JPH08145676A - 基準平面形成用レーザ投光装置 - Google Patents

基準平面形成用レーザ投光装置

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JPH08145676A
JPH08145676A JP7235594A JP23559495A JPH08145676A JP H08145676 A JPH08145676 A JP H08145676A JP 7235594 A JP7235594 A JP 7235594A JP 23559495 A JP23559495 A JP 23559495A JP H08145676 A JPH08145676 A JP H08145676A
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JP
Japan
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laser
laser light
light source
reference plane
optical system
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Withdrawn
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JP7235594A
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English (en)
Inventor
Masahiro Ono
政博 大野
Tsunehiko Sonoda
恒彦 園田
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Pentax Corp
Original Assignee
Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 光学系の複雑化やコストアップを招くことな
く、照準点合わせを容易にし、検出器による検出感度を
どの方向においても同じにすることが可能な基準平面形
成用レーザ投光装置を提供すること。 【構成】 レーザダイオード23からのレーザ光をペン
タプリズム35で反射させて回転照射し、基準平面を形
成する基準平面形成用レーザ投光装置11において、レ
ーザダイオード23からペンタプリズム35に至るレー
ザ光光路に、レーザダイオード23から射出後の断面楕
円状の光束を、略断面円形状に変換するレーザ光束断面
形状変換光学系18を備えた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の技術分野】本発明は、レーザ光源からのレーザ
光束を反射手段で反射させて回転照射し、基準平面を形
成する基準平面形成用レーザ投光装置に関する。
【0002】
【従来技術及びその問題点】一般に、土木建築分野で
は、回転する投光部から装置本体周囲の測量対象物に向
けてレーザ光束を走査して基準平面を形成する基準平面
形成用レーザ投光装置(所謂レーザプレーナ)を用い、
測量対象物上に到達したレーザスポットの高さを計測す
ることにより基準出しや高さ計測を行なう。
【0003】このようなレーザ投光装置では従来、光源
としてヘリウムネオンレーザ(He-Ne レーザ)を用いて
いたが、近年、特開平2-179412号に記載されるような、
ヘリウムネオンレーザに代えてレーザダイオード(L
D)を用いた装置が知られるようになった。
【0004】このレーザダイオードを光源とするレーザ
投光装置は、装置の小型化や消費電流の低減化に寄与す
ることができるものの、レーザダイオードの射出端面が
偏平である等により射出光束の断面が楕円状となるた
め、また該レーザダイオードからの射出レーザ光束が非
点隔差を有するため、次のような問題が生じる。 断面楕円状のレーザ光束を回転投射すると、レーザ光
束スポットは、0〜360゜における回転を示す図18
のS0 〜S8 のように、光軸周りに回転するため、中心
の判別が難しく、水平基準が認識しづらい。 例えば一対の受光素子を備えた別設の検出器で断面楕
円状のレーザ光束の位置を検出する場合には、楕円状の
スポットの回転位置によって受光素子に対する照射状態
が変化するため、図20の(a)、(b)、(c) のように、検出
信号の出力波形が異なって、検出結果に誤差を招く虞れ
がある。図20の(a) は、図19に示す上下一対の受光
素子A、Bで、90゜と270゜の回転位置におけるス
ポットS2 、S6 を受光した場合の出力波形であり、図
20の(b) は、該受光素子A、Bで、135゜と315
゜の回転位置におけるスポットS3 、S7 を受光した場
合の出力波形である。また図20の(c) は、該受光素子
A、Bで、180゜と360゜の回転位置におけるスポ
ットS4 、S8 を受光した場合の出力波形である。 射出レーザ光束が有する非点隔差のため、ビーム径を
小さく絞ることが難しく、レーザ光束を遠方まで投光す
ることが極めて難しい。
【0005】上記の問題を解決するため、レーザダ
イオードから射出したレーザ光束を、回転角を互いに9
0゜異ならせた2種の断面楕円状のレーザ光束に分割し
た後、互いの長軸を十字状に合わせて同時に投光するレ
ーザ測量機が知られている(特開平5-272967号参照)。
しかしながら、このような従来のレーザ投光装置による
と、の問題を多少緩和することができるものの、断
面楕円状の長軸を十字状に合わせただけのレーザスポッ
トを測量に用いるため、照準点合わせの容易化、或は検
出器による検出感度のムラを除去する目的を完全に達成
することはできない。さらに、回転角を90゜異ならせ
た2種のレーザ光束に分割するための光学系が複雑であ
るため、このことがコストアップに繋る。また、上記従
来のレーザ投光装置は、の問題については何も解決し
ていない。
【0006】また、NA(開口数)の小さなコリメート
レンズにより、断面楕円状のレーザ光束に無理にケラレ
を与えて断面円形状のレーザ光束を得る方法が知られて
いる。しかしこの方法によると、レーザ光束にケラレを
与えるとき多くの光エネルギーを無駄にするため、出力
の大きなレーザダイオードが必要となり、消費電流の増
大と共にコスト高を招いてしまう。
【0007】
【発明の目的】本発明は、上記従来のレーザ投光装置に
おける問題点に基づき、光学系の複雑化やコストアップ
を招くことなく、照準点合わせを容易し、検出器による
検出感度をどの方向においても同じにすることが可能な
レーザ投光装置を提供することを目的とする。さらに本
発明は、射出レーザ光束が有する非点隔差のためビーム
径を小さく絞ることができない等の問題を解消可能なレ
ーザ投光装置を提供することを目的とする。
【0008】
【発明の概要】上記目的を達成するための本発明は、レ
ーザ光源からのレーザ光束を反射手段で反射させて回転
照射し、基準平面を形成する基準平面形成用レーザ投光
装置において、上記レーザ光源から反射手段に至るレー
ザ光束路に、レーザ光源から射出後の断面楕円状の光束
を、略断面円形状に変換するレーザ光束断面形状変換光
学系を備えたことを特徴としている。この構成により、
光学系の複雑化やコストアップを招くことなく、照準点
合わせを容易にし、検出器による検出感度をどの方向に
おいても同じにすることが可能となる。
【0009】また、レーザ光源とレーザ光束断面形状変
換光学系との間に、このレーザ光源から射出されるレー
ザ光束を平行光束に変換するコリメートレンズを設け、
このレーザ光源とコリメートレンズとの間隔を変化させ
てレーザ光束に含まれる非点隔差を補正するように構成
する。これにより、射出レーザ光束が有する非点隔差の
ためビーム径を小さく絞ることができない等の問題を解
消することができる。
【0010】
【発明の実施の形態】以下図示実施例に基づいて本発明
を説明する。図1は、本発明を適用した基準平面形成用
レーザ投光装置の全体を示す断面図である。このレーザ
投光装置11は、略円筒状のハウジング12と、該ハウ
ジング12の内方に設けられた投光装置本体13とを有
している。ハウジング12の同図上方には、投光装置本
体13上部の回転投光部15を囲繞する円筒状の透明部
材16が固定され、下方には、レーザ投光装置11の駆
動用バッテリ(図示せず)を収納するバッテリケース1
7が固定されている。
【0011】ハウジング12は、その上部中央に略円錐
状の摺動案内部19を有し、下部中央に円孔12aを有
している。この円孔12aは、バッテリケース17の中
央部に形成した円孔17aと合致された状態において、
上方からのレーザ光束をレーザ投光装置11の下方外方
に射出させる。また摺動案内部19は、略円錐状の底部
に摺動孔19aを有している。この摺動孔19aの先端
部がなす内径は、後述する膨出部21の球面部の外径よ
り小さく設定されている。
【0012】また投光装置本体13は、図1の上下方向
に沿う中空部を有する中空部材20と、この中空部材2
0の上方に、ベアリング12を介して回転自在に支持さ
れた上記回転投光部15とを有している。中空部材20
が有する膨出部21は、摺動孔19aにその球面部を当
接させた状態で、回転投光部15(投光装置本体13)
を回転軸a回りの全ての方向に傾け、投光レーザ光束L
3 によって形成される基準平面を水平面に対して自由に
調整できるように支持されている。
【0013】中空部材20は、その内方に、互いに直交
するレーザ光光路20a、20bを有している。レーザ
光光路20aには、可視レーザ光束を発するレーザダイ
オード23と、コリメートレンズ24と、一対のアナモ
フィックプリズム25、26(図12参照)からなるレ
ーザ光束断面形状変換光学系18とが設けられている。
回転投光部15の回転軸aの延長上に位置するレーザ光
光路20bは、投光光学系22を有している。
【0014】レーザ光束断面形状変換光学系18は、後
述するプリズムPを有している。投光光学系22は、図
2に示すように、プリズムPから射出されるレーザ光束
を受ける偏光ビームスプリッタ27を有している。この
偏光ビームスプリッタ27は、偏光分離面(偏光分割
面)27aを有し、その上部に1/4λ板28が貼着さ
れている。この1/4λ板28は、入射光の偏光方向に
対して該1/4λ板28の軸方位が45゜方向に向くよ
うに貼着されている。さらに、1/4λ板28の上面に
は、レーザ光束を所定の割合でペンタプリズム35に向
けて透過し、かつ残りのレーザ光束を偏光ビームスプリ
ッタ27の偏光分離面27aに向けて反射する、反射率
10〜20%程度の半透膜28aを有している。ここ
で、偏光ビームスプリッタ27と半透膜28aとの間に
設けられた上記1/4λ板28は、この偏光ビームスプ
リッタ27で反射した後、半透膜28aにより大部分の
光は円偏光のままペンタプリズム35に向けて透過させ
る。残りの光は半透膜28aで反射され、さらに1/4
λ板28を再び透過することにより、入射時とは逆方向
の直線偏光となる。このため、偏光ビームスプリッタ2
7の偏光分離面27aに向かった光は、この偏光分離面
27aで反射されることなく、即ちレーザ光源であるレ
ーザダイオード23に戻ることなく、偏光分離面27a
を全て透過する。
【0015】偏光ビームスプリッタ27の図1、図2の
下方には、ウェッジプリズム29a、29bが設けられ
ている。また偏光ビームスプリッタ27の同図上方に
は、摺動円筒部材30に固定されこの摺動円筒部材30
と共に光軸方向に移動可能な合焦用レンズ31と、レー
ザ光光路20b内に固定された対物レンズ32とが設け
られている。
【0016】回転投光部15は、レーザ光光路20bと
合致して該レーザ光光路20bに連続するレーザ光光路
15aと、このレーザ光光路15aに連続する該レーザ
光光路15aより大径のペンタプリズム収納部15bと
を有している。該ペンタプリズム収納部15bの側壁に
は、内方に収納したペンタプリズム35で反射して偏向
されたレーザ光束を装置外方に投光するための投光用窓
33が形成されている。ペンタプリズム収納部15bの
上方は開放され、レーザ光光路15aの光軸が、透明部
材16の上部中央の円孔16aに嵌込まれた透光部材3
6の中心に一致されている。
【0017】ペンタプリズム35は、投光装置本体13
の回転投光部15に、該回転投光部15と一体に回転す
るように固定されており、この回転投光部15の回転軸
a上のレーザ光束を反射する反射手段を構成している。
ペンタプリズム35は、図2に示されるように、レーザ
光束が入射する光入射面35cと、この光入射面35c
に対して所定角度に設定され、所要の反射率(70〜8
0%)の半透膜14が設けられた、該光入射面35cか
ら入射したレーザ光束が入射する第1の反射面35a
と、この第1の反射面35aで反射されたレーザ光束を
反射する、この第1の反射面35aとでなす角θが45
゜である第2の反射面35bと、この第2の反射面35
bで反射したレーザ光束が射出する、光入射面35cと
で90゜をなす光射出面35dとを有している。第2の
反射面35bには、増反射膜がアルミニューム蒸着等に
よって形成されている。また第1の反射面35aには、
上記半透膜14を挟んで楔型プリズム34が貼着されて
いる。この楔型プリズム34は、斜辺を第1の反射面3
5aに貼着した状態において、図2の上部に位置する射
出面34aがペンタプリズム35の光入射面35cと平
行となるように構成されている。
【0018】他方、中空部材20は、図1の右方に延出
する駆動用アーム37と、この駆動用アーム37に対し
て紙面奥方向に直交する駆動用アーム39(図3参照)
とを一体的に有している。これらの駆動用アーム37、
39は、膨出部21の最上部から下方に傾斜させて形成
され、それぞれの先端部に、膨出部21の球心と一致さ
せて取付けられたローラ40、41を有している。
【0019】ハウジング12はその内壁に、このハウジ
ング12の内周に向けて突出させたブラケット42を有
している。このブラケット42には、ギヤ支持孔42a
が形成されている。また、ハウジング12の上壁12b
においてのギヤ支持孔42aと対向する位置には、ギヤ
支持孔43が形成されている。これらのギヤ支持孔42
a、43には、調整用スクリュー45の両端の軸部が回
転自在に嵌合されている。ブラケット42にはまた、第
1レベル調整用モータ44が固定されている。この第1
レベル調整用モータ44の回転軸に固定したピニオン4
9は、調整用スクリュー45の下端部に固定した伝達ギ
ヤ50と噛み合っている。この調整用スクリュー45に
は、この調整用スクリュー45とで送りねじ機構を構成
する調整用ナット46が螺合されている。この調整用ナ
ット46の外周には、外方に突出させた作動ピン47が
固定されており、この作動ピン47は、ローラ40にそ
の上方から当接している。調整用ナット46はまた、図
示しない支持機構によって、ハウジング12に対する相
対回転を規制されている。
【0020】図3に示されるように、ハウジング12は
その内壁に、このハウジング12の内周に向けて突出さ
せたブラケット78を有している。このブラケット78
には、ギヤ支持孔(図示せず)が形成され、ハウジング
12の上壁においての該ギヤ支持孔と対向する位置に
は、ギヤ支持孔(図示せず)が形成されている。この両
ギヤ支持孔には、調整用スクリュー79の両端の軸部が
回転自在に嵌合されている。ブラケット78には、第2
レベル調整用モータ75が固定されている。この第2レ
ベル調整用モータ75の回転軸に固定したピニオン76
は、調整用スクリュー79の下端部に固定した伝達ギヤ
77と噛み合っている。調整用スクリュー79にはま
た、この調整用スクリュー79とで送りねじ機構を構成
する調整用ナット80が螺合されている。この調整用ナ
ット80の外周には、外方に突出させた作動ピン81が
固定され、この作動ピン81は、ローラ41にその上方
から当接している。調整用ナット80はまた、図示しな
い支持機構によって、ハウジング12に対する相対回転
を規制されている。
【0021】またハウジング12は、その内壁に、互い
に直交する駆動用アーム37と39とでなす角を二等分
する方向に設けた支持突起51を有している。この支持
突起51と中空部材20との間には、引張りばね52が
張設されている。中空部材20は、この引張りばね52
により、それぞれ同等の力で上方に向けて付勢されたロ
ーラ40、41を、作動ピン47、81にその下方から
弾接させている。つまり、中空部材20はその下部を、
膨出部21が摺動孔19aによって支持された状態で支
持突起51に向けて付勢されるため、マイクロコンピュ
ータ(以後マイコンと称する)82の信号に基づき回転
駆動する第1、第2レベル調整用モータ44、75によ
って昇降される作動ピン47、81により、水平方向に
おける回動位置を調整可能とされる。また中空部材20
はその下部に、アーム37、39とそれぞれ反対方向に
突出させたブラケット70、71を有している。この両
ブラケット70、71には、それぞれレベル検知センサ
72、73が取付けられており、該レベル検知センサ7
2、73による検知信号はマイコン82に送られる。
【0022】また中空部材20の下部には、外方に向け
て突出させたブラケット53が設けられている。このブ
ラケット53の上部には、該ブラケット53と対向する
ブラケット55が形成されている。これらのブラケット
53、55には、それぞれに対向するギヤ支持孔53
a、55aが形成されている。両ギヤ支持孔53a、5
5aには、合焦用スクリュー56の両端の軸部が回転自
在に嵌合されている。ブラケット53には、合焦用モー
タ59が固定されている。該合焦用モータ59の回転軸
に固定したピニオン60は、合焦用スクリュー56の下
端部に固定した伝達ギヤ61と噛み合っている。合焦用
スクリュー56には、この合焦用スクリュー56とで送
りねじ機構を構成する合焦用ナット57が螺合されてい
る。中空部材20の摺動部材30と対応する壁部には、
挿入窓63が形成されている。上記合焦用ナット57に
は、この挿入窓63から挿入した一端部を摺動部材30
の下端部に固定した伝達リンク62の他端部が固定され
ている。よって、合焦用モータ59をマイコン82の信
号に基づき駆動することにより、ピニオン60、伝達ギ
ヤ61、合焦用スクリュー56を介して合焦用ナット5
7を昇降させ、リンク62と摺動部材30を介して合焦
用レンズ31を上下動させて焦点距離を調節して、回転
投光部15から投光するレーザ光束を適切に集光させる
ことができる。
【0023】また中空部材20の最上部には、外方に向
けて突出させたブラケット65が設けられている。この
ブラケット65には、回転用モータ66が固定されてお
り、このモータ66の回転軸に取付けたピニオン67
は、回転投光部15の外周に固定された伝達ギヤ69と
噛み合っている。従って、マイコン82の信号に基づき
回転用モータ66を回転駆動することにより、ピニオン
67、伝達ギヤ69を介して回転投光部15を中空部材
20に対し相対回転させることができる。
【0024】また、中空部材20の最上部のブラケット
65と反対側には、回転検知センサ83が上方に向けて
設けられている。この回転検知センサ83は、上方即ち
伝達ギヤ69に向けて光束を照射し、この伝達ギヤ69
の裏面に設けた所定のパターン(図示せず)で反射した
光束を、受光した後信号としてマイコン82に送る。こ
のマイコン82は、入力した該受光信号に基づいて、回
転投光部15の回転角を演算する。
【0025】図1において、レーザ光束断面形状変換光
学系18が有するプリズムPを概略的に示したが、本発
明の特徴である該プリズムPを、以下具体的に説明す
る。
【0026】先ず、図4により本発明に係る第1の実施
例を説明する。同実施例では、プリズムPとして、頂角
α、屈折率nの1個のアナモフィックプリズム25を用
いている。該アナモフィックプリズム25とレーザダイ
オード23の間に位置するコリメートレンズ24は、十
分に大きな開口数(NA)を持ち、アナモフィックプリ
ズム25に対して所定の入射角度iを持つように配置さ
れている。
【0027】このような構成の第1の実施例において、
レーザダイオード23から射出される断面楕円状のレー
ザ光束は、コリメートレンズ24によって、短軸(短
径)Di、長軸(長径)D0 (紙面に垂直な方向での光
束径)の断面楕円状の平行光に変換される。このような
断面形状の入射時のレーザ光束(図5)は、アナモフィ
ックプリズム25に対して入射角iで入射するとき短軸
Diが伸ばされて、この短軸Di側の径が長軸D0 側の
径と同寸法となって、射出面25aに対して垂直に射出
される。よってこのときの射出レーザ光束は、図6に示
すように、長軸D0 を直径とする円形形状の光束とな
る。
【0028】このとき、射出レーザ光束の断面の短軸D
i、長軸D0 、及びアナモフィックプリズム25の頂角
αの間には、 D0 /Di= cosα/ cosi= cosα/( 1−n2・sin2
α)1/2=m の関係が成立する(但し、mはアナモ倍率)。すなわ
ち、アナモフィックプリズム25から射出されるレーザ
光束を、上述のように、長軸D0 を直径とした円形状の
光束としたい場合、頂角α、屈折率n及び入射角iをそ
れぞれ適宜決定することにより、所要のアナモ倍率m
(D0 /Di)を得ることができる。
【0029】上記アナモフィックプリズム25の各量
を、図7と図8に示す。図7は、アナモ倍率mと頂角α
との相関関係を示すグラフであり、図8は、アナモ倍率
mをパラメータとしたとき、頂角αに対する入射角iと
表面反射率Rpとの相関関係を示す。
【0030】図7では、屈折率nがそれぞれ1.5、
1.65、1.8のアナモフィックプリズムが用いられ
ている。同図において、屈折率nの大きいアナモフィッ
クプリズムほど、小さな頂角αで所要アナモ倍率mが得
られることが分かる。因に、屈折率nが1.8のアナモ
フィックプリズムの場合、頂角αが30.5゜のとき、
アナモ倍率mは2.11となる。図8では、アナモ倍率
mがそれぞれ2、2.5、3のアナモフィックプリズム
が用いられている。同図において、同じ頂角αに対して
必要なアナモ倍率mが大きい程、大きな入射角iが必要
である。またアナモ倍率mが大きいほど、小さな頂角α
で表面反射率Rpが小さくなる。
【0031】また一般に、レーザダイオードから照射さ
れるレーザ光束は非点隔差を含んでいるが、この非点隔
差をそのままにすると、射出レーザ光束の径を小さく絞
ることができなくなり、レーザ光束を遠方まで投光する
ことが困難となる。本第1実施例では、レーザダイオー
ド23から射出されるレーザ光束に含まれる非点隔差
を、レーザダイオード23とコリメートレンズ24との
間隔を変化させることによって補正している。
【0032】すなわち、レーザ光束が非点隔差を全く含
まないものとして考えるとき、コリメートレンズ24か
らの射出光の波面は、コリメートレンズ24とレーザダ
イオード23の間隔が所定位置からずれた場合に、図1
1に示されるように、デフォーカスを持った曲面状の波
面となる(間隔が所定位置のときは平面状の波面とな
る)。もともとレーザダイオード23からの射出レーザ
光束の断面は楕円形であるため、互いに直交する方向に
おけるそれぞれの径が異なる。つまり、このレーザ光束
の短径をρ、長径をρ0 とするとき、この短径ρ側で曲
面波面に表われる基準平面Sとのずれ量はWyとなり、
長径ρ0 側で曲面波面に表われる基準平面Sとのずれ量
はWzとなる。ここで、コリメートレンズ24から射出
後の光束がアナモフィックプリズム25を通過すると、
光束の短径ρはρ0 に引き伸ばされ、半径をρ0 とする
円形光束となる。しかし、短径方向でのずれ量は相変わ
らずWyであるため、短径方向ではWy、長径方向では
Wz(同じρ0 に対し)となり、非点隔差を持った波面
となる(図9〜図11参照)。
【0033】ところで、レーザダイオード23をコリメ
ートレンズ24に対してΔzだけ相対移動させる等によ
り、両者の間隔を、基準の間隔からどちらの方向にずら
すか(即ち、大きくするか小さくするか)によって、発
生する非点隔差の符号を変化させることができる。つま
り、該ずれの向きと量を調整することにより、レーザ光
束が本来持っている非点隔差を相殺するような非点隔差
を発生させることができる。本第1実施例は、このよう
なレーザダイオード23とコリメートレンズ24間の関
係に着目したもので、両者の間隔を変化させることによ
り、上記曲面波面のずれ量WyとWzで説明したような
半導体レーザ光束が本来有する非点隔差を相殺する非点
隔差を、積極的に形成して補正している。よって、光エ
ネルギーを有効に使用した非点隔差のないレーザ光束を
得ることができる。このとき波面にデフォーカス成分が
残るが、これは合焦レンズ31を対物レンズ32に対し
て動かすことによって打ち消すことができる。その結
果、レーザ光束を問題なく遠距離まで投光することが可
能となる。なお、後述する第2の実施例(図12)、第
3の実施例(図14)、第4の実施例(図15)におい
ても、レーザダイオード23とコリメートレンズ24の
間隔を変化させることにより、本第1の実施例と同様の
効果を奏することができる。
【0034】以上の説明に関し、次式のように定義する
ことができる。 Wz=〔 {1− (1−NA0 2)1/2 }×ΔZ〕 ≒ 1/2×NA0 2×ΔZ Wy=Wz×(ρ/ρ02 =Wz×1/m2 従って、 def=(Wz+Wz/m2 )/2 =Wz/2×(1+1/m2 ) As=Wz−Wz/m2 =Wz(1−1/m2 ) 但し、 As:非点隔差、 def:デフォーカス、 NA:開口数、 m:アナモ倍率(m=ρ0 /ρ)、 Wy:曲面波面の短径側のρにおいての基準平面Sに対
するずれ量、 Wz:曲面波面の長径側のρ0 においての基準平面Sに
対するずれ量、 λ:レーザ光束の波長。
【0035】上記構成を有する本レーザ投光装置11
は、次のように作動する。先ず、図1のように、レーザ
投光装置11を所望の位置に配置する。この状態におい
て、図示しないメインスイッチをオンすると、マイコン
82の信号に基づき、レーザダイオード23が発振を開
始させ、レーザ光束を照射する。このレーザ光束は、コ
リメートレンズ24によって楕円状の平行光束に変換さ
れた後アナモフィックプリズム25に入射され、このア
ナモフィックプリズム25によってその短軸径Di(図
5参照)を伸ばされて、図6に示すような径がD0 の円
形状の光束に変換される。さらにこの円形状の光束は、
偏光ビームスプリッタ27によって上方に向かう光束L
1 と下方に向かう光束L2 とに分割される。
【0036】この際、図2において、偏光ビームスプリ
ッタ27に対して入射するレーザ光束L0 が、偏光分離
面27aの法線nとレーザ光束L0 とを含む入射面に対
して垂直な振動方向を有する、S偏光成分を持ちかつP
偏光成分を持たない直線偏光である場合、このレーザ光
束L0 は、偏光分離面27aで全て反射されて90゜偏
向され、同図上方に向かう。このとき、1/4λ板28
は、その軸方位が入射光の振動方向に対して45゜とな
るように偏光ビームスプリッタ27に貼付けられている
ため、レーザ光束L0 は1/4λ板28を透過すると、
円偏光のレーザ光束L1 となってペンタプリズム35に
向かう。また半透膜28aで反射して偏光分離面27a
に戻されるレーザ光束L1 は、1/4λ板28を再び透
過することにより、入射時とは直交した振動方向を有す
る直線偏光に変換される。すなわち、S偏光成分の直線
偏光がP偏光成分の直線偏光に変換される。よって、こ
のP偏光成分の直線偏光であるレーザ光束は、レーザ光
束L2 として、偏光分離面27aで反射することなくこ
の面27aを透過して同図下方に向かい、さらにウェッ
ジプリズム29a、29bを透過した後、レーザ投光装
置11の下部外方に射出される。
【0037】他方、上方に向かう上記レーザ光束L1
は、合焦用レンズ31と対物レンズ32を透過し、ペン
タプリズム35の光入射面35cを透過後、第1、第2
の反射面35a、35bで順に反射されて進路を90゜
偏向され、レーザ光束L3 としてレーザ光束L2 と垂直
な方向、つまり水平方向に向けて光射出面35dから投
光される。またレーザ光束L1 のうち、第1の反射面3
5aで所定の割合で反射したもの以外は、ペンタプリズ
ム35の該第1の反射面35aの上面部に貼着された楔
型プリズム34とでなすハーフミラー面を透過して上方
に向けて射出される。このようにして、レーザダイオー
ド23から射出されたレーザ光束L0 は、図2の上下方
向にそれぞれ投光されるレーザ光束L1 、L4 、L2
及びこれらのレーザ光束L1 、L4 、L2 と直交する方
向(水平)に向けて投光されるレーザ光束L3 とに分割
される。
【0038】レーザ投光装置11は、回転用モータ66
が、メインスイッチのオンによって電力を供給されるこ
とにより所定速度で回転されると、該モータ66の回転
をピニオン67と伝達ギヤ69を介して回転投光部15
に伝え、これにより該回転投光部15を中空部材20に
対して相対回転させる。よってレーザ投光装置11は、
対物レンズ32から射出されるレーザ光束L1 をペンタ
プリズム35によって90゜偏向させ、回転投光部15
を水平方向に回転させながらレーザ光束L3 を射出し続
けることができる。これにより、レーザ投光装置11か
らは、断面円形状のレーザ光束L3 が一定のレベルを維
持して射出され続けるため、即ち水平プレーン(水平基
準面)を形成することが可能となる。作業者は、建物の
柱等に照射された略断面円形状のレーザ光束の通った軌
跡上に標しを付ける等の作業を行なうことができる。
【0039】また、レーザ投光装置11を置いた場所に
よって異なる傾斜角を調整する場合には、図示しないス
イッチを操作して、第1、第2レベル調整用モータ4
4、75を回転駆動する。例えば、第1レベル調整用モ
ータ44を駆動する場合、その回転はピニオン49、伝
達ギヤ50を介して調整用スクリュー45に伝達され、
この調整用スクリュー45の回転によって調整用ナット
46が昇降する。その際、この調整用ナット46の突起
47には、引張りばね52によって所定の方向に付勢さ
れたローラ40が弾接されているため、このローラ40
を介して中空部材20を膨出部21の球心を中心として
回動させることができる。また第2調整用モータ75を
駆動する場合、その回転はピニオン76、伝達ギヤ77
を介して調整用スクリュー79に伝達され、この調整用
スクリュー79の回転によって調整用ナット80が昇降
する。その際、この調整用ナット80の突起81には、
引張りばね52によって所定の方向に付勢されたローラ
41が弾接されているため、中空部材20をこのローラ
41を介して、膨出部21の球心を中心として回動させ
ることができる。中空部材20は、これらの回動調整に
よって、レーザ光束照射時の水平方向に対する傾動位置
が決定される。
【0040】照射されるレーザ光束の壁や柱等の照射対
象物に対して焦光点を合わせる場合、図示しないスイッ
チの操作によって合焦用モータ59を回転駆動する。こ
の回転はピニオン60、伝達ギヤ61を介して合焦用ス
クリュー56に伝達される。すると、合焦用スクリュー
56の回転により合焦用ナット57が昇降されるため、
この合焦用ナット57に固定されたリンク62を介して
摺動部材30にこの昇降動が伝達される。そして、壁や
柱等の照射対象物に投影したレーザ光束のスポットを観
察しながら、焦光点の位置を調整する。
【0041】次に、図12により本発明に係る第2の実
施例を説明する。同実施例では、レーザ光束断面形状変
換光学系18が有するプリズムPとして、アナモ倍率が
1、m2 であるアナモフィックプリズム25、26を
用いている。両アナモフィックプリズム25、26によ
るアナモ倍率mは m=m1 ×m2 で表わされる。この
場合、入射レーザ光束と射出レーザ光束とを互いに平行
にすることができる。ここで、特に、両アナモフィック
プリズム25、26は、互いに同じ形状かつ同じ硝材を
用いれば、同じアナモ倍率(m2 =m1 )となる。この
とき、異なるアナモフィックプリズムを製造する等の製
造時の手間を省くことができ、製造コストの削減に寄与
する。
【0042】ところで、一般に、温度変化等によってレ
ーザダイオード23の発振波長が変化すると、アナモフ
ィックプリズム25、26による色収差(倍率色収差)
が生じて、射出面26aからの射出角がΔθ(図13参
照)だけ変化する。例えば、可視のレーザ光束(波長λ
=635nm )の場合には 2nm/10゜程度変化する。従っ
て、この変化量Δθをできるだけ小さくすることは、測
量時に基準ビームや基準平面を形成するためのレーザ投
光装置11において極めて重要である。
【0043】そこで、上記第2の実施例では、アナモフ
ィックプリズム25、26を、レーザ光束を曲げる方向
が互いに逆になるように配置し、かつそれぞれに色収差
を打ち消し合うような硝材を選択することにより、色収
差に関する上記問題を解決することができる。第2の実
施例に関する具体的な設計例を、表1に示す。ここでは
必要なアナモ倍率mを約4.4と考えている(対象とし
ている可視のレーザダイオードに対して)。なお、この
表1において設計例1、2は異なる硝材を用いた場合で
あり、設計例3は参考のために同じ硝材を用いた場合で
ある。
【表1】
【0044】設計例1〜3において、倍率は入射角、頂
角、屈折率で決まり、色収差はアナモフィックプリズム
25のアッベ数と、アナモフィックプリズム26のアッ
べ数との関係により決まる。すなわち、アナモフィック
プリズム25のアッベ数をν1 、アナモフィックプリズ
ム26のアッベ数をν2 とするとき、以下の条件式 (1)
を満足するように硝材を選択すると、色収差が補正でき
る。 (1)ν2 /ν1 >1.8 、ν2 >ν1 なお頂角α1、α2 は、レーザ光束を平行入射させ、射出
面からの射出レーザ光束が該射出面に対して90゜にな
るように設定したときの角度である。図12に示す本第
2の実施例によれば、アナモフィックプリズム25、2
6それぞれの頂角α1、α2 の方向の設定により、レーザ
ダイオード23から射出されたレーザ光束の方向を変え
ることなく、ビームスプリッタ27に入射させることが
できる。よって、光学系の配置に要する無駄なスペース
を省くことができる。
【0045】また図14に示すように、アナモフィック
プリズム25と26を、それぞれの頂角α1、α2 が図1
2に示す状態と反対方向に向くように配置することもで
きる。この第3の実施例によっても、図12に示した第
2の実施例と同様に、レーザダイオード23からの射出
レーザ光束の方向を変えないでビームスプリッタ27に
入射させることができ、これにより光学系の配置に要す
る無駄なスペースを省くことができる。
【0046】上記第1〜第3の実施例ではいずれも、レ
ーザ光束断面形状変換光学系18により、レーザダイオ
ード23からの断面楕円状の光束の短軸Di を伸ばして
円形形状に変換したが、本発明のレーザ光束断面形状変
換光学系18はこれに限られない。すなわち、図15に
示す第4の実施例のように、アナモフィックプリズム2
5′と26′を配置することにより、断面楕円状の光束
の長軸DO (長径方向)を縮めて、短軸Di を直径とし
た円形状とすることができる。
【0047】また、上記第1〜第3の実施例ではいずれ
も、断面楕円状のレーザ光束を略断面円形状に変換する
のにアナモフィックプリズムを用いたが、このアナモフ
ィックプリズムに代えてシリンドリカルレンズを用いた
第5の実施例を、図16により説明する。同図におい
て、コリメートレンズ24の後方に、焦点距離f1 のシ
リンドリカルレンズ91と、焦点距離f2 のシリンドリ
カルレンズ90が順に配置されている。これらのシリン
ドリカルレンズ90、91はそれぞれ正のパワーを有
し、互いに、一方向において共焦点の関係となるように
配置され、焦点距離の範囲で、コリメートレンズ24か
ら射出される断面楕円状のレーザ光束の長径と短径のう
ちの一方のみを変化させることができる。すなわち、所
要のアナモ倍率mに対して、 m=D0 /Di =|f2 /f1 | を満たすように、各焦点距離f1 、f2 を選択すること
により、例えばコリメートレンズ24からの断面楕円状
のレーザ光束の短径を伸ばして略断面円形状の光束とす
ることができる。
【0048】さらに図17に、図16のシリンドリカル
レンズ91に代えて、負のパワーを有するシリンドリカ
ルレンズ94を配置することにより、上記第5の実施例
と同様、アナモフィックプリズムを用いずに断面楕円状
のレーザ光束を略断面円形状に変換する第6の実施例を
示す。
【0049】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、レーザ光
源から反射手段に至るレーザ光路に、レーザ光源から射
出後の断面楕円状のレーザ光束を、略断面円形状に変換
するレーザ光束断面形状変換光学系を備えたから、光学
系の複雑化やコストアップを招くことなく、照準点合わ
せを容易にし、検出器による検出感度をどの方向におい
ても同じにすることが可能なレーザ測量装置を提供する
ことができる。
【0050】また請求項5に記載の発明によれば、レー
ザ光源とレーザ光束断面形状変換光学系との間に、この
レーザ光源から射出されるレーザ光を平行光束に変換す
るコリメートレンズを設け、該レーザ光源とコリメート
レンズとの間隔を変化させてレーザ光束に含まれる非点
隔差を補正するように構成したから、射出レーザ光束が
有する非点隔差のためビーム径を小さく絞ることができ
ない等の問題を解消可能な基準平面形成用レーザ投光装
置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るレーザ投光装置の全体を示す断面
図である。
【図2】同レーザ投光装置のレーザ光束断面形状変換光
学系等を示す側面図である。
【図3】同レーザ投光装置の要部を拡大して示す平面図
である。
【図4】本発明に係るレーザ光束断面形状変換光学系の
第1の実施例を示す側面図である。
【図5】レーザダイオードから射出された断面楕円状の
レーザ光束を示す図である。
【図6】レーザ光束断面形状変換光学系によって断面形
状を略円形に変換されたレーザ光束を示す図である。
【図7】アナモフィックプリズムのアナモ倍率と頂角と
の相関関係を示すグラフ図である。
【図8】アナモフィックプリズムの入射角と頂角と表面
反射率との相関関係を示すグラフ図である。
【図9】射出レーザ光束の非点収差をなくする構成を説
明するための概略図である。
【図10】射出レーザ光束の非点収差をなくする構成を
説明するための概略図である。
【図11】射出レーザ光束の非点収差をなくする構成を
説明するための概略図である。
【図12】本発明に係るレーザ光束断面形状変換光学系
の第2の実施例を示す側面図である。
【図13】アナモフィックプリズムからの射出レーザ光
束の射出角が色収差によって変化する様子を示す概略側
面図である。
【図14】本発明に係るレーザ光束断面形状変換光学系
の第3の実施例を示す側面図である。
【図15】本発明に係るレーザ光束断面形状変換光学系
の第4の実施例を示す側面図である。
【図16】本発明に係るレーザ光束断面形状変換光学系
の第5の実施例を示す側面図である。
【図17】本発明に係るレーザ光束断面形状変換光学系
の第6の実施例を示す側面図である。
【図18】従来のレーザ投光装置の問題点を説明するた
め射出光束の様子を示す説明図である。
【図19】従来のレーザ投光装置の問題点を説明するた
め検出器による光束スポットの受光状態を示す説明図で
ある。
【図20】図19の検出器による光束スポット受光時の
出力波形を示す図である。
【符号の説明】
11 レーザ投光装置 13 投光装置本体 15 回転投光部 15a レーザ光光路 20a 20b レーザ光光路(第1の光路、第2の光
路) 18 レーザ光束断面形状変換光学系 20 中空部材 23 レーザダイオード(レーザ光源) 24 コリメートレンズ 25 26 アナモフィックプリズム 27 偏光ビームスプリッタ 35 ペンタプリズム(反射手段) 90 91 シリンドリカルレンズ

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザ光源からのレーザ光束を反射手段
    で反射させて回転照射し、基準平面を形成する基準平面
    形成用レーザ投光装置において、 上記レーザ光源から反射手段に至るレーザ光光路に、該
    レーザ光源から射出後の断面楕円状のレーザ光束を、略
    断面円形状に変換するレーザ光束断面形状変換光学系を
    備えたことを特徴とする基準平面形成用レーザ投光装
    置。
  2. 【請求項2】 請求項1において、レーザ光束断面形状
    変換光学系は、レーザ光源からの楕円状のレーザ光束の
    短径方向を伸ばして円形状とするアナモフィックな光学
    系である基準平面形成用レーザ投光装置。
  3. 【請求項3】 請求項1において、レーザ光束断面形状
    変換光学系は、レーザ光源からの楕円状のレーザ光束の
    長径方向を縮めて円形状とするアナモフィックな光学系
    である基準平面形成用レーザ投光装置。
  4. 【請求項4】 請求項1において、レーザ光束断面形状
    変換光学系は、焦点距離が互いに異なり、共焦点の関係
    に配置された一対のシリンドリカルレンズからなるアナ
    モフィックな光学系であって、所要のアナモ倍率mに関
    して、次の条件式(1)を満足させるようにそれぞれの
    焦点距離が設定されている基準平面形成用レーザ投光装
    置。 (1)m=D0 /Di =|f2 /f1 | 但し、 D0 :レーザ光源からの楕円状のレーザ光束の長軸寸
    法、 Di :レーザ光源からの楕円状のレーザ光束の短軸寸
    法、 f1 :一対のシリンドリカルレンズのうちレーザ光源側
    に位置する一方の焦点距離、 f2 :一対のシリンドリカルレンズの他方の焦点距離。
  5. 【請求項5】 請求項1において、レーザ光源とレーザ
    光束断面形状変換光学系との間には、このレーザ光源か
    ら射出されるレーザ光束を平行光束に変換するコリメー
    トレンズが設けられ、該レーザ光源とコリメートレンズ
    との間隔を変化させることにより、レーザ光束に含まれ
    る非点隔差を補正する基準平面形成用レーザ投光装置。
  6. 【請求項6】 請求項1において、レーザ光源は、可視
    光を射出するレーザダイオードである基準平面形成用レ
    ーザ投光装置。
  7. 【請求項7】 請求項1において、レーザ光束断面形状
    変換光学系は、レーザ光源からのレーザ光束の光軸上に
    配置された一対のアナモフィックプリズムであり、この
    一対のアナモフィックプリズムそれぞれのアッベ数をレ
    ーザ光源側から順にν1 、ν2 とするとき、次の条件式
    (1)を満足する基準平面形成用レーザ投光装置。 (1)ν2 /ν1 >1.8 、ν2 >ν1
  8. 【請求項8】 請求項1において、レーザ光束断面形状
    変換光学系は、レーザ光源からのレーザ光束の光軸上に
    配置された一対のアナモフィックプリズムであり、この
    一対のアナモフィックプリズムはそれぞれ、レーザ光束
    を曲げる方向が互いに逆となるように配置されている基
    準平面形成用レーザ投光装置。
  9. 【請求項9】 請求項1において、レーザ光光路は、互
    いに直交する、レーザ光源が位置する第1の光路と該レ
    ーザ光源からのレーザ光束を反射手段に導く第2の光路
    とを備えている基準平面形成用レーザ投光装置。
  10. 【請求項10】 請求項9において、第1と第2の光路
    の交差部には、レーザ光源からの射出レーザ光束を反射
    手段に向けて偏向させる偏光ビームスプリッタが設けら
    れている基準平面形成用レーザ投光装置。
  11. 【請求項11】 請求項10において、レーザ光束断面
    形状変換光学系は、レーザ光源と偏光ビームスプリッタ
    の間に設けられている基準平面形成用レーザ投光装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015056469A (ja) * 2013-09-11 2015-03-23 昭和オプトロニクス株式会社 外部共振器により波長制御されたダイオードレーザモジュール

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63185517U (ja) * 1987-05-20 1988-11-29
JPH02179412A (ja) * 1988-12-29 1990-07-12 Topcon Corp 測量装置
JPH02253115A (ja) * 1989-03-28 1990-10-11 Topcon Corp レーザーセオドライト
JPH02276395A (ja) * 1989-03-24 1990-11-13 Canon Sales Co Inc 立体画像形成装置
JPH06103605A (ja) * 1992-08-07 1994-04-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd 結像光学系及び光ヘッド装置及び光情報装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63185517U (ja) * 1987-05-20 1988-11-29
JPH02179412A (ja) * 1988-12-29 1990-07-12 Topcon Corp 測量装置
JPH02276395A (ja) * 1989-03-24 1990-11-13 Canon Sales Co Inc 立体画像形成装置
JPH02253115A (ja) * 1989-03-28 1990-10-11 Topcon Corp レーザーセオドライト
JPH06103605A (ja) * 1992-08-07 1994-04-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd 結像光学系及び光ヘッド装置及び光情報装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015056469A (ja) * 2013-09-11 2015-03-23 昭和オプトロニクス株式会社 外部共振器により波長制御されたダイオードレーザモジュール

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