JPH08128Y2 - 両面研磨機 - Google Patents
両面研磨機Info
- Publication number
- JPH08128Y2 JPH08128Y2 JP1989037186U JP3718689U JPH08128Y2 JP H08128 Y2 JPH08128 Y2 JP H08128Y2 JP 1989037186 U JP1989037186 U JP 1989037186U JP 3718689 U JP3718689 U JP 3718689U JP H08128 Y2 JPH08128 Y2 JP H08128Y2
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- JP
- Japan
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- roller
- carrier
- teeth
- double
- shaft
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Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims description 32
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 2
- 230000009545 invasion Effects 0.000 description 2
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はウエハやメモリーディスク等の被加工物を研
磨する両面研磨機に係わるもので、特に太陽歯車と内歯
車の歯部の改良に関するものである。
磨する両面研磨機に係わるもので、特に太陽歯車と内歯
車の歯部の改良に関するものである。
従来使用されているこの種の両面研磨機を第３図、第
４図により説明する。上定盤１と下定盤２は不図示の駆
動源により、それぞれ単独に駆動されており、両定盤1,
2間には円板状で内側にウエハ等の被加工物３を平面状
に保持する穴を有するとともに外周面に歯を有し、太陽
歯車４と内歯車５に噛合い自転しながら公転するキャリ
ア６が下定盤２上に複数個セットされている。また上定
盤１と下定盤２の対向面には、それぞれ不図示の研磨布
が貼られ、これらの研磨布により被加工物３の上下面を
研磨するように構成されている。
４図により説明する。上定盤１と下定盤２は不図示の駆
動源により、それぞれ単独に駆動されており、両定盤1,
2間には円板状で内側にウエハ等の被加工物３を平面状
に保持する穴を有するとともに外周面に歯を有し、太陽
歯車４と内歯車５に噛合い自転しながら公転するキャリ
ア６が下定盤２上に複数個セットされている。また上定
盤１と下定盤２の対向面には、それぞれ不図示の研磨布
が貼られ、これらの研磨布により被加工物３の上下面を
研磨するように構成されている。
上定盤１の中央上部には上定盤保持軸７が取付けられ
上定盤１を保持するとともに上定盤保持軸７を介して駆
動するようになっている。また、上定盤保持軸７上部に
は研磨剤供給ライン８から供給される研磨剤を一時的に
貯える研磨剤受９が取付けられ、この研磨剤受９の下面
には研磨剤を流下させる複数個の流下孔があり、これら
の孔と上定盤１を貫通して設けた複数個の研磨剤供給口
11との間はチューブ10で接続されている。したがって研
磨剤受９に供給された研磨剤はチューブ10、研磨剤供給
口11を流下し上定盤１の研磨布に浸透した後被加工物３
およびキャリア６に供給され、さらに流下して不定盤２
の研磨布に浸透するようになっている。
上定盤１を保持するとともに上定盤保持軸７を介して駆
動するようになっている。また、上定盤保持軸７上部に
は研磨剤供給ライン８から供給される研磨剤を一時的に
貯える研磨剤受９が取付けられ、この研磨剤受９の下面
には研磨剤を流下させる複数個の流下孔があり、これら
の孔と上定盤１を貫通して設けた複数個の研磨剤供給口
11との間はチューブ10で接続されている。したがって研
磨剤受９に供給された研磨剤はチューブ10、研磨剤供給
口11を流下し上定盤１の研磨布に浸透した後被加工物３
およびキャリア６に供給され、さらに流下して不定盤２
の研磨布に浸透するようになっている。
研磨加工時、キャリア６は太陽歯車４と内歯車５に噛
合って駆動され自転、公転が与えられるが、キャリア６
の歯12に噛合うこれらの歯部は第４図に示すように軸14
とローラ15で形成されている。軸14はキャリア６が公転
する時キャリア６の歯12のピッチ円が内歯車５の基板13
の上面に描く円周上にキャリア６の歯12の円周ピッチに
合わせて立設され、この軸14に円筒状のローラ15が回転
自在にはめ込まれている。そしてローラ15は回転時の接
触抵抗を減らすため上部に若干隙間Ａをもたせて抜け出
ないよう押えネジ16で固定されている。なお、太陽歯車
４の歯部の構成は内歯車５と歯数が異るのみでその他は
同一に構成されている。
合って駆動され自転、公転が与えられるが、キャリア６
の歯12に噛合うこれらの歯部は第４図に示すように軸14
とローラ15で形成されている。軸14はキャリア６が公転
する時キャリア６の歯12のピッチ円が内歯車５の基板13
の上面に描く円周上にキャリア６の歯12の円周ピッチに
合わせて立設され、この軸14に円筒状のローラ15が回転
自在にはめ込まれている。そしてローラ15は回転時の接
触抵抗を減らすため上部に若干隙間Ａをもたせて抜け出
ないよう押えネジ16で固定されている。なお、太陽歯車
４の歯部の構成は内歯車５と歯数が異るのみでその他は
同一に構成されている。
前述したように構成されているため研磨加工において
キャリア６が自転、公転する時キャリア６の歯12の歯面
が太陽歯車４と内歯車５のローラ15の表面に接触し、接
触抵抗によりローラ15が回転するのでキャリア６の歯面
の滑りが減少し摩耗速度を鈍化させ寿命を長くするよう
にしている。しかし以下に述べるような問題がある。
キャリア６が自転、公転する時キャリア６の歯12の歯面
が太陽歯車４と内歯車５のローラ15の表面に接触し、接
触抵抗によりローラ15が回転するのでキャリア６の歯面
の滑りが減少し摩耗速度を鈍化させ寿命を長くするよう
にしている。しかし以下に述べるような問題がある。
従来の太陽歯車４および内歯車５の歯を形成するロー
ラ部のローラ15の上面と押えネジ16の頭の下面との間に
第４図に示すように隙間Ａが存在するため研磨加工時こ
の隙間Ａから研磨剤がローラ15と軸14との間の隙間に侵
入し、長期間使用している間に侵入した研磨剤が凝固し
てローラ15が軸14に固着しローラ15が回転しなくなる。
そのためキャリア６と接触するローラ15の外表面が局部
的に摩耗する。他方キャリア６の歯12の歯面もローラ15
が回転しないため急速に摩耗し噛合いが不正確になるば
かりか歯12の強度が低下し短時間で破損する。そのため
にローラ15およびキャリア６の交換頻度が増え経済的に
も、また、生産性の面からも問題があった。
ラ部のローラ15の上面と押えネジ16の頭の下面との間に
第４図に示すように隙間Ａが存在するため研磨加工時こ
の隙間Ａから研磨剤がローラ15と軸14との間の隙間に侵
入し、長期間使用している間に侵入した研磨剤が凝固し
てローラ15が軸14に固着しローラ15が回転しなくなる。
そのためキャリア６と接触するローラ15の外表面が局部
的に摩耗する。他方キャリア６の歯12の歯面もローラ15
が回転しないため急速に摩耗し噛合いが不正確になるば
かりか歯12の強度が低下し短時間で破損する。そのため
にローラ15およびキャリア６の交換頻度が増え経済的に
も、また、生産性の面からも問題があった。
本考案はこれらの問題を解決するためローラ15と軸14
との間の隙間に研磨剤が侵入しないようにしてキャリア
６およびローラ15の寿命をより一層向上させることを目
的とした両面研磨機を提供することである。
との間の隙間に研磨剤が侵入しないようにしてキャリア
６およびローラ15の寿命をより一層向上させることを目
的とした両面研磨機を提供することである。
上記目的を達成するため本考案は、キャリアに装填し
た被加工物の上下面を上・下定盤で狭圧し、前記キャリ
アの外周に形成された歯を、上・下定盤の中心に配置さ
れた太陽歯車および上・下定盤の周囲を囲むように配置
された内歯車の歯にそれぞれ噛み合わせて前記キャリア
に自転公転を与えて研磨加工を行う両面研磨機であっ
て、かつ前記太陽歯車および内歯車の歯をそれぞれの歯
に対応させて立設した軸とこれらの軸に回転自在にはめ
込まれたローラとにより形成してなる両面研磨機におい
て、前記ローラの上部外周に形成された小径部と、該ロ
ーラの上方を覆うように配置されて前記軸に取り付けら
れ下部が前記ローラの小径部にわずかな隙間を持って係
合する凹状のシール部材とを備え、このシール部材の外
径が前記ローラの外径と等しいかもしくは小径に形成さ
れている両面研磨機にある。
た被加工物の上下面を上・下定盤で狭圧し、前記キャリ
アの外周に形成された歯を、上・下定盤の中心に配置さ
れた太陽歯車および上・下定盤の周囲を囲むように配置
された内歯車の歯にそれぞれ噛み合わせて前記キャリア
に自転公転を与えて研磨加工を行う両面研磨機であっ
て、かつ前記太陽歯車および内歯車の歯をそれぞれの歯
に対応させて立設した軸とこれらの軸に回転自在にはめ
込まれたローラとにより形成してなる両面研磨機におい
て、前記ローラの上部外周に形成された小径部と、該ロ
ーラの上方を覆うように配置されて前記軸に取り付けら
れ下部が前記ローラの小径部にわずかな隙間を持って係
合する凹状のシール部材とを備え、このシール部材の外
径が前記ローラの外径と等しいかもしくは小径に形成さ
れている両面研磨機にある。
なお、この両面研磨機は、さらに前記軸の下部に大径
の段部が形成され、前記ローラは前記段部の上に回転自
在に設置されると共に、前記軸の大径の段部の外周にわ
ずかな隙間を持って係合するシール部が前記ローラの下
部に一体的に形成されていることが好ましい。
の段部が形成され、前記ローラは前記段部の上に回転自
在に設置されると共に、前記軸の大径の段部の外周にわ
ずかな隙間を持って係合するシール部が前記ローラの下
部に一体的に形成されていることが好ましい。
少なくともローラ上端部に設けたシール部によりロー
ラと軸との間の隙間への研磨剤の侵入が押えられる。そ
のためローラおよびキャリアの寿命が長くなり、キャリ
アおよびローラの交換頻度を長くする。
ラと軸との間の隙間への研磨剤の侵入が押えられる。そ
のためローラおよびキャリアの寿命が長くなり、キャリ
アおよびローラの交換頻度を長くする。
以下本考案の一実施例について第１図および第３図を
参照して説明する。なお第１図は前述した第３図のＺ部
に相当する部分の本考案の一実施例を示す詳細図であ
る。
参照して説明する。なお第１図は前述した第３図のＺ部
に相当する部分の本考案の一実施例を示す詳細図であ
る。
キャリア６が公転する時キャリア６の歯12のピッチ円
が太陽歯車４および内歯車５の基板17,13（第１図は内
歯車５のみを示す）の上面に描く円周上にキャリア６の
歯12の円周ピッチに合わせて軸18を立設し、この軸18に
円筒状で上部外径が一段小径のローラ19が回転自在には
め込まれ、このローラ19の小径部20と、わづかな隙間Ｔ
およびＬを維持してシール部材21を小径部20を覆うよう
にはめ込んでシール部22を形成している。
が太陽歯車４および内歯車５の基板17,13（第１図は内
歯車５のみを示す）の上面に描く円周上にキャリア６の
歯12の円周ピッチに合わせて軸18を立設し、この軸18に
円筒状で上部外径が一段小径のローラ19が回転自在には
め込まれ、このローラ19の小径部20と、わづかな隙間Ｔ
およびＬを維持してシール部材21を小径部20を覆うよう
にはめ込んでシール部22を形成している。
シール部材21は、外径がローラ19の外径とほぼ等しい
か小径に形成され、上面に締結時締結工具を使用するた
めのスリット23が刻設され、また、下部は凹状になって
おり、その中心に雄ネジ24がシール部材21と一体的に設
けられ、この雄ネジ24が軸18の上部中心に螺着され固定
されている。
か小径に形成され、上面に締結時締結工具を使用するた
めのスリット23が刻設され、また、下部は凹状になって
おり、その中心に雄ネジ24がシール部材21と一体的に設
けられ、この雄ネジ24が軸18の上部中心に螺着され固定
されている。
以上のように構成されているため、研磨加工時ローラ
19はキャリア６の歯12と噛合って軸18上を回転する。こ
の状態でローラ19は外表面から研磨剤を受けるがシール
部22を有するため研磨剤がこのシール部22を通過して内
側に侵入することはない。
19はキャリア６の歯12と噛合って軸18上を回転する。こ
の状態でローラ19は外表面から研磨剤を受けるがシール
部22を有するため研磨剤がこのシール部22を通過して内
側に侵入することはない。
第２図は他の実施例の主要部を示すもので、ローラ19
aの上部および下部にシール部22、22aを設けたものであ
る。この場合軸18aは下部が大径の段付軸でローラ19aの
内側も段付となっており、この軸18aの段部28にローラ1
9aが載置され回転するようになっている。また、シール
部材25の軸18への固定方法が第１図のシール部材21と異
なり、シール部材25はシール部材25自身でなくシール部
材25を貫通して設けた押えネジ26により軸18aに固定さ
れている。そして押えネジ26の頭の下面とシール部材25
との間に研磨剤の侵入防止揺のＯリング27が装着されて
いる。このように構成されているため研磨剤はローラ19
aの内部に侵入しない。その他の構成は第１図と同一で
ある。
aの上部および下部にシール部22、22aを設けたものであ
る。この場合軸18aは下部が大径の段付軸でローラ19aの
内側も段付となっており、この軸18aの段部28にローラ1
9aが載置され回転するようになっている。また、シール
部材25の軸18への固定方法が第１図のシール部材21と異
なり、シール部材25はシール部材25自身でなくシール部
材25を貫通して設けた押えネジ26により軸18aに固定さ
れている。そして押えネジ26の頭の下面とシール部材25
との間に研磨剤の侵入防止揺のＯリング27が装着されて
いる。このように構成されているため研磨剤はローラ19
aの内部に侵入しない。その他の構成は第１図と同一で
ある。
本考案は以上説明したように太陽歯車と内歯車の歯を
形成する少なくともローラ上端部にシール部材を設けた
ので、研磨加工時ローラと軸との間の隙間への研磨剤の
侵入を押えることができる。そのためローラは常に円滑
に回転し、キャリアの歯の歯面の摩耗速度が著しく低下
し歯がやせて破損するまでの寿命が永くなった。また、
ローラが回転するためローラの局部摩耗がなくなり長寿
命となり交換頻度も長くなるなど顕著な効果を有する。
形成する少なくともローラ上端部にシール部材を設けた
ので、研磨加工時ローラと軸との間の隙間への研磨剤の
侵入を押えることができる。そのためローラは常に円滑
に回転し、キャリアの歯の歯面の摩耗速度が著しく低下
し歯がやせて破損するまでの寿命が永くなった。また、
ローラが回転するためローラの局部摩耗がなくなり長寿
命となり交換頻度も長くなるなど顕著な効果を有する。
第１図は本考案の一実施例を示す要部断面図、第２図は
本考案の他の実施例を示す要部断面図、第３図は本考案
および従来の両面研磨機の研磨部概要断面図、第４図は
Ｚ部の従来例の要部断面図である。 １……上定盤、２……下定盤、３……被加工物、４……
太陽歯車、５……内歯車、６……キャリア、18……軸、
19……ローラ、21、25……シール部材、22……シール
部。
本考案の他の実施例を示す要部断面図、第３図は本考案
および従来の両面研磨機の研磨部概要断面図、第４図は
Ｚ部の従来例の要部断面図である。 １……上定盤、２……下定盤、３……被加工物、４……
太陽歯車、５……内歯車、６……キャリア、18……軸、
19……ローラ、21、25……シール部材、22……シール
部。
Claims (2)
- 【請求項１】キャリアに装填した被加工物の上下面を上
・下定盤で狭圧し、前記キャリアの外周に形成された歯
を、上・下定盤の中心に配置された太陽歯車および上・
下定盤の周囲を囲むように配置された内歯車の歯にそれ
ぞれ噛み合わせて前記キャリアに自転公転を与えて研磨
加工を行う両面研磨機であって、かつ前記太陽歯車およ
び内歯車の歯をそれぞれの歯に対応させて立設した軸と
これらの軸に回転自在にはめ込まれたローラとにより形
成してなる両面研磨機において、前記ローラの上部外周
に形成された小径部と、該ローラの上方を覆うように配
置されて前記軸に取り付けられ下部が前記ローラの小径
部にわずかな隙間を持って係合する凹状のシール部材と
を備え、このシール部材の外径が前記ローラの外径と等
しいかもしくは小径に形成されていることを特徴とする
両面研磨機。 - 【請求項２】前記軸の下部に大径の段部が形成され、前
記ローラは前記段部の上に回転自在に設置されると共
に、前記軸の大径の段部の外周にわずかな隙間を持って
係合するシール部が前記ローラの下部に一体的に形成さ
れていることを特徴とする請求項１に記載の両面研磨
機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989037186U JPH08128Y2 (ja) | 1989-03-30 | 1989-03-30 | 両面研磨機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989037186U JPH08128Y2 (ja) | 1989-03-30 | 1989-03-30 | 両面研磨機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02130748U JPH02130748U (ja) | 1990-10-29 |
| JPH08128Y2 true JPH08128Y2 (ja) | 1996-01-10 |
Family
ID=31544071
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989037186U Expired - Lifetime JPH08128Y2 (ja) | 1989-03-30 | 1989-03-30 | 両面研磨機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08128Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4663270B2 (ja) * | 2004-08-04 | 2011-04-06 | 不二越機械工業株式会社 | 研磨装置 |
| JP4510659B2 (ja) * | 2005-02-04 | 2010-07-28 | 不二越機械工業株式会社 | 研磨装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5997855U (ja) * | 1982-12-21 | 1984-07-03 | 住友電気工業株式会社 | 両面同時ラツプ研磨機 |
| JPH0525809Y2 (ja) * | 1986-11-06 | 1993-06-29 |
-
1989
- 1989-03-30 JP JP1989037186U patent/JPH08128Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02130748U (ja) | 1990-10-29 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |