JPH0817054A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPH0817054A JPH0817054A JP14682594A JP14682594A JPH0817054A JP H0817054 A JPH0817054 A JP H0817054A JP 14682594 A JP14682594 A JP 14682594A JP 14682594 A JP14682594 A JP 14682594A JP H0817054 A JPH0817054 A JP H0817054A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- magnetic recording
- magnetic
- polishing tape
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気記録媒体表面の異常な突起を除去できる
技術を提供することである。 【構成】 カーボン製の基板上に磁性層が設けられてな
る磁気記録媒体の製造方法であって、磁性層が設けられ
た磁気記録媒体と研磨テープとを０．１〜５ｋｇ／ｃｍ
2 の力で当接させ、相対速度１０〜２００ｍ／ｍｉｎに
て磁気記録媒体および／または研磨テープを走行させる
磁気記録媒体の製造方法。
技術を提供することである。 【構成】 カーボン製の基板上に磁性層が設けられてな
る磁気記録媒体の製造方法であって、磁性層が設けられ
た磁気記録媒体と研磨テープとを０．１〜５ｋｇ／ｃｍ
2 の力で当接させ、相対速度１０〜２００ｍ／ｍｉｎに
て磁気記録媒体および／または研磨テープを走行させる
磁気記録媒体の製造方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体の製造方
法に関するものである。
法に関するものである。
【０００２】
【発明の背景】磁気ディスクシステムにおいて、再生出
力を考慮した場合、磁気記録媒体と磁気ヘッドとの間隔
（浮上量）が小さい、すなわちスペーシングロスは少な
い方が有利である。言い換えると、磁気ディスク表面は
平滑であることが望ましい。この為、磁気ディスクの表
面は、保護層形成後、あるいは潤滑剤を塗布した後、研
磨テープにより仕上げることが行われている。
力を考慮した場合、磁気記録媒体と磁気ヘッドとの間隔
（浮上量）が小さい、すなわちスペーシングロスは少な
い方が有利である。言い換えると、磁気ディスク表面は
平滑であることが望ましい。この為、磁気ディスクの表
面は、保護層形成後、あるいは潤滑剤を塗布した後、研
磨テープにより仕上げることが行われている。
【０００３】例えば、磁気ディスク媒体の製造工程にお
いて、該磁気ディスク媒体表面を研磨テープを用いて加
工した後、表面に介在する微小突起のみを有効に除去す
る為に、研磨テープを用い、媒体の周速２５０ｍ／ｍｉ
ｎ以上、テープ加工圧力を５０ｇ／ｍｍ2 以下とした磁
気ディスク媒体の製造方法が提案（特開昭５９−１４８
１３４号公報、特公平２−１０４８６号公報）されてい
る。
いて、該磁気ディスク媒体表面を研磨テープを用いて加
工した後、表面に介在する微小突起のみを有効に除去す
る為に、研磨テープを用い、媒体の周速２５０ｍ／ｍｉ
ｎ以上、テープ加工圧力を５０ｇ／ｍｍ2 以下とした磁
気ディスク媒体の製造方法が提案（特開昭５９−１４８
１３４号公報、特公平２−１０４８６号公報）されてい
る。
【０００４】ところで、近年、磁気ディスクの基板材料
として、Ａｌ合金やガラスの代わりにカーボン、特にガ
ラス状カーボンが提案（特公昭６３−４６００４号公
報、神戸製鋼技報、Ｖｏ１３９，Ｎｏ４，ｐｐ３５〜３
８，１９８９）されている。すなわち、この基板は、軽
量性、平滑性、耐熱性、導電性などの優れた特長を有す
ることから、高密度記録に対応できる基板として注目さ
れている。
として、Ａｌ合金やガラスの代わりにカーボン、特にガ
ラス状カーボンが提案（特公昭６３−４６００４号公
報、神戸製鋼技報、Ｖｏ１３９，Ｎｏ４，ｐｐ３５〜３
８，１９８９）されている。すなわち、この基板は、軽
量性、平滑性、耐熱性、導電性などの優れた特長を有す
ることから、高密度記録に対応できる基板として注目さ
れている。
【０００５】しかしながら、このようなカーボン基板製
の磁気ディスクに特開昭５９−１４８１３４号公報提案
の技術を適用すると、微小突起の除去が有効になされて
いなかった。
の磁気ディスクに特開昭５９−１４８１３４号公報提案
の技術を適用すると、微小突起の除去が有効になされて
いなかった。
【０００６】
【発明の開示】本発明の目的は、磁気記録媒体表面の異
常な突起を除去できる技術を提供することである。この
本発明の目的は、カーボン製の基板上に磁性層が設けら
れてなる磁気記録媒体の製造方法であって、磁性層が設
けられた磁気記録媒体と研磨テープとを０．１〜５ｋｇ
／ｃｍ2 の力で当接させ、相対速度１０〜２００ｍ／ｍ
ｉｎにて磁気記録媒体および／または研磨テープを走行
させることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法によっ
て達成される。
常な突起を除去できる技術を提供することである。この
本発明の目的は、カーボン製の基板上に磁性層が設けら
れてなる磁気記録媒体の製造方法であって、磁性層が設
けられた磁気記録媒体と研磨テープとを０．１〜５ｋｇ
／ｃｍ2 の力で当接させ、相対速度１０〜２００ｍ／ｍ
ｉｎにて磁気記録媒体および／または研磨テープを走行
させることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法によっ
て達成される。
【０００７】尚、上記本発明における表面に研磨テープ
を０．１〜５ｋｇ／ｃｍ2 の力で当接させ、相対速度１
０〜２００ｍ／ｍｉｎにて磁気記録媒体および／または
研磨テープを走行させ、表面に存在する異常突起を除去
する工程の前に、磁気記録媒体は既にその基本が構成さ
れている。例えば、カーボン製の基板上に蒸着やスパッ
タ手段のような乾式めっき手段により磁性層を設ける工
程、磁性層上に蒸着やスパッタ手段のような乾式めっき
手段、あるいはディッピングやスピンコート法により保
護層を設ける工程などを経て、磁気記録媒体が構成され
ており、このような磁気記録媒体に対して表面に存在す
る異常突起を除去する作業が施される。又、磁性層が設
けられる前にカーボン製の基板上に蒸着やスパッタ手段
のような乾式めっき手段により下地層を設ける工程など
も経て磁気記録媒体が製造される。
を０．１〜５ｋｇ／ｃｍ2 の力で当接させ、相対速度１
０〜２００ｍ／ｍｉｎにて磁気記録媒体および／または
研磨テープを走行させ、表面に存在する異常突起を除去
する工程の前に、磁気記録媒体は既にその基本が構成さ
れている。例えば、カーボン製の基板上に蒸着やスパッ
タ手段のような乾式めっき手段により磁性層を設ける工
程、磁性層上に蒸着やスパッタ手段のような乾式めっき
手段、あるいはディッピングやスピンコート法により保
護層を設ける工程などを経て、磁気記録媒体が構成され
ており、このような磁気記録媒体に対して表面に存在す
る異常突起を除去する作業が施される。又、磁性層が設
けられる前にカーボン製の基板上に蒸着やスパッタ手段
のような乾式めっき手段により下地層を設ける工程など
も経て磁気記録媒体が製造される。
【０００８】尚、成膜には乾式めっき手段を採用するこ
とが好ましい。すなわち、乾式めっき手段は湿式めっき
手段に比べて高品質な磁性膜が得られ易い。又、磁性膜
の組成変更も容易であり、磁性膜の設計変更も容易とな
る。磁気記録媒体の表面には、通常、潤滑剤が塗布され
る。この潤滑剤は、通常、潤滑剤溶液を塗布することに
よって設けられるものに過ぎず、潤滑剤を設ける前後の
段階で表面プロフィール（突起）が変化するものではな
いから、潤滑剤を設ける前に異常突起を除去する作業が
施される。尚、潤滑剤を塗布した後、異常突起を除去す
る作業を施しても良いが、この作業によって潤滑剤が拭
き取られてしまうことを鑑みたならば、再度、潤滑剤を
塗布せざるを得ない。従って、通常は、潤滑剤を設ける
前に異常突起を除去する作業が施される。
とが好ましい。すなわち、乾式めっき手段は湿式めっき
手段に比べて高品質な磁性膜が得られ易い。又、磁性膜
の組成変更も容易であり、磁性膜の設計変更も容易とな
る。磁気記録媒体の表面には、通常、潤滑剤が塗布され
る。この潤滑剤は、通常、潤滑剤溶液を塗布することに
よって設けられるものに過ぎず、潤滑剤を設ける前後の
段階で表面プロフィール（突起）が変化するものではな
いから、潤滑剤を設ける前に異常突起を除去する作業が
施される。尚、潤滑剤を塗布した後、異常突起を除去す
る作業を施しても良いが、この作業によって潤滑剤が拭
き取られてしまうことを鑑みたならば、再度、潤滑剤を
塗布せざるを得ない。従って、通常は、潤滑剤を設ける
前に異常突起を除去する作業が施される。
【０００９】そして、上記のような工程を経ることによ
り、磁気記録媒体表面に残されていた異常突起が除去さ
れる。これにより、磁気ヘッドの浮上量を小さいものと
出来、スペーシングロスが少なくなるから、再生出力の
面で好ましいものとなる。本発明においては、基板上の
磁性層などの構成はこれまでの技術がそのまま用いられ
る。すなわち、基板上に設けられる下地層（下地膜）、
磁性層（磁性膜）、保護層（保護膜）、潤滑層（潤滑
膜）などの構成については、従来の技術をそのまま利用
できる。例えば、特開平５−１８９５２号公報、特開平
５−１３７８２２号公報、特開平５−２１１７６９号公
報、特開平５−２８９４９６号公報などに記載の技術を
利用できる。
り、磁気記録媒体表面に残されていた異常突起が除去さ
れる。これにより、磁気ヘッドの浮上量を小さいものと
出来、スペーシングロスが少なくなるから、再生出力の
面で好ましいものとなる。本発明においては、基板上の
磁性層などの構成はこれまでの技術がそのまま用いられ
る。すなわち、基板上に設けられる下地層（下地膜）、
磁性層（磁性膜）、保護層（保護膜）、潤滑層（潤滑
膜）などの構成については、従来の技術をそのまま利用
できる。例えば、特開平５−１８９５２号公報、特開平
５−１３７８２２号公報、特開平５−２１１７６９号公
報、特開平５−２８９４９６号公報などに記載の技術を
利用できる。
【００１０】本発明の磁気記録媒体は、その基板がカー
ボン製のものである。すなわち、カーボン製基板以外の
磁気記録媒体に本発明を適用しても、異常突起を除去す
ることが出来ない。この本発明の磁気記録媒体は、その
基板がカーボン、特に好ましくはガラス状カーボンを用
いて構成される。このようなカーボン材料は、Ａｌ合金
製基板に比べて弾性に富み、又、線膨張係数が１／７、
熱伝導率が１／２５と言った特性を有している。そし
て、突起部の被研削性に大きな相違が有ることから、Ａ
ｌ合金製基板を用いた磁気記録媒体とは異なる結果を呈
したものと推察される。
ボン製のものである。すなわち、カーボン製基板以外の
磁気記録媒体に本発明を適用しても、異常突起を除去す
ることが出来ない。この本発明の磁気記録媒体は、その
基板がカーボン、特に好ましくはガラス状カーボンを用
いて構成される。このようなカーボン材料は、Ａｌ合金
製基板に比べて弾性に富み、又、線膨張係数が１／７、
熱伝導率が１／２５と言った特性を有している。そし
て、突起部の被研削性に大きな相違が有ることから、Ａ
ｌ合金製基板を用いた磁気記録媒体とは異なる結果を呈
したものと推察される。
【００１１】このようなカーボン材料は、 熱硬化性
樹脂を炭素化して得られるカーボン材料、 共重合や
共縮合などにより熱硬化するよう変性された樹脂を炭素
化して得られるカーボン材料、 硬化あるいは炭素化
の過程で化学処理によって結晶化を著しく妨げることに
より得られるカーボン材料等がある。そして、このよう
なカーボン製の基板は、成膜に前もって、所定のテクス
チャー処理が行われる。例えば、テープ研磨、電解研磨
と言った手段によりテクスチャー処理が行われる。そし
て、Ｒａが約１０〜３００Å、Ｒｐ／Ｒａ（Ｒａ＝中心
線平均粗さ、Ｒｐ＝中心線高さ）が約２〜１５の特徴を
有する基板が得られる。
樹脂を炭素化して得られるカーボン材料、 共重合や
共縮合などにより熱硬化するよう変性された樹脂を炭素
化して得られるカーボン材料、 硬化あるいは炭素化
の過程で化学処理によって結晶化を著しく妨げることに
より得られるカーボン材料等がある。そして、このよう
なカーボン製の基板は、成膜に前もって、所定のテクス
チャー処理が行われる。例えば、テープ研磨、電解研磨
と言った手段によりテクスチャー処理が行われる。そし
て、Ｒａが約１０〜３００Å、Ｒｐ／Ｒａ（Ｒａ＝中心
線平均粗さ、Ｒｐ＝中心線高さ）が約２〜１５の特徴を
有する基板が得られる。
【００１２】この基板に対して、下地膜、磁性膜、保護
膜などが設けられた後、本発明の異常突起を除去する作
業がなされる。この時、研磨テープが使用される。本発
明で用いられる研磨テープとしては、Ａｌ2 Ｏ3 ，Ｓｉ
Ｃ，ＺｒＯ2 ，ダイヤモンド、酸化セリウム、ＳｉＯ2
等の粒径０．１〜１０μｍ（好ましくは０．２〜２μ
ｍ）の砥粒が有機バインダにより可撓性の支持体（ベー
スフィルム）上に設けられたものが用いられる。
膜などが設けられた後、本発明の異常突起を除去する作
業がなされる。この時、研磨テープが使用される。本発
明で用いられる研磨テープとしては、Ａｌ2 Ｏ3 ，Ｓｉ
Ｃ，ＺｒＯ2 ，ダイヤモンド、酸化セリウム、ＳｉＯ2
等の粒径０．１〜１０μｍ（好ましくは０．２〜２μ
ｍ）の砥粒が有機バインダにより可撓性の支持体（ベー
スフィルム）上に設けられたものが用いられる。
【００１３】そして、このような研磨テープを磁気記録
媒体の表面に０．１〜５ｋｇ／ｃｍ 2 （好ましくは０．
５〜２ｋｇ／ｃｍ2 ）の力で圧接させ、最外周での相対
速度（最も速い位置での相対速度）が１０〜２００ｍ／
ｍｉｎ（好ましくは３０〜１００ｍ／ｍｉｎ）にて摺動
することにより、異常突起が除去される。尚、圧力が
０．１ｋｇ／ｃｍ2 未満では異常突起の除去性が良くな
く、逆に５ｋｇ／ｃｍ2 を越えると加工傷が入り易くな
り、エラーの原因となる。そして、相対速度が１０ｍ／
ｍｉｎ未満では生産性が低く、２００ｍ／ｍｉｎを越え
るとバラツキが多くなり、表面全体の異常突起を均一に
除去でき難い。
媒体の表面に０．１〜５ｋｇ／ｃｍ 2 （好ましくは０．
５〜２ｋｇ／ｃｍ2 ）の力で圧接させ、最外周での相対
速度（最も速い位置での相対速度）が１０〜２００ｍ／
ｍｉｎ（好ましくは３０〜１００ｍ／ｍｉｎ）にて摺動
することにより、異常突起が除去される。尚、圧力が
０．１ｋｇ／ｃｍ2 未満では異常突起の除去性が良くな
く、逆に５ｋｇ／ｃｍ2 を越えると加工傷が入り易くな
り、エラーの原因となる。そして、相対速度が１０ｍ／
ｍｉｎ未満では生産性が低く、２００ｍ／ｍｉｎを越え
るとバラツキが多くなり、表面全体の異常突起を均一に
除去でき難い。
【００１４】以下、具体的な実施例により本発明を説明
する。
する。
【００１５】
【実施例】テクスチャー処理が行われ、Ｒａが約２１±
１．７Å、Ｒｐが約２８５±８６Å、板厚０．６３５ｍ
ｍで１．８インチ径のガラス状カーボン製基板を用意し
た。尚、このガラス状カーボンの物理的特性は次の通り
である。密度１．８ｇ／ｃｍ3 、ヤング率３５ＧＰａ、
熱伝導率３．５〜３．８Ｗ／ｍ・℃、線膨張係数３．５
×１０-6／℃。
１．７Å、Ｒｐが約２８５±８６Å、板厚０．６３５ｍ
ｍで１．８インチ径のガラス状カーボン製基板を用意し
た。尚、このガラス状カーボンの物理的特性は次の通り
である。密度１．８ｇ／ｃｍ3 、ヤング率３５ＧＰａ、
熱伝導率３．５〜３．８Ｗ／ｍ・℃、線膨張係数３．５
×１０-6／℃。
【００１６】このガラス状カーボン製基板に対して、Ａ
ｒガス圧２ｍＴｏｒｒ、基板温度２００℃の条件下でＤ
Ｃマグネトロンスパッタ装置を用いて、下地Ｃｒ膜を５
０ｎｍ厚さ設け、その後Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ磁性膜を５０
ｎｍ厚さ設けた。そして、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ磁性膜上に
カーボン保護膜を１５ｎｍ成膜した。上記のようにして
得られた磁気ディスクに対して、バーニッシャー装置
（日立ＤＥＣＯ ＳＢ３２５１−０５）を用い、又、研
磨テープ（マイポックス社製のＷＡ１００００ ＳＦＯ
Ｙ−Ｂ，ＷＡ８０００ ＳＦＯＹ−Ｂ）を用い、表−１
に示す条件下で作業したので、その結果も併せて記載す
る。
ｒガス圧２ｍＴｏｒｒ、基板温度２００℃の条件下でＤ
Ｃマグネトロンスパッタ装置を用いて、下地Ｃｒ膜を５
０ｎｍ厚さ設け、その後Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ磁性膜を５０
ｎｍ厚さ設けた。そして、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ磁性膜上に
カーボン保護膜を１５ｎｍ成膜した。上記のようにして
得られた磁気ディスクに対して、バーニッシャー装置
（日立ＤＥＣＯ ＳＢ３２５１−０５）を用い、又、研
磨テープ（マイポックス社製のＷＡ１００００ ＳＦＯ
Ｙ−Ｂ，ＷＡ８０００ ＳＦＯＹ−Ｂ）を用い、表−１
に示す条件下で作業したので、その結果も併せて記載す
る。
【００１７】 表−１ 相対速度 加工圧 作業後の表面粗さ グライトハ エラー (m/min) (kg/cm2) Ra(Å) Rp(Å) イトテスト 特性 実施例１ 25 0.5 20±1.6 210±20 ○ ○ 実施例２ 50 0.75 20±1.8 220±20 ○ ○ 実施例３ 100 2.0 20±1.5 225±22 ○ ○ 実施例４ 150 4.0 18±1.6 231±36 ○ ○ 実施例５ 50 0.5 19±1.8 180±18 ○ ○ 実施例６ 70 0.75 21±1.6 195±22 ○ ○ 実施例７ 150 1.0 21±2.2 220±27 ○ ○ 比較例１ 50 10.0 18±1.6 160±18 ○ × 比較例２ 300 0.5 21±2.5 275±80 × ○ ＊実施例１〜実施例４及び比較例１，２はWA 10000SFOY
-Bの研磨テープ使用＊実施例５〜実施例７はWA 8000 SF
OY-Bの研磨テープ使用 ＊相対速度は、回転する磁気ディスク（最外位置）と走
行する研磨テープとの間の摺接部における相対速度 ＊加工圧は、研磨テープを磁気ディスクに押し付けた圧
力（トータル圧力をフットプリント面積（媒体を静止さ
せ、テープのみ走行させ、傷ついた面積）で割って求め
た。） ＊加工前における磁気ディスク表面のＲａは21±1.7
Å、Ｒｐは285 ±86Å ＊加工時間は磁気ディスク総回転数が５０回転となるよ
う設定。
-Bの研磨テープ使用＊実施例５〜実施例７はWA 8000 SF
OY-Bの研磨テープ使用 ＊相対速度は、回転する磁気ディスク（最外位置）と走
行する研磨テープとの間の摺接部における相対速度 ＊加工圧は、研磨テープを磁気ディスクに押し付けた圧
力（トータル圧力をフットプリント面積（媒体を静止さ
せ、テープのみ走行させ、傷ついた面積）で割って求め
た。） ＊加工前における磁気ディスク表面のＲａは21±1.7
Å、Ｒｐは285 ±86Å ＊加工時間は磁気ディスク総回転数が５０回転となるよ
う設定。
【００１８】＊グライトハイト特性は、Ｐｒｏｑｕｉｐ
社のＭＧ１５０Ｔ装置を用い、５０％スライダーヘッド
を用いて行った。 ○印は１．２μインチの浮上高さを衝突なしで通過する
ものが８０％以上 ×印は１．２μインチの浮上高さを衝突なしで通過する
ものが５０％以下 ＊エラー特性は、Ｐｒｏｑｕｉｐ社のＭＧ１５０Ｔ装置
を用い、７０％スライダーヘッドを使用し、記録密度４
５〜５０ＫＦＣＺの条件で評価した。
社のＭＧ１５０Ｔ装置を用い、５０％スライダーヘッド
を用いて行った。 ○印は１．２μインチの浮上高さを衝突なしで通過する
ものが８０％以上 ×印は１．２μインチの浮上高さを衝突なしで通過する
ものが５０％以下 ＊エラー特性は、Ｐｒｏｑｕｉｐ社のＭＧ１５０Ｔ装置
を用い、７０％スライダーヘッドを使用し、記録密度４
５〜５０ＫＦＣＺの条件で評価した。
【００１９】○印は１６ビット未満のミッシングエラー
が１５個／面以下であり、×印は４５個／面を越えたも
の。 これから判る通り、本実施例のものは、表面の異常な突
起が効果的に除去されており、又、エラーが起き難いも
のとなっていることが判る。
が１５個／面以下であり、×印は４５個／面を越えたも
の。 これから判る通り、本実施例のものは、表面の異常な突
起が効果的に除去されており、又、エラーが起き難いも
のとなっていることが判る。
【００２０】すなわち、磁気ディスク表面の微小突起だ
けが除去されたことから、表面性が良くなり、スペーシ
ングロスをそれだけ少なく出来、再生出力の面からも好
ましいものとなる。
けが除去されたことから、表面性が良くなり、スペーシ
ングロスをそれだけ少なく出来、再生出力の面からも好
ましいものとなる。
【００２１】
【効果】本発明によれば、磁気記録媒体表面の異常な突
起を効果的に除去でき、エラーが起き難く、再生出力が
高いものとなる等の特長が奏される。
起を効果的に除去でき、エラーが起き難く、再生出力が
高いものとなる等の特長が奏される。
Claims (3)
- 【請求項１】 カーボン製の基板上に磁性層が設けられ
てなる磁気記録媒体の製造方法であって、磁性層が設け
られた磁気記録媒体と研磨テープとを０．１〜５ｋｇ／
ｃｍ2 の力で当接させ、相対速度１０〜２００ｍ／ｍｉ
ｎにて磁気記録媒体および／または研磨テープを走行さ
せることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 【請求項２】 カーボン製の基板上に乾式めっき手段に
より磁性層を設ける工程と、磁性層上に乾式めっき手段
により保護層を設ける工程と、保護層が設けられた後、
表面に研磨テープを０．１〜５ｋｇ／ｃｍ2 の力で当接
させ、相対速度１０〜２００ｍ／ｍｉｎにて磁気記録媒
体および／または研磨テープを走行させ、表面に存在す
る異常突起を除去する工程とを具備することを特徴とす
る請求項１の磁気記録媒体の製造方法。 - 【請求項３】 磁性層が設けられる前にカーボン製の基
板上に乾式めっき手段により下地層を設ける工程を具備
することを特徴とする請求項２の磁気記録媒体の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14682594A JPH0817054A (ja) | 1994-06-28 | 1994-06-28 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14682594A JPH0817054A (ja) | 1994-06-28 | 1994-06-28 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0817054A true JPH0817054A (ja) | 1996-01-19 |
Family
ID=15416385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14682594A Pending JPH0817054A (ja) | 1994-06-28 | 1994-06-28 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0817054A (ja) |
-
1994
- 1994-06-28 JP JP14682594A patent/JPH0817054A/ja active Pending
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