JPH0812134B2

JPH0812134B2 - 劣化検査方法及びその装置

Info

Publication number: JPH0812134B2
Application number: JP63228735A
Authority: JP
Inventors: 敏彦 ▲吉▼村; 雄一石川; 翼清水; 正広大高; 和夫高久
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1988-09-14
Filing date: 1988-09-14
Publication date: 1996-02-07
Anticipated expiration: 2011-02-07
Also published as: JPH0278947A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、金属材料の劣化検査方法及び装置に係り、
特に原子力プラントの高温環境下で使用される含フエラ
イト系ステンレス鋼の金属材料の実機部の高温時効脆化
損傷の検知に好適な実機部材のサンプル採取装置及び劣
化検査方法に関する。

〔従来の技術〕

従来、高温部材の破壊余寿命予知における検査試料
は、特開昭57−175947号公報に記載のように、高温雰囲
気下に使用される実機部材と同一材質からなる被試験体
を非酸化性雰囲気に維持された容器内に封入し、この容
器内を前記実機部材と実質的に同じ高温条件に保つた状
態で前記被試験体の電気抵抗を測定することによつて、
前記実機部材の破壊余寿命を予知する方法において、実
機部材と同一材質からなる被測定体を別個に作製してい
た。

従来タービンケーシングに使用される低合金鋳鋼品の
経年変化測定用の試料は、特開昭54−121192号公報に記
載のように、タービンケーシング内に、このケーシング
と同一材質の試験片を設け、高温下で所要時間使用した
後に取り出した試験片としていた。

従来保磁力測定による材料の疲労被害の検出として
は、特開昭48−28293号公報に記載のように、保磁力が
疲労被害度により敏感に変化する材料からなる試験片箔
を構造物にはりつけ、被検出材の検出部のごく表面のみ
に磁力線を発生させるように形成した電磁石を介して前
記試験片箔の保磁力変化を測定する方法をとつていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術は、実機部材と試験片との間の相違、例
えば応力分布や温度分布や内部組織、さらに放射線の有
無等については配慮されておらず、試験片の測定データ
から実機部材の経年劣化の程度を算出する場合に、その
劣化評価の精度と信頼性の低さに問題があつた。

本発明は、原子力プラントの高温環境下で使用される
含フエライト系ステンレス鋼の金属材料の実機部の高温
時効脆化損傷の検知の精度と信頼性を向上させることを
目的としており、さらに前記プラントに影響を与えるこ
となく該実機部材の一部を採取することのできるサンプ
ル採取装置を用いた劣化検査方法とその装置を提供する
ことにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本願発明の劣化検査方法
は、原子力プラントの機器の内２相ステンレス鋼を適用し
た部位の劣化検査方法であって、炉水中で試料採取用容
器を該当部位に近づけ、前記部位表面上に形成されてい
るクラッド及び酸化膜を表面から除去した後に前記容器
内の炉水及び除去したクラッド及び酸化膜を該容器外に
出し、次いで該表面の２相ステンレス鋼を切削し、該切
削物を試料としてその内部組織を分析又は観察すること
により、前記機器の劣化の程度として出力することを特
徴とし、或いは原子力プラントの機器の内２相ステン
レス鋼を適用した部位の劣化検査方法であって、炉水中
で試料採取用容器を該当部位に近づけ、前記部位表面上
に形成されているクラッド及び酸化膜を表面から除去し
た後に前記容器内の炉水及び除去したクラッド及び酸化
膜を該容器外に出し、次いで該表面の２相ステンレス鋼
を切削し、該切削物を試料としてその磁気特性を測定す
ることにより、前記機器の劣化の程度として出力するこ
とを特徴とし、或いは被測定体に磁場を印加すると共
に該被測定体固有の磁気特性の変化を監視し、この磁気
特性変化から前記被測定体の劣化の程度を知る劣化検査
方法であって、被測定体として原子力プラントの機器の
内２相ステンレス鋼を適用した部位の切削物を用い、該
切削物は炉水中で試料採取用容器を該当部位に近づけて
予めクラッド及び酸化膜を削除した後の表面を切削して
得たものであり、該試料について磁気特性の変化と劣化
との関係を求めておき、該関係から未使用材における磁
気特性を推定すると共に、この推定磁気特性から検出時
点の磁気特性に至る変化を前記関係に基づき劣化の程度
として出力することを特徴とする。

特に好ましくは原子力プラントの実機部材の構成材料
である２相ステンレス鋼の表面を歯科用ドリルで切削
し、かつ切削部を砥石で研削し、切削粉を水中ポンプで
浮遊選鉱部へ回収したものである。

また切削粉を分析装置に適合する大きさと種類に選別
するために、浮遊選鉱部にメツシユの寸法が異なるフイ
ルターを多段に設け、電磁マグネツトを具備することが
望ましい。

更に本願発明の劣化検査装置は、原子力プラントの機
器の内２相ステンレス鋼を適用した部位の劣化を検査す
る装置であって、炉水中で該当部位に近づけてクラッド
及び酸化膜を除去する機能とその後当該部材表面を切削
する機能と採取容器とを備えた試料採取装置と、採取試
料の内部組織を分析若しくは観察又は磁気特性乃至その
変化を測定する装置と、該分析若しくは観察又は測定の
結果を出力する手段とを備え、前記試料採取装置はドリ
ル及び研削用砥石を具備し、前記採取容器と前記部位の
表面との間にゴム製の材料を配置し、かつ採取容器に高
圧ガス注入口を設け、該高圧ガス注入口が備わる側とゲ
ートバルブを介して反対側に真空ポンプを設けると共に
前記ドリルと前記部位表面とに面する位置に高圧ガスの
注入が可能であるノズルを配置してなることを特徴とす
る。すなわち切削粉を原子炉の底に落下させないため
に、実機部材に接する試料採取用容器の一部をゴム製と
し、試料採取用容器に高圧ガスの注入口を設置し、さら
にその容器にゲートバルブを介して真空ポンプを備えた
ものである。

尚、炉水中の浮遊物と切削粉との区別を明確にし、回
収した試料の分析精度と信頼度を高めるために、試料採
取用容器に炉水浮遊物の回収用の案内管とフイルターを
用いることが有効である。

また、２相ステンレス鋼の表面上に形成されているク
ラツドを除去するために、ウオータージエツトと超音波
を用いることが有効である。

さらに、回収した切削粉の内部組織を調べるために、
アトムプローブと透過型電子顕微鏡を用いることが有効
である。

また、回収した切削粉の磁気特性を調べるために、SQ
UID磁束計を用いることが有効である。

〔作用〕

原子力プラントの原子炉の炉壁に試料採取用容器を近
づけ、まずウオータージエツトで炉壁の２相ステンレス
鋼表面に形成されているクラツド及び酸化膜を表面から
除去する。次に高圧窒素ガスにより容器内の炉水及び除
去したクラツド及び酸化膜を容器内から流出する。これ
によりクラツドや酸化膜の成分は回収されない。さらに
高圧窒素ガスをゲートバルブで隔てた真空ポンプ側の容
器にも満たし、歯科用のドリルで２相ステンレス鋼の最
表面を切削する。引き続きゲートバルブを開いて容器全
体を真空に引くと、高圧ガスとともに切削粉は真空ポン
プ側に導かれ回収される。その後ゲートバルブを閉じて
切削部を砥石で研磨するのでクラツクは表面から除かれ
る。また容器内は真空に引かれているので切削粉が原子
炉の底に落下しない。回収した切削粉のうち強磁性を有
し劣化に関与するフエライト相を含有したものだけを電
磁マグネツトで選別するとともに、多段のフイルターで
寸法毎に分けられるので、回収した試料をそのままアト
ムプローブで分析しTEMで観察できる。アトムプローブ
で回収した試料を分析すると、フエライト相中のα′相
やＧ相等の微分析出物の組成や大きさが明らかとなる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を、図面により説明する。

第１図は原子力プラントにおける原子炉内部の構成と
本発明の試料採取装置の配置を示す図である。第１図に
おいて、１は原子炉圧力容器,2…制御棒、３は制御棒案
内管、４は上部グリツド,5は炉心サポート,6は炉水であ
る。原子力プラントの実機部材に用いられる２相ステン
レス鋼は高温環境下で長時間使用されるため、高温時効
により２相ステンレス鋼のフエライト相中に微小析出物
が発生し部材の強度が大きく低下する。この材料強度の
低下が原子力プラントの寿命を制限することになる。ま
たフエライト相中に微小析出物が発生することにより、
２相ステンレス鋼の磁気特性が微妙に変化するので、こ
の磁気特性の変化を高感度のSQUID磁束計で測定すれば
実機部材の材料強度の低下、つまり劣化の程度を計測す
ることができる。しかしながら、実機部材の劣化の程度
を磁束計で測定した結果より評価するためには、予め実
機部材と同一の材料で同一の処理を施した試験試料に関
する磁気特性の変化と材料強度の変化と材料の内部組織
の変化についての膨大なデータと適切なデータ処理が要
求される。しかしながら、実機部材と同一の材料で同一
の処理を施した試験試料も、実機部材が放射線損傷下に
さらされていることや各種の応力分布や歪分布をもち特
性値に局部的なバラツキを有するために、実機部材との
間に各種特性値の差異が生じてしまう。各種特性値のう
ち特に材料強度の特性値や内部組織の特性値を計測する
ためには、実機の構造強度に影響を与えずに実機部材の
一部をサンプリング採取する必要がある。第１図の試料
採取装置７は原子炉圧力容器１の炉壁の材料表面から極
微少量のサンプリング試料を採取する装置である。また
試料採取装置７はクレーン８によつて吊り下げられ炉壁
表面近傍に配置され、試料採取状況は試料採取装置７内
に具備されたフアイバースコープによりモニター９上で
観察することができる。

第２図は本発明の一実施例の炉水吸入型の試料採取装
置の概略図である。炉壁10上に試料採取用容器を固定
し、フアイバースコープ12で表面を観察しながらドリル
13で炉壁10上の表面の極一部を剥ぎ取る。ドリル13とし
ては歯科用ドリル等が適している。剥ぎ取る部分は炉壁
10上の表面の極一部ではあるが、ドリル13の切削によつ
て実機部材の表面に微少クラツクを生じる可能性があ
る。そこで、ドリル13の切削後研削用砥石14により表面
を研削しクラツクのない状態に仕上げる。ドリル13や研
削用砥石14は駆動装置15によつて軸方向に回転可能であ
り、被測定面に対して垂直方向と平行な面上で移動する
ことができる。ドリル13により剥ぎ取られた研磨粉15−
ａは、水中ポンプ16を作動させて浮遊選鉱部17へ導入す
る。浮遊選鉱部17はメツシユの大きさを変えた多段のフ
イルター18と電磁マグネツト19と採取用プレートから構
成されている。水中ポンプを通して流入した切削粉15−
ａはフイルター18で寸法毎に選別され、大きさにより極
微量分析装置であるアトムプローブやTEM等の測定試料
となる。さらに電磁マグネツト19を働かせて、微小析出
物が発生したフエライト相を含有した切削粉15−ａも採
取用プレート20上に採取することができる。またフイル
ター18を通過した炉水６は排水口20−ａより導出され
る。

以上のごとく、本発明によれば原子力プラントの実機
部材からクラツク等の表面損傷を与えることなくかつ原
子炉の底へ切削粉を落下させることなく試料を採取する
ことができるとともに、本選別法により試料採取の信頼
性を高めるという効果がある。

第３図は原子炉圧力容器の炉壁や一次系配管の管路壁
に用いられる２相ステンレス鋼の表面に形成されるクラ
ツドの除去方法を示す図である。原子力プラントの実機
部材の構成材料である２相ステンレス鋼21内に発生する
微小析出物はCr濃度の高いα′相23やNiやSiのリツチな
Ｇ相24と称されるものである。２相ステンレス鋼21の表
面にはCr₂O₃やFe₃O₄等から成る酸化膜25があり、さらに
その上にクラツド25−ａという薄い表面層があるため、
実機部材の表面を直接前記試料採取装置のドリルを用い
て切削したのでは、研磨粉15−ａ内に酸化膜25やクラツ
ド25−ａの成分が多量混入してしまう。混入した酸化膜
25やクラツド25−ａの成分は浮遊選鉱部17で選別するこ
とができるが、第３図のごとくノズル26からウオーター
ジエツト27をクラツド25−ａに当てるか、又は超音波28
をクラツド25−ａに照射して破壊する方法も用いられ
る。尚、これらのウオータジエト27や超音波28の発生装
置は試料採取容器11内に設けることもできるとともに、
別個の装置とすることも可能である。

第４図は本発明の一実施例の炉水浮遊物の採取部を具
備した炉水吸入型の試料採取装置の概略図である。炉水
６中には多種多様の炉水浮遊物が存在するため前記試料
採取容器11内に備わつた浮遊選鉱部17のみでは十分に選
別できない場合がある。そこでドリル13によつて剥がさ
れる炉壁10近傍に案内管29−ａを配置し、案内管29−ａ
から吸入される炉水浮遊物29を炉水浮遊物採取用フイル
ター30上で回収する。さらに、炉水浮遊物採取用フイル
ター30で回収したが炉水浮遊物29と浮遊選鉱部17で回収
した切削粉15−ａを同一の分析手法で各種特性値を測定
することにより、切削粉15−ａ中に含有される炉水浮遊
物29の量を判定し、２相ステンレス鋼21からのみの切削
粉15−ａを選別するとともに、２相ステンレス鋼21のみ
からの特性値を求めることが可能となる。以上のごと
く、本発明によれば炉水中に含有される浮遊物や２相ス
テンレス鋼表面に形成される表面異相の影響を浮けるこ
となく、実機部材の構成材料である２相ステンレス鋼か
ら試料を採取できるという効果がある。

第５図は本発明の一実施例の真空粗引き型の試料採取
装置の概略図であり、第６図は第５図の試料採取装置を
使用する場合の作業手順を示す流れ図である。以下、第
６図の流れ図に従つて説明する。まず試料採取用容器11
を被採取面である炉壁10上に固定し、ガス注入口（１）
31より高圧窒素ガス32を導入する。試料採取用容器11と
炉壁10の間はゴム製の材料から成るスカート33を設けた
ために、試料採取用容器11内の炉水６は高圧窒素ガス33
によつてスカート33から排出され、試料採取用容器11内
は窒素ガスで満たされる。試料採取用容器11のうち粗引
きポンプ34が備わつた側にもガス注入口（２）33−ａか
ら高圧窒素ガス32を導入する。次にドリルを切削し、ゲ
ートバルブ35を開きポンプを作動させると切削粉15−ａ
は高圧窒素ガス32とともに排気され、フイルター18に回
収される。また採取容器内11から炉水を排除した後のポ
ンプ後にもガスを充たし、かつ高圧窒素ガス注入用ノズ
ル32−ａでドリル切削を行おうとする位置に高圧窒素ガ
ス32を流入し、かつ粗引きポンプ32を作動してガスの流
れを作つた状態でドリル切削すると、切削機15−ａは効
率良くフイルター18へ回収されることになる。最後にゲ
ートバルブ35を閉じ、切削部を研削用砥石14で研削す
る。またさらに採取を継続する場合には、他採取面へ試
料採取容器11を移動する。以上のごとく、本発明によれ
ば、試料採取容器11内を真空引き又はガスを満たした状
態にすることができるので、炉水中の浮遊物の混入を防
ぐことができるという効果がある。

第７図は本発明の試料採取装置に用いるドリルとドリ
ル切削部を研削する砥石を一体化した場合の被採取面の
概略図である。炉壁10はドリル13によつて表面から数十
μｍの部分が剥ぎ取られる。尚ここで用いるドリルは刃
先角が大きいドリルとする。ドリル切削部は、ドリル13
の周囲に配置した円板状砥石38をドリル13と両方向に回
転させかつ上下させることにより、応力が集中する角部
や微小クラツクを完全に除去する。以上のごとく、本発
明によればドリルと砥石を一体型としたことにより試料
採取装置の小型化を図ることができるという効果があ
る。

第８図は回収した切削粉のアトムプローブ分析する場
合の切削粉の装着状態を示す図である。回収したサンプ
ルのうち実際に、アトムプローブ分析で必要とされる量
は極微量であるが、放射能をもつているために、試料の
装着及び分析はすべて遠隔操作で行う。回収した切削粉
15−ａをφ0.25mmのMoワイヤを切り出して中央で曲げた
Moループ39の中央にMoの下地金属40を点溶接し、その下
地金属40の先端に電導性接着剤41を介して切削粉15−ａ
をセツトする。ここで切削粉15−ａの表面原子をアトム
プローブの一つの機能である電界イオン顕微鏡（FIM）
で観察する場合には、切削粉15−ａを装着した下地金属
40の先端をイオンミリング等の処理を施して半球状にす
る必要がある。また切削粉15−ａの表面から深さ方向に
組成分析する場合には、超高真空中において試料に正の
高電圧を印加するとともに、下地金属40の軸に対して垂
直の方向からパルスレーザ光42を切削粉15−ａの先端に
照射するとパルスレーザ光42に励起して切削粉15−ａの
表面から原子が蒸発イオン43となつて脱離する。

第９図はアトムプローブの動作原理を示す図である。
前述したごとく、切削粉15−ａを装着したアトムプロー
ブ用試料44にDC電源43−ａより数kVの正の高電圧を印加
し、さらにその先端に窒素レーザ44−ａからパルスレー
ザ光42を照射すると、先端の最も高い電界領域に存在す
る表面原子が蒸着イオン43となつてスクリーン45の中央
部の穴を通過して検出器46に到達する。この飛行した蒸
着イオン43の飛行時間を真空チヤンバー47の外部に設け
たタイマー48で測定し、コンピユーター49で蒸着イオン
43の同定を行なう。

以上のような原理にもとづいて、切削粉の表面原子を
１個毎分析すると、一原子層あたりの検出イオン数は材
料の種類と電圧や試料とスクリーンの距離によつて推定
されるので、最表面から深さ方向への濃度プロフアイル
を求めることができる。

第10図は２相ステンレス鋼の未処理材におけるフエラ
イト相中のCr濃度プロフアイルであり、第11図は２相ス
テンレス鋼の475℃×1000hr時効材におけるフエライト
相中のCr濃度プロフアイルである。未処理材のCr濃度は
約28％の近傍にあり、濃度のゆらぎはほとんど認められ
ない。これに対して、時効材のCr濃度プロフアイルは
α′相やＧ相の発生にともなうCr濃度のゆらぎとそのゆ
らぎ内の高Cr濃度領域が存在している。以上のごとく、
本発明によれば原子炉の実機部材の材料強度の低下の原
因となる極微小析出物の大きさや濃度を原子層オーダー
で評価できるという効果がある。

〔発明の効果〕

本発明によれば、原子力プラントの実機部材に材料強
度の低下の原因となる切削による角部や微小クラツクの
発生を防止することができるので、プラントの構造強度
を損なわずに試料を採取できるという効果がある。

また、原子力プラントの高温時効による材料強度の低
下の内部組織的原因である２相ステンレス鋼中に発生す
る極微小析出物の寸法や濃度を、同一の試験片ではなく
直接実機部材から採取できるので、原子力プラントの劣
化診断における精度と信頼性が向上するという効果があ
る。

また、本発明の試料採取装置を用いると試料採取時に
切削粉をほぼ完全に回収することができるので、試料採
取時に生ずる残存物が与えるプラントへの影響を皆無に
することができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】第１図は原子力プラントにおける原子炉内部の構成と本
発明の試料採取装置の配置を示す模式断面図、第２図は
本発明の一実施例の炉水吸入型の試料採取装置の概略を
示す断面図、第３図は原子炉圧力容器の炉壁や一次系配
管の管路壁等に用いられる２相ステンレス鋼の表面に形
成されるクラツドの除去方法を示す壁面近傍断面図、第
４図は本発明の一実施例の炉水浮遊物の採取部を具備し
た炉水吸入型の試料採取装置の概略を示す断面図、第５
図は本発明の一実施例の真空粗引き型の試料採取装置の
概略を示す断面図、第６図は第５図の試料採取装置を使
用する場合の作業手順を示す流れ図、第７図は本発明の
試料採取装置に用いるドリルとドリル切削部を研削する
砥石を一体型とした場合の装置と被採取面の概略断面
図、第８図は回収した切削粉のアトムプローブ分析する
場合の切削粉の装着状態を示す側面図、第９図はアトム
プローブの動作原理を示すシステム構成図、第10図は２
相ステンレス鋼の未処理材におけるフエライト相中のCr
濃度プロフアイル特性図、第11図は２相ステンレス鋼の
475℃×1000hr時効材におけるフエライト相中のCr濃度
プロフアイル特性図である。１……原子炉圧力容器、２……制御棒、３……制御棒案
内管、４……上部グリツド、５……炉心サポート、６…
…炉水、７……試料採取装置、８……クレーン、９……
モニター、10……炉壁、11……試料採取用容器、12……
フアイバスコープ、13……ドリル、14……研削用砥石、
15……駆動装置、15−ａ……切削粉、16……水中ポン
プ、17……浮遊選鉱部、18……フイルター、19……電磁
マグネツト、20……採取用プレート、20−ａ……排水
口、21……２相ステンレス鋼、22……フエライト、23…
…α′相、24……Ｇ相、25……酸化膜、25−ａ……クラ
ツド、26……ノズル、27……ウオータージエツト、28…
…超音波、29……炉水浮遊物、29−ａ……案内管、30…
…炉水浮遊物採取用フイルター、31……ガス注入口、32
……高圧窒素ガス、32−ａ……高圧窒素ガス注入用ノズ
ル、33……スカート、33−ａ……ガス注入口（２）、34
……粗引きポンプ、35……ゲートバルブ、36……排気
口、37……刃先角、38……円板状砥石、39……Moルー
プ、40……下地金属、41……電導性接着剤、42……パル
スレーザ光、43……蒸発イオン、43−ａ……DC電源、44
……アトムプローブ用試料、44−ａ……窒素レーザ、45
……スクリーン、46……検出器、47……真空チヤンバ
ー、48……タイマー、49……コンピユーター。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者大高正広茨城県土浦市神立町502番地株式会社日立製作所機械研究所内 (72)発明者高久和夫茨城県日立市幸町３丁目１番１号株式会社日立製作所日立工場内 (56)参考文献特開昭61−172059（ＪＰ，Ａ) 特開昭62−64945（ＪＰ，Ａ) 特開昭52−56990（ＪＰ，Ａ) 特開昭57−6343（ＪＰ，Ａ) 実開昭58−39546（ＪＰ，Ｕ)

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】原子力プラントの機器の内２相ステンレス
鋼を適用した部位の劣化検査方法において、炉水中で試
料採取用容器を該当部位に近づけ、前記部位表面上に形
成されているクラッド及び酸化膜を表面から除去した後
に前記容器内の炉水及び除去したクラッド及び酸化膜を
該容器外に出し、次いで該表面の２相ステンレス鋼を切
削し、該切削物を試料としてその内部組織を分析又は観
察することにより、前記機器の劣化の程度として出力す
ることを特徴とする劣化検査方法。
【請求項２】原子力プラントの機器の内２相ステンレス
鋼を適用した部位の劣化検査方法において、炉水中で試
料採取用容器を該当部位に近づけ、前記部位表面上に形
成されているクラッド及び酸化膜を表面から除去した後
に前記容器内の炉水及び除去したクラッド及び酸化膜を
該容器外に出し、次いで該表面の２相ステンレス鋼を切
削し、該切削物を試料としてその磁気特性を測定するこ
とにより、前記機器の劣化の程度として出力することを
特徴とする劣化検査方法。
【請求項３】被測定体に磁場を印加すると共に該被測定
体固有の磁気特性の変化を監視し、この磁気特性変化か
ら前記被測定体の劣化の程度を知る劣化検査方法におい
て、被測定体として原子力プラントの機器の内２相ステ
ンレス鋼を適用した部位の切削物を用い、該切削物は炉
水中で試料採取用容器を該当部位に近づけて予めクラッ
ド及び酸化膜を除去した後の表面を切削して得たもので
あり、該試料について磁気特性の変化と劣化との関係を
求めておき、該関係から未使用材における磁気特性を推
定すると共に、この推定磁気特性から検出時点の磁気特
性に至る変化を前記関係に基づき劣化の程度として出力
することを特徴とする劣化検査方法。
【請求項４】原子力プラントの機器の内２相ステンレス
鋼を適用した部位の劣化を検査する装置において、炉水
中で該当部位に近づけてクラッド及び酸化膜を除去する
機能とその後当該部材表面を切削する機能と採取容器と
を備えた試料採取装置と、採取試料の内部組織を分析若
しくは観察又は磁気特性乃至その変化を測定する装置
と、該分析若しくは観察又は測定の結果を出力する手段
とを備え、前記試料採取装置はドリル及び研削用砥石を
具備し、前記採取容器と前記部位の表面との間にゴム製
の材料を配置し、かつ採取容器に高圧ガス注入口を設
け、該高圧ガス注入口が備わる側とゲートバルブを介し
て反対側に真空ポンプを設けると共に前記ドリルと前記
部位表面とに面する位置に高圧ガスの注入が可能である
ノズルを配置してなることを特徴とする劣化検査装置。