JPH08166430A - 回路パターンの電気的特性を測定する装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 各面に沿って延びる回路ならびに両面に沿っ
て延びる個別の回路を有するフレキシブル基板上で、回
路内の開路状態および隣接する回路間の短絡状態を検出
するための固定治具を提供する。 【構成】 固定治具１８の一方のステーションにおいて
は、フレキシブル回路１０が導電性裏当て板４０，４２
に接して延び、開路状態を検出するための導電率測定
が、裏当て板とは反対側の基板の第１の面上のテスト・
ポイント間を移動する２つのプローブ３２，３８の間、
およびこれらのプローブの一方と導電性裏当て板４０，
４２の間で行われる。後者のタイプの測定は、特に、基
板を貫通して延びるバイアの開路状態を検出するために
使用される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プリント基板のテスト
に関し、より詳細にはフレキシブル基板の両面に沿って
延びる回路の短絡および開路のテストに関する。

【０００２】

【従来の技術】本出願人に譲渡され、その開示が参照に
より本明細書に組み込まれる１９９４年１月３日に出願
の"Open Frame Gantry Probing System"と題する、ジェ
ームズ・エドワード・ボイェット（James Edward Boyet
te）他の同時係属の米国特許出願第１７６８１０号は、
テストするプリント基板のそれぞれの面に沿って２本の
テスト・プローブを移動し、プローブが所望の位置にき
たときにプローブを回路の隣接面と係合させるシステム
を記載している。４本のプローブはそれぞれ、互いに垂
直でプリント回路の隣接面とは平行な２方向（ＸとＹ）
に移動することができる。

【０００３】本出願人に譲渡され、その開示が参照によ
り本明細書に組み込まれる１９９４年３月２９日出願
の"Testing Fixture and Method for Circuit Traces o
n a Flexible Substrate"と題する、ジェームス・エド
ワード・ボイェット他の同時係属の米国特許出願第２１
９６１０号は、フレキシブル基板を横切って延びるいく
つかの開口部と、隣接する開口部間に延びるいくつかの
セグメントとをそれぞれ含む、上板と下板の間で長手方
向に送られる、フレキシブル基板に沿って延びる回路ト
レースをテストするための固定治具および方法を記述し
ている。上板の開口部は下板のセグメントの上を延び、
一方、下板の開口部は上板のセグメントの下を延びる。
フレキシブル基板の一方の面上で２本のテスト・プロー
ブが移動し、開口部を介して基板上の回路トレースと接
触する。フレキシブル基板の、各開口部と対向する側の
セグメントが、検査プロセス中に物理的支持を提供す
る。テスト・ポイント間を延びる回路トレースの電気的
特性を測定するために二探針法が使用でき、回路トレー
スと板の間の容量を測定するために一探針法が使用でき
る。基板上の回路領域は、テスト・プロセスを完全なも
のにするのに必要なように開口部を通して様々なポイン
トを露出させるために、一連の増分式動作で板間を移動
される。

【０００４】プリント回路板に使用されるテスト・プロ
セスには、回路板上の２つのポイントまたはノードにプ
ローブを同時に配置して、回路のこれらの点の間を延び
る部分の抵抗や連続性などの電気的特性を測定する二探
針法と、回路板上の１つのポイントにプローブを配置し
て、回路のこの点から延びる部分と絶縁体材料で回路か
ら分離された導電性表面との間の容量を測定する一探針
法が含まれる。この導電性表面は、多層回路板における
接地面や電圧面などテストする回路板の一部でもよく、
またテスト・プロセス中回路を保持する導電性表面でも
よい。

【０００５】回路板のテストは一般に、電気的「短絡」
または「開路」の有無の検出に関係する。短絡は、分離
するべき隣接する２つの回路が不注意で電気接続される
ときに起こる。開路は、電気的に接続すべき２つのポイ
ントの間を延びる回路線に破断があるときに起こる。短
絡と開路の両方を捜し出すために、二探針法も一探針法
も利用できる。しかし、二探針法は、接続すべき２点に
プローブを同時に当てることにより開路を検出するのに
は適合しているが、この方法を短絡の検出に使用するの
は著しく複雑で時間がかかる。この方法では、第１のプ
ローブは第１のポイントに固定されるが、第２のプロー
ブは、第１のポイントから延びる回路に隣接する点にあ
る回路トレースに接続された他のすべてのテスト・ポイ
ントの間を移動させなければならない。一探針法では、
各テスト・ポイントと導電性表面の間の容量を検査す
る。この容量が所期の最低値を下回る場合は、開路が起
こったらしいと判定される。この容量が所期の最低値を
上回る場合は、短絡が起こったらしいと判定される。こ
のように、一探針法では、短絡を十分に調べるために必
要なテストの回数が、二探針法の場合よりも大幅に減
る。

【０００６】これらの種類の回路テスト・プロセスは、
フレキシブル基板上でも剛性プリント回路板上でも実行
することができる。フレキシブル基板は、最終的には積
層されて剛性多層回路板を構成する個々の層と、様々な
種類のフレキシブル回路を含み、様々な形状に構成でき
る回路を提供し、また操作中に形状を変更できる回路を
提供するために次第に使われるようになっている。これ
らのフレキシブル材料の多くはリールに巻いた形で提供
され、テストされる。通常、テスト・プロセス中はフレ
キシブル材料を支持しなければならない。プローブによ
って回路に加えられる機械的な力に耐えなければならな
いため、材料のプローブを当てる側とは反対側での背面
支持が特に重要である。また、テスト・プロセス中はフ
レキシブル材料を平坦に保ち、あるいは他の方法でプロ
ーブの位置に対してその形状を制御することが望まし
い。さらに、導電面を持たないフレキシブル回路で一探
針法を使用する場合は、裏当て板は回路容量を測定する
ための導電面をもたらさなければならない。

【０００７】多くの回路応用例では、回路トレースはフ
レキシブル材料の両側に設けられる。そのような応用例
では特に、普通なら２工程が必要なテスト・プロセスの
スループットを高め、普通なら２工程に及ぶ操作中に生
じる可能性のある回路への損傷を最小にするために、回
路の両面を同時にテストすることが望ましい。回路板お
よびフレキシブル基板の両面上の回路は、しばしば絶縁
性基板材料を貫通して延びるバイアによって接続され、
したがって、個々の回路線が絶縁材料の各面に沿って部
分的に延びる。

【０００８】剛性回路板またはフレキシブル基板の両面
上の回路を、二探針法または一探針法を使って同時にテ
ストする方法が必要とされている。この方法は、様々な
プローブと係合している間は回路材料に対して物理的支
持を提供し、同時に一探針法によって必要とされるよう
な導電性裏当て層を提供し、かつ様々な回路ポイントと
係合するためにプローブを移動するための隙間を提供し
なければならない。

【０００９】いくつかの米国特許に、テスト用固定治具
によって供給される細長いフレキシブル・ストリップ上
に個別に配置された集積回路チップを支持しテストする
方法が記述されている。このテストでは、ストリップ上
の回路トレースが各回路チップ上の様々な回路パッドに
個別に電気接続される。たとえば、シュリーブ（Shreev
e）他の米国特許第４９８７３６５号明細書は、固定治
具の多数のプローブが圧力板の穴を介してストリップと
接触し、すべてのプローブがストリップと接触した状態
でテストが行われ、その後でプローブがストリップから
外されるように、ストリップを裏当て板に当てて保持す
る圧力板の使用を記述している。ブレグマン（Bregma
n）他の米国特許第５１８９３６３号明細書は、テスト
・プロセス中に片持ち式接触リードのアレイを回路チッ
プの入出力端子と接触させたままでテープがパターン付
けされるテスト・システムを記述している。ホンマ（Ho
nma）他の米国特許第５２３７２６８号明細書は、フィ
ルム状プローブ上の回路トレースで細長いフレキシブル
・ストリップ上の回路を外部回路に接続して、回路チッ
プを支持する細長いフレキシブル・ストリップ上に載せ
たフィルム状プローブの使用を記述している。

【００１０】これらの装置は特に、たとえば１つのリー
ルから別のリールに引き出されてテスト用固定治具に提
示される、細長いフレキシブル・ストリップに沿って延
びる回路を検査するように構成されているが、ストリッ
プの両面上の回路を検査することはできない。米国特許
第４９８７３６５号、５１８９３６３号および５２３７
２６８号明細書に記載された回路チップ試験の応用例で
は、フレキシブル・ストリップの両面に回路トレースを
設ける必要がないような形で、フレキシブル・ストリッ
プ上の回路トレースが回路チップの周囲に延びる回路パ
ッドに電気接続される。さらに、これらの特許に記載さ
れた装置は、検査点の固定アレイを備える細長いフレキ
シブル・ストリップ上の様々なテスト位置と係合するよ
うに構成されている。この手法は、細長いストリップの
回路に接続する類似パターンの入出力接点を備えた回路
チップをテストするには非常に適しているが、よりフレ
キシブルなテスト・システムを構成するためにプローブ
を迅速に移動でき、フレキシブル基板の両面に沿って延
びる回路線を有するフレキシブル回路の様々な応用例を
処理できるよりフレキシブルな手法が必要とされ、フレ
キシブル・ストリップの各面の回路領域の至るところに
延びる様々なポイントで回路の検査を可能にしかつ検査
プロセスを支援するためにフレキシブル・ストリップの
各面の機械的裏当てを提供する方法が依然として必要と
される。

【００１１】スチームズ（Steams）の米国特許第５１３
８２６６号明細書には、回路板の様々なノードと接触し
てこれらのノードを充電または放電させるプローブを利
用する、プリント配線板など用のテスト装置が記載され
ている。導電性材料の基準面がテストする板からわずか
に離れており、電荷移動検出装置または測定装置がこの
基準面に接続される。テスト実施中回路板をＸ−Ｙ位置
決め機構に取り付けて、回路板の各導電性ノードにプロ
ーブを選択的に当てることができる。基準面への容量性
結合によるノードの充電を測定し、プローブ位置と相関
させて回路の完全性の指示を提供する。テスト中の板上
で行われた測定を、ノードのＸ−Ｙ座標の基準データ・
ファイルと比較して、不一致があるかどうか判定し、あ
る場合は、その位置を決定する。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】本願は、各面に沿って
延びる回路ならびに両面に沿って延びる個別の回路を有
するフレキシブル基板上で、回路内の開路状態および隣
接する回路間の短絡状態を検出するための固定治具を提
供する。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明の１態様によれ
ば、フレキシブル基板の両面に沿って延びる回路パター
ンの電気的特性を測定する装置が提供される。装置は、
基板送り機構、第１および第２のステーション、ならび
に電子測定装置を含む。基板送り機構は、装置中で基板
を長手方向に送る。第１のステーション内では、第１の
プローブが基板の第１の面に隣接しそれと接触して移動
可能であり、第１の裏当て板が基板の第１の面とは反対
側の第２の面に隣接して延びる。第２のステーション内
では、第２のプローブが基板の第２の面に隣接しそれと
接触して移動可能であり、第２の裏当て板が基板の第１
の面に隣接して延びる。第１および第２のプローブに電
子装置が接続され、回路特性を測定する。

【００１４】

【実施例】図１は、本発明に従って構築された回路テス
ト用固定治具中をフレキシブル基板を送る送り機構の概
略正面図である。フレキシブル基板１０が、繰出ロール
１２から巻取ロール１４へと回路テスト用固定治具１８
中を矢印１６の方向に引き出される。

【００１５】フレキシブル基板１０に沿って延びる回路
トレース上で様々なテストを実行する際には、基板を何
回も移動し停止して、回路テスト用固定治具１８内で基
板の様々なセクションを露出させなければならない。そ
のような動作を容易にするため、第１のニップ・ロール
・アセンブリ２０および第２のニップ・ロール・アセン
ブリ２１を駆動して、フレキシブル基板１０を矢印１６
の方向に進め、様々なテストの実行での必要に応じて基
板１０の動きを停止する。ニップ・ロール・アセンブリ
２０または２１はそれぞれ、サーボモータ２１ｂによっ
て正確に駆動されるローラ２１ａを有し、もう１つのロ
ーラ２１ｃは、これらのローラ２１ａと２１ｃの間を通
過する際にフレキシブル基板１０上に締付け力を提供す
るアイドル・ローラとして働く。このようにして、フレ
キシブル基板１０は、サーボモータ２１ｂによって提供
される回転に従って最小滑りで移動するように強制され
る。２つのニップ・ロール・アセンブリ２０および２１
は、骨組２１ｄによって回路テスト用固定治具１８に剛
体接続されており、フレキシブル基板１０が回路テスト
用固定治具１８中を移動するときフレキシブル基板１０
の緊張を維持するように操作される。

【００１６】フレキシブル基板１０の残りの部分は、繰
出ロール１２と第１のニップ・ロール・アセンブリ２０
の間および第２のニップ・ロール・アセンブリ２１と巻
取ロール１４の間で制御されたゆるんだ状態に維持され
る。これらの部分はそれぞれ、ゆるみ状態センサ２２を
通って送られ、基板１０が低すぎるときには第１の光電
検出器（図示せず）が第１の指示を出し、基板１０が引
っ張られて緊張状態になったときには第２の光電検出器
（やはり図示せず）が第２の指示を出す。この制御され
たゆるんだ状態は、繰出ロール・サーボモータ２３によ
る繰出ロール１２の回転と、巻取ロール・サーボモータ
２４による巻取ロール１４の回転によって維持される。

【００１７】電子制御装置２５は、サーボモータ２１
ｂ、２３、２４を駆動するために必要な信号を提供す
る。ニップ・ローラ駆動サーボモータ２１ｂのうちの少
なくとも１つは、その出力シャフトの回転でパルスを発
生するエミッタを含む周知のタイプものが好ましく、こ
の例では連結されたローラ２１ａを駆動する。これらの
パルスは電子制御装置２５に戻され、電子制御装置２５
はこれらのパルスを使ってフレキシブル基板１０が移動
した距離を決定する。このようにして、サーボモータ２
１ｂを使って、フレキシブル基板１０を断続的に駆動
し、好ましい位置で停止させると、回路テスト用固定治
具１８内で回路テストが実行できる。また、制御装置２
５はテスト用固定治具１８内の装置に時限信号も提供す
る。

【００１８】フレキシブル基板１０を送る際に望ましい
効果を得るために、多少異なるいくつかの技法が容易に
利用できる。たとえば、サーボモータ２１ａおよび２４
はステップ・モータで置き換えることができ、サーボモ
ータ２３は基板の緊張を維持するための制動装置で置き
換えることができる。ローラ位置合せの手動または自動
による調整を利用して、装置中での基板１０の適切なト
ラッキングを実現できる。フレキシブル基板１０などフ
レキシブル・ウェブを送るための自動化システムの様々
な部品は、米国カンサス州LanexaのPreco Industries,I
ncから入手できる。

【００１９】回路テスト用固定治具１８内では、接点プ
ローブが様々なテストポイント間を迅速に移動すると
き、フレキシブル基板１０の両面の回路トレースに様々
な電気テストが加えられる。まず、図２ないし図５を参
照して、プローブ・チップを保持し移動する装置の一般
的な構造を説明する。次に、図６を参照して、１本のプ
ローブ・チップを移動するために使用されるガントリ構
造物についてより詳細に説明する。図２ないし図５は、
回路テスト用固定治具１８を示し、図２は平面図、図３
ないし図５はそれぞれ図２に示した切断線III-III、IV-
IVおよびV-Vで切断した垂直断面図である。図６は、回
路テスト用固定治具１８の一部を構成する下側ガントリ
構造物２６の等角図である。

【００２０】まず、図２と図３を参照すると、回路テス
ト用固定治具１８は、上側プローブ・チップ３２によっ
てフレキシブル基板１０の上面３０の回路位置を検査す
る左側部分２８と、下側プローブ・チップ３８によって
フレキシブル基板１０の下面３６の回路を検査する右側
部分３４とに分かれる。フレキシブル基板１０は、テス
ト用固定治具１８中を、左側部分２８の下側裏当て板４
０の上、右側部分３４の上側裏当て板４２の下を延び
る。

【００２１】図２ないし図４を参照すると、上側プロー
ブ・チップ３２はそれぞれ、上側キャリッジ４６に取り
付けられた上側プローブ・キャリア４４から下方に延び
る。上側キャリッジ４６はそれぞれ、上側ガントリ構造
物５０内部でフレキシブル基板１０を横切って矢印４８
の方向に駆動される。上側ガントリ構造物５０はそれぞ
れ、ガントリ構造物５０両端の磁石チャネル６０内を移
動するリニア・モータ５８に電流が加えられたとき、上
側ガントリ軸受け５４が上側レール５６に沿って滑るこ
とにより、フレキシブル基板１０に沿って長手方向に、
矢印５２の方向に駆動される。測定プロセスに必要な安
定性を提供するために、上側レール５６および隣接する
磁石チャネル６０は、長手方向に延び切込みのある一対
のグラナイトはり６２にテスト用固定治具１８の前と後
ろで固定される。これらのはり６２は、横に延び切込み
のある一対のグラナイトはり６４と横に延びる方形の一
本のグラナイトはり６６とに固定され、これらのはり６
４と６６は、衝撃吸収取付けパッド７０によって鋼製の
支持構造物６８に固定されている。

【００２２】図２、図３および図５を参照すると、下側
プローブ・チップ３８はそれぞれ、下側キャリッジ７４
に取り付けられた下側プローブ・キャリア７２から上方
に延びる。下側キャリッジ７４はそれぞれ、下側ガント
リ構造物２６内で長手方向にフレキシブル基板１０に沿
って矢印５２の方向に駆動される。下側ガントリ構造物
２６はそれぞれ、ガントリ構造物２６両端の磁石チャネ
ル８２内を移動するリニア・モータ８０に電流が加えら
れたとき、下側ガントリ軸受け７６が下側レール７８に
沿って滑ることにより、フレキシブル基板１０を横切っ
て矢印４８の方向に駆動される。下側レール７８および
隣接する磁石チャネル８２は、横に延び切込みのあるグ
ラナイトはり６４に固定される。

【００２３】図６は、上記で概略的に説明した下側プロ
ーブ・チップ３８を支持し移動する下側ガントリ構造物
２６の等角図である。下側プローブ・チップ３８は、一
対の空気軸受け８６によって下側プローブ・キャリア７
２に取り付けられた下側プローブ・アセンブリ８４に装
着されており、その結果、プローブ・アセンブリ８４
が、隣接する基板１０の表面に向って矢印８８の方向に
動き（図２に示した）、続いて、隣接する基板１０の表
面から離れて矢印８８と反対の方向に動くことができ
る。ボイス・コイルなどの電磁アクチュエータ９０がプ
ローブ・アセンブリ８４をこれらの軸受け８６に沿って
滑らせる。プローブ・キャリア７２は、ガントリ構造物
２６に沿って矢印５２で示した長手方向に滑るように取
り付けられたキャリッジ７４に固定されており、交互に
逆の極性を有する永久磁石９６で裏張りされたチャネル
９４内の溝の中を滑るリニアモータ・コイル９２中で発
生した加速力によって推進される。キャリッジ７４の矢
印５２の方向の動きは、エンコーダ・スケール９８と隣
接して移動するようにキャリッジに取り付けられたエン
コーダ読取りヘッド（図示せず）によって探知され、そ
の結果、必要に応じてキャリッジ７４を移動するために
電流レベルがリニアモータ・コイル９２に加えられる。

【００２４】前述のように、ガントリ構造物２６は、矢
印４８で示す横方向に動くように軸受け７６によって１
対の下側レール７８に取り付けられる。ガントリ構造物
２６の両端のリニアモータ・コイル８０は、電流レベル
がリニアモータ・コイル８０に加えられたときに、交互
に逆の磁極を有する永久磁石１００で裏張りされたチャ
ネル８２内を移動する。ガントリ構造物２６の端部付近
に取り付けられたエンコーダ読取りヘッド１０２は、エ
ンコーダ・スケール１０４と隣接して移動し、矢印４８
の横の方向におけるガントリ構造物２６の動きを探知す
る。

【００２５】このようにして、それぞれ矢印４８、５
２、８８によって示される３つの垂直な方向における各
プローブ・チップ３８の動きが達成される。図１を参照
して説明したように、フレキシブル基板１０の上面３０
には２つのプローブ・チップ３２が当てられ、フレキシ
ブル基板１０の下面３６には２つのプローブ・チップ３
８が当てられる。したがって、テスト用固定治具１８に
は、図２を参照して説明した型の４つのプローブ移動機
構が必要とされる。図２に示したように、２つの下側ガ
ントリ構造物２６は、プローブ３８が上を向いた状態で
フレキシブル基板１０の下を移動するように配置され、
一方他の２つのガントリ構造物５０は、図６に示した位
置と反対になっており、上側プローブ・チップ３２（図
２に示した）が基板１０の方に下方に向いた状態でフレ
キシブル基板１０の上を移動する。ガントリ構造物のさ
らに詳しい説明は、１９９４年１月３日出願の、"Open
Frame Gantry Probing System"と題する、相互参照され
た同時係属の米国特許出願第１７６８１０号明細書に出
ている。

【００２６】図７ないし図１３は、フレキシブル基板１
０に沿って延びることのできる様々な種類の回路トレー
スを示す。第１の回路トレース１１６は基板１０の上面
３０だけに沿って延び、第２の回路トレース１１８は基
板１０の下面３６だけに沿って延び、第３の回路トレー
ス１２０は、上面３０の一部分と下面３６の一部分に沿
って延びる。回路トレース１２０では、バイア１２６に
よって上側セグメント１２２が下側セグメント１２４に
電気的に接続されている。回路テスト用固定治具１８
（図２に示す）内で、２つの上側プローブ・チップ３２
と、２つの下側プローブ・チップ３８と、上側裏当て板
４２および下側裏当て板４０との間に接続されたテスト
回路を使ってこれらの回路トレースに様々なテストが行
われる。

【００２７】図７、図８、図１１および図１３は、下側
プローブ・チップ３８を上側裏当て板４２に保持された
フレキシブル基板１０の下面３６のテスト・ポイントと
接触させるときの、回路テスト用固定治具１８の右側部
分３４（図３に示す）内でのテストの応用例を示す。こ
の裏当て板４２は、導電性金属基部１２７と絶縁体層１
２８を有する。

【００２８】図９、図１０および図１２は、上側プロー
ブ・チップ３２を、下側裏当て板４０に保持されたフレ
キシブル基板１０の上面３０のテスト・ポイントと接触
させるときの、回路テスト用固定治具１８の左側部分２
８（やはり図３に示す）内でのテストの応用例を示す。

【００２９】図７を参照すると、下側プローブ・チップ
３８をこれらのポイントに当てることによって下面３６
にのみ沿って延びる回路トレース１１８に沿って電気的
測定を行い、これらのプローブ・チップ３８間に接続さ
れたテスト回路１２９を使って、テスト・ポイント間に
延びる回路の導電率などの電気特性を決定する。

【００３０】図８を参照すると、プローブ・チップ３８
を移動した後で、回路トレース１２０の下側セグメント
１２４に沿って同様な方法で電気的な測定を行う。

【００３１】図９を参照すると、同様の方法で、上側プ
ローブ・チップ３２をこれらのポイントに当て、これら
のプローブ・チップ３２の間に接続されたテスト回路１
３１を使って上面３０にのみ沿って延びる回路トレース
１１６に沿って測定を行う。

【００３２】図１０を参照すると、１つの上側プローブ
・チップ３２を上側セグメント１２２上のテスト・ポイ
ントに当て、このプローブ３２と導電性の下側裏当て板
４０の間に接続されたテスト回路１３２を使用すること
により、回路トレース１２０の上側セグメント１２２に
沿って測定を行う。この事では電気的に分離されている
残りの上側プローブ３２は、バイア１２６と導電性の下
側裏当て板４０の間に圧力を加えるために使用される。
このテスト方法は、バイア１２６内部ならびに上側セグ
メント１２２内部の連続性などの電気特性をテストする
という大きな利点を提供する。

【００３３】上記で従来技術の装置による一探針法の応
用例の利点を考察したが、図７ないし図１０を参照して
示した考察は、導電率など回路の電気特性を回路トレー
ス上の２つのテスト・ポイント間で測定する二探針法の
使用に基づくものである。図１０に示した方法も、導電
性裏当て板４０がバイア１２６下端のテスト・ポイント
に接続された第２のプローブとして働く二探針法の例で
ある。この二探針法は、回路の開路状態をテストする際
に特に有用である。

【００３４】一方、一探針法では、回路トレース上のテ
スト・ポイントに１本のプローブを当て、このポイント
と導電性表面の間の容量など、そのポイントから導電体
層に関して延びる回路トレースの電気特性を測定する。
導電性表面は、これらの回路トレースと電気的に接触せ
ずに、テスト・ポイントに接続された回路トレースに沿
ってその近くになければならない。この測定では、導電
性表面は、テストするフレキシブル基板の一部を構成す
る内側または外側どちらの導電性表面でもよく、あるい
はテスト固定治具によって提供される導電性表面でもよ
い。本発明によって構成されたテスト用固定治具で簡単
にテストできるタイプのフレキシブル基板は一般にこの
種の導電性表面を含まないので、テスト固定治具がこの
特徴を提供することが望ましい。この方法は、プローブ
を配置した２ポイント間に延びる回路トレース上で導電
率などの電気的測定を行う二探針法とは対照的である。

【００３５】一探針法の重要な利点は、フレキシブル基
板上の隣接する回路間の短絡状態を検出するために迅速
かつ簡単に利用できることである。たとえば、２つの回
路網が不注意に短絡した場合、一方の回路網のテスト・
ポイントから両方の回路網と平行に延びる導電性表面ま
での間で測定された容量は、一般に、短絡がない状態で
このポイントで測定された容量よりもかなり大きくな
る。このタイプのテストは、短絡の可能性を除外できる
まで、隣接するすべての回路網間の導電率をテストしな
ければならない、二探針法を使用する択一的で網羅的な
テストよりもかなり迅速に実施される。

【００３６】図１１ないし図１３は、回路テスト固定治
具１８内での一探針テスト法の応用例を提供する。

【００３７】まず図１１を参照すると、フレキシブル基
板１０の下面３６に沿って全体に延びる回路１１８の電
気特性を、一探針法を使用し、この回路１１８を下側プ
ローブ・チップ３８と接触させ、プローブ３８と上側裏
当て板４２の導電体部分１２７との間に接続されたテス
ト回路１３３を使用することによって測定し、電気的特
性を決定する。この例では、この回路１１８とこの導電
体部分１２７の間の容量を測定する。この測定技法を正
確なものにするためには、上面３０に沿って延びる回路
トレースから導電体部分１２７を分離する絶縁体層が、
たとえば、厚さ０．２５ｍｍ（０．０１０インチ）など
極めて薄いことが好ましい。

【００３８】図１２を参照すると、フレキシブル基板１
０の上面３０に沿って延びる回路トレース１１６に同様
に一探針テストを適用する。テスト回路１３４を、上側
プローブ・チップ３２と導電性の下側裏当て板４０の間
に接続し、これらのエレメント間の容量などの電気特性
を測定する。

【００３９】図１３を参照すると、図１１の方法を使用
して、フレキシブル基板１０の上面３０と下面３６の両
面に沿って延びる回路１２０に一探針法を適用すること
ができる。下側プローブ３８を回路１２０上のテスト・
ポイントに単純に移動し、それにより、テスト回路１３
３によってこの回路１２０と上側裏当て板４２の導電体
部分１２７との間の容量などの電気特性を測定する。

【００４０】フレキシブル基板１０の上面３０と下面３
６の両面に沿って延びる回路トレース１１６および１１
８など他の回路が存在するとき、上面３０と下面３６の
両面に沿って延びるセグメントを有する回路１２０など
の回路の短絡をテストできるようにするためには、裏当
て板の一面に絶縁層１２８があることが必要である。バ
イア１２６を通って延びるそのような回路１２０は、絶
縁層１２８に接して保持した状態で短絡をテストしなけ
ればならない。基板１０が、図の例の下側裏当て板４０
などの導電性裏当て板と接して保持されるときは、裏当
て板に露出したすべての回路トレースおよび回路セグメ
ントが電気的に接続される。この状態では、隣接する回
路間の短絡が、テスト・プロセスによって生じたか、そ
れとも基板１０上の不良状態によって生じたかを判定で
きない。したがって、上側裏当て板４２と下側裏当て板
４０が共にフレキシブル基板１０の導電性表面に露出す
る場合、上側プローブ３２によるテストでも下側プロー
ブ３４によるテストでも回路１２０などバイアを通して
延びる回路の短絡を決定することはできない。

【００４１】一方、図１０に示したテスト・プロセスを
行うためには、裏当て板の一方が、フレキシブル基板１
０に導電性表面を露出しなければならない。この方法
は、しばしば電気的連続性の障害が発生する可能性があ
るバイアを通じて基板１０の一面からテストされる他の
面まで延びる回路の電気的連続性をテストできるので、
特に重要である。

【００４２】したがって、表面まで導電性のある１つの
裏当て板と表面に沿って絶縁層を備えた１つの裏当て板
を使用すると、図７ないし図１３を参照して説明した様
々なテストの実行が可能になる。この構成の上側または
下側どちらかの裏当て板は、他方の裏当て板が表面に導
電性を有するならば、絶縁層を備えることができる。ま
た、個々の回路に適用されるテストで絶縁層を備える裏
当て板または絶縁層なしの裏当て板のどちらかを最初に
使用するように、装置内でのフレキシブル基板の移動方
向を設定できる。

【００４３】テストされる通常の回路は、フレキシブル
基板１０の上面３０に沿って延びるいくつかのセグメン
ト、下面３６に沿って延びるいくつかの他のセグメン
ト、および回路の様々な部分の間を延びるいくつかのバ
イア１２６を含む。このような回路は、図７ないし図１
３を参照して前に述べた様々なテストを、回路の様々な
部分に適用することによってテストされる。

【００４４】再び図２を参照すると、フレキシブル基板
１０は上面３０の繰返しパターン（その範囲を二点鎖線
１３６で示す）内にいくつかの回路１３５を含むことが
好ましく、パターンのサイズは、基板１０を移動せずに
上側プローブ・ポイント３２がアクセスできる大きさに
制限される。このようにして、上面３０と接触するプロ
ーブを使用するすべての回路テストは、基板１０を移動
する前に完了する。同様に、フレキシブル基板１０の下
面にある様々な回路（図示せず）のテストも、基板を移
動する前に完了する。隣接する回路パターン間の距離
は、基板１０の下面の回路パターンが回路テスト用固定
治具１８の右側ステーション３４でテストでき、同時に
基板１０の上面の別の回路パターンが固定治具１８の左
側ステーション２８でテストできるようなものである。
回路をこのように配置するとき、上面と下面のテストす
る回路の間に１つまたは複数の隣接する回路があっても
よい。

【００４５】図２および図３を参照すると、フレキシブ
ル基板１０はまた、それぞれの繰返し回路パターンに対
して固定した位置に参照マーク１３７を備えることが好
ましい。この参照マーク１３７は、回路パターン内の様
々な回路１３５と同じ製造方法を使って形成されるの
で、各回路１３５に対する参照マーク１３７の相対位置
が最大レベルの精度で確立され、このマーク１３７を使
用して上側プローブ３２の動きの測定用座標点を確定す
ることができる。この参照マーク１３７は、関連する上
側プローブ・チップ３２と一緒に矢印４８の横方向およ
び矢印５２の長手方向に移動するように上側キャリッジ
４６の１つに取り付けられた、上側テレビジョン・カメ
ラ１３８によって検知される。

【００４６】具体的には、フレキシブル基板１０が回路
テストを実行するために停止すると、参照マーク１３７
が止まったポイントを見るために、テレビジョン・カメ
ラ１３８が移動する。通常は、回路テストが実行される
前に、様々な回路１３８をテストするため上側プローブ
３２をどの位置まで駆動するかを決定するのに使用され
る座標系が、参照マーク１３７の実際の位置を反映する
ようにリセットされる。したがって、ローラ２１ａを駆
動するサーボモータ２１ｂ（両方とも図１に示した）に
関連するエミッタなど基板１０上に回路１３５を配置す
るために使用される製造方法の精度を維持しないシステ
ムが、それぞれのテスト・プロセスごとにフレキシブル
基板１０を停止させるポイントを決定するのに使用され
るが、基板を駆動し停止させるプロセスにおける不正確
さは、上側テレビジョン・カメラ１３８で行われる測定
によって補正される。長手方向の位置決め誤差が設定限
度よりも大きい場合は、サーボモータ２１ｂによる基板
１０の次の動きに補正が加えられる。このようにして、
回路テスト間で基板１０が移動する距離の誤差が蓄積さ
れなくなる。

【００４７】フレキシブル基板１０の下面３６には、下
面３６に回路トレースを配置するために使用される製造
方法によって第２の参照マーク（図示せず）が形成さ
れ、下側キャリッジ７４の１つに、第２の下側テレビジ
ョン・カメラ１３９が関連する下側プローブ３８と共に
移動するように取り付けられる。回路テストの実行のた
めにフレキシブル基板１０が停止されるとき、この下側
カメラ１３９は上側テレビジョン・カメラ１３８と同じ
ように使用され、下面３６のテスト・ポイント間での下
側プローブ３８の移動のための座標系が決定される。

【００４８】下側裏当て板４０と上側裏当て板４２は、
基板を移動して新しい回路パターンをテストのため露出
することが決定されたとき、それぞれフレキシブル基板
１０から離れることができるように、テスト用固定治具
１８内に取り付けることが好ましい。そのような動きを
提供する機構については、次に、特に図２ないし図５を
参照して検討する。

【００４９】まず図２、図３および図５を参照すると、
上側裏当て板４２が３つの孤立した板１４２によってキ
ャリア板１４０に取り付けられている。この配置は、上
側裏当て板４２を平らな状態に保つ助けとなり、同時に
板４２に矢印１４４の方向での垂直な動きを適用できる
ようにする。キャリア板１４０の両端（前と後）には、
フレーム板１４６が取付け部から縦はり６２まで上方に
延びる。キャリア板１４０は、キャリア板１４０のそれ
ぞれの隅で下方に延びて隣接するフレーム板１４６に取
り付けられた軸受ブロック１５０の中を滑るシャフト１
４８によって、フレーム板１４６の間を垂直方向に滑る
ように取り付けられている。やはり隣接するフレーム板
１４６に固定されたキャリア板１４０のそれぞれの隅に
ある空気シリンダ１５２によって、キャリア板１４０に
垂直方向の動きが付与される。

【００５０】図２ないし図４を参照すると、下側裏当て
板４０は、キャリア板１４０に同じように取り付けら
れ、キャリア板１４０は、シャフト１４８が軸受ブロッ
ク１５０中を滑るとき一対の空気シリンダ１５２によっ
て垂直方向に駆動される。

【００５１】これらの機構を使用して、上側裏当て板４
２と下側裏当て板４０は、反対の方向に動いてフレキシ
ブル基板１０から離れ、基板を移動するときに基板と裏
当て板の間に隙間を提供する。このように、基板は、移
動するときにテスト用固定治具１８内でどの表面上でも
引きずらず、基板の表面の回路トレースまたは他の特徴
的形状を損傷する危険が最小限に抑えられる。基板の移
動が終わると、裏当て板４２および４０は基板の隣接す
る表面に移動して戻り、前述のように回路テストを続け
ることができる。

【００５２】図１４は、上側裏当て板４２の部分垂直断
面図である。導電体層１２７を通って延びる穴１５５と
位置合わせされたいくつかの小さな穴１５４が絶縁層１
２８に設けられ、それにより板４２を通して空気を引き
込むことができる。これらの穴１５４は、直径約０．２
５ｍｍ（０．０１０インチ）とすることが好ましく、こ
の大きさは、穴１５４を横切って延びる基板１０（図３
に示す）の著しい歪みを防ぐのに十分な小ささである。
穴１５５は、裏当て板４２の製作を簡単にするために直
径をそれより多少大きくすることもできる。

【００５３】図１５は、上側裏当て板４２の代替構造の
部分垂直断面図である。絶縁層１２８は多孔性セラミッ
ク材料で構成され、絶縁機能と、空気の流れを層１２８
内の多数の小さな亀裂を介して導電体層１２７の穴１５
５に集める手段とを提供する。

【００５４】再び図３と図５を参照すると、上側裏当て
板４２の上面１６０には真空プリナム１５８が取り付け
られており、空気が小さな穴１５５（図１４と図１５に
示す）を通りさらにこのプリナム１５８に固定されたホ
ース接続部１６２を通って引き出される。このように、
上側板４２を通して真空を加え、テスト・プロセス中に
フレキシブル基板１０のたわみが生じないようにする。
上側裏当て板４２をフレキシブル基板１０から離して基
板の移動を可能にする前に、このプリナム１５８を大気
に開いて、基板を板４２の下側表面に接して保持してい
る真空を解放する。基板１０が移動した後は、プリナム
１５８を通じて真空を再び加える。

【００５５】図１６は、上側表面１６２へと延びるいく
つかの小さな穴１６０を示す任意選択の下側裏当て板４
０の部分垂直断面図である。この部分を作成する工程を
簡単にするために、大きい穴１６４が別のプリナム・チ
ャンバ１６６へと下方に延びる。この形の下側裏当て板
を使って確立できる真空は歪みを防ぐのに必要ではない
が、その真空を使ってフレキシブル基板１０と下側裏当
て板４０の間にエア・クッションまたはバブルを確立し
なくてもよいようにすることができる。

【００５６】本発明は、同時係属出願として上記で相互
参照した、１９９４年１月３日出願の米国特許出願第１
７６８１０号に記載の発明によって提供される利点の、
全てではないがいくつかを提供する。具体的には、この
同時係属出願は、回路カードの上面および下面の回路を
テストするための１つの方形領域を提供する。２つのガ
ントリ構造物が回路カードのそれぞれの面上で移動し、
回路カードの下のガントリ構造物は、回路カードの上の
ガントリ構造物が移動する方向と垂直な方向に移動す
る。したがって、実現される機能を検討すると、ガント
リ・レールをできるだけ簡単な構造で支持するために方
形フレームの４つの面がそれぞれ使用される。この場
合、提供される方形の開放領域は、カードおよび機構へ
のアクセスをもたらす点で有益であり、テスト装置の全
体サイズを最小限に抑える。一方、本発明は、基板の上
面と下面をテストするために、フレキシブル基板１０に
沿って長手方向にずれた別々の領域２８および３４（図
２に示す）を提供する。本発明に従って構築したテスト
装置は、この同時係属出願に従って構築されるテスト装
置の約２倍の大きさであり、上記の本発明の実施例では
フレームに横方向の支持棒６６を追加する必要がある。
しかし、フレキシブル基板１０の上面と下面でテストを
行うために使用される領域２８と３４を分割することに
よって、裏当て板４０および４２が使用できるようにな
り、回路パターン全体の回路を基板の各面でテストする
ときフレキシブル基板１０に頑丈な支持を提供する。こ
の同時係属出願は、柔軟ではなく剛性の回路基板で使用
するために提供された装置なので、そのような支持は提
供しない。

【００５７】上記で相互参照した、１９９４年３月２９
日出願の他の同時係属出願の米国特許出願第２１９６１
０号は、回路検査プロセス中にフレキシブル基板を操作
する別の方法を述べている。基板は、千鳥形のパターン
で横に延びる複数のスロットを有する２枚の板の間を引
っ張られる。各スロットに対向して、板セグメントが、
検査プロセス中にフレキシブル基板を裏当てする機械的
支持体を形成する。本発明と比較してこの同時係属出願
の装置は、フレキシブル基板の上面と下面の回路をテス
トするために同じ全体領域を使用するので、一般により
小さくなるという利点をもつ。一方、この同時係属出願
の装置の欠点は、テスト・プロセスのためにフレキシブ
ル基板を静止させておく間に、テストのために板のスロ
ットに対応するストライプのパターンだけしかアクセス
できず、その結果、回路に必要なすべてのテストを行う
ために基板を何度も移動させる必要があることである。
一方、本発明によれば、基板を移動する前に基板の一方
の面のすべての回路がテストでき、好ましい条件が満た
されるなら、そのうえ基板の他方の面の回路も同時にテ
ストすることができる。

【００５８】本発明を、その好ましい形態または実施例
についてある程度詳しく説明したが、この説明は例とし
て示したものにすぎず、本発明の精神および範囲から逸
脱することなしに、部品の組合せおよび配置を含めて、
構造、製作および使用の細部に多くの変更が行えること
を理解されたい。

【００５９】まとめとして、本発明の構成に関して以下
の事項を開示する。

【００６０】（１）フレキシブル基板の両面に沿って延
びる回路パターンの電気的特性を測定する装置におい
て、前記装置を介して前記基板中を長手方向に送り、か
つ前記基板を好ましい位置に停止させる手段と、その内
部でのみ第１のプローブが前記基板の第１の面に隣接し
それと接触して移動可能であり、前記基板の前記第１の
面とは反対側の前記基板の第２の面に隣接して延びる第
１の裏当て板を含む、前記装置の第１のステーション
と、その内部でのみ第２のプローブが前記基板の第２の
面に隣接しかつそれと接触して移動可能であり、前記第
１のステーションから前記長手方向にオフセット距離だ
け変位し、前記基板の前記第１の面に隣接して延びる第
２の裏当て板を含む、前記装置の第２のステーション
と、前記第１および第２のプローブに接続された、回路
特性を測定するための電子測定装置とを備える装置。 （２）前記第１の裏当て板が、前記基板に隣接する導電
性表面を含む導電体であり、前記第２の裏当て板が、前
記基板に隣接する絶縁シートを含む導電体であり、前記
装置がさらに、前記第１と第２の裏当て板に接続され
た、回路特性を測定するための電子測定装置を備えるこ
とを特徴とする、上記（１）に記載の装置。 （３）前記第１のステーションの内部でのみ前記基板の
前記第１の面に隣接しかつそれと接触して移動可能な第
３のプローブと、前記第２のステーションの内部でのみ
前記基板の前記第２の面に隣接しかつそれと接触して移
動可能な第４のプローブと、前記第３および第４のプロ
ーブに接続された、回路特性を測定するための電子測定
装置とをさらに備える上記（１）に記載の装置。 （４）前記装置がさらに、前記第１および第２の領域の
対辺に沿って平行に離間した位置関係で延びる第１およ
び第２の縦フレーム部材を有するフレームを備え、前記
フレームがさらに、前記第１と第２の縦フレーム部材の
間を前記第１の縦フレーム部材と直角に延びる第１、第
２および第３の横フレーム部材を有し、前記第１の領域
が前記第１と第２の横フレーム部材の間を延び、前記第
２の領域が前記第２と第３の横フレーム部材の間を延
び、前記第１のプローブが、前記第１および第２の縦フ
レーム部材に沿って延びる第１のレール上で滑る、第１
のガントリ・キャリッジに移動可能に取り付けられてお
り、前記第２のプローブが、前記第２および第３の横フ
レーム部材に沿って延びる第２のレール上で滑る、第２
のガントリ・キャリッジに移動可能に取り付けられてい
ることを特徴とする、上記（１）に記載の装置。 （５）前記第１のレール上で滑る第３のガントリ・キャ
リッジに移動可能に取り付けられた第３のプローブと、
前記第２のレール上で滑る第４のガントリ・キャリッジ
に移動可能に取り付けられた第４のプローブと、前記第
３および第４のプローブに接続された、回路特性を測定
するための電子測定装置とをさらに備える上記（４）に
記載の装置。 （６）前記基板が前記長手方向に送られるとき、前記第
１および第２の裏当て板を前記基板から離す手段をさら
に備える、上記（１）に記載の装置。 （７）前記基板の前記第１の面にある第１の参照マーク
を捜し出す手段と、前記第１の参照マークに対して固定
した位置関係にある第１のパターンによって前記第１と
第３のプローブを移動する手段とをさらに備える、上記
（３）に記載の装置。 （８）前記基板の前記第２の面にある第２の参照マーク
を捜し出す手段と、前記第２の参照マークに対して固定
した位置関係にある第２のパターンによって前記第２お
よび第４のプローブを移動する手段とをさらに備える、
上記（７）に記載の装置。 （９）前記第２の裏当て板を通して空気を移動すること
により前記基板を前記第２の裏当て板に接して保持する
真空システムをさらに備える、上記（１）に記載の装
置。 （１０）フレキシブル基板の第１の面およびその反対側
の第２の面に沿って延び、前記基板に沿って長手方向に
繰り返す回路パターン内で延びる回路間の短絡および回
路内の開路状態を検出する装置において、テスト用固定
治具を介して前記基板を移動させ、かつ前記基板を好ま
しい位置で停止させるための基板輸送手段と、その内部
で前記基板の前記第１の面が、前記基板の前記第２の面
が第１の裏当て板に接して延びるとき、第１の方向に露
出され、前記第１の裏当て板が前記基板に隣接する接触
面まで導電性である、前記テスト用固定治具の第１のス
テーションと、その内部で前記基板の前記第２の面が、
前記基板の前記第１の面が第２の裏当て板に沿って延び
るとき、第２の方向に露出され、前記第２の裏当て板が
前記基板に隣接する絶縁シートを含み、前記第１のステ
ーションから前記長手方向にオフセットされた前記テス
ト用固定治具の第２のステーションと、前記第１のステ
ーションの内部でのみ移動可能で、前記基板の前記第１
の面に沿って延びる前記回路上のテスト・ポイント間で
移動可能な第１および第２のプローブと、前記第２のス
テーションの内部でのみ移動可能で、前記基板の前記第
２の面に沿って延びる前記回路上のテスト・ポイント間
で移動可能な第３および第４のプローブと、前記プロー
ブおよび前記裏当て板に接続された、回路特性を測定す
るための電子測定装置とを備える装置。 （１１）前記電子装置が、前記第１と第２のプローブの
間に延び、その間で導電率を測定するための第１のテス
ト回路と、前記第３と第４のプローブの間に延び、その
間で導電率を測定するための第２のテスト回路と、前記
第１のプローブと第１の裏当て板の間に延び、その間で
導電率を測定するための第３のテスト回路と、前記第２
のプローブと第２の裏当て板の間に延び、その間で容量
を測定するための第４のテスト回路とを備えることを特
徴とする、上記（１０）に記載の装置。 （１２）前記基板を停止させたときに前記基板と接触
し、前記基板を移動させたときに前記基板と接触しなく
なるように前記裏当て板を移動する手段をさらに備え
る、上記（１０）に記載の装置。 （１３）空気がその中を移動する、前記基板を前記裏当
て板に接して保持するための真空システムをさらに備え
る、上記（１０）に記載の装置。 （１４）前記基板輸送手段が前記基板を、隣接する前記
回路パターンを前記第１のステーションおよび前記第２
のステーションの内部で順次露出させることができる距
離だけ移動することを特徴とする、上記（１０）に記載
の装置。 （１５）前記基板が停止したときに、前記基板の前記第
１の面にある第１の参照マークの位置を検知する第１の
検知手段と、前記第１の検知手段に応答して前記第１お
よび第２のプローブの動きを変化させる手段とをさらに
備える、上記（１４）に記載の装置。 （１６）前記基板が停止したとき、前記基板の前記第２
の面にある第２の参照マークの位置を検知する第２の検
知手段と、前記第２の検知手段に応答して前記第３およ
び第４のプローブの動きを変化させる手段とをさらに備
える、上記（１５）に記載の装置。 （１７）基板の第１の面に沿って延びる第１の回路セグ
メントと、前記基板の前記第１の面とは反対側の第２の
面に沿って延びる第２の回路セグメントと、前記第１の
セグメントと第２のセグメントを接続するバイアとを含
む回路中で導電率を決定する装置であって、前記第１の
回路セグメントに沿ってテスト・ポイントと接触するよ
うに移動可能な第１および第２のプローブと、前記基板
の前記第２の面に沿って延びる第１の裏当て板とを有す
る第１のステーションと、前記第２の回路セグメントに
沿ってテスト・ポイントと接触するように移動可能な第
３のプローブと、前記基板の前記第１の面に沿って延
び、前記基板に隣接する面まで導電性である第２の裏当
て板とを有し、前記第１のステーションから前記基板に
沿って長手方向に変位された第２のステーションと、前
記回路が前記第１のステーションと前記第２のステーシ
ョンの間で移動するように前記基板を移動させる手段
と、前記第１と第２のプローブの間で導電率を測定する
ための第１の測定手段と、前記第３のプローブと前記第
２の裏当て板のの間で導電率を測定するための第２の測
定手段とを備える装置。 （１８）前記第１および第２のプローブが前記第１のス
テーションの内部でのみ移動可能であり、前記第３のプ
ローブが前記第２のステーションの内部でのみ移動可能
であり、前記第２のステーションがさらに、前記基板の
前記第２の面と接触するように前記第２のステーション
の内部でのみ移動可能な第４のプローブを有し、前記装
置がさらに、前記第３のプローブと前記第４のプローブ
の間の導電率を測定するための第３の測定手段を備える
ことを特徴とする、上記（１７）に記載の装置。 （１９）前記第１の裏当て板が、導電性部分と前記基板
に隣接する絶縁層とを有し、前記装置がさらに、前記第
１のプローブと前記第１の裏当て板の前記導電性部分と
の間の容量を測定するための第４の測定手段を備えるこ
とを特徴とする、上記（１８）に記載の装置。 （２０）空気がその中を移動する、前記基板を前記裏当
て板に接して保持する真空システムをさらに備える、上
記（１７）に記載の装置。

【００６１】

【発明の効果】本発明により、各面に沿って延びる回路
ならびに両面に沿って延びる個別の回路を有するフレキ
シブル基板上で、回路内の開路状態および隣接する回路
間の短絡状態を検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】回路テスト用固定治具中をフレキシブル基板を
送る送り機構の概略前面図である。

【図２】図１の回路テスト用固定治具の平面図である。

【図３】図２の切断線III-IIIで示すように切断した、
図２の回路テスト用固定治具の垂直断面図である。

【図４】図２の切断線IV-IVで示すように切断した、図
２の回路テスト用固定治具の垂直断面図である。

【図５】図２の切断線V-Vで示すように切断した、図２
の回路テスト用固定治具の垂直断面図である。

【図６】図２の回路テスト用固定治具内にあるフレキシ
ブル基板の部分の下にテスト・プローブを移動するため
に使用されるガントリ構造物の上から見た等角図であ
る。

【図７】フレキシブル基板の下面に沿って全体に延びる
回路に当てた二探針テストを示す、図２のテスト用固定
治具の部分概略垂直断面図である。

【図８】フレキシブル基板の上面に沿って延びる回路の
一区間に当てた二探針テストを示す、図２のテスト用固
定治具の部分概略垂直断面図である。

【図９】フレキシブル基板の上面に沿って全体に延びる
回路に当てた二探針テストを示す、図２のテスト用固定
治具の部分概略垂直断面図である。

【図１０】フレキシブル基板の上面に沿ってかつフレキ
シブル基板内のバイアを通って延びる回路に当てた二探
針テストを示す、図２のテスト用固定治具の部分概略垂
直断面図である。

【図１１】フレキシブル基板の下面に沿って延びる回路
に当てた一探針テストを示す、図２のテスト用固定治具
の部分概略垂直断面図である。

【図１２】フレキシブル基板の上面に沿って延びる回路
に当てた一探針テストを示す、図２のテスト用固定治具
の部分概略垂直断面図である。

【図１３】フレキシブル基板の上面と下面の両方に沿っ
て延びる回路に当てた一探針テストを示す、図２のテス
ト用固定治具の部分概略垂直断面図である。

【図１４】上側裏当て板の下に部分真空を形成するため
に使用される穴を示す、図２のテスト用固定治具におけ
る上側裏当て板の部分垂直断面図である。

【図１５】上側裏当て板の下に部分真空を形成するため
に使用される多孔質セラミック絶縁層を示す、図１４の
上側裏当て板の代替形の部分垂直断面図である。

【図１６】下側裏当て板の上に部分真空を形成するため
に使用される穴を示す、図２の回路テスト用固定治具に
おける下側裏当て板の部分垂直断面図である。

【符号の説明】

１０ フレキシブル基板 １２ 繰出ロール １４ 巻取ロール １８ 固定治具 ２０ ニップ・ロール・アセンブリ ２１ ニップ・ロール・アセンブリ ２２ センサ ２３ サーボモータ ２４ 巻取ロール・サーボモータ ２５ 電子制御装置 ２６ 下側ガントリ構造物 ２８ 左側部分 ３０ 上面 ３２ 上側プローブ・チップ ３４ 右側部分 ３６ 下面 ３８ 下側プロープ・チップ ４０ 下側裏当て板 ４２ 上側裏当て板 ４４ 上側プローブ・キャリア ４６ 上側キャリッジ ５０ 上側ガントリ構造物 ５４ 上側ガントリ軸受け ５６ 上側レール ５８ リニア・モータ ６０ 磁石チャネル ６２ はり ６４ はり ６８ 鋼鉄製支持構造物 ７０ 衝撃吸収取付けパッド

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 クリストファー・マッコーマク・フレック アメリカ合衆国33433 フロリダ州ボカ・ ラトン エストレラ・コート 7354 (72)発明者 ジェームズ・クリストファー・マールバッ ハー アメリカ合衆国33467 フロリダ州レー ク・ワース ブライアクリフ・サークル 7644 (72)発明者 マイケル・セルベディオ アメリカ合衆国33428 フロリダ州ボカ・ ラトン リトル・ベア・レーン 21682

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】フレキシブル基板の両面に沿って延びる回
   路パターンの電気的特性を測定する装置において、 前記装置を介して前記基板中を長手方向に送り、かつ前
   記基板を好ましい位置に停止させる手段と、 その内部でのみ第１のプローブが前記基板の第１の面に
   隣接しそれと接触して移動可能であり、前記基板の前記
   第１の面とは反対側の前記基板の第２の面に隣接して延
   びる第１の裏当て板を含む、前記装置の第１のステーシ
   ョンと、 その内部でのみ第２のプローブが前記基板の第２の面に
   隣接しかつそれと接触して移動可能であり、前記第１の
   ステーションから前記長手方向にオフセット距離だけ変
   位し、前記基板の前記第１の面に隣接して延びる第２の
   裏当て板を含む、前記装置の第２のステーションと、 前記第１および第２のプローブに接続された、回路特性
   を測定するための電子測定装置とを備える装置。
2. 【請求項２】前記第１の裏当て板が、前記基板に隣接す
   る導電性表面を含む導電体であり、 前記第２の裏当て板が、前記基板に隣接する絶縁シート
   を含む導電体であり、 前記装置がさらに、前記第１と第２の裏当て板に接続さ
   れた、回路特性を測定するための電子測定装置を備える
   ことを特徴とする、請求項１に記載の装置。
3. 【請求項３】フレキシブル基板の第１の面およびその反
   対側の第２の面に沿って延び、前記基板に沿って長手方
   向に繰り返す回路パターン内で延びる回路間の短絡およ
   び回路内の開路状態を検出する装置において、 テスト用固定治具を介して前記基板を移動させ、かつ前
   記基板を好ましい位置で停止させるための基板輸送手段
   と、 その内部で前記基板の前記第１の面が、前記基板の前記
   第２の面が第１の裏当て板に接して延びるとき、第１の
   方向に露出され、前記第１の裏当て板が前記基板に隣接
   する接触面まで導電性である、前記テスト用固定治具の
   第１のステーションと、 その内部で前記基板の前記第２の面が、前記基板の前記
   第１の面が第２の裏当て板に沿って延びるとき、第２の
   方向に露出され、前記第２の裏当て板が前記基板に隣接
   する絶縁シートを含み、前記第１のステーションから前
   記長手方向にオフセットされた前記テスト用固定治具の
   第２のステーションと、 前記第１のステーションの内部でのみ移動可能で、前記
   基板の前記第１の面に沿って延びる前記回路上のテスト
   ・ポイント間で移動可能な第１および第２のプローブ
   と、 前記第２のステーションの内部でのみ移動可能で、前記
   基板の前記第２の面に沿って延びる前記回路上のテスト
   ・ポイント間で移動可能な第３および第４のプローブ
   と、 前記プローブおよび前記裏当て板に接続された、回路特
   性を測定するための電子測定装置とを備える装置。
4. 【請求項４】前記電子装置が、 前記第１と第２のプローブの間に延び、その間で導電率
   を測定するための第１のテスト回路と、 前記第３と第４のプローブの間に延び、その間で導電率
   を測定するための第２のテスト回路と、 前記第１のプローブと第１の裏当て板の間に延び、その
   間で導電率を測定するための第３のテスト回路と、 前記第２のプローブと第２の裏当て板の間に延び、その
   間で容量を測定するための第４のテスト回路とを備える
   ことを特徴とする、請求項３に記載の装置。
5. 【請求項５】基板の第１の面に沿って延びる第１の回路
   セグメントと、前記基板の前記第１の面とは反対側の第
   ２の面に沿って延びる第２の回路セグメントと、前記第
   １のセグメントと第２のセグメントを接続するバイアと
   を含む回路中で導電率を決定する装置であって、 前記第１の回路セグメントに沿ってテスト・ポイントと
   接触するように移動可能な第１および第２のプローブ
   と、前記基板の前記第２の面に沿って延びる第１の裏当
   て板とを有する第１のステーションと、 前記第２の回路セグメントに沿ってテスト・ポイントと
   接触するように移動可能な第３のプローブと、前記基板
   の前記第１の面に沿って延び、前記基板に隣接する面ま
   で導電性である第２の裏当て板とを有し、前記第１のス
   テーションから前記基板に沿って長手方向に変位された
   第２のステーションと、 前記回路が前記第１のステーションと前記第２のステー
   ションの間で移動するように前記基板を移動させる手段
   と、 前記第１と第２のプローブの間で導電率を測定するため
   の第１の測定手段と、 前記第３のプローブと前記第２の裏当て板のの間で導電
   率を測定するための第２の測定手段とを備える装置。
6. 【請求項６】前記第１および第２のプローブが前記第１
   のステーションの内部でのみ移動可能であり、 前記第３のプローブが前記第２のステーションの内部で
   のみ移動可能であり、 前記第２のステーションがさらに、前記基板の前記第２
   の面と接触するように前記第２のステーションの内部で
   のみ移動可能な第４のプローブを有し、 前記装置がさらに、前記第３のプローブと前記第４のプ
   ローブの間の導電率を測定するための第３の測定手段を
   備えることを特徴とする、請求項５に記載の装置。