JPH01252356A - 両面研磨機 - Google Patents
両面研磨機Info
- Publication number
- JPH01252356A JPH01252356A JP63079480A JP7948088A JPH01252356A JP H01252356 A JPH01252356 A JP H01252356A JP 63079480 A JP63079480 A JP 63079480A JP 7948088 A JP7948088 A JP 7948088A JP H01252356 A JPH01252356 A JP H01252356A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- roller
- teeth
- gear
- internal gear
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はウェハやメモリーディスク等の被加工物を研磨
する両面研磨機に係わるもので、特に太陽歯車と内歯車
の歯を回転可能なローラとした両面研磨機に関するもの
である。
する両面研磨機に係わるもので、特に太陽歯車と内歯車
の歯を回転可能なローラとした両面研磨機に関するもの
である。
従来使用されているこの種の両面研磨機全第３図、第４
図に示し説明する。上定盤１と下定盤２は不図示の駆動
源により、それぞれ単独に駆動されており、画定盤間に
は円板状で内側にウェハ等の被加工物８を平面状に保持
する穴を有するとともに外周面に歯を有し、太陽歯車９
と内歯車１０に噛合い自転しながら公転するキャリア１
２が下定盤２上に複数個セットされている。また、上、
下定盤の対向面にレエそれぞれ不図示の研磨布が貼られ
ている。また、研磨加工に不可欠な研磨剤は研磨剤供給
ライン５から上定盤１の上部中央に設けた上定盤保持軸
３に取付けの研磨剤受４１Ｃ−旦供給された後チューブ
６、研磨剤供給ロアを流下し上定盤ｌの研磨布に浸透１
〜、被加工物８およびキャリア１２に供給される。
図に示し説明する。上定盤１と下定盤２は不図示の駆動
源により、それぞれ単独に駆動されており、画定盤間に
は円板状で内側にウェハ等の被加工物８を平面状に保持
する穴を有するとともに外周面に歯を有し、太陽歯車９
と内歯車１０に噛合い自転しながら公転するキャリア１
２が下定盤２上に複数個セットされている。また、上、
下定盤の対向面にレエそれぞれ不図示の研磨布が貼られ
ている。また、研磨加工に不可欠な研磨剤は研磨剤供給
ライン５から上定盤１の上部中央に設けた上定盤保持軸
３に取付けの研磨剤受４１Ｃ−旦供給された後チューブ
６、研磨剤供給ロアを流下し上定盤ｌの研磨布に浸透１
〜、被加工物８およびキャリア１２に供給される。
研磨加工時キャリア１２の自転、公転はキャリア１２の
外周に設けた歯が太陽歯車９と内歯車ｌＯの歯に噛合っ
て駆動され行なわれるが、このｌ＠合う歯は第４図（内
歯車１０との噛合部）［示すように内歯車１０の基材１
５にピンｌｌｉキャリア１２の歯１３の円周ピッチに合
わせて数十個等ピッチで垂直方向に植込んだものである
。すなわち、歯車の歯の代りにピンを設けたものである
。また、太陽歯車９の歯も同一構造で歯数が変るのみで
ある。
外周に設けた歯が太陽歯車９と内歯車ｌＯの歯に噛合っ
て駆動され行なわれるが、このｌ＠合う歯は第４図（内
歯車１０との噛合部）［示すように内歯車１０の基材１
５にピンｌｌｉキャリア１２の歯１３の円周ピッチに合
わせて数十個等ピッチで垂直方向に植込んだものである
。すなわち、歯車の歯の代りにピンを設けたものである
。また、太陽歯車９の歯も同一構造で歯数が変るのみで
ある。
したがって、研磨加工は下定盤２上にセフ）されている
キャリア１２にウエノ・等の被加工物８をセットして上
定盤１を下降させて被加工物８を上、下定盤１．２で挾
圧して研磨剤を供給しながらキャリア１２に自転、公転
を与え、被加工物と上、下定盤間とに相対運動金与えて
両面を同時に研磨する。
キャリア１２にウエノ・等の被加工物８をセットして上
定盤１を下降させて被加工物８を上、下定盤１．２で挾
圧して研磨剤を供給しながらキャリア１２に自転、公転
を与え、被加工物と上、下定盤間とに相対運動金与えて
両面を同時に研磨する。
〔発明が解決１〜ようとする課題〕
研磨加工中はキャリア内の被加工物を上、下定盤で挾圧
しながらキャリアに自転、公転金与えるため太陽歯車、
キャリア、内歯車等は負荷がかかった状態で、キャリア
の歯の噛合面とピン表面とで滑りながら回転している。
しながらキャリアに自転、公転金与えるため太陽歯車、
キャリア、内歯車等は負荷がかかった状態で、キャリア
の歯の噛合面とピン表面とで滑りながら回転している。
そのため滑り面は互いに摩耗する。特にピンレエ固定（
回転しない〕であるため局部的に摩耗する。ま比、キャ
リアの歯はピンとの滑り面がやせ細り噛合いが不正確に
なるばかりか歯の強度が低下し破損するが、従来この状
態になるまでの時間が短かかった。そのためピンやキャ
リアを頻繁に取替えしなければならす経済的にも、生産
性にも問題であった。
回転しない〕であるため局部的に摩耗する。ま比、キャ
リアの歯はピンとの滑り面がやせ細り噛合いが不正確に
なるばかりか歯の強度が低下し破損するが、従来この状
態になるまでの時間が短かかった。そのためピンやキャ
リアを頻繁に取替えしなければならす経済的にも、生産
性にも問題であった。
本発明はこの問題を解決するため従来の固定式のピンを
回転可能なローラにすることによりキャリアとピンの寿
命をより一層向上させることを目的とした両面研磨機を
提供することにある。
回転可能なローラにすることによりキャリアとピンの寿
命をより一層向上させることを目的とした両面研磨機を
提供することにある。
本発明はキャリアの歯が噛合う太陽歯車と内歯車の歯を
ピンで形成し、キャリア内に被加工物を装填し、上、下
定盤で被加工物を挾圧しながら研磨加工を行なう両面研
磨機において、前記太陽歯車と内歯車のピンを回転可能
なローラにした両面研磨機である。
ピンで形成し、キャリア内に被加工物を装填し、上、下
定盤で被加工物を挾圧しながら研磨加工を行なう両面研
磨機において、前記太陽歯車と内歯車のピンを回転可能
なローラにした両面研磨機である。
太陽歯車と内歯車の両全形成するピンを回転可能なロー
ラとしたのでキャリアの回転時ローラが回転するので歯
の摩耗も少なく、キャリアの歯が破損するまでの時間を
永引かせる。また、ローラの摩耗速度を遅（し、寿命を
永くする。
ラとしたのでキャリアの回転時ローラが回転するので歯
の摩耗も少なく、キャリアの歯が破損するまでの時間を
永引かせる。また、ローラの摩耗速度を遅（し、寿命を
永くする。
本発明の実施例を第１図、第２図により説明する。ただ
し、第３図で説明し次従来の両面研磨機と同等部材は同
一符号を付して説明は省略する。
し、第３図で説明し次従来の両面研磨機と同等部材は同
一符号を付して説明は省略する。
キャリア１２に噛合う内歯車１０の歯は第２図に示すよ
うに、キャリア１２の歯１３の円周ピッチに合わせて軸
１４を等ピッチで数十個垂直方向に内歯車１００基材１
５に打込み、この軸１４に円筒形のローラ１６を挿入し
、このローラ１６が抜けないよう上部をオサエネジ１７
で軸１４の上面を押付は固定して形成されている。この
状態でローラ１６【１滑らかに回転できるようになって
いる。また、太陽歯車９の歯も同一構造で、ただ歯数の
み異なる。
うに、キャリア１２の歯１３の円周ピッチに合わせて軸
１４を等ピッチで数十個垂直方向に内歯車１００基材１
５に打込み、この軸１４に円筒形のローラ１６を挿入し
、このローラ１６が抜けないよう上部をオサエネジ１７
で軸１４の上面を押付は固定して形成されている。この
状態でローラ１６【１滑らかに回転できるようになって
いる。また、太陽歯車９の歯も同一構造で、ただ歯数の
み異なる。
なお、この実施例では軸１４ヲ内歯車１０の基材１５に
打込む構造としたが、打込む部分を段付としてネジにし
て固定してもよいし、軸１４とオサエネジ１７と全１体
構造にし又もよい。また、ローラ１６内部に軸受全使用
することも可能である。ようするにローラ１６が回転で
きる構造であれば、これ以外の構造でも可能なことは云
うまでもない。
打込む構造としたが、打込む部分を段付としてネジにし
て固定してもよいし、軸１４とオサエネジ１７と全１体
構造にし又もよい。また、ローラ１６内部に軸受全使用
することも可能である。ようするにローラ１６が回転で
きる構造であれば、これ以外の構造でも可能なことは云
うまでもない。
前述したように構成されているため研磨加工において、
キャリア１２が太陽歯車９および内歯車１０の回転によ
り自転、公転するが、この時キャリア１２の歯面とロー
ラ１６の表面とが接触し、滑りが起るが接触抵抗により
ローラ１６が回転するので太陽歯車９および内歯車１０
のローラ１６の表面と接するキャリア１２の歯車の歯面
の間の滑りを減少させローラ１６およびキャリア１２の
摩耗速度を鈍化させる。
キャリア１２が太陽歯車９および内歯車１０の回転によ
り自転、公転するが、この時キャリア１２の歯面とロー
ラ１６の表面とが接触し、滑りが起るが接触抵抗により
ローラ１６が回転するので太陽歯車９および内歯車１０
のローラ１６の表面と接するキャリア１２の歯車の歯面
の間の滑りを減少させローラ１６およびキャリア１２の
摩耗速度を鈍化させる。
太陽歯車および内歯車の両全回転可能なローラにしたの
でキャリアの自転、公転時前記両歯車のローラ表面とキ
ャリアの歯面との間の滑りを減少させ、キャリアの歯が
摩耗し破損するまでの時間（寿命）を永くするとともに
ローラの寿命も永くなった。また、ローラが摩耗した時
実施例のようにすればローラの交換が簡単にできる。よ
って従来の研磨機に比べて、経済的で、かつ生産性がよ
り一層向上するなど顕著な効果全方する。
でキャリアの自転、公転時前記両歯車のローラ表面とキ
ャリアの歯面との間の滑りを減少させ、キャリアの歯が
摩耗し破損するまでの時間（寿命）を永くするとともに
ローラの寿命も永くなった。また、ローラが摩耗した時
実施例のようにすればローラの交換が簡単にできる。よ
って従来の研磨機に比べて、経済的で、かつ生産性がよ
り一層向上するなど顕著な効果全方する。
第１図は本発明の両面研磨機の断面図、第２図は第１図
Ｚ部の詳細図、第３図は従来の両面研磨機の断面図、第
４図は第３図の２部の詳細図である。 １・・・・・・上定盤、 ２・・・・・・下定盤、
８・・・・・被加工物、 ９・・・・・・太陽歯車
、 １０・・・・・・内歯車、１１・・・・・・ピン、
１２・・・・・・キャリア、１３・・・・・・歯、
１６・・・・・・ローラ。
Ｚ部の詳細図、第３図は従来の両面研磨機の断面図、第
４図は第３図の２部の詳細図である。 １・・・・・・上定盤、 ２・・・・・・下定盤、
８・・・・・被加工物、 ９・・・・・・太陽歯車
、 １０・・・・・・内歯車、１１・・・・・・ピン、
１２・・・・・・キャリア、１３・・・・・・歯、
１６・・・・・・ローラ。
Claims (1)
- キャリアに装填した被加工物を上、下定盤で挟圧して研
磨加工を行なうための太陽歯車と内歯車の歯がピンで形
成された両面研磨機において、前記ピンを回転可能なロ
ーラとしたことを特徴とした両面研磨機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63079480A JPH01252356A (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | 両面研磨機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63079480A JPH01252356A (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | 両面研磨機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01252356A true JPH01252356A (ja) | 1989-10-09 |
Family
ID=13691058
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63079480A Pending JPH01252356A (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | 両面研磨機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01252356A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5944591A (en) * | 1998-01-15 | 1999-08-31 | Chen; Alex Y. | Sure-seal rolling pin assembly |
| JP2006212740A (ja) * | 2005-02-04 | 2006-08-17 | Fujikoshi Mach Corp | 研磨装置 |
-
1988
- 1988-03-31 JP JP63079480A patent/JPH01252356A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5944591A (en) * | 1998-01-15 | 1999-08-31 | Chen; Alex Y. | Sure-seal rolling pin assembly |
| JP2006212740A (ja) * | 2005-02-04 | 2006-08-17 | Fujikoshi Mach Corp | 研磨装置 |
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