重ね
たときの安定性が増し、請求項３記載の収納ケースのよ
うに、突条をクリップの各斜辺に沿って一対設ければ、
安定性がより向上する。請求項４記載の収納ケースのよ
うに、クリップの突条間の間隔を上下で変えると、積み
重ねた収納ケースの上下の突状が内側或いは外側より係
合することにより、収納ケースの位置ずれを防止できる
ようになり、収納ケースを傾けたり、捩じれたりするこ
とがなく積み重ねることができる。
条により線状に支持されるため、収納ケースを積み重ね
たときの安定性が増し、請求項３記載の収納ケースのよ
うに、突条をクリップの各斜辺に沿って一対設ければ、
安定性がより向上する。請求項４記載の収納ケースのよ
うに、クリップの突条間の間隔を上下で変えると、積み
重ねた収納ケースの上下の突状が内側或いは外側より係
合することにより、収納ケースの位置ずれを防止できる
ようになり、収納ケースを傾けたり、捩じれたりするこ
とがなく積み重ねることができる。
【００１５】請求項５記載の収納ケースのように、上下
の突条のうち一方を低くするか、短いピンにするだけ
で、位置ずれ防止機能を持たせることができ、高さ方向
における加工精度を必要としなくなる。
の突条のうち一方を低くするか、短いピンにするだけ
で、位置ずれ防止機能を持たせることができ、高さ方向
における加工精度を必要としなくなる。
【図１】 収納ケースを積み重ねたときの正面図。
【図２】 従来のクリップの斜視図。
【図３】 ケース本体と上蓋をクリップで止めた収納ケ
ースの平面図。
ースの平面図。
【図４】 本発明に係るクリップの平面図。
【図５】 図４のＡ−Ａ線断面図。
【図６】 同クリップの斜視図。
【図７】 収納ケースを積み重ねた時のクリップの正面
図。
図。
１・・・マスク保護装置 ３・・・ケース本
体 ５・・・上蓋 ７・・・ストッパ
ー ８・・・リブ １１・・・クリッ
プ １２、１３・・・突条 １５・・・突部
体 ５・・・上蓋 ７・・・ストッパ
ー ８・・・リブ １１・・・クリッ
プ １２、１３・・・突条 １５・・・突部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/027
Claims (5)
- 【請求項１】 マスク保護装置が位置決めして装着され
る矩形状のケース本体と、ケース本体に被せて装着さ
れ、マスク保護装置の枠周縁を押える押え部を形成した
矩形状の上蓋と、四隅においてケース本体に装着される
上蓋とケース本体とに嵌挿され、両者を連結する台形状
のクリップを備えたマスク保護装置の収納ケースにおい
て、上記クリップの上下の少なくとも一方の側に積み重
ねた収納ケース間に間隙を形成するスペーサを突設した
ことを特徴とするマスク保護装置の収納ケース。 - 【請求項２】 スペーサは突条をなす請求項１記載のマ
スク保護装置の収納ケース。 - 【請求項３】 突条はクリップの斜辺に沿って一対形成
される請求項２記載のマスク保護装置の収納ケース。 - 【請求項４】 突条はクリップの上下に突条間の間隔を
異にして形成される請求項３記載のマスク保護装置の収
納ケース。 - 【請求項５】 上下の突条のうち、一方は低く形成され
るか、若しくは短いピンにされる請求項４記載のマスク
保護装置の収納ケース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25094894A JP3540390B2 (ja) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | マスク保護装置の収納ケース |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25094894A JP3540390B2 (ja) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | マスク保護装置の収納ケース |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08115973A true JPH08115973A (ja) | 1996-05-07 |
| JP3540390B2 JP3540390B2 (ja) | 2004-07-07 |
Family
ID=17215394
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25094894A Expired - Lifetime JP3540390B2 (ja) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | マスク保護装置の収納ケース |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3540390B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1715508A3 (en) * | 2005-04-21 | 2009-11-25 | Miraial Co., Ltd. | Single thin plate storage container |
| CN102530417A (zh) * | 2010-12-25 | 2012-07-04 | 京洛株式会社 | 用于堆叠薄板面板的模块及堆叠薄板面板的方法 |
-
1994
- 1994-10-17 JP JP25094894A patent/JP3540390B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1715508A3 (en) * | 2005-04-21 | 2009-11-25 | Miraial Co., Ltd. | Single thin plate storage container |
| CN102530417A (zh) * | 2010-12-25 | 2012-07-04 | 京洛株式会社 | 用于堆叠薄板面板的模块及堆叠薄板面板的方法 |
| JP2012136241A (ja) * | 2010-12-25 | 2012-07-19 | Kyoraku Co Ltd | 薄板パネルの積重ねに用いるモジュール、および薄板パネルの積重ね方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3540390B2 (ja) | 2004-07-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040323 |
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| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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