JPH08132267A - レ−ザ光走査装置 - Google Patents
レ−ザ光走査装置Info
- Publication number
- JPH08132267A JPH08132267A JP6269708A JP26970894A JPH08132267A JP H08132267 A JPH08132267 A JP H08132267A JP 6269708 A JP6269708 A JP 6269708A JP 26970894 A JP26970894 A JP 26970894A JP H08132267 A JPH08132267 A JP H08132267A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- spot light
- light
- semi
- laser spot
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】簡単な構成でありながら照射角度を自在に調節
できるレ−ザ光走査装置を提供する。 【構成】発振手段１から発振されたレ−ザ光を移送手段
２を介して集光レンズ３に導き、この集光レンズ３で変
換されたスポット光の経路を偏向プリズム５で偏向し、
この偏向プリズムを回転させて上記偏向したレ−ザスポ
ット光を円弧状に走査し、この円弧走査されるレ−ザス
ポット光の円弧上にこのレ−ザスポット光を分岐して直
線走査に変換する複数の半円柱形レンズ１１ａ，１１ｂ
を設け、上記偏向プリズムと半円柱形レンズとの距離を
調節してレ−ザスポット光の直線長さを可変する手段
８，９を設け、これら複数のレ−ザスポット光の照射角
を調節する回動角度変更可能な他の半円柱形レンズ１３
ａ，１３ｂ、および直線走査される複数のレ−ザスポッ
ト光のピッチを可変する手段１５，１６を設けた。
できるレ−ザ光走査装置を提供する。 【構成】発振手段１から発振されたレ−ザ光を移送手段
２を介して集光レンズ３に導き、この集光レンズ３で変
換されたスポット光の経路を偏向プリズム５で偏向し、
この偏向プリズムを回転させて上記偏向したレ−ザスポ
ット光を円弧状に走査し、この円弧走査されるレ−ザス
ポット光の円弧上にこのレ−ザスポット光を分岐して直
線走査に変換する複数の半円柱形レンズ１１ａ，１１ｂ
を設け、上記偏向プリズムと半円柱形レンズとの距離を
調節してレ−ザスポット光の直線長さを可変する手段
８，９を設け、これら複数のレ−ザスポット光の照射角
を調節する回動角度変更可能な他の半円柱形レンズ１３
ａ，１３ｂ、および直線走査される複数のレ−ザスポッ
ト光のピッチを可変する手段１５，１６を設けた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レ−ザ光による加工装
置、例えばレ−ザ半田付け装置等に使用されるレ−ザ光
走査装置に関する。
置、例えばレ−ザ半田付け装置等に使用されるレ−ザ光
走査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体などの電子部品を回路基板
に半田付けする場合、半田付けラインに沿ってレ−ザ光
を走査させ、このレ−ザ光により半田を溶かしてこれら
電子部品と回路基板とを接合する手段が知られている。
に半田付けする場合、半田付けラインに沿ってレ−ザ光
を走査させ、このレ−ザ光により半田を溶かしてこれら
電子部品と回路基板とを接合する手段が知られている。
【０００３】上記レ−ザ光を半田付けラインに沿って走
査させるため、従来からレ−ザ光走査装置が使用されて
いる。従来のレ−ザ光走査装置について、図４にもとづ
き説明すると、２０はレ−ザ光発振器であり、このレ−
ザ光発振器２０で発振されたレ−ザ光は側部に設けられ
た分岐装置２１によって分岐され、これら分岐されたレ
−ザ光はそれぞれ光ファイバ２２ａ、２２ｂにより所定
の位置に設けられた集光レンズ２３ａ，２３ｂに伝送さ
れる。集光レンズ２３ａ，２３ｂでは、上記光ファイバ
２２ａ、２２ｂで送られてきたレ−ザ光をスポット光に
変換して反射ミラ−２４に送り、この反射ミラ−２４で
反射させることにより、回路基板２５に載置した電子部
品２６のリ−ド線２７部分に集光させる。
査させるため、従来からレ−ザ光走査装置が使用されて
いる。従来のレ−ザ光走査装置について、図４にもとづ
き説明すると、２０はレ−ザ光発振器であり、このレ−
ザ光発振器２０で発振されたレ−ザ光は側部に設けられ
た分岐装置２１によって分岐され、これら分岐されたレ
−ザ光はそれぞれ光ファイバ２２ａ、２２ｂにより所定
の位置に設けられた集光レンズ２３ａ，２３ｂに伝送さ
れる。集光レンズ２３ａ，２３ｂでは、上記光ファイバ
２２ａ、２２ｂで送られてきたレ−ザ光をスポット光に
変換して反射ミラ−２４に送り、この反射ミラ−２４で
反射させることにより、回路基板２５に載置した電子部
品２６のリ−ド線２７部分に集光させる。
【０００４】一対の集光レンズ２３ａ，２３ｂは、ピッ
チ可変用パルスモ−タ２８およびベルト２９により相互
の間隔が調節されるようになっており、これによりスポ
ット光の間隔、つまりピッチｐが変えられる。
チ可変用パルスモ−タ２８およびベルト２９により相互
の間隔が調節されるようになっており、これによりスポ
ット光の間隔、つまりピッチｐが変えられる。
【０００５】また、反射ミラ−２４は軸上に連結された
スキャナモ−タ３０により揺動されるようになってお
り、これにより回路基板２５上でレ―ザスポット光は矢
印Ａで示すように直線方向に走査されるようになってい
る。
スキャナモ−タ３０により揺動されるようになってお
り、これにより回路基板２５上でレ―ザスポット光は矢
印Ａで示すように直線方向に走査されるようになってい
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来のレ―ザ光走査装置においては、回路基板２
５上でレ−ザスキャニングを行なうためスキャナモ−タ
３０により反射ミラ−２４を揺動するようになっている
が、このスキャナモ−タ３０の作動を制御するには専用
のコントロ−ラが必要であり、コストが高くなる。
ような従来のレ―ザ光走査装置においては、回路基板２
５上でレ−ザスキャニングを行なうためスキャナモ−タ
３０により反射ミラ−２４を揺動するようになっている
が、このスキャナモ−タ３０の作動を制御するには専用
のコントロ−ラが必要であり、コストが高くなる。
【０００７】また、平行な２列のレ−ザ光を得るため
に、レ−ザ光発振器２０で発振されたレ−ザ光を分岐装
置２１によって分岐しており、格別な分岐装置２１が必
要になるので、この点でもコスト高になる。
に、レ−ザ光発振器２０で発振されたレ−ザ光を分岐装
置２１によって分岐しており、格別な分岐装置２１が必
要になるので、この点でもコスト高になる。
【０００８】さらに、回路基板２５に照射されるレ−ザ
光の照射角度は、反射ミラ−２４の揺動により若干変化
するものの、回路基板２５に対してはほとんど直角に入
射し、この照射角度を自在に調節できないため、電子部
品の形状に沿った適切な照射条件を得ることができない
不便さもある。したがって本発明の目的は、簡単な構成
でありながら照射角度を自在に調節できるレ−ザ光走査
装置を提供しようとするものである。
光の照射角度は、反射ミラ−２４の揺動により若干変化
するものの、回路基板２５に対してはほとんど直角に入
射し、この照射角度を自在に調節できないため、電子部
品の形状に沿った適切な照射条件を得ることができない
不便さもある。したがって本発明の目的は、簡単な構成
でありながら照射角度を自在に調節できるレ−ザ光走査
装置を提供しようとするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め請求項１の発明は、レ−ザ光を発振するレ−ザ発振手
段と、この発振されたレ−ザ光を移送する移送手段と、
この移送手段に接続され移送されたレ−ザ光をスポット
光に集光する集光レンズと、このスポット光の光路を偏
向させる偏向プリズムと、この偏向プリズムを回転させ
て上記偏向したレ−ザスポット光を円弧状に走査させる
回転手段と、上記円弧走査されるレ−ザスポット光の円
弧上に設けられこの円弧走査されるレ−ザスポット光を
分岐して直線走査に変換する複数の半円柱形レンズと、
上記偏向プリズムと半円柱形レンズとの相対的な距離を
調節して直線走査されるレ−ザスポット光の直線長さを
可変する手段と、これら直線走査される複数のレ−ザス
ポット光のそれぞれ照射角を調節する回動角度変更可能
な他の複数の半円柱形レンズと、これら直線走査される
複数のレ−ザスポット光のピッチを可変するピッチ可変
手段とを具備したことを特徴とする。
め請求項１の発明は、レ−ザ光を発振するレ−ザ発振手
段と、この発振されたレ−ザ光を移送する移送手段と、
この移送手段に接続され移送されたレ−ザ光をスポット
光に集光する集光レンズと、このスポット光の光路を偏
向させる偏向プリズムと、この偏向プリズムを回転させ
て上記偏向したレ−ザスポット光を円弧状に走査させる
回転手段と、上記円弧走査されるレ−ザスポット光の円
弧上に設けられこの円弧走査されるレ−ザスポット光を
分岐して直線走査に変換する複数の半円柱形レンズと、
上記偏向プリズムと半円柱形レンズとの相対的な距離を
調節して直線走査されるレ−ザスポット光の直線長さを
可変する手段と、これら直線走査される複数のレ−ザス
ポット光のそれぞれ照射角を調節する回動角度変更可能
な他の複数の半円柱形レンズと、これら直線走査される
複数のレ−ザスポット光のピッチを可変するピッチ可変
手段とを具備したことを特徴とする。
【００１０】請求項２の発明は、偏向プリズムを回転さ
せて偏向したレ−ザスポット光を円弧状に走査させる回
転手段は、パルスモータであることを特徴とする。請求
項３の発明は、直線走査される複数のレ−ザスポット光
のそれぞれ照射角を調節する回動角度変更可能な複数の
半円柱形レンズは、パルスモータにて回動されることを
特徴とする。
せて偏向したレ−ザスポット光を円弧状に走査させる回
転手段は、パルスモータであることを特徴とする。請求
項３の発明は、直線走査される複数のレ−ザスポット光
のそれぞれ照射角を調節する回動角度変更可能な複数の
半円柱形レンズは、パルスモータにて回動されることを
特徴とする。
【００１１】請求項４の発明は、ピッチ可変手段は、複
数の半円柱形レンズが連結されたベルト、およびこのベ
ルトを走行駆動するパルスモータであることを特徴とす
る。請求項５の発明は、請求項１ないし請求項３のいず
れか１に記載のレ−ザ光走査装置を、レ−ザ半田付け装
置のレーザ光照射手段として用いたことを特徴とする。
数の半円柱形レンズが連結されたベルト、およびこのベ
ルトを走行駆動するパルスモータであることを特徴とす
る。請求項５の発明は、請求項１ないし請求項３のいず
れか１に記載のレ−ザ光走査装置を、レ−ザ半田付け装
置のレーザ光照射手段として用いたことを特徴とする。
【００１２】
【作用】請求項１の発明によれば、レ−ザ発振手段から
発振されたレ−ザ光は集光レンズによりスポット光に変
換され、このスポット光は偏向プリズムに入光してこの
偏向プリズムの回転により円弧状に走査され、この円弧
走査されたレ−ザスポット光は複数の半円柱形レンズに
より分岐されるとともに直線走査に変換され、この直線
走査されたレ−ザスポット光は他の複数の半円柱形レン
ズによりそれぞれ照射角が調節されるとともにピッチ可
変手段によりピッチが調整される。したがって、直線走
査長さ、照射角度、ピチが自在に変えられ、走査ライン
の形状に合った走査が可能になる。
発振されたレ−ザ光は集光レンズによりスポット光に変
換され、このスポット光は偏向プリズムに入光してこの
偏向プリズムの回転により円弧状に走査され、この円弧
走査されたレ−ザスポット光は複数の半円柱形レンズに
より分岐されるとともに直線走査に変換され、この直線
走査されたレ−ザスポット光は他の複数の半円柱形レン
ズによりそれぞれ照射角が調節されるとともにピッチ可
変手段によりピッチが調整される。したがって、直線走
査長さ、照射角度、ピチが自在に変えられ、走査ライン
の形状に合った走査が可能になる。
【００１３】請求項２ないし請求項４のいずれか１に記
載の発明によれば、請求項１のレ−ザ光走査装置を簡単
な構造で実現できる。請求項５の発明によれば、請求項
１ないし請求項４のいずれか１に記載の発明がもつ利点
をレ−ザ半田付け装置に有効に活用できる。
載の発明によれば、請求項１のレ−ザ光走査装置を簡単
な構造で実現できる。請求項５の発明によれば、請求項
１ないし請求項４のいずれか１に記載の発明がもつ利点
をレ−ザ半田付け装置に有効に活用できる。
【００１４】
【実施例】以下本発明について、図１ないし図３に示す
一実施例にもとづき説明する。図において、１はレ−ザ
光を発振するレ−ザ発振器であり、このレ−ザ発振器１
で発振されたレ−ザ光は、移送手段としての１本の光フ
ァイバ２により所定の位置に導かれるようになってい
る。
一実施例にもとづき説明する。図において、１はレ−ザ
光を発振するレ−ザ発振器であり、このレ−ザ発振器１
で発振されたレ−ザ光は、移送手段としての１本の光フ
ァイバ２により所定の位置に導かれるようになってい
る。
【００１５】上記光ファイバ２の先端、つまり所定の位
置には、移送されてきたレ−ザ光をスポット光に集光す
る集光レンズ３が接続されている。集光レンズ３はホル
ダ４に支持されており、このホルダ４には集光レンズ３
の下方に対向してこの集光レンズ３により集光されたス
ポット光を導入する偏向プリズム５が回転自在に取付け
られている。この偏向プリズム５は、例えばウェッジプ
リズムからなり、入光したスポット光を偏向して出力す
るものである。
置には、移送されてきたレ−ザ光をスポット光に集光す
る集光レンズ３が接続されている。集光レンズ３はホル
ダ４に支持されており、このホルダ４には集光レンズ３
の下方に対向してこの集光レンズ３により集光されたス
ポット光を導入する偏向プリズム５が回転自在に取付け
られている。この偏向プリズム５は、例えばウェッジプ
リズムからなり、入光したスポット光を偏向して出力す
るものである。
【００１６】この偏向プリズム５は、ホルダ４に取着さ
れた回転用パルスモ−タ６により、ギア７ａ、７ｂを介
して回転されるようになっており、偏向プリズム５の回
転により、上記偏向して出力されるレ−ザスポット光を
円錐状に旋回させることができるようになっている。こ
のためレ−ザスポット光の先端は円弧状に走査される。
れた回転用パルスモ−タ６により、ギア７ａ、７ｂを介
して回転されるようになっており、偏向プリズム５の回
転により、上記偏向して出力されるレ−ザスポット光を
円錐状に旋回させることができるようになっている。こ
のためレ−ザスポット光の先端は円弧状に走査される。
【００１７】上記ホルダ４にはボ−ルねじ８が螺合され
ており、このボ−ルねじ８は昇降用パルスモ−タ９に連
結されている。昇降用パルスモ−タ９は基台１０に取付
けられており、この昇降用パルスモ−タ９を回転駆動す
ると、ボ−ルねじ８を介してホルダ４が上下移動され、
したがって偏向プリズム５が昇降作動されるようになっ
ている。
ており、このボ−ルねじ８は昇降用パルスモ−タ９に連
結されている。昇降用パルスモ−タ９は基台１０に取付
けられており、この昇降用パルスモ−タ９を回転駆動す
ると、ボ−ルねじ８を介してホルダ４が上下移動され、
したがって偏向プリズム５が昇降作動されるようになっ
ている。
【００１８】偏向プリズム５の下方には、この偏向プリ
ズム５の回転に伴って円弧走査されるレ−ザスポット光
の円弧上に位置して、複数、例えば２個の分岐兼直線走
査変換用の半円柱形レンズ１１ａ、１１ｂが設けられて
いる。これら半円柱形レンズ１１ａ、１１ｂはそれぞれ
平坦面を上向きにして、詳図しないが前記基台１０に取
付けられており、これらの上面を前記偏向プリズム５に
て円弧走査されるレ−ザスポット光が入光する。これら
半円柱形レンズ１１ａ、１１ｂの上面に入射したレ−ザ
スポット光は、これら半円柱形レンズ１１ａ、１１ｂ内
で屈折され、下面が半円柱形をなしていることから円弧
走査分を直線走査に変換する。それぞれの半円柱形レン
ズ１１ａ、１１ｂは自己の上面に入射する円弧長さに応
じて直線走査に変換するので、２個の半円柱形レンズ１
１ａ、１１ｂを用いた場合は１本の円弧走査されるレ−
ザスポット光は、これら半円柱形レンズ１１ａ、１１ｂ
により２本の直線走査のレ−ザスポット光を出力するこ
とになる。
ズム５の回転に伴って円弧走査されるレ−ザスポット光
の円弧上に位置して、複数、例えば２個の分岐兼直線走
査変換用の半円柱形レンズ１１ａ、１１ｂが設けられて
いる。これら半円柱形レンズ１１ａ、１１ｂはそれぞれ
平坦面を上向きにして、詳図しないが前記基台１０に取
付けられており、これらの上面を前記偏向プリズム５に
て円弧走査されるレ−ザスポット光が入光する。これら
半円柱形レンズ１１ａ、１１ｂの上面に入射したレ−ザ
スポット光は、これら半円柱形レンズ１１ａ、１１ｂ内
で屈折され、下面が半円柱形をなしていることから円弧
走査分を直線走査に変換する。それぞれの半円柱形レン
ズ１１ａ、１１ｂは自己の上面に入射する円弧長さに応
じて直線走査に変換するので、２個の半円柱形レンズ１
１ａ、１１ｂを用いた場合は１本の円弧走査されるレ−
ザスポット光は、これら半円柱形レンズ１１ａ、１１ｂ
により２本の直線走査のレ−ザスポット光を出力するこ
とになる。
【００１９】すなわち、２個の半円柱形レンズ１１ａ、
１１ｂは、図２に示すように、１本の円弧走査レ−ザス
ポット光を２本の直線走査のレ−ザスポット光に分岐す
るものである。
１１ｂは、図２に示すように、１本の円弧走査レ−ザス
ポット光を２本の直線走査のレ−ザスポット光に分岐す
るものである。
【００２０】なお、直線走査に変換されたレ−ザスポッ
ト光の直線走査範囲、つまり走査長さｌは、当該半円柱
形レンズ１１ａ、１１ｂの上面に入光する円弧走査レ−
ザスポット光の円弧長さによって変化する。
ト光の直線走査範囲、つまり走査長さｌは、当該半円柱
形レンズ１１ａ、１１ｂの上面に入光する円弧走査レ−
ザスポット光の円弧長さによって変化する。
【００２１】この円弧長さは半円柱形レンズ１１ａ、１
１ｂの上面の円弧走査レ−ザスポット光の直径Ｄにより
変化し、この直径Ｄは円錐高さ、つまり偏向プリズム５
と半円柱形レンズ１１ａ、１１ｂとの離間距離Ｌにより
変わるものである。したがって、前記レ−ザスポット光
の直線走査長さｌを調節するため、前記昇降用パルスモ
−タ９の回転駆動により偏向プリズム５を昇降作動させ
るようになっている。
１ｂの上面の円弧走査レ−ザスポット光の直径Ｄにより
変化し、この直径Ｄは円錐高さ、つまり偏向プリズム５
と半円柱形レンズ１１ａ、１１ｂとの離間距離Ｌにより
変わるものである。したがって、前記レ−ザスポット光
の直線走査長さｌを調節するため、前記昇降用パルスモ
−タ９の回転駆動により偏向プリズム５を昇降作動させ
るようになっている。
【００２２】このような分岐兼直線走査変換用の半円柱
形レンズ１１ａ、１１ｂの下方には一対の支持台１２
ａ，１２ｂが設けられており、これら支持台１２ａ，１
２ｂにはそれぞれ上記半円柱形レンズ１１ａ、１１ｂに
対向してレ−ザ光照射角度調節用の半円柱形レンズ１３
ａ、１３ｂが回動自在に取付けられている。
形レンズ１１ａ、１１ｂの下方には一対の支持台１２
ａ，１２ｂが設けられており、これら支持台１２ａ，１
２ｂにはそれぞれ上記半円柱形レンズ１１ａ、１１ｂに
対向してレ−ザ光照射角度調節用の半円柱形レンズ１３
ａ、１３ｂが回動自在に取付けられている。
【００２３】レ−ザ光照射角度調節用の半円柱形レンズ
１３ａ、１３ｂは、上記分岐兼直線走査変換用の半円柱
形レンズ１１ａ、１１ｂから出力された直線走査される
レ−ザ光を、平坦な上面で受けて円柱面をなす下面から
出力するもので、軸部が照射角調節用パルスモ−タ１４
ａ，１４ｂに連結されている。これら照射角調節用パル
スモ−タ１４ａ，１４ｂを作動すると半円柱形レンズ１
３ａ、１３ｂが回動され、したがって出射するレ−ザ光
の角度、換言すれば回路基板２５に入光するレ−ザ光の
角度が変更可能となる。
１３ａ、１３ｂは、上記分岐兼直線走査変換用の半円柱
形レンズ１１ａ、１１ｂから出力された直線走査される
レ−ザ光を、平坦な上面で受けて円柱面をなす下面から
出力するもので、軸部が照射角調節用パルスモ−タ１４
ａ，１４ｂに連結されている。これら照射角調節用パル
スモ−タ１４ａ，１４ｂを作動すると半円柱形レンズ１
３ａ、１３ｂが回動され、したがって出射するレ−ザ光
の角度、換言すれば回路基板２５に入光するレ−ザ光の
角度が変更可能となる。
【００２４】上記支持台１２ａ，１２ｂはピッチ可変用
パルスモ−タ１５およびベルト１６により互いの離間寸
法が変えられるようになっており、これにより回路基板
２５に入射する２本のレ−ザスポット光の間隔、つまり
ピッチが調節される。なお、２６は電子部品、２７はリ
−ド線である。
パルスモ−タ１５およびベルト１６により互いの離間寸
法が変えられるようになっており、これにより回路基板
２５に入射する２本のレ−ザスポット光の間隔、つまり
ピッチが調節される。なお、２６は電子部品、２７はリ
−ド線である。
【００２５】このような構成による実施例の作用を説明
する。レ−ザ発振器１で発振されたレ−ザ光は光ファイ
バ２により集光レンズ３に導かれ、この集光レンズ３か
らスポット光として出力される。
する。レ−ザ発振器１で発振されたレ−ザ光は光ファイ
バ２により集光レンズ３に導かれ、この集光レンズ３か
らスポット光として出力される。
【００２６】集光レンズ３から発振されたスポット光は
偏向プリズム５に入光され、この偏向プリズム５から偏
向して出力される。この場合、偏向プリズム５は回転駆
動用パルスモ−タ６により回転され、したがってこの偏
向プリズム５から偏向して出力されるレ−ザスポット光
は円錐状に旋回されることになり、先端が円弧状に走査
される。
偏向プリズム５に入光され、この偏向プリズム５から偏
向して出力される。この場合、偏向プリズム５は回転駆
動用パルスモ−タ６により回転され、したがってこの偏
向プリズム５から偏向して出力されるレ−ザスポット光
は円錐状に旋回されることになり、先端が円弧状に走査
される。
【００２７】この円弧走査されるレ−ザスポット光は、
２個の分岐兼直線走査変換用の半円柱形レンズ１１ａ、
１１ｂの上面に入光する。これら半円柱形レンズ１１
ａ、１１ｂの上面に入射したレ−ザスポット光は、これ
ら半円柱形レンズ１１ａ、１１ｂ内で屈折され、下面が
半円柱形をなしていることから円弧走査分を直線走査に
変換する。しかもそれぞれの半円柱形レンズ１１ａ、１
１ｂは自己の上面に入射する円弧長さに応じて直線走査
に変換するので、２個の半円柱形レンズ１１ａ、１１ｂ
は上記１本の円弧走査されるレ−ザスポット光を、これ
ら半円柱形レンズ１１ａ、１１ｂを通過する毎にそれぞ
れ２本の直線走査のレ−ザスポット光に変化して出力す
ることになる。すなわち、２個の半円柱形レンズ１１
ａ、１１ｂは、第２図に示すように、１本の円弧走査レ
−ザスポット光を２本の直線走査のレ−ザスポット光に
分岐する。
２個の分岐兼直線走査変換用の半円柱形レンズ１１ａ、
１１ｂの上面に入光する。これら半円柱形レンズ１１
ａ、１１ｂの上面に入射したレ−ザスポット光は、これ
ら半円柱形レンズ１１ａ、１１ｂ内で屈折され、下面が
半円柱形をなしていることから円弧走査分を直線走査に
変換する。しかもそれぞれの半円柱形レンズ１１ａ、１
１ｂは自己の上面に入射する円弧長さに応じて直線走査
に変換するので、２個の半円柱形レンズ１１ａ、１１ｂ
は上記１本の円弧走査されるレ−ザスポット光を、これ
ら半円柱形レンズ１１ａ、１１ｂを通過する毎にそれぞ
れ２本の直線走査のレ−ザスポット光に変化して出力す
ることになる。すなわち、２個の半円柱形レンズ１１
ａ、１１ｂは、第２図に示すように、１本の円弧走査レ
−ザスポット光を２本の直線走査のレ−ザスポット光に
分岐する。
【００２８】この場合、直線走査に変換されたレ−ザス
ポット光の直線走査長さｌは、当該半円柱形レンズ１１
ａ、１１ｂの上面に入光する円弧走査レ−ザスポット光
の直径Ｄにより変化し、この直径Ｄは円錐高さ、つまり
偏向プリズム５と半円柱形レンズ１１ａ、１１ｂとの離
間距離Ｌにより変わる。
ポット光の直線走査長さｌは、当該半円柱形レンズ１１
ａ、１１ｂの上面に入光する円弧走査レ−ザスポット光
の直径Ｄにより変化し、この直径Ｄは円錐高さ、つまり
偏向プリズム５と半円柱形レンズ１１ａ、１１ｂとの離
間距離Ｌにより変わる。
【００２９】このため、昇降用パルスモ−タ９を作動さ
せてボ−ルねじ８を介してホルダ４を上下移動し、偏向
プリズム５を昇降作動させると、偏向プリズム５と半円
柱形レンズ１１ａ、１１ｂとの離間距離Ｌが変わり、円
弧走査レ−ザスポット光の直径Ｄが変化するのでレ−ザ
スポット光の直線走査長さｌを調節することができる。
せてボ−ルねじ８を介してホルダ４を上下移動し、偏向
プリズム５を昇降作動させると、偏向プリズム５と半円
柱形レンズ１１ａ、１１ｂとの離間距離Ｌが変わり、円
弧走査レ−ザスポット光の直径Ｄが変化するのでレ−ザ
スポット光の直線走査長さｌを調節することができる。
【００３０】このようにして分岐兼直線走査変換用の半
円柱形レンズ１１ａ、１１ｂから出力された直線走査さ
れるレ−ザ光は、これらの下方に設けられたレ−ザ光照
射角度調節用の半円柱形レンズ１３ａ、１３ｂを透過し
て回路基板２５を照射する。この場合、レ−ザ光照射角
度調節用の半円柱形レンズ１３ａ、１３ｂは、照射角調
節用パルスモ−タ１４ａ，１４ｂにより回動されると、
これら半円柱形レンズ１３ａ、１３ｂを透過したレ−ザ
光の出力方向、つまり回路基板２５に入光するレ−ザ光
の角度が変わり、したがって第３図に示す照射角度θを
変えることができる。
円柱形レンズ１１ａ、１１ｂから出力された直線走査さ
れるレ−ザ光は、これらの下方に設けられたレ−ザ光照
射角度調節用の半円柱形レンズ１３ａ、１３ｂを透過し
て回路基板２５を照射する。この場合、レ−ザ光照射角
度調節用の半円柱形レンズ１３ａ、１３ｂは、照射角調
節用パルスモ−タ１４ａ，１４ｂにより回動されると、
これら半円柱形レンズ１３ａ、１３ｂを透過したレ−ザ
光の出力方向、つまり回路基板２５に入光するレ−ザ光
の角度が変わり、したがって第３図に示す照射角度θを
変えることができる。
【００３１】また、ピッチ可変用パルスモ−タ１５を作
動すれば、レ−ザ光照射角度調節用の半円柱形レンズ１
３ａ、１３ｂの離間寸法が変わり、これにより回路基板
２５に入射する２本のレ−ザスポット光の間隔、つまり
ピッチｐが調節される。
動すれば、レ−ザ光照射角度調節用の半円柱形レンズ１
３ａ、１３ｂの離間寸法が変わり、これにより回路基板
２５に入射する２本のレ−ザスポット光の間隔、つまり
ピッチｐが調節される。
【００３２】このように、上記実施例のレ−ザ光走査装
置によれば、レ−ザスポット光の直線走査長さｌ、照射
角度θおよびピッチｐを自在に選択することができるの
で、接合したい電子部品２６の形状が変わっても、その
形状に対応することができる。
置によれば、レ−ザスポット光の直線走査長さｌ、照射
角度θおよびピッチｐを自在に選択することができるの
で、接合したい電子部品２６の形状が変わっても、その
形状に対応することができる。
【００３３】しかも、１本の光ファイバ２で導いてきた
レ−ザ光を、偏向プリズム５、これの回転パルスモ−タ
６および一対の半円柱形レンズ１１ａ，１１ｂにより２
本の直線走査レ−ザ光に変換するので、従来のような分
岐装置は不要であり、高価なコントロ−ラも必要でな
く、これら分岐装置やコントロ−ラに比べて上記構成は
安価になる。
レ−ザ光を、偏向プリズム５、これの回転パルスモ−タ
６および一対の半円柱形レンズ１１ａ，１１ｂにより２
本の直線走査レ−ザ光に変換するので、従来のような分
岐装置は不要であり、高価なコントロ−ラも必要でな
く、これら分岐装置やコントロ−ラに比べて上記構成は
安価になる。
【００３４】なお、本発明は上記実施例に制約されるも
のではない。すなわち、上記実施例では、偏向プリズム
５の回転に伴って円弧走査されるレ−ザスポット光の円
弧上に位置して２個の分岐兼直線走査変換用半円柱形レ
ンズ１１ａ、１１ｂを設けたが、円弧走査されるレ−ザ
スポット光の円弧上に位置して３個の半円柱形レンズを
配置すれば分岐されるレ−ザ光は３本になり、このよう
に複数個の半円柱形レンズを設けるようにしてもよい。
また、各駆動装置はパルスモ−タ６、９、１４ａ，１４
ｂ、１５に制約されるものではない。
のではない。すなわち、上記実施例では、偏向プリズム
５の回転に伴って円弧走査されるレ−ザスポット光の円
弧上に位置して２個の分岐兼直線走査変換用半円柱形レ
ンズ１１ａ、１１ｂを設けたが、円弧走査されるレ−ザ
スポット光の円弧上に位置して３個の半円柱形レンズを
配置すれば分岐されるレ−ザ光は３本になり、このよう
に複数個の半円柱形レンズを設けるようにしてもよい。
また、各駆動装置はパルスモ−タ６、９、１４ａ，１４
ｂ、１５に制約されるものではない。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように請求項１の発明によ
れば、レ−ザ光の直線走査長さ、照射角度、ピッチが自
在に変えられ、走査ラインの形状に合った走査が可能に
なる。しかも、光ファイバなどの移送手段で導いてきた
レ−ザ光を、偏向プリズム、これの回転手段および複数
の半円柱形レンズにより複数の直線走査レ−ザ光に変換
するので、従来のような格別なコントロ−ラを伴う分岐
装置は不要になり、比較的安価になるなどの利点があ
る。
れば、レ−ザ光の直線走査長さ、照射角度、ピッチが自
在に変えられ、走査ラインの形状に合った走査が可能に
なる。しかも、光ファイバなどの移送手段で導いてきた
レ−ザ光を、偏向プリズム、これの回転手段および複数
の半円柱形レンズにより複数の直線走査レ−ザ光に変換
するので、従来のような格別なコントロ−ラを伴う分岐
装置は不要になり、比較的安価になるなどの利点があ
る。
【００３６】また、請求項２ないし請求項４のいずれか
１に記載の発明によれば、請求項１のレ−ザ光走査装置
を簡単な構造で実現できる。さらに、請求項５の発明に
よれば、請求項１ないし請求項４のいずれか１に記載の
発明のもつ利点をレ−ザ半田付け装置に有効に活用する
ことができる。
１に記載の発明によれば、請求項１のレ−ザ光走査装置
を簡単な構造で実現できる。さらに、請求項５の発明に
よれば、請求項１ないし請求項４のいずれか１に記載の
発明のもつ利点をレ−ザ半田付け装置に有効に活用する
ことができる。
【図１】本発明の一実施例を示し、レ−ザ光走査装置の
全体を示す構成図。
全体を示す構成図。
【図２】同実施例の主要部の作動説明図。
【図３】同実施例のレ−ザ光の照射角度を説明する図。
【図４】従来のレ−ザ光走査装置の全体を示す構成図。
１…レ−ザ発振器 ２…光ファイバ ３…集光レンズ ５…偏向プリズム ６…回転用パルスモ−タ ８…ボ−ルねじ ９…昇降用パルスモ−タ １１ａ，１１ｂ…分岐兼直線走査変換用半円柱形レンズ １３ａ，１３ｂ…レ−ザ光照射角度調節用半円柱形レン
ズ １４ａ、１４ｂ…照射角調節用パルスモ−タ １５…ピッチ可変用パルスモ−タ ２５…回路基板 ２６…電子部品
ズ １４ａ、１４ｂ…照射角調節用パルスモ−タ １５…ピッチ可変用パルスモ−タ ２５…回路基板 ２６…電子部品
Claims (5)
- 【請求項１】 レ−ザ光を発振するレ−ザ発振手段と、 この発振されたレ−ザ光を移送する移送手段と、 この移送手段に接続され、移送されたレ−ザ光をスポッ
ト光に集光させる集光レンズと、 このスポット光の光路を偏向させる偏向プリズムと、 この偏向プリズムを回転させて上記偏向したレ−ザスポ
ット光を円弧状に走査させる回転手段と、 上記円弧走査されるレ−ザスポット光の円弧上に設けら
れ、この円弧走査されるレ−ザスポット光を分岐して直
線走査に変換する複数の半円柱形レンズと、 上記偏向プリズムと半円柱形レンズとの相対的距離を調
節し、直線走査されるレ−ザスポット光の直線長さを可
変する手段と、 これら直線走査される複数のレ−ザスポット光のそれぞ
れ照射角を調節する回動角度変更可能な他の複数の半円
柱形レンズと、 これら直線走査される複数のレ−ザスポット光のピッチ
を可変するピッチ可変手段と、を具備したことを特徴と
するレ−ザ光走査装置。 - 【請求項２】 偏向プリズムを回転させて偏向したレ−
ザスポット光を円弧状に走査させる回転手段は、パルス
モータであることを特徴とする請求項１に記載のレ−ザ
光走査装置。 - 【請求項３】 直線走査される複数のレ−ザスポット光
のそれぞれ照射角を調節する回動角度変更可能な複数の
半円柱形レンズは、パルスモータにて回動されることを
特徴とする請求項１に記載のレ−ザ光走査装置。 - 【請求項４】 ピッチ可変手段は、複数の半円柱形レン
ズが連結されたベルト、およびこのベルトを走行駆動す
るパルスモータであることを特徴とする請求項１に記載
のレ−ザ光走査装置。 - 【請求項５】 レ−ザ半田付け装置のレーザ光照射手段
として用いたことを特徴とする請求項１ないし請求項４
のいずれか１に記載のレ−ザ光走査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6269708A JPH08132267A (ja) | 1994-11-02 | 1994-11-02 | レ−ザ光走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6269708A JPH08132267A (ja) | 1994-11-02 | 1994-11-02 | レ−ザ光走査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08132267A true JPH08132267A (ja) | 1996-05-28 |
Family
ID=17476079
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6269708A Pending JPH08132267A (ja) | 1994-11-02 | 1994-11-02 | レ−ザ光走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08132267A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008290086A (ja) * | 2007-05-22 | 2008-12-04 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工装置 |
| JP2016539806A (ja) * | 2013-10-08 | 2016-12-22 | エム−ソルヴ・リミテッド | レーザー取り外し用レーザー走査システム |
| WO2024062542A1 (ja) * | 2022-09-20 | 2024-03-28 | ファナック株式会社 | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
-
1994
- 1994-11-02 JP JP6269708A patent/JPH08132267A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008290086A (ja) * | 2007-05-22 | 2008-12-04 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工装置 |
| JP2016539806A (ja) * | 2013-10-08 | 2016-12-22 | エム−ソルヴ・リミテッド | レーザー取り外し用レーザー走査システム |
| WO2024062542A1 (ja) * | 2022-09-20 | 2024-03-28 | ファナック株式会社 | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5103074A (en) | Laser processing method and apparatus | |
| KR20020047297A (ko) | 레이저 가공 장치 | |
| JPH02104484A (ja) | レーザ溶接用の接合継目の位置の測定方法及び装置 | |
| JP3365388B2 (ja) | レーザ加工光学装置 | |
| JPH11267873A (ja) | レーザ光の走査光学系及びレーザ加工装置 | |
| JP2660613B2 (ja) | 共焦点走査型顕微鏡 | |
| JP2962439B2 (ja) | ビーム照射読取り装置 | |
| JP2973606B2 (ja) | 半田付け状態の外観検査装置 | |
| JPH0741567Y2 (ja) | レーザ半田付装置 | |
| JP2670303B2 (ja) | はんだ付け装置 | |
| JPH09201689A (ja) | 焦点位置検出装置及びそれを用いるレーザ加工装置 | |
| JPH08184673A (ja) | レーザ距離測定装置 | |
| JPH10148514A (ja) | 電子部品検査装置 | |
| JPS61279386A (ja) | レ−ザ集光装置 | |
| JP2679990B2 (ja) | 半導体レーザ光学装置 | |
| JPH04318819A (ja) | 光波長変換装置 | |
| JPS63203273A (ja) | レ−ザはんだ付け装置 | |
| KR0137215B1 (ko) | 레이저 가공장치 및 방법 | |
| JPH06232508A (ja) | 半導体レーザユニット及び半導体レーザ加工装置 | |
| EP0541321B1 (en) | Video clock signal generator in an optical scan type image input device | |
| WO2023282222A1 (ja) | レーザ溶接方法 | |
| JPH05273455A (ja) | レーザ加工機の光中継装置 | |
| JPS6336970A (ja) | レ−ザはんだ付け装置 | |
| JPH05329625A (ja) | 電子部品の光ビーム加工装置 | |
| JPS5969940A (ja) | ワイヤボンデイング装置 |