JPH04129916A

JPH04129916A - 搬送装置

Info

Publication number: JPH04129916A
Application number: JP25099390A
Authority: JP
Inventors: Eiji Konoshima; 此島　栄次; Naoki Kato; 直樹加藤; Nobuaki Utsunomiya; 信明宇都宮
Original assignee: Tokuda Seisakusho Co Ltd
Current assignee: Tokuda Seisakusho Co Ltd
Priority date: 1990-09-20
Filing date: 1990-09-20
Publication date: 1992-04-30
Anticipated expiration: 2011-02-07
Also published as: JPH0811606B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）この発明は、例えばディスク枚葉処理装置にデジタル化
された音声情報や画像情報を大量に記録するのにコンパ
クトディスク（以下、ＣＤと略称する）やレーザーディ
スク（商品名）あるいはビデオディスクが広く使用され
るようになってきた。

ＣＤ等は、ポリカーボネート等の透明な合成樹脂性基板
の表面にスパッタリングにより光反射率の高いアルミニ
ューム（八１）薄膜層が形成されて構成され、「１」か
ｒＯＪのデジタル情報に合わせて開けられたピット（ｐ
ｉｔ）と称する小さな孔の有無を、レーザ光の反射波あ
るいは透過波の有無によりその記録情報を読み出し得る
ものである。

スパッタリングによる薄膜形成は比較的短時間で行われ
ることから、多数のディスクに連続的に成膜するために
、第４図に示す構成が採用されている。

第４図は連続スパッタリング装置の主要な機構のみを取
出して示した構成図で、まずベルトコンベア１で次々と
搬送されくるＣＤ等の基板２は、軸３ａを中心に水平（
Ｘｌ）方向に回転しかつ上下（Ｙｌ）方向に移動可能な
搬送機構３の吸着パット２１に吸着され、スパッタ室４
に搬送される。

スパッタ室４内での基板２は、前記搬送機構３と同様に
、軸４１ａを中心に水平方向に回転しかつ上下方向に移
動可能な搬送装置４１のテーブル４１ｂに載置されて搬
ｊスされ、順次スパッタ源４２により成膜が行われる。

スパッタ成膜後の基板２は再び搬送装置４１に載置され
、搬送機構３を経て外部に取出される。

ところで、スパッタ室４内で基板２を搬送する搬送装置
旧は、軸４１ａを中心に回転させる駆動源を有し、旋回
あるいは回転往復運動によって搬送するように構成され
ているので、第５図に示すように少なくとも半径Ｒを超
える広い面積の空間を必要とした。

搬送装置４１の小形化は、直ちにスパッタ室４のコンパ
クト化につながる。また、基板２の成膜過程では、スパ
ッタ室４内の吸排気操作が必要とされるが、その機能向
上のため］ンダクタンスができるだ（プ大きいことが望
まれ、また設置場所の省スペースにもつながるので搬送
装置４１の小形化は従来からの課題であった。

（発明が解決しＪ：うとする課題）従来の搬送装置は、基板等の搬送物を複数の円盤状のテ
ーブルに載せ、旋回搬送させるので、その搬送には大き
な空間を必要とし、例えばスパツタリング装置内に装着
すると装置全体の形状が大となり、小形化への障害とな
っていた。

この発明は、簡単な構成により、小形化を実現した搬送
装置を提供することを目的とする。

［発明の構成］（課題を解決するための手段）この発明による搬送装置は、対向配置され豆いに逆方向
に往復回動する一対の回転体と、この回転体の回転軸に
夫々固定され互いに高さを異にして取イ１（）られた受
皿とを具備Ｊることを特徴とする。

（作　用〉この発明ににる搬送装置は、対向配置されて、互いに逆
方向に往復回動する回転体に、高さを異にして受皿が取
付（プられたので、受皿が回動するとき互いに間隔を置
いて上下に重なり合う部分が多く占めるので、夫々の回
動に要する仝休の平面面積は小さくなり、搬送に伴う占
有空間を小さくすることができる。

（実施例）以下、この発明による搬送装置の一実施例を第１図ない
し第３図を参照して詳細に説明する。

即ち、この実施例による搬送装置５は、まず、歯車５１
は一種の平歯車であってモータ等の駆動源５２の回転軸
５２ａに固定して取付（プられている。

歯車５１には互いに対向する側の部分に歯５１ａ。

５１ｂが形成され、この両者の歯５１ａ、　５ｔｈの間
の側面は平行に切り落とされている。勿論、歯車５１は
円形状の平歯車であって全周囲にわたって歯が形成され
ていても良い。

この歯車５１の各歯５１ａ、　５１ｂに噛合うように一
対の回転体５３．５３’が回転軸が平行になるように構
成され、この回転体５３．５３’　には互いに高さを異
にしてかつ平行移動可能な受１１１］５／Ｉ、　５４’
が固定して取付けられている。

また、各前記一対の回転体５３．５３’は、駆動源５２
の固定部に固定された支持アーム５４に回動自在に軸支
されている。

この実施例による搬送装置は、上記のように構成された
ので、第２図にも示すように、駆動源５２が仮に矢印Ｘ
方向に回転したとすれば、この駆動源５２によって歯車
５１も夫々矢印Ｘ方向に回転するから、歯車５１に連な
る回転体５４．５４’　は受皿５４゜５４′を伴って互
いに反対方向（矢印Ｘ方向）に回転移動する。

この結果、受皿５４．５４’　は互いに平行を維持しつ
つ離れるように移動し、第３図に示すように重なり合う
部分が無くなるまで移動させることができる。

第３図に示す状態を駆動源５２をＸ方向に回転駆動させ
たときの最大値としたとき、駆動源５２を逆方向に回転
させ、第２図に示した状態から矢印Ｘとは反対方向に回
転移動すれば、第３図での受皿５４、５４’　の位置が
平面的には互いに置き替わった状態とすることができる
。

このように、駆動源５２の回転制御により、矢印Ｘ方向
及びその逆方向に歯車５１を反復往復運動させることに
よって、各受皿５４．５４’　は、回転体５３゜５３′
の回転軸を中心に扇状に回動移動するだけであるので、
移動に伴う往復道軌跡は短くなり、移動にともなって占
める面積も、第５図と比較して明らかなように大幅に縮
小され、装置の小形化が可能となる。

この結果、搬送物の搬送移動に際し大きな空間を必要と
せず、比較的小さな空間内で行うことができ、例えばこ
れをスパッタ室（４）内での基板搬送に適用した場合、
内容積をより小さくできるから吸排気時間を短くするこ
とかできる。

なお、上記実施例では、各回転体５３．５３’　は歯車
５１によって駆動されるとして説明したが、要するに、
各回転体５３．５３’　は駆動源５６の回転駆動力を受
けて往復回転移動できれば良いので、駆動源５２からの
回転力伝達は歯車機構に限らず例えばプーリの組合わせ
や、他の接触抵抗を利用した回転伝達機構を採用しても
同様な機能及び効果を得ることができる。

また、駆動源５２も回転往復運動を行う機能を有すれば
よいので、回転モータのばか例えば直線往復運動を回転
往復運動に変換動作さゼる、いわゆるピニオン及びラッ
クの組合わせ機構で構成しても良い。

以上のように、この発明による搬送装置によれば、簡単
な構成によって、一対の受皿５４．５４’　は互いに衝
突することなく交互に交差して移動させるので、全体の
構成の移動空間での小形化が実現するものであり、スパ
ッタリング装置に限らず、他の搬送機構例えば半導体ウ
ェハーの処理装置等にも適用して顕著な効果が得られる
。

［発明の効果］この発明による搬送装置は、基板等を載せた一対の受皿
は互いに異なる位置を回転軸として回動しかつ交差して
移動するように構成されるので、仝休は小形化され、搬
送装置に広く適用できるものであり、実用上の効果大で
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの搬送装置の一実施例を示１一部切り欠き側
面図、第２図は第１図に示ず装置の平面図、第３図は第
１図に示す装置の搬送状態を示すもので受皿の間隔が最
大の状態のときの平面図、第４図は従来の搬送装置を適
用した連続スパッタリング装置を示す構成図、搬送装置の平面図である。１・・・ベルトコンベア、２１・・・吸着バット、４・・・スパッタ室、４１ａ・・・軸、５１・・・歯車、５３、５３’・・・回転体、第５図は第４図に示す２・・・基板、３・・・搬送機構、４１．５・・・搬送装置、４２・・・スパッタ源、５２・・・駆動源、５／Ｉ、　５４’・・・受皿。

Claims

【特許請求の範囲】

　対向配置され互いに逆方向に往復回動する一対の回転
体と、この回転体の回転軸に夫々固定され互いに高さを
異にして取付けられた受皿とを具備することを特徴とし
た搬送装置。