JPH08123044A - 薄膜塗布方法及び薄膜塗布装置、これらを用いた位置決めマークの保護膜塗布方法及び保護膜塗布装置 - Google Patents
薄膜塗布方法及び薄膜塗布装置、これらを用いた位置決めマークの保護膜塗布方法及び保護膜塗布装置Info
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- JPH08123044A JPH08123044A JP25646794A JP25646794A JPH08123044A JP H08123044 A JPH08123044 A JP H08123044A JP 25646794 A JP25646794 A JP 25646794A JP 25646794 A JP25646794 A JP 25646794A JP H08123044 A JPH08123044 A JP H08123044A
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- stamp head
- film material
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 本発明の薄膜塗布装置及び薄膜塗布方法は、
スタンプヘッドに薄膜材料を付着させ、この付着させた
薄膜材料を被塗布物に塗布する際、スタンプヘッドの薄
膜材料を付着させる部分に平坦な表面に対し凹凸形状を
形成していることを特徴とする。 【効果】 本発明の薄膜塗布方法及び薄膜塗布装置はス
タンプヘッドの薄膜材料を付着させる部分を所定の寸法
の平坦な表面に対し凹凸形状形状にすることにより、薄
膜材料をスタンプヘッドに付着させた時の平坦な表面に
対し凹凸形状の間に入り込む薄膜材料の量を一定にする
ことが可能となる。また、スタンプヘッドが凹凸形状を
有し、更にスタンプヘッドを被塗布物に接触させて塗布
するため、所定の膜厚の薄膜を常に安定して得ることが
できる。
スタンプヘッドに薄膜材料を付着させ、この付着させた
薄膜材料を被塗布物に塗布する際、スタンプヘッドの薄
膜材料を付着させる部分に平坦な表面に対し凹凸形状を
形成していることを特徴とする。 【効果】 本発明の薄膜塗布方法及び薄膜塗布装置はス
タンプヘッドの薄膜材料を付着させる部分を所定の寸法
の平坦な表面に対し凹凸形状形状にすることにより、薄
膜材料をスタンプヘッドに付着させた時の平坦な表面に
対し凹凸形状の間に入り込む薄膜材料の量を一定にする
ことが可能となる。また、スタンプヘッドが凹凸形状を
有し、更にスタンプヘッドを被塗布物に接触させて塗布
するため、所定の膜厚の薄膜を常に安定して得ることが
できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、液晶表示素子
のセル組み立て時に必要な基板に形成された位置決めマ
ークの保護膜の塗布のように、小面積の範囲に薄膜を塗
布するのに好適な薄膜塗布方法及び薄膜塗布装置、これ
らを用いた位置決めマークの保護膜の塗布方法及び塗布
装置に関する。
のセル組み立て時に必要な基板に形成された位置決めマ
ークの保護膜の塗布のように、小面積の範囲に薄膜を塗
布するのに好適な薄膜塗布方法及び薄膜塗布装置、これ
らを用いた位置決めマークの保護膜の塗布方法及び塗布
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の薄膜塗布方法及び薄膜塗布装置を
カラー液晶表示素子の位置決めマークの保護膜の形成を
例に挙げて説明する。尚、位置決めマークの保護膜の形
成に限られるものでなく、一般の薄膜塗布にも用いるこ
とができる。
カラー液晶表示素子の位置決めマークの保護膜の形成を
例に挙げて説明する。尚、位置決めマークの保護膜の形
成に限られるものでなく、一般の薄膜塗布にも用いるこ
とができる。
【０００３】カラー液晶表示素子１２は図４に示すよう
に、透明基板１３上にブラックマトリクスと赤、青、緑
の着色層からなるカラーフィルタ１４と電極１５が形成
されているカラーフィルタ基板１６と、電極１５が形成
されているアレイ基板１７と、この２枚の基板１６、１
７間に液晶１８を挾持したものである。この２枚の基板
１６、１７を貼り合わすセル組み立て工程では、所定の
位置に貼り合わすための印として２枚の基板１３上に、
位置決めマークが形成されている。図５に示すように、
カラーフィルタ基板１６を例に挙げると、この位置決め
マーク１８は、透明基板１３上のカラーフィルタ１４が
形成されている部分の図面上、左右部分に十字の印とし
てつけられている。この位置決めマーク１８は、例えば
カラーフィルタのブラックマトリクスの形成と同時に形
成される。ブラックマトリクスの材料としては黒色樹脂
や金属クロム等があり、特に黒色樹脂のように硬度があ
まりないブラックマトリクスでは、カラーフィルタの製
造工程中のカラーフィルタを平滑化するための研磨処理
による位置決めマークの剥離が起こるときがある。この
ため、位置決めマークを覆うように保護膜を形成して、
位置決めマークの剥離を防止する必要がある。
に、透明基板１３上にブラックマトリクスと赤、青、緑
の着色層からなるカラーフィルタ１４と電極１５が形成
されているカラーフィルタ基板１６と、電極１５が形成
されているアレイ基板１７と、この２枚の基板１６、１
７間に液晶１８を挾持したものである。この２枚の基板
１６、１７を貼り合わすセル組み立て工程では、所定の
位置に貼り合わすための印として２枚の基板１３上に、
位置決めマークが形成されている。図５に示すように、
カラーフィルタ基板１６を例に挙げると、この位置決め
マーク１８は、透明基板１３上のカラーフィルタ１４が
形成されている部分の図面上、左右部分に十字の印とし
てつけられている。この位置決めマーク１８は、例えば
カラーフィルタのブラックマトリクスの形成と同時に形
成される。ブラックマトリクスの材料としては黒色樹脂
や金属クロム等があり、特に黒色樹脂のように硬度があ
まりないブラックマトリクスでは、カラーフィルタの製
造工程中のカラーフィルタを平滑化するための研磨処理
による位置決めマークの剥離が起こるときがある。この
ため、位置決めマークを覆うように保護膜を形成して、
位置決めマークの剥離を防止する必要がある。
【０００４】一般に、このような小面積の範囲の膜を塗
布する装置は、図１に示すように、膜材料を供給するた
めの円板状基板６と、この円板状基板６上にスキージ４
によりほぼ均一の厚さにされた膜材料５を付着させるス
タンプヘッド１とからなる。このスタンプヘッド１の膜
材料５を付着させる部分は、図３に示すように平坦な形
状となっている。
布する装置は、図１に示すように、膜材料を供給するた
めの円板状基板６と、この円板状基板６上にスキージ４
によりほぼ均一の厚さにされた膜材料５を付着させるス
タンプヘッド１とからなる。このスタンプヘッド１の膜
材料５を付着させる部分は、図３に示すように平坦な形
状となっている。
【０００５】この装置１０の動作を図１、図２を用いて
説明する。尚、図２は図１の円板状基板６を上から見た
平面図である。まず、円板状基板６上に膜材料５を供給
し、円板状基板６を回転させ、スキージ４によって膜材
料５をならしてほぼ均一の厚さにする。この膜材料５
を、スタンプヘッド１を矢印Ａのように空気シリンダ等
の駆動手段により上下に移動させることによってスタン
プヘッド１の先端に付着させる。その後、被塗布物７の
塗布対象部分の上方に往復動または回転手段によりスタ
ンプヘッド１を矢印Ｂのように移動させ、スタンプヘッ
ド１を矢印Ｃのように空気シリンダ等の駆動手段により
上下方向に移動させ、膜材料５と被塗布物７を接触させ
て膜材料５を塗布する。この際、被塗布物７とスタンプ
ヘッド１は接触させないようにする。尚、基板６の形状
が円板状のものを用いた場合を例として挙げたが、この
形状に限られるものではない。
説明する。尚、図２は図１の円板状基板６を上から見た
平面図である。まず、円板状基板６上に膜材料５を供給
し、円板状基板６を回転させ、スキージ４によって膜材
料５をならしてほぼ均一の厚さにする。この膜材料５
を、スタンプヘッド１を矢印Ａのように空気シリンダ等
の駆動手段により上下に移動させることによってスタン
プヘッド１の先端に付着させる。その後、被塗布物７の
塗布対象部分の上方に往復動または回転手段によりスタ
ンプヘッド１を矢印Ｂのように移動させ、スタンプヘッ
ド１を矢印Ｃのように空気シリンダ等の駆動手段により
上下方向に移動させ、膜材料５と被塗布物７を接触させ
て膜材料５を塗布する。この際、被塗布物７とスタンプ
ヘッド１は接触させないようにする。尚、基板６の形状
が円板状のものを用いた場合を例として挙げたが、この
形状に限られるものではない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来、小面積の範囲に
膜を形成する場合、被塗布物とスタンプヘッドは接触さ
せないようにして、膜材料と被塗布物を接触させて膜材
料を塗布していた。しかし、塗布された膜の膜厚は、被
塗布物の厚み、即ちスタンプヘッドと被被塗布物間との
距離等により変化するため、常に一定の膜厚を得ること
は困難であった。更に、このような方法で得られる膜の
厚みは３０〜１００μｍほどで、薄い膜厚の薄膜の塗布
は困難であった。
膜を形成する場合、被塗布物とスタンプヘッドは接触さ
せないようにして、膜材料と被塗布物を接触させて膜材
料を塗布していた。しかし、塗布された膜の膜厚は、被
塗布物の厚み、即ちスタンプヘッドと被被塗布物間との
距離等により変化するため、常に一定の膜厚を得ること
は困難であった。更に、このような方法で得られる膜の
厚みは３０〜１００μｍほどで、薄い膜厚の薄膜の塗布
は困難であった。
【０００７】また、被塗布物とスタンプヘッドを接触さ
せて塗布した場合、スタンプヘッドの先端部は平坦なた
め、図３のように、薄膜材料５が潰されてしまい、大部
分の薄膜材料５はスタンプヘッド周辺にしか塗布されな
かった。
せて塗布した場合、スタンプヘッドの先端部は平坦なた
め、図３のように、薄膜材料５が潰されてしまい、大部
分の薄膜材料５はスタンプヘッド周辺にしか塗布されな
かった。
【０００８】本発明は上記事情に鑑みなされたもので、
小面積の範囲に薄膜を塗布するのに好適な薄膜塗布方法
及び薄膜塗布装置、またこれらを用いた位置決めマーク
の保護膜塗布方法及び保護膜塗布装置を提供するもので
ある。
小面積の範囲に薄膜を塗布するのに好適な薄膜塗布方法
及び薄膜塗布装置、またこれらを用いた位置決めマーク
の保護膜塗布方法及び保護膜塗布装置を提供するもので
ある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の薄膜塗布方法
は、スタンプヘッドに薄膜材料を付着させ、前記付着さ
せた薄膜材料を被塗布物の塗布対象部分全面に塗布する
薄膜塗布方法であり、前記スタンプヘッドの薄膜材料を
付着させる部分が平坦な表面に対し凹凸形状を有し、薄
膜材料を被塗布物に塗布する際にスタンプヘッドと被塗
布物が接触していることを特徴とする。
は、スタンプヘッドに薄膜材料を付着させ、前記付着さ
せた薄膜材料を被塗布物の塗布対象部分全面に塗布する
薄膜塗布方法であり、前記スタンプヘッドの薄膜材料を
付着させる部分が平坦な表面に対し凹凸形状を有し、薄
膜材料を被塗布物に塗布する際にスタンプヘッドと被塗
布物が接触していることを特徴とする。
【００１０】本発明の位置決めマークの保護膜塗布方法
は、スタンプヘッドに保護膜材料を付着させ、前記付着
させた保護膜材料をカラーフィルタ基板上の位置決めマ
ーク上に塗布して保護膜を形成する保護膜の塗布方法で
あり、スタンプヘッドの保護膜材料を付着させる部分が
平坦な表面に対し凹凸形状を有し、保護膜材料を位置決
めマーク上に塗布する際にスタンプヘッドとカラーフィ
ルタ基板が接触していることを特徴とする。
は、スタンプヘッドに保護膜材料を付着させ、前記付着
させた保護膜材料をカラーフィルタ基板上の位置決めマ
ーク上に塗布して保護膜を形成する保護膜の塗布方法で
あり、スタンプヘッドの保護膜材料を付着させる部分が
平坦な表面に対し凹凸形状を有し、保護膜材料を位置決
めマーク上に塗布する際にスタンプヘッドとカラーフィ
ルタ基板が接触していることを特徴とする。
【００１１】本発明の薄膜塗布装置は、薄膜材料を供給
する手段と、薄膜材料をほぼ均一の厚さにする手段と、
スタンプヘッドに前記ほぼ均一な厚さにした薄膜材料を
付着させる手段と、付着させた薄膜材料を、前記スタン
プヘッドと被塗布物を接触させることにより被塗布物の
塗布対象部分全面に塗布する手段とを有し、スタンプヘ
ッドの薄膜材料を付着させる部分が平坦な表面に対し凹
凸形状を有していることを特徴とする。
する手段と、薄膜材料をほぼ均一の厚さにする手段と、
スタンプヘッドに前記ほぼ均一な厚さにした薄膜材料を
付着させる手段と、付着させた薄膜材料を、前記スタン
プヘッドと被塗布物を接触させることにより被塗布物の
塗布対象部分全面に塗布する手段とを有し、スタンプヘ
ッドの薄膜材料を付着させる部分が平坦な表面に対し凹
凸形状を有していることを特徴とする。
【００１２】本発明の位置決めマークの保護膜塗布装置
は、保護膜材料を供給する手段と、保護膜材料をほぼ均
一の厚さにする手段と、スタンプヘッドにほぼ均一な厚
さにした保護膜材料を付着させる手段と、付着させた保
護膜材料を、スタンプヘッドとカラーフィルタ基板を接
触させることによりカラーフィルタ基板上の位置決めマ
ーク全面に塗布する手段とを有し、スタンプヘッドの保
護膜材料を付着させる部分が平坦な表面に対し凹凸形状
を有していることを特徴とする。
は、保護膜材料を供給する手段と、保護膜材料をほぼ均
一の厚さにする手段と、スタンプヘッドにほぼ均一な厚
さにした保護膜材料を付着させる手段と、付着させた保
護膜材料を、スタンプヘッドとカラーフィルタ基板を接
触させることによりカラーフィルタ基板上の位置決めマ
ーク全面に塗布する手段とを有し、スタンプヘッドの保
護膜材料を付着させる部分が平坦な表面に対し凹凸形状
を有していることを特徴とする。
【００１３】
【作用】本発明の薄膜塗布方法及び薄膜塗布装置はスタ
ンプヘッドの薄膜材料を付着させる部分を平坦な表面に
対し凹凸形状にすることにより、薄膜材料をスタンプヘ
ッドに付着させた時の平坦な表面に対し凹凸形状の間に
入り込む薄膜材料の量を常に一定にすることが可能とな
る。
ンプヘッドの薄膜材料を付着させる部分を平坦な表面に
対し凹凸形状にすることにより、薄膜材料をスタンプヘ
ッドに付着させた時の平坦な表面に対し凹凸形状の間に
入り込む薄膜材料の量を常に一定にすることが可能とな
る。
【００１４】また、スタンプヘッドが凹凸形状を有し、
更にスタンプヘッドを被塗布物に接触させて塗布するた
め、スタンプヘッドの薄膜材料を付着させる部分が平坦
なときとくらべ、大部分の塗布材料がスタンプヘッド周
辺にしか塗布されないということがなくなり、所定の膜
厚の薄膜を常に安定して得ることができる。
更にスタンプヘッドを被塗布物に接触させて塗布するた
め、スタンプヘッドの薄膜材料を付着させる部分が平坦
なときとくらべ、大部分の塗布材料がスタンプヘッド周
辺にしか塗布されないということがなくなり、所定の膜
厚の薄膜を常に安定して得ることができる。
【００１５】
【実施例】本発明の一実施例を、カラー液晶表示素子の
位置決めマークの保護膜を例に挙げて説明する。尚、本
実施例では、位置決めマークの保護膜塗布を以下に例と
してあげるが、保護膜塗布の形成に限られるものでな
く、一般の薄膜塗布にも用いることができる。
位置決めマークの保護膜を例に挙げて説明する。尚、本
実施例では、位置決めマークの保護膜塗布を以下に例と
してあげるが、保護膜塗布の形成に限られるものでな
く、一般の薄膜塗布にも用いることができる。
【００１６】本実施例の薄膜塗布装置を図１、図２を用
いて説明する。尚、図２は図１の円板状基板６を上から
見た平面図である。本実施例の薄膜塗布装置１０は、薄
膜材料５を供給するための円板状基板６と、この円板状
基板上６に供給された薄膜材料５をほぼ均一の厚さにす
るスキージ４と、この円板状基板６上のほぼ均一の厚さ
にした薄膜材料５を付着させるスタンプヘッド１とから
なる。このスタンプヘッド１の薄膜材料５を付着させる
部分は図６（ａ）、図６（ｂ）に示すように２点鎖線で
示す平坦な表面に対し凹凸形状を有している。図６
（ａ）、図６（ｂ）はともにスタンプヘッドを表わすも
のであり、図６（ｂ）は図６（ａ）の矢印Ｄの方向から
見たときのスタンプヘッドの形状を表わす平面図であ
る。本実施例では、図５の位置決めマークのａの長さは
１．６ｍｍである。また、スタンプヘッド１は、図６
（ａ）（ｂ）に示すように、先端を辺ｂが３ｍｍの正方
形状とし、平坦な表面に対し凹凸形状形状はピッチｃを
１５０μｍ、深さｄを５０μｍとした。
いて説明する。尚、図２は図１の円板状基板６を上から
見た平面図である。本実施例の薄膜塗布装置１０は、薄
膜材料５を供給するための円板状基板６と、この円板状
基板上６に供給された薄膜材料５をほぼ均一の厚さにす
るスキージ４と、この円板状基板６上のほぼ均一の厚さ
にした薄膜材料５を付着させるスタンプヘッド１とから
なる。このスタンプヘッド１の薄膜材料５を付着させる
部分は図６（ａ）、図６（ｂ）に示すように２点鎖線で
示す平坦な表面に対し凹凸形状を有している。図６
（ａ）、図６（ｂ）はともにスタンプヘッドを表わすも
のであり、図６（ｂ）は図６（ａ）の矢印Ｄの方向から
見たときのスタンプヘッドの形状を表わす平面図であ
る。本実施例では、図５の位置決めマークのａの長さは
１．６ｍｍである。また、スタンプヘッド１は、図６
（ａ）（ｂ）に示すように、先端を辺ｂが３ｍｍの正方
形状とし、平坦な表面に対し凹凸形状形状はピッチｃを
１５０μｍ、深さｄを５０μｍとした。
【００１７】本実施例の薄膜塗布方法を図１、図２を用
いて説明する。まず、円板状基板上６上に薄膜材料５と
してアクリル樹脂を供給し、円板状基板６を既知の回転
手段により回転させ、スキージ４によってアクリル樹脂
５をならしてほぼ均一の厚さにする。このアクリル樹脂
５を、スタンプヘッド１を矢印Ａ方向に上下に移動させ
ることによってスタンプヘッド１の先端に付着させる。
この後、被塗布物７である透明基板７の塗布対象部分で
ある位置決めマークの上方にスタンプヘッド１を矢印Ｂ
方向に移動し、スタンプヘッド１を矢印Ｃ方向に上下に
移動させてアクリル樹脂５と被塗布物７を接触させてア
クリル樹脂５を塗布する。この際、透明基板７とスタン
プヘッド１は図７に示すように接触させる。その後、塗
布したアクリル樹脂の塗布膜の中央部は、図８に示すよ
うに、（ａ）（ｂ）（ｃ）というように自然に平坦化さ
れる。液晶表示素子のように、２枚の透明基板間の距離
であるセルギャップの調整が重要となってくる場合に
は、必然的に位置決めマークの保護膜の膜厚が効いてく
る。従来の方法ではこの保護膜の膜厚を制御するのが困
難であったが、保護膜の量をスタンプヘッドの平坦な表
面に対し凹凸形状の空間により制御できるため、保護膜
の膜厚の制御を容易にできる。
いて説明する。まず、円板状基板上６上に薄膜材料５と
してアクリル樹脂を供給し、円板状基板６を既知の回転
手段により回転させ、スキージ４によってアクリル樹脂
５をならしてほぼ均一の厚さにする。このアクリル樹脂
５を、スタンプヘッド１を矢印Ａ方向に上下に移動させ
ることによってスタンプヘッド１の先端に付着させる。
この後、被塗布物７である透明基板７の塗布対象部分で
ある位置決めマークの上方にスタンプヘッド１を矢印Ｂ
方向に移動し、スタンプヘッド１を矢印Ｃ方向に上下に
移動させてアクリル樹脂５と被塗布物７を接触させてア
クリル樹脂５を塗布する。この際、透明基板７とスタン
プヘッド１は図７に示すように接触させる。その後、塗
布したアクリル樹脂の塗布膜の中央部は、図８に示すよ
うに、（ａ）（ｂ）（ｃ）というように自然に平坦化さ
れる。液晶表示素子のように、２枚の透明基板間の距離
であるセルギャップの調整が重要となってくる場合に
は、必然的に位置決めマークの保護膜の膜厚が効いてく
る。従来の方法ではこの保護膜の膜厚を制御するのが困
難であったが、保護膜の量をスタンプヘッドの平坦な表
面に対し凹凸形状の空間により制御できるため、保護膜
の膜厚の制御を容易にできる。
【００１８】凹凸の形状としては凹凸は複数にある方が
良いと考えられる。複数の凹凸が作り出す空間と同じ体
積の凹みを１つ形成したスタンプヘッドでは、ちょうど
凹みに対応する部分には膜が形成されなかった。これ
は、凹みが１つの場合では、凹みの表面積にそって膜材
料が供給されることになるので、実際に被塗布物とスタ
ンプヘッドを接触して塗布する時には、凹みの中央部分
に供給されている膜材料は被塗布物に接触することがな
く、そのため凹みに対応する部分に膜が形成されなかっ
たと考えられる。
良いと考えられる。複数の凹凸が作り出す空間と同じ体
積の凹みを１つ形成したスタンプヘッドでは、ちょうど
凹みに対応する部分には膜が形成されなかった。これ
は、凹みが１つの場合では、凹みの表面積にそって膜材
料が供給されることになるので、実際に被塗布物とスタ
ンプヘッドを接触して塗布する時には、凹みの中央部分
に供給されている膜材料は被塗布物に接触することがな
く、そのため凹みに対応する部分に膜が形成されなかっ
たと考えられる。
【００１９】尚、本発明の凹凸形状は、サンドブラスト
等で凹凸形状を設けることもできる。また、基板６の形
状が円板状のものを用いた場合を例として挙げたが、こ
の形状に限られるものではない。
等で凹凸形状を設けることもできる。また、基板６の形
状が円板状のものを用いた場合を例として挙げたが、こ
の形状に限られるものではない。
【００２０】このように、本発明の薄膜塗布方法及び薄
膜塗布装置は、スタンプヘッドに所定の寸法の平坦な表
面に対し凹凸形状をつけることによって、凹凸形状に入
り込む塗布液の量を制御できるので、小面積の範囲に薄
膜を塗布するのに好適である。
膜塗布装置は、スタンプヘッドに所定の寸法の平坦な表
面に対し凹凸形状をつけることによって、凹凸形状に入
り込む塗布液の量を制御できるので、小面積の範囲に薄
膜を塗布するのに好適である。
【００２１】
【発明の効果】本発明の薄膜塗布方法及び薄膜塗布装置
はスタンプヘッドの薄膜材料を付着させる部分を所定の
寸法の平坦な表面に対し凹凸形状形状にすることによ
り、薄膜材料をスタンプヘッドに付着させた時の平坦な
表面に対し凹凸形状の間に入り込む薄膜材料の量を一定
にすることが可能となる。
はスタンプヘッドの薄膜材料を付着させる部分を所定の
寸法の平坦な表面に対し凹凸形状形状にすることによ
り、薄膜材料をスタンプヘッドに付着させた時の平坦な
表面に対し凹凸形状の間に入り込む薄膜材料の量を一定
にすることが可能となる。
【００２２】また、スタンプヘッドが凹凸形状を有し、
更にスタンプヘッドを被塗布物に接触させて塗布するた
め、スタンプヘッドの薄膜材料を付着させる部分が平坦
なときとくらべ、大部分の塗布材料がスタンプヘッド周
辺にしか塗布されないということがなくなり、所定の膜
厚の薄膜を常に安定して得ることができる。
更にスタンプヘッドを被塗布物に接触させて塗布するた
め、スタンプヘッドの薄膜材料を付着させる部分が平坦
なときとくらべ、大部分の塗布材料がスタンプヘッド周
辺にしか塗布されないということがなくなり、所定の膜
厚の薄膜を常に安定して得ることができる。
【図１】本発明の実施例及び従来の薄膜塗布装置を示す
概略図。
概略図。
【図２】図１の薄膜塗布装置の部分概略図。
【図３】従来の薄膜塗布装置のスタンプヘッドの示す概
略図。
略図。
【図４】液晶表示素子の縦断断面図。
【図５】カラーフィルタ基板を示す概略図。
【図６】（ａ）本発明の薄膜塗布装置のスタンプヘッド
を示す概略図。 （ｂ）図６（ａ）のスタンプヘッドを矢印Ｄから見た状
態を示す概略図。
を示す概略図。 （ｂ）図６（ａ）のスタンプヘッドを矢印Ｄから見た状
態を示す概略図。
【図７】本発明の薄膜塗布装置を用いた場合の薄膜塗布
状態を示す概略図。
状態を示す概略図。
【図８】（ａ）本発明の薄膜塗布装置を用いた場合の薄
膜塗布直後の薄膜の中央部の様子を示す概略図。 （ｂ）図８（ａ）から時間経過した薄膜の中央部の様子
を示す概略図。 （ｃ）図８（ｂ）から時間経過した薄膜の中央部の様子
を示す概略図。
膜塗布直後の薄膜の中央部の様子を示す概略図。 （ｂ）図８（ａ）から時間経過した薄膜の中央部の様子
を示す概略図。 （ｃ）図８（ｂ）から時間経過した薄膜の中央部の様子
を示す概略図。
１…スタンプヘッド ５…薄膜材料 ７…被塗布物
Claims (4)
- 【請求項１】スタンプヘッドに薄膜材料を付着させ、前
記付着させた薄膜材料を被塗布物の塗布対象部分全面に
塗布する薄膜塗布方法において、前記スタンプヘッドの
薄膜材料を付着させる部分が平坦な表面に対し凹凸形状
を有し、薄膜材料を被塗布物に塗布する際にスタンプヘ
ッドと被塗布物が接触していることを特徴とする薄膜塗
布方法。 - 【請求項２】スタンプヘッドに保護膜材料を付着させ、
前記付着させた保護膜材料をカラーフィルタ基板の位置
決めマーク上に塗布して保護膜を形成する保護膜の塗布
方法において、前記スタンプヘッドの保護膜材料を付着
させる部分が平坦な表面に対し凹凸形状を有し、保護膜
材料を上記位置決めマーク上に塗布する際にスタンプヘ
ッドとカラーフィルタ基板が接触していることを特徴と
する位置決めマークの保護膜塗布方法。 - 【請求項３】薄膜材料を供給する手段と、前記薄膜材料
をほぼ均一の厚さにする手段とスタンプヘッドに前記ほ
ぼ均一な厚さにした薄膜材料を付着させる手段と、前記
付着させた薄膜材料を、前記スタンプヘッドと被塗布物
を接触させることにより被塗布物の塗布対象部分全面に
塗布する手段とを有し、前記スタンプヘッドの薄膜材料
を付着させる部分が平坦な表面に対し凹凸形状を有して
いることを特徴とする薄膜塗布装置。 - 【請求項４】保護膜材料を供給する手段と、前記保護膜
材料をほぼ均一の厚さにする手段とスタンプヘッドに前
記ほぼ均一な厚さにした保護膜材料を付着させる手段
と、前記付着させた保護膜材料を、前記スタンプヘッド
とカラーフィルタ基板を接触させることによりカラーフ
ィルタ基板の位置決めマーク全面に塗布する手段とを有
し、前記スタンプヘッドの保護膜材料を付着させる部分
が平坦な表面に対し凹凸形状を有していることを特徴と
する位置決めマークの保護膜塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25646794A JPH08123044A (ja) | 1994-10-21 | 1994-10-21 | 薄膜塗布方法及び薄膜塗布装置、これらを用いた位置決めマークの保護膜塗布方法及び保護膜塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25646794A JPH08123044A (ja) | 1994-10-21 | 1994-10-21 | 薄膜塗布方法及び薄膜塗布装置、これらを用いた位置決めマークの保護膜塗布方法及び保護膜塗布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08123044A true JPH08123044A (ja) | 1996-05-17 |
Family
ID=17293048
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25646794A Pending JPH08123044A (ja) | 1994-10-21 | 1994-10-21 | 薄膜塗布方法及び薄膜塗布装置、これらを用いた位置決めマークの保護膜塗布方法及び保護膜塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08123044A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7880844B2 (en) | 2006-05-16 | 2011-02-01 | Sharp Kabushiki Kaisha | Display panel manufacturing method, display panel manufacturing apparatus, and display panel |
-
1994
- 1994-10-21 JP JP25646794A patent/JPH08123044A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7880844B2 (en) | 2006-05-16 | 2011-02-01 | Sharp Kabushiki Kaisha | Display panel manufacturing method, display panel manufacturing apparatus, and display panel |
| US8023097B2 (en) | 2006-05-16 | 2011-09-20 | Sharp Kabushiki Kaisha | Display panel manufacturing method, display panel manufacturing apparatus, and display panel |
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