JPH08118636A - インクジェット記録ヘッド用基体、これを用いたインクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 信頼性を向上することのできるインクジェッ
ト記録ヘッド用基体を実現すること。 【構成】 液体に熱エネルギーを作用させて形成された
飛翔的液滴によって記録を行うインクジェット記録装置
に用いられるインクジェット記録ヘッド用の基体であっ
て、機能素子が形成されたアースを兼ねる基板を用いて
構成され、基板の機能素子上部には、第一の熱酸化膜層
と、第二の熱酸化膜層と、第一の電極と、層間絶縁膜
と、飛翔的液滴を形成するための熱を発生する発熱抵抗
層と、発熱抵抗層をはさんで第一の電極と対向配置され
る第二の電極と、第一の保護層膜と、第二の保護層膜
と、が順次積層されている基体において、第一の電極と
第二の電極を介して第二の保護層膜が基板と電気的に接
続されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録ヘ
ッド用基体、該基体を用いた記録ヘッドおよび記録ヘッ
ドを搭載する記録装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】低騒音なノンインパクト記録としてイン
クを記録素子上に配置した吐出口から吐出させて記録を
行うインクジェット記録装置は、その構造的な特徴か
ら、高密度で、高速記録が十分可能であり、ローコスト
なプリンタ等の実現が熱望されている。

【０００３】インクジェット記録装置は、吐出口、およ
びこれからインクを吐出するための吐出エネルギーを発
生する電気熱変換素子を記録素子として、配列した構成
がある。

【０００４】このような記録ヘッドでは、記録素子を搭
載する基板上に電気熱変換素子に通電するための電極が
配置される。インクジェット記録装置においては、記録
素子を基板上のエッジ部に設ける必要性があり、記録素
子を電極に接続する配線を基板エッジ部付近で折り返
し、基板上の記録素子より内側に記録電流を通電するた
めの電極を配置して、スルーホールを介し上部に構成さ
れる金属膜に接続する。

【０００５】一方、記録素子と、記録素子を駆動するた
めの機能素子（例えばトランジスタ）と、該機能素子に
よる記録素子の駆動を画像データに応じて行わせる駆動
用集積回路を同一基板上の内部に構造的に設ける方法が
知られている。

【０００６】上述したような構成の場合、同一基板上
に、機能素子を含む駆動用集積回路部と、複数の記録素
子および配線部を作製することにより、記録素子と一対
一に対応する機能素子とを接続するワイヤボンディング
等の工程を省略することができる。ローコストな記録装
置を達成するために、この方法を採用した記録装置が最
近注目されている。

【０００７】記録ヘッド用基体の具体的な構成例として
は、シリコン基板に複数の機能素子を形成し、また、前
記基板上にインクを吐出させるための熱作用部である電
気熱変換体を一対の対向配置された電極の間に形成し、
該電極と少なくとも一つの機能素子を電気的に接続し、
さらに、その上に第一の保護層と第二の保護層とを積層
したものがある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら前記従来
例では、第二の保護層に静電気で高電圧が印加されたと
きに、電極層と第二の保護膜層の間に電位差が生じて第
一の保護膜層の欠陥部分が熱破壊される。

【０００９】発生する静電気の種類としては、以下の種
類が挙げられる。

【００１０】（１）製造工程中の基体の搬送中での静電
気。

【００１１】（２）インクジェット記録ヘッドの記録装
置着時における静電気。

【００１２】（３）ダイシング工程での基体を高水圧で
洗浄する際の水圧と基体の摩擦による静電気。

【００１３】また、熱破壊される欠陥部分とは、以下の
部分である。

【００１４】（１）電極配線エッジ部の段差部分におけ
る第一保護膜層の薄い膜厚の部分。

【００１５】（２）電極配線上のヒロックによる第一保
護膜層の薄い膜厚の部分。

【００１６】上記のようにして形成される膜厚の薄い欠
陥部分が熱破壊され、電極と第二の保護膜層がショート
することにより、ショートした電極と電極が第二の保護
膜層を介して短絡することで電気熱変換体にインクを吐
出させるための電圧が印加されなくなり、不吐出や別の
電気熱変換体が同時吐出するような誤動作が生じてしま
うという問題点がある。

【００１７】本発明は上述したような従来の技術が有す
る問題点に鑑みてなされたものであって、静電気によっ
て電極が短絡することが防止され、信頼性を向上するこ
とのできるインクジェット記録ヘッド用基体およびこれ
を用いることにより動作信頼性が向上されたインクジェ
ット記録ヘッドおよび装置を実現することを目的とす
る。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
記録ヘッド用基体は、液体に熱エネルギーを作用させて
形成された飛翔的液滴によって記録を行うインクジェッ
ト記録装置に用いられるインクジェット記録ヘッド用の
基体であって、機能素子が形成されたアースを兼ねる基
板を用いて構成され、前記基板の機能素子上部には、第
一の熱酸化膜層と、第二の熱酸化膜層と、第一の電極
と、層間絶縁膜と、前記飛翔的液滴を形成するための熱
を発生する発熱抵抗層と、前記発熱抵抗層をはさんで前
記第一の電極と対向配置される第二の電極と、第一の保
護層膜と、第二の保護層膜と、が順次積層されている基
体において、前記第一の電極と前記第二の電極を介して
前記第二の保護層膜が前記基板と電気的に接続されてい
ることを特徴とする。

【００１９】この場合、前記第二の保護層膜が前記基体
の機能素子を介して前記基体と電気的に接続してもよ
い。

【００２０】本発明によるインクジェット記録ヘッド
は、上記の基体を用いて構成されている。

【００２１】また、本発明のインクジェット記録装置
は、上記のインクジェット記録ヘッドを用いたインクジ
ェット記録装置であって、インクジェット記録ヘッド用
基体を構成する基板がインクジェット記録装置のアース
に電気的に接続されることを特徴とする。

【００２２】

【作用】本発明のインクジェット記録ヘッド用基体にお
いては、アースを兼ねる基板と第一の電極とが例えばス
ルーホールによって電気的に接続されている。該第一の
電極上には酢るーほーるを介して発熱抵抗層、第二の電
極および第二の保護層が電気的に接続されているので、
第二の保護層はこれらを介してアースされることとな
る。

【００２３】

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。

【００２４】図１は本発明によるインクジェット記録ヘ
ッド用基体の第１の実施例の構成を示す断面図である。

【００２５】図１に示すように、基体内アース１０９と
されるＰ型シリコン基板に機能素子が形成されている。

【００２６】本実施例にて基体内アース１０９に形成さ
れる機能素子は、バイポーラトランジスタ（Ｔｒ）構造
の駆動用Ｔｒである。駆動用Ｔｒと組み合わされる論理
回路は、一般的には、同一基板に、ＭＯＳＴｒで構成さ
れる駆動信号処理のためのシフトレジスタ、及び発熱抵
抗体を発熱させるための高耐圧バイポーラＴｒからなる
Ｂｉ−ＣＭＯＳ構造の集積回路である。図１には、この
Ｂｉ−ＣＭＯＳ集積回路と同一平面上に、記録素子とし
ての発熱抵抗体を同時に作り込んだ場合の模式的断面図
が表わされている。

【００２７】パワートランジスタとなるＮＰＮ型トラン
ジスタは、Ｐ型導電体のＳｉ基板である基体内アース１
０９に不純物導入及び拡散等の工程によりＮ⁺型エピタ
キシャル層中に形成されたコレクタ領域、ベース領域、
エミッタ領域等で構成される。

【００２８】続いて、上記のようにして形成された機能
素子を分離する層と発熱抵抗体の蓄積層とを兼ねる熱酸
化膜層１０７，１０８を同時に形成させる。続いて、熱
酸化膜層１０７，１０８にスルーホールを開け、その上
に第一の電極１０６を成膜させ、パターンを形成する。

【００２９】次に、形成されたパターンの上に層間絶縁
層１０５を成膜させ、第一の電極１０６とコンタクトす
るためのスルーホールを開け、その上に発熱抵抗層１０
４と第二の電極１０３を成膜させて発熱抵抗素子として
パターンを形成する。

【００３０】次に、第一の保護層膜１０２を成膜させて
第二の電極１０３とコンタクトするためのスルーホール
を開け、その上に第二の保護膜層１０１を成膜させてパ
ターンを形成する。

【００３１】上記の成膜プロセスによって作製された本
実施例のインクジェット記録ヘッド用基体では、第二の
保護膜層１０１は、第二の電極１０３、発熱抵抗層１０
４および第一の電極１０６から構成されるコンタクト部
を介して基体内アース１０９と電気的に接続される。こ
れにより、静電気によって第二の保護膜層１０１に加え
られる電荷は、上記コンタクト部を介して基体内アース
１０９に落ちるため、第二の電極１０３の配線段差部で
の第一の保護膜層１０２の薄い部分および第二の電極１
０３の配線上に発生するヒロックによる、第一の保護膜
層１０２の薄い部分が熱破壊されることが防止され、第
二の電極１０３と第二の保護膜層１０１との短絡の発生
が防止される。これにより、製造工程中および搬送時に
おけるインクジェット記録装置の歩留まりを向上するこ
と、および、インクジェット記録ヘッドの信頼性を向上
することが可能となる。

【００３２】図２は本発明の第２の実施例によるインク
ジェット記録ヘッド用の基体の構成を示す断面図、図３
は第２の実施例の要部の等価回路図である。

【００３３】図２に示すようにＮ型シリコン基板である
基体内アース２０９にＰ型部分２１０およびパワートラ
ンジスタとなるＰＮＰ型トランジスタとしての機能素子
を作製する。

【００３４】続いて、Ｐ型部分２１０が形成された箇所
の上には、上記のようにして形成された機能素子を分離
する層と熱抵抗体の蓄積層とを兼ねる熱酸化層２０７，
２０８を同時に形成させる。続いて、熱酸化層２０７，
２０８にスルーホールを開け、その上に第一の電極２０
６を成膜させ、パターンを形成する。

【００３５】次に、形成されたパターンの上に層間絶縁
層２０５を成膜させ、第一の電極２０６とコンタクトす
るためのスルーホールを開け、その上に発熱抵抗層２０
４と第二の電極２０３を成膜させて発熱抵抗素子として
パターンを形成する。

【００３６】次に、第一の保護層膜２０２を成膜させて
第二の電極２０３とコンタクトするためのスルーホール
を開け、その上に第二の保護膜層２０１を成膜させてパ
ターンを形成する。

【００３７】上記の成膜プロセスによって作製された本
実施例のインクジェット記録ヘッド用基体では、第二の
保護膜層２０１は、第一の保護膜層２０２、第二の電極
２０３、発熱抵抗層２０４および第一の電極２０６から
構成されるコンタクト部を介してＰ型部分２１０から基
体内アース２０９と電気的に接続される。

【００３８】上記の電気的な接続は、ダイオードとして
表わすことができる。図３に示す等価回路では、第二の
保護層膜２０１を第二の保護層膜３０１とし、基体内ア
ース２０９を基体内アース３０９とし、さらにこれらの
間の電気的な接続をダイオード３０２として表わしてあ
る。本実施例のインクジェット記録ヘッド用基体では、
図３に示すような回路を形成されるため、静電気で第二
の保護膜層３０１に蓄積した電荷がダイオード３０２を
介して基体内アース２０９に落ちる。また、該ダイオー
ド３０２が電気的に接続されていることにより基体内ア
ース３０９からの逆電流を防止することにより、常に第
二の保護膜層３０１には電荷が蓄積しなくなることで、
第一の保護膜層２０２の欠陥部分の熱破壊が発生しなく
なる。この結果、第二の電極２０３の配線段差部での第
一の保護膜層２０２の薄い部分および第二の電極２０３
の配線上に発生したヒロックにおいて、第一の保護膜層
２０２の薄い部分での熱破壊が防止され、第二の電極２
０３と第二の保護膜層２０１との短絡の発生がなくな
る。これにより、第１の実施例と同様に製造工程中およ
び搬送時におけるインクジェット記録装置の歩留まりを
向上することおよびインクジェット記録ヘッドの信頼性
を向上することが可能となる。

【００３９】ここで、上述したような各実施例のインク
ジェット記録ヘッド用基体を用いたインクジェット記録
ヘッドについて図４および図５を用いて説明する。図４
はインクジェット記録ヘッドの概略構成を示す斜視図で
あり、図５は図４に示したインクジェット記録ヘッドを
インク流路に沿って切断した断面図である。

【００４０】本実施例のインクジェット記録ヘッドは、
図１および図２にそれぞれ示した第１および第２の実施
例の構成が適用され、インクを吐出するために利用され
るエネルギーを発生するエネルギー発生素子がパターニ
ングされているシリコン製の基板２０と、基板２０に接
合された天板１９とで構成されている。

【００４１】エネルギー発生素子としては、印加電圧が
供給されて熱エネルギーを発生させる電気熱変換体１８
は、図１および図２にそれぞれ示した発熱抵抗層１０
４，２０４等により形成されている。この電気熱変換体
１８は複数個、並列に配置され、電気熱変換体１８に電
力を供給するアルミニウム等の配線とともに、成膜技術
により基板２０上に一体的に形成されている。

【００４２】一方、天板１９には、各電気熱変換体１８
に対応して形成され、それぞれ天板１９が基板２０に接
合されることでインク流路１４を構成する溝１９ａと、
各インク流路１４に供給されるインクを一時的に収納す
るインク液室１３と、インクタンク（不図示）からのイ
ンクをインク液室１３に導入するためのインク供給口１
２と、各インク流路１４に対応した複数の吐出口１６が
形成されたオリフィスプレート１７とが一体的に設けら
れている。

【００４３】上記構成に基づき、電気熱変換体１８に電
力を供給すると電気熱変換体１８に熱エネルギーが発生
し、電気熱変換体１８上のインクに膜沸騰が生じてイン
ク流路１４内に気泡が形成される。そしてこの気泡の成
長によって、吐出口１６からインク滴が吐出される。

【００４４】天板１９の材料としては、ポリマー樹脂の
中でも、耐インク性に優れるポリサルフォン、ポリエー
テルサルフォン、ポリフェニレンオキサイド等を用いる
とよく、本実施例ではポリサルフォンを用いた。また、
天板１９の形成については、射出成形により形成するこ
とができるが、以下に述べるように、吐出口１６、溝１
９ａ、および凹部１５はレーザ加工により形成されるの
で、これら吐出口１６、溝１９ａ、および凹部１５が形
成されていない状態の形状を射出成形により形成する。

【００４５】次に、図４および図５に示したようなライ
ンタイプのインクジェット記録ヘッドを用いたインクジ
ェット記録装置について説明する。図６は、いわゆるフ
ルラインタイプのインクジェット記録装置の模式的概略
図である。

【００４６】図６において、紙や布等の被記録媒体５０
２は、互いに平行に配置された２つの搬送ローラ５０１
により、図示矢印方向に搬送される。被記録媒体５０２
に対向して、フルラインタイプのインクジェット記録ヘ
ッド５０３が、被記録媒体５０２と所定の間隔をおいて
配置される。このインクジェット記録ヘッド５０３に
は、被記録媒体５０２の記録幅の幅方向の全幅にわたっ
て吐出口（不図示）が形成されており、被記録媒体５０
２を搬送しながら、記録信号に基づいてエネルギー発生
素子（不図示）を駆動し、吐出口からインクを吐出させ
ることで、被記録媒体５０２に記録が行われる。本発明
のインクジェット記録ヘッドは上述したように、エネル
ギー発生素子を設けたヒーターボードを複数個並べて構
成され、長尺のものを容易に製造することができるの
で、このようなフルラインタイプのインクジェット記録
ヘッド５０３に特に適している。

【００４７】本発明のインクジェット記録ヘッドの形態
として、図４および図５に示したようなラインタイプの
インクジェット記録ヘッドの他に、図７に示すようなイ
ンクジェットカートリッジ６００にも適用できる。イン
クジェットカートリッジ６００は、インクジェット記録
ヘッド６０１と、インクジェット記録ヘッド６０１に供
給するためのインクを貯蔵するインクタンク６０２とを
一体とし、小型化を図ったものである。また、このよう
なインクジェットカートリッジ６００は、インクタンク
６０２内のインクがなくなったらインクジェット記録ヘ
ッド６０１ごと交換できるようになっており、インクタ
ンク６０２とインクジェット記録ヘッド６０１との間の
配管の着脱が必要なくなるので、インクタンク６０２の
交換が容易に行える。

【００４８】図７に示したインクジェットカートリッジ
６００を用いたインクジェット記録装置について、図８
を参照して説明する。図８において、螺旋溝７５５の刻
まれたリードスクリュー７５６は、駆動モータ７６４の
正逆回転に連動し、駆動力伝達ギア７６２、７６０を介
して回転駆動される。キャリッジ７１０は、リードスク
リュー７５６との嵌合部に設けられたピン（不図示）に
よってら線溝７５５に対して係合し、さらに案内レール
７５４に摺動自在に案内されていることにより、図示矢
印ａ,ｂ方向に往復移動できるようになっている。

【００４９】一方、被記録媒体７７１は、ガイド部材７
４１によってガイドされ、搬送モータ７４３を駆動源と
して回転するプラテンローラ７５１によって搬送され
る。紙送りモータ３６を駆動源として行われる。搬送さ
れた被記録媒体７７１は、インクジェットカートリッジ
６００と対向する位置において紙押え板７５３によりプ
ラテンローラ７５１に対して押圧され、インクジェット
記録ヘッド６０１（図８参照）との距離が所定の距離に
保持される。ここで、被記録媒体７７１の所定ピッチで
のピッチ送りとキャリッジ７１０の往復移動とを繰り返
しながら、記録信号に基づいてエネルギー発生素子（不
図示）を駆動し、吐出口（不図示）からインクを吐出す
ることで、記録が行われる。

【００５０】フォトカプラ７５８、７５９は、キャリッ
ジ７１０のレバー７５７のこの域での存在を確認して駆
動モータ７６４の回転方向の逆転等を行なうためのホー
ムポジション検知手段を構成する。

【００５１】インクジェットカートリッジ６００の前面
をキャップするキャップ部材７７０は、支持部材７６５
によって支持され、さらに吸引手段７７３を備え、キャ
ップ内開口７７１を介してインクジェット記録ヘッド６
０２の吸引回復を行なう。本体支持板７６７には支持板
７６８が取付けられており、この支持板７６８に摺動自
在に支持されたクリーニングブレード７６６は、図示し
ない駆動手段によって前後方向に移動される。クリーニ
ングブレード７６６の形態は図示するものに限られず、
公知のものが本例に適用できることは言うまでもない。
レバー７６３は、吸引回復操作を開始するためのもの
で、キャリッジ７１０と当接するカム７６９の移動にと
もなって移動し、駆動モータ７６４からの駆動力がギア
７６１やクラッチ切換等の公知の伝達手段によって移動
制御される。

【００５２】これらのキャッピング、クリーニング、吸
引回復の各処理は、キャリッジ７１０がホームポジショ
ン側領域にきたときリードスクリュー７５６の作用によ
って、それぞれの対応位置で行なわれるようになってい
る。周知のタイミングで所望の作動を行なうようにすれ
ば、本例にはいずれも適用できる。

【００５３】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも熱エネルギーを利用して飛翔的液滴を形成し、記
録を行うインクジェット方式の記録ヘッド、記録装置に
おいて、優れた効果をもたらすものである。

【００５４】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）
が保持されているシートや液路に対応して配置されてい
る電気熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越
える急速な温度上昇を与える少なくとも一つの駆動信号
を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギー
を発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさ
せて、結果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体
（インク）内の気泡を形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体（イン
ク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行なわれるので、特に応答性に優れた液体（イ
ンク）の吐出が達成でき、より好ましい。

【００５５】このパルス形状の駆動信号としては、米国
特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号
明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用
すると、更に優れた記録を行なうことができる。

【００５６】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成（直線状液流路または直角液流路）の
他に、熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を
開示する米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許
第４４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含ま
れるものである。

【００５７】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開
示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギー
の圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開
示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構成
としても本発明は有効である。

【００５８】さらに、記録装置が記録できる最大記録媒
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数個の記録ヘッドの組み合わせによってその長さを
満たす構成や、一体的に形成された１個の記録ヘッドと
しての構成のいずれでもよいが、本発明は、上述した効
果を一層有効に発揮することができる。

【００５９】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けら
れたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも
本発明は有効である。

【００６０】また、本発明の記録装置の構成として設け
られる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助
手段等を付加することは本発明の効果を一層安定できる
ので好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、
記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニング
手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるいはこ
れとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせによる
予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モード
を行うことも安定した記録を行うために有効である。

【００６１】さらに、記録装置の記録モードとしては黒
色等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘッ
ドを一体的に構成するか複数個の組み合わせによってで
もよいが、異なる色の複色カラー、または混色によるフ
ルカラーの少なくとも一つを備えた装置にも本発明は極
めて有効である。

【００６２】以上説明した本発明実施例においては、イ
ンクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で固
化するインクであって、室温で軟化するもの、もしくは
液体であるもの、あるいは上述のインクジェット方式で
はインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲内で温度調
整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあるように温
度制御するものが一般的であるから、使用記録信号付与
時にインクが液状をなすものであれば良い。

【００６３】加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温
をインクの固形状態から液体状態への状態変化のエネル
ギーとして使用せしめることで防止するか、またはイン
クの蒸発防止を目的として放置状態で固化するインクを
用いるかして、いずれにしても熱エネルギーの記録信号
に応じた付与によってインクが液化し、液状インクとし
て吐出するものや、記録媒体に到達する時点では既に固
化し始めるもの等のような、熱エネルギーによって初め
て液化する性質のインクの使用も本発明には適用可能で
ある。このような場合インクは、特開昭５４−５６８４
７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報に記載
されるような、多孔質シート凹部または貫通孔に液状ま
たは固形物として保持された状態で、電気熱変換体に対
して対向するような形態としても良い。本発明において
は、上述した各インクに対して最も有効なものは、上述
した膜沸騰方式を実行するものである。

【００６４】さらに加えて、本発明に係る記録装置の形
態としては、ワードプロセッサやコンピュータ等の情報
処理機器の画像出力端末として一体または別体に設けら
れるものの他、リーダと組み合せた複写装置、さらには
送受信機能を有するファクシミリ装置の形態を採るもの
であってもよい。

【００６５】

【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載するような効果を奏する。

【００６６】請求項１に記載のインクジェット記録ヘッ
ド用基体、これを用いたインクジェット記録ヘッドおよ
びインクジェット記録装置のいずれにおいても、基体上
の第二の保護膜層を基体内アースに電気的に接続するこ
とによって、 （１）製造工程中での静電気による熱破壊がなくなるこ
とにより歩留まりを向上することができる効果がある。

【００６７】（２）インクジェット記録装置への装着時
に発生する静電気での熱破壊がなくなることにより信頼
性を向上することができる効果がある。

【００６８】請求項３に記載のインクジェット記録装置
においては、さらに、 （３）基板内の機能素子がアース層によって挟み込まれ
ることにより、インクジェット記録装置からの印字信号
上のノイズ、または、駆動信号上のノイズに対してイン
クジェット記録ヘッド基体内の機能素子が誤動作するこ
とが防止されるため、インクジェット記録装置の動作信
頼性を向上することができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるインクジェット記録ヘッド用基体
の第１の実施例の構成を示す断面図である。

【図２】本発明の第２の実施例によるインクジェット記
録ヘッド用の基体の構成を示す断面図である。

【図３】本発明の第２の実施例の要部の等価回路図であ
る。

【図４】図４はインクジェット記録ヘッドの概略構成を
示す斜視図である。

【図５】図４に示したインクジェット記録ヘッドをイン
ク流路に沿って切断した断面図である。

【図６】フルラインタイプのインクジェット記録装置の
模式的概略図である。

【図７】インクジェットカートリッジの模式的概略図で
ある。

【図８】インクジェット記録装置の模式的概略図であ
る。

【符号の説明】

１２ インク供給口 １３ インク液室 １４ インク流路 １６ 吐出口 １７ オリフィスプレート １９ 天板 １９ａ 溝 ２０ 基板 １０１，２０１，３０１ 第二の保護膜層 １０２，２０２ 第一の保護膜層 １０３，２０３ 第二の電極 １０４，２０４ 発熱抵抗層 １０５，２０５ 層間絶縁層 １０６，２０６ 第一の電極 １０７，１０８，２０７，２０８ 熱酸化膜層 １０９，２０９，３０９ 基体内アース ３０２ ダイオード ５０１ 搬送ローラ ５０２、７７１ 被記録媒体 ５０３、６０１ インクジェット記録ヘッド ６００ インクジェットカートリッジ ６０２ インクタンク ７１０ キャリッジ ７４１ ガイド部材 ７４３ 搬送モータ ７５１ プラテンローラ ７５３ 紙押え板 ７５４ 案内レール ７５５ ら線溝 ７５６ リードスクリュー ７５７、７６３ レバー ７５８、７５９ フォトカプラ ７６０、７６２ 駆動力伝達ギア ７６１ ギア ７６４ 駆動モータ ７６５ 支持部材 ７６６ クリーニングブレード ７６７ 本体支持板 ７６８ 支持板 ７６９ カム ７７０ キャップ部材 ７７１ キャップ内開口 ７７３ 吸引手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森 利浩 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 笠本 雅己 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 泉田 昌明 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 今仲 良行 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液体に熱エネルギーを作用させて形成さ
   れた飛翔的液滴によって記録を行うインクジェット記録
   装置に用いられるインクジェット記録ヘッド用の基体で
   あって、 機能素子が形成されたアースを兼ねる基板を用いて構成
   され、 前記基板の機能素子上部には、 第一の熱酸化膜層と、 第二の熱酸化膜層と、 第一の電極と、 層間絶縁膜と、 前記飛翔的液滴を形成するための熱を発生する発熱抵抗
   層と、 前記発熱抵抗層をはさんで前記第一の電極と対向配置さ
   れる第二の電極と、 第一の保護層膜と、 第二の保護層膜と、 が順次積層されている基体において、 前記第一の電極と前記第二の電極を介して前記第二の保
   護層膜が前記基板と電気的に接続されていることを特徴
   とするインクジェット記録ヘッド用基体。
2. 【請求項２】 請求項１記載のインクジェット記録ヘッ
   ド用基体において、 前記第二の保護層膜が前記基体の機能素子を介して前記
   基体と電気的に接続されていることを特徴とするインク
   ジェット記録ヘッド用基体。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載のインク
   ジェット記録ヘッド用基体を用いたインクジェット記録
   ヘッド。
4. 【請求項４】 請求項２記載のインクジェット記録ヘッ
   ドを用いたインクジェット記録装置であって、 インクジェット記録ヘッド用基体を構成する基板がイン
   クジェット記録装置のアースに電気的に接続されること
   を特徴とするインクジェット記録装置。