JPH08136876A - 基板検査装置 - Google Patents
基板検査装置Info
- Publication number
- JPH08136876A JPH08136876A JP27733794A JP27733794A JPH08136876A JP H08136876 A JPH08136876 A JP H08136876A JP 27733794 A JP27733794 A JP 27733794A JP 27733794 A JP27733794 A JP 27733794A JP H08136876 A JPH08136876 A JP H08136876A
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- JP
- Japan
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- substrate
- light
- color
- glass substrate
- sheet
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- Liquid Crystal (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、微妙な色の変化を検出して高精度な
検査を行う。 【構成】ガラス基板(12)の下面側に黒色の色強調用のシ
ート(11)を配置し、かつガラス基板(12)の上面側に斜め
方向から光を照射し、このときのガラス基板(12)からの
反射光をカラーＣＣＤカメラ(15)により撮像し、その画
像データに対して画像処理部(16)及び検査部(17)におい
て投影処理を行ってしきい値と比較することによりガラ
ス基板(15)のむらを検出する。
検査を行う。 【構成】ガラス基板(12)の下面側に黒色の色強調用のシ
ート(11)を配置し、かつガラス基板(12)の上面側に斜め
方向から光を照射し、このときのガラス基板(12)からの
反射光をカラーＣＣＤカメラ(15)により撮像し、その画
像データに対して画像処理部(16)及び検査部(17)におい
て投影処理を行ってしきい値と比較することによりガラ
ス基板(15)のむらを検出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばＬＣＤ（Liquid
Crystal Display）における液晶配向膜に対する色むら
の検査を行う基板検査装置に関する。
Crystal Display）における液晶配向膜に対する色むら
の検査を行う基板検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＬＣＤに対する検査システムとしては、
例えばＬＣＤ配向分布計測システム及び輝度むら検査装
置がある。このうちＬＣＤ配向分布計測システムはＬＣ
Ｄの角度方向の輝度分布を計測するシステムであり、輝
度むら検査装置はＬＣＤやバックライトの輝度むらを検
査するシステムである。
例えばＬＣＤ配向分布計測システム及び輝度むら検査装
置がある。このうちＬＣＤ配向分布計測システムはＬＣ
Ｄの角度方向の輝度分布を計測するシステムであり、輝
度むら検査装置はＬＣＤやバックライトの輝度むらを検
査するシステムである。
【０００３】このような検査システムは、製造された最
終的なＬＣＤに対する検査であって、ＬＣＤからの透過
光を利用している。図４はかかる検査システムの構成図
である。ＬＣＤ１の下方にはバックライト２が配置さ
れ、かつＬＣＤ１の上方にはＣＣＤ（固体撮像装置）カ
メラ３が配置されている。
終的なＬＣＤに対する検査であって、ＬＣＤからの透過
光を利用している。図４はかかる検査システムの構成図
である。ＬＣＤ１の下方にはバックライト２が配置さ
れ、かつＬＣＤ１の上方にはＣＣＤ（固体撮像装置）カ
メラ３が配置されている。
【０００４】かかる構成であれば、ＬＣＤ１を例えば緑
色一色に表示し、かつバックライト２から光を照射す
る。この状態に、ＣＣＤカメラ３は、バックライト２か
らの光が透過するＬＣＤ１を撮像し、その輝度に応じた
画像信号を出力する。
色一色に表示し、かつバックライト２から光を照射す
る。この状態に、ＣＣＤカメラ３は、バックライト２か
らの光が透過するＬＣＤ１を撮像し、その輝度に応じた
画像信号を出力する。
【０００５】処理装置４は、ＣＣＤカメラ３から出力さ
れる画像信号を画像処理し、ＬＣＤ１の表示むらを検出
する。ところが、配向膜のむらは、ＬＣＤ１における配
向膜の微妙な色の変化、例えばすじが入っている、斑模
様となっている等である。
れる画像信号を画像処理し、ＬＣＤ１の表示むらを検出
する。ところが、配向膜のむらは、ＬＣＤ１における配
向膜の微妙な色の変化、例えばすじが入っている、斑模
様となっている等である。
【０００６】このため、上記装置では、ＬＣＤ１の透過
光を検出してむらを検出しているので、この透過光で
は、上記のような配向膜における微妙な色の変化を検出
することは出来ず、精度の高い色むらの検査は困難であ
った。
光を検出してむらを検出しているので、この透過光で
は、上記のような配向膜における微妙な色の変化を検出
することは出来ず、精度の高い色むらの検査は困難であ
った。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】以上のようにＬＣＤ１
の透過光を検出して表示むらを検出しているので、配向
膜における微妙な色の変化を検出することは出来ず、精
度の高いむらの検査は困難であった。そこで本発明は、
微妙な色の変化を検出して高精度な検査ができる基板検
査装置を提供することを目的とする。
の透過光を検出して表示むらを検出しているので、配向
膜における微妙な色の変化を検出することは出来ず、精
度の高いむらの検査は困難であった。そこで本発明は、
微妙な色の変化を検出して高精度な検査ができる基板検
査装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１によれば、光透
過性の基板の一方の面側に配置される色強調用のシート
と、基板の他方の面に光を照射する照明手段と、照明手
段から基板の他方の面に光を照射したときの反射光を検
出してその光量に応じた画像信号を出力するカラー撮像
装置と、このカラー撮像装置から出力された画像信号を
画像データに変換し、この画像データを投影処理してし
きい値と比較することにより少なくとも基板のむらを検
出する検査手段と、を備えて上記目的を達成しようとす
る基板検査装置である。
過性の基板の一方の面側に配置される色強調用のシート
と、基板の他方の面に光を照射する照明手段と、照明手
段から基板の他方の面に光を照射したときの反射光を検
出してその光量に応じた画像信号を出力するカラー撮像
装置と、このカラー撮像装置から出力された画像信号を
画像データに変換し、この画像データを投影処理してし
きい値と比較することにより少なくとも基板のむらを検
出する検査手段と、を備えて上記目的を達成しようとす
る基板検査装置である。
【０００９】請求項２によれば、シートは、基板の品種
に応じた色のフィルタである。請求項３によれば、シー
トは、黒色である。請求項４によれば、シートは、基板
の一方の面に対して面接触、又は所定間隔離して配置さ
れている。請求項５によれば、照明手段は、基板の品種
に応じて光の照射角度を変化させる。
に応じた色のフィルタである。請求項３によれば、シー
トは、黒色である。請求項４によれば、シートは、基板
の一方の面に対して面接触、又は所定間隔離して配置さ
れている。請求項５によれば、照明手段は、基板の品種
に応じて光の照射角度を変化させる。
【００１０】
【作用】請求項１によれば、基板の一方の面側に色強調
用のシートを配置し、かつ基板の他方の面に光を照射す
る。これにより、基板からの反射光には、基板における
むらに応じた光が含まれる。
用のシートを配置し、かつ基板の他方の面に光を照射す
る。これにより、基板からの反射光には、基板における
むらに応じた光が含まれる。
【００１１】この状態に、基板からの反射光をカラー撮
像装置により撮像してその光量に応じた画像信号を出力
し、かつこの画像信号を画像データに変換して投影処理
し、かつしきい値と比較することにより少なくとも基板
のむらが検出される。
像装置により撮像してその光量に応じた画像信号を出力
し、かつこの画像信号を画像データに変換して投影処理
し、かつしきい値と比較することにより少なくとも基板
のむらが検出される。
【００１２】請求項２によれば、シートとして基板の品
種に応じた色のフィルタが配置される。請求項３によれ
ば、シートとして黒色が用いられて基板の一方の面側に
配置される。
種に応じた色のフィルタが配置される。請求項３によれ
ば、シートとして黒色が用いられて基板の一方の面側に
配置される。
【００１３】請求項４によれば、シートは、基板の一方
の面に対して面接触、又は所定間隔離して配置される。
請求項５によれば、基板の品種に応じて基板に対する光
の照射角度を変化させることにより、各種基板のむらの
検査ができる。
の面に対して面接触、又は所定間隔離して配置される。
請求項５によれば、基板の品種に応じて基板に対する光
の照射角度を変化させることにより、各種基板のむらの
検査ができる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して説明する。図１はＬＣＤに用いられるガラス基板に
適用した基板検査装置の構成図である。
して説明する。図１はＬＣＤに用いられるガラス基板に
適用した基板検査装置の構成図である。
【００１５】ＸＹテーブル１０上には、色強調用のシー
ト１１が載置され、このシート１１上にＬＣＤに用いら
れるガラス基板１２が載置されている。色強調用のシー
ト１１は、ガラス基板１２の色強調用として用いられる
もので、ガラス基板１２の品種に応じた色、例えば黒色
の艶消しが用いられる。
ト１１が載置され、このシート１１上にＬＣＤに用いら
れるガラス基板１２が載置されている。色強調用のシー
ト１１は、ガラス基板１２の色強調用として用いられる
もので、ガラス基板１２の品種に応じた色、例えば黒色
の艶消しが用いられる。
【００１６】この色強調用のシート１１は、ガラス基板
１２の下面に接触して配置するか、又はガラス基板１２
の下面に対して所定間隔だけ離して配置してもよい。な
お、ＸＹテーブル１０は、駆動制御部１３の駆動制御に
よりＸＹ方向に移動する。
１２の下面に接触して配置するか、又はガラス基板１２
の下面に対して所定間隔だけ離して配置してもよい。な
お、ＸＹテーブル１０は、駆動制御部１３の駆動制御に
よりＸＹ方向に移動する。
【００１７】一方、照明装置１４が、ＸＹテーブル１０
の斜め上方に配置されている。この照明装置１４は、ち
らつきがなく、かつ均一な光を、ガラス基板１２の斜め
上方から照射するものである。
の斜め上方に配置されている。この照明装置１４は、ち
らつきがなく、かつ均一な光を、ガラス基板１２の斜め
上方から照射するものである。
【００１８】この照明装置１４は、ガラス基板１２の品
種に応じてガラス基板１２に照射する光の照射角度を変
更自在な構成となっている。又、カラーＣＣＤカメラ１
５が、ガラス基板１２の光反射方向に配置されている。
このカラーＣＣＤカメラ１５は、ガラス基板１２からの
反射光の光量に応じた画像信号を出力し、かつこの画像
信号を画像処理部１６に送るものである。
種に応じてガラス基板１２に照射する光の照射角度を変
更自在な構成となっている。又、カラーＣＣＤカメラ１
５が、ガラス基板１２の光反射方向に配置されている。
このカラーＣＣＤカメラ１５は、ガラス基板１２からの
反射光の光量に応じた画像信号を出力し、かつこの画像
信号を画像処理部１６に送るものである。
【００１９】この画像処理部１６は、カラーＣＣＤカメ
ラ１５からの画像信号を０〜２５５の濃淡レベル値の画
像データに変換する機能を有している。検査部１７は、
画像処理部１６により変換された画像データを５１２×
５１２×８ｂｉｔのデータとして確保し、かつこの画像
データを水平方向と垂直方向とにそれぞれ投影処理し、
画像処理された各データに対して各しきい値を設定し、
このしきい値を越えた値を配向膜のむらとして検出する
機能を有している。
ラ１５からの画像信号を０〜２５５の濃淡レベル値の画
像データに変換する機能を有している。検査部１７は、
画像処理部１６により変換された画像データを５１２×
５１２×８ｂｉｔのデータとして確保し、かつこの画像
データを水平方向と垂直方向とにそれぞれ投影処理し、
画像処理された各データに対して各しきい値を設定し、
このしきい値を越えた値を配向膜のむらとして検出する
機能を有している。
【００２０】又、検査部１７は、駆動制御部１３との間
で位置データを授受し、現在カラーＣＣＤカメラ１５に
より撮像している範囲がガラス基板１２のどこであるか
を認識する機能を有している。
で位置データを授受し、現在カラーＣＣＤカメラ１５に
より撮像している範囲がガラス基板１２のどこであるか
を認識する機能を有している。
【００２１】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて説明する。ガラス基板１２が色強調用のシート１１
上に載置される。このガラス基板１２は、図２に示すよ
うにＬＣＤの配向膜１２ａ、１２ｂとして用いられる。
いて説明する。ガラス基板１２が色強調用のシート１１
上に載置される。このガラス基板１２は、図２に示すよ
うにＬＣＤの配向膜１２ａ、１２ｂとして用いられる。
【００２２】ここで、カラーＣＣＤカメラ１５によりガ
ラス基板１２の全体を一度に撮像する場合は、ＸＹテー
ブル１０により移動せずにそのままの位置に位置決めす
る。この位置決めの後、照明装置１４から均一な光が放
射されると、この光はガラス基板１２の斜め上方から照
射される。このとき、ガラス基板１２に照射される光の
照射角度は、ガラス基板１２の品種に応じて設定されて
いる。
ラス基板１２の全体を一度に撮像する場合は、ＸＹテー
ブル１０により移動せずにそのままの位置に位置決めす
る。この位置決めの後、照明装置１４から均一な光が放
射されると、この光はガラス基板１２の斜め上方から照
射される。このとき、ガラス基板１２に照射される光の
照射角度は、ガラス基板１２の品種に応じて設定されて
いる。
【００２３】このガラス基板１２に対して照射された光
は、ガラス基板１２を透過することによりその殆どが色
強調用のシート１１により吸収され、ガラス基板１２の
表面における反射光がカラーＣＣＤカメラ１５に向か
う。つまり、色強調用のシート１１は、波長フィルタと
して作用する。
は、ガラス基板１２を透過することによりその殆どが色
強調用のシート１１により吸収され、ガラス基板１２の
表面における反射光がカラーＣＣＤカメラ１５に向か
う。つまり、色強調用のシート１１は、波長フィルタと
して作用する。
【００２４】従って、ガラス基板１２からの反射光に
は、ガラス基板１２におけるむらに応じた光が含まれる
ようになる。カラーＣＣＤカメラ１５は、ガラス基板１
２に対する撮像を行い、ガラス基板１２からの反射光の
光量に応じた画像信号を出力する。
は、ガラス基板１２におけるむらに応じた光が含まれる
ようになる。カラーＣＣＤカメラ１５は、ガラス基板１
２に対する撮像を行い、ガラス基板１２からの反射光の
光量に応じた画像信号を出力する。
【００２５】画像処理部１６は、カラーＣＣＤカメラ１
５からの画像信号を０〜２５５の濃淡レベル値の画像デ
ータに変換する。検査部１７は、画像処理部１６により
変換された画像データを確保する。
５からの画像信号を０〜２５５の濃淡レベル値の画像デ
ータに変換する。検査部１７は、画像処理部１６により
変換された画像データを確保する。
【００２６】そして、検査部１７は、画像データを図３
に示すように水平方向と垂直方向とにそれぞれ投影処理
し、画像処理された各データに対して各しきい値を設定
し、水平方向又は垂直方向のいずれか一方の値がしきい
値を越えた場合に、その値を配向膜のむらＱとして検出
する。
に示すように水平方向と垂直方向とにそれぞれ投影処理
し、画像処理された各データに対して各しきい値を設定
し、水平方向又は垂直方向のいずれか一方の値がしきい
値を越えた場合に、その値を配向膜のむらＱとして検出
する。
【００２７】一方、ガラス基板１２を各領域別に撮像す
る場合、ＸＹテーブル１０は、駆動制御部１３によりＸ
方向及びＹ方向に移動し、この移動によりガラス基板１
２における各領域の位置決めが行われる。そして、これ
ら位置決めされた各領域ごとにカラーＣＣＤカメラ１５
によってガラス基板１２の撮像が行われる。
る場合、ＸＹテーブル１０は、駆動制御部１３によりＸ
方向及びＹ方向に移動し、この移動によりガラス基板１
２における各領域の位置決めが行われる。そして、これ
ら位置決めされた各領域ごとにカラーＣＣＤカメラ１５
によってガラス基板１２の撮像が行われる。
【００２８】このカラーＣＣＤカメラ１５は、上記同様
に撮像したガラス基板１２からの反射光の光量に応じた
画像信号を出力する。画像処理部１６は、カラーＣＣＤ
カメラ１５からの画像信号を０〜２５５の濃淡レベル値
の画像データに変換する。
に撮像したガラス基板１２からの反射光の光量に応じた
画像信号を出力する。画像処理部１６は、カラーＣＣＤ
カメラ１５からの画像信号を０〜２５５の濃淡レベル値
の画像データに変換する。
【００２９】検査部１７は、画像処理部１６により変換
された画像データを５１２×５１２×８ｂｉｔのデータ
として確保する。そして、検査部１７は、５１２×５１
２の各領域の各画像データを図３に示すように水平方向
と垂直方向とにそれぞれ投影処理し、画像処理された各
データに対して各しきい値を設定し、水平方向又は垂直
方向のいずれか一方の値がしきい値を越えた場合に、そ
の値を配向膜のむらＱとして検出する。
された画像データを５１２×５１２×８ｂｉｔのデータ
として確保する。そして、検査部１７は、５１２×５１
２の各領域の各画像データを図３に示すように水平方向
と垂直方向とにそれぞれ投影処理し、画像処理された各
データに対して各しきい値を設定し、水平方向又は垂直
方向のいずれか一方の値がしきい値を越えた場合に、そ
の値を配向膜のむらＱとして検出する。
【００３０】このように上記一実施例においては、ガラ
ス基板１２の下面側に黒色の色強調用のシート１１を配
置し、かつガラス基板１２の上面側に斜め方向から光を
照射し、このときのガラス基板１２からの反射光をカラ
ーＣＣＤカメラ１５により撮像し、その画像データに対
して投影処理を行ってしきい値と比較することによりガ
ラス基板１２のむらを検出するようにしたので、ガラス
基板１２からの反射光にはガラス基板１２におけるむら
に応じた光が含まれるようになり、配向膜の微妙な色の
変化、例えばすじが入っている、斑模様となっている等
の配向膜のむらを高精度に検出できる。
ス基板１２の下面側に黒色の色強調用のシート１１を配
置し、かつガラス基板１２の上面側に斜め方向から光を
照射し、このときのガラス基板１２からの反射光をカラ
ーＣＣＤカメラ１５により撮像し、その画像データに対
して投影処理を行ってしきい値と比較することによりガ
ラス基板１２のむらを検出するようにしたので、ガラス
基板１２からの反射光にはガラス基板１２におけるむら
に応じた光が含まれるようになり、配向膜の微妙な色の
変化、例えばすじが入っている、斑模様となっている等
の配向膜のむらを高精度に検出できる。
【００３１】この配向膜むらの検査は、ＬＣＤを製造す
る過程のガラス基板１２について行うので、配向膜むら
の検査結果を製品工程にフィードバックすることにより
歩留まりを向上できる。
る過程のガラス基板１２について行うので、配向膜むら
の検査結果を製品工程にフィードバックすることにより
歩留まりを向上できる。
【００３２】又、人の視覚の違いによる検査ばらつきが
なく、配向膜のむら検査の自動化が図れ、定量的なむら
の検査ができる。そのうえ、照明装置１４の照度変化や
外部環境の変化にも対応できる。
なく、配向膜のむら検査の自動化が図れ、定量的なむら
の検査ができる。そのうえ、照明装置１４の照度変化や
外部環境の変化にも対応できる。
【００３３】さらに、色強調用のシート１１及び照明装
置１４からのガラス基板１２に対する光の照射角度をガ
ラス基板１２の品種に応じて変更することにより、各品
種のガラス基板１２に対するむらの検査ができる。
置１４からのガラス基板１２に対する光の照射角度をガ
ラス基板１２の品種に応じて変更することにより、各品
種のガラス基板１２に対するむらの検査ができる。
【００３４】なお、本発明は、上記一実施例に限定され
るものでなく次の通りに変形してもよい。例えば、照明
装置１４は、ガラス基板１２に対して真上方向から光を
照射してもよい。この場合、ガラス基板１２に対して上
方にハーフミラー等を配置し、このハーフミラーを介し
てガラス基板１２からの反射光をカラーＣＣＤカメラ１
５に導くようにすればよい。又、上記一実施例では、Ｌ
ＣＤに用いるガラス基板１２の検査について説明した
が、基板の色評価としても応用できる。
るものでなく次の通りに変形してもよい。例えば、照明
装置１４は、ガラス基板１２に対して真上方向から光を
照射してもよい。この場合、ガラス基板１２に対して上
方にハーフミラー等を配置し、このハーフミラーを介し
てガラス基板１２からの反射光をカラーＣＣＤカメラ１
５に導くようにすればよい。又、上記一実施例では、Ｌ
ＣＤに用いるガラス基板１２の検査について説明した
が、基板の色評価としても応用できる。
【００３５】
【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、微
妙な色の変化を検出して高精度な検査ができる基板検査
装置を提供できる。
妙な色の変化を検出して高精度な検査ができる基板検査
装置を提供できる。
【図１】本発明に係わる基板検査装置の一実施例を示す
構成図。
構成図。
【図２】ＬＣＤのガラス基板を示す図。
【図３】投影処理を示す図。
【図４】従来装置の概略構成図。
１０…ＸＹテーブル、１１…色強調用のシート、１２…
ガラス基板、１３…駆動制御部、１４…照明装置、１５
…カラーＣＣＤカメラ、１６…画像処理部、１７…検査
部。
ガラス基板、１３…駆動制御部、１４…照明装置、１５
…カラーＣＣＤカメラ、１６…画像処理部、１７…検査
部。
Claims (5)
- 【請求項１】 光透過性の基板の一方の面側に配置され
る色強調用のシートと、 前記基板の他方の面に光を照射する照明手段と、 前記照明手段から前記基板の他方の面に光を照射したと
きの反射光を検出してその光量に応じた画像信号を出力
するカラー撮像装置と、 このカラー撮像装置から出力された画像信号を画像デー
タに変換し、この画像データを投影処理してしきい値と
比較することにより少なくとも前記基板のむらを検出す
る検査手段と、を具備したことを特徴とする基板検査装
置。 - 【請求項２】 シートは、基板の品種に応じた色のフィ
ルタであることを特徴とする基板検査装置。 - 【請求項３】 シートは、黒色であることを特徴とする
基板検査装置。 - 【請求項４】 シートは、基板の一方の面に対して面接
触、又は所定間隔離して配置されることを特徴とする基
板検査装置。 - 【請求項５】 照明手段は、基板の品種に応じて光の照
射角度を変化させることを特徴とする基板検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27733794A JPH08136876A (ja) | 1994-11-11 | 1994-11-11 | 基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27733794A JPH08136876A (ja) | 1994-11-11 | 1994-11-11 | 基板検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08136876A true JPH08136876A (ja) | 1996-05-31 |
Family
ID=17582125
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27733794A Pending JPH08136876A (ja) | 1994-11-11 | 1994-11-11 | 基板検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08136876A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001343332A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Sharp Corp | 電子部品の評価方法および評価装置 |
| WO2002039753A3 (en) * | 2000-10-27 | 2003-03-13 | Three Five Systems Inc | Method and apparatus for testing color sequential, near-to-the-eye, and similar display devices |
| US8107078B2 (en) * | 2008-03-03 | 2012-01-31 | Lg Display Co., Ltd. | Detecting device and method for detecting unevenness of a glass substrate |
| WO2013031254A1 (ja) * | 2011-08-30 | 2013-03-07 | 日東電工株式会社 | 製品パネルの連続製造方法並びにフィルム前端部検出システム及び方法 |
| JP2016057393A (ja) * | 2014-09-08 | 2016-04-21 | 東朋テクノロジー株式会社 | 液晶配向膜の状態測定装置 |
-
1994
- 1994-11-11 JP JP27733794A patent/JPH08136876A/ja active Pending
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