JPH08174824A - インクジェット式記録ヘッド - Google Patents

インクジェット式記録ヘッド

Info

Publication number
JPH08174824A
JPH08174824A JP33562094A JP33562094A JPH08174824A JP H08174824 A JPH08174824 A JP H08174824A JP 33562094 A JP33562094 A JP 33562094A JP 33562094 A JP33562094 A JP 33562094A JP H08174824 A JPH08174824 A JP H08174824A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chamber
ink
pressure generating
generating chamber
common ink
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP33562094A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3296391B2 (ja
Inventor
Takahiro Katakura
孝浩 片倉
Tomoaki Abe
知明 阿部
Hisaki Usui
寿樹 臼井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP33562094A priority Critical patent/JP3296391B2/ja
Priority to US08/510,996 priority patent/US5748214A/en
Priority to DE69514966T priority patent/DE69514966T2/de
Priority to EP95112310A priority patent/EP0695638B1/en
Publication of JPH08174824A publication Critical patent/JPH08174824A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3296391B2 publication Critical patent/JP3296391B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Ink Jet (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 インク吐出時のエネルギ効率の向上を図りつ
つ、メニスカスを速やかに復帰させること。 【構成】 圧力発生手段3を備えた圧力発生室4と、イ
ンクタンクからのインクの供給を受ける共通のインク室
12と、圧力発生室4に連通するノズル開口19を備え
たインクジェット式記録ヘッドにおいて、圧力発生室4
と共通のインク室12とを圧力発生室側に拡開するテー
パ部とストレート部からなるインク供給口9により接続
する。インク供給口9から共通のインク室12にインク
が流れ出す場合には、共通のインク室12内に渦の発生
を伴うことになり、圧力損失が生じて、圧力発生室4ヘ
の流れ込み時に比較して高い流体抵抗が生じる。共通の
インク室12から圧力発生室4にインクが流れ込む際に
は、インクがテーパ部に沿って滑らかに広がるため、渦
が発生せず、低い流体抵抗でインクが速やかに圧力発生
室に流れ込む。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、インク供給口を介して
共通のインク室とノズル開口とに連通する圧力発生室に
圧力発生手段を設け、共通のインク室からインクの供給
を受けながらインク滴を記録媒体に吐出させるインクジ
ェット式記録ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、特開平6-40035号公報に示され
たように圧力発生室を構成している弾性板の一部領域に
圧電振動板を貼着し、圧電振動板のたわみ変位により圧
力室の容積を変化させてインク滴を発生させるインクジ
ェット式記録ヘッドは、圧力発生室の広い面積を変位さ
せることが可能なため、インク滴を安定して発生させる
ことができるという特徴を備えている。このような記録
ヘッドは、圧力発生室と共通のインク室とを、細孔で形
成されたインク供給口を介して連通している関係上、圧
電振動板により発生させた圧力発生室内の圧力をノズル
開口からのインク吐出のために有効に利用するために
は、インク供給口から圧力発生室への戻り量を少なくさ
せることが必要で、またインク吐出後にはインク供給口
を経由させて共通のインク室から圧力発生室にインクを
速やかに充填させてメニスカスを短時間で復帰させるこ
とも必要あるため、記録ヘッドの性能がインク供給口に
よって左右される。
【0003】このため、インク吐出時のエネルギ効率を
上げるべく、インク供給口を絞ると圧力発生室へのイン
クの充填に時間を要してメニスカスの戻りが遅れるため
記録ヘッドの駆動周波数を下げねばならず、また反対に
メニスカスの戻り速度を上げようとしてインク供給口を
広げると、圧力発生室のエネルギのインク滴吐出のため
の利用率が低下するというようにインク供給口の流路抵
抗の大きさは、駆動周波数の引き上げとエネルギ効率の
引き上げとに対して相反する関係にある。
【0004】一方、このような記録ヘッドにおいて印字
速度の向上や、階調性を表現するためには、メニスカス
の動的特性、つまりインク滴吐出後に生じるメニスカス
の振動振幅を大きくして、次のインク滴吐出のタイミン
グに対するマージンを大きくする必要がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこれらの問題
に鑑みてなされたものであって、その目的とするところ
は、圧力発生室内の圧力をインク吐出に有効に利用で
き、しかもインク吐出後に共通のインク室から圧力発生
室に速やかにインクを流入させることができる新規なイ
ンクジェット式記録ヘッドを提供することである。
【0006】本発明の第2の目的は、インク滴吐出後に
おけるノズル開口近傍でのメニスカスの振動振幅を可及
的に大きくして、メニスカスのダイナミック特性を積極
的に利用することができる新規なインクジェット式記録
ヘッドを提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、圧力発生手段を備えた圧力
発生室と、インクタンクからのインクの供給を受ける共
通のインク室と、前記圧力発生室に連通するノズル開口
を備えたインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記圧
力発生室と前記共通のインク室とが、前記共通のインク
室から前記圧力発生室への流れに対する流体抵抗より
も、前記圧力発生室側から前記共通のインク室側への流
れに対する流体抵抗が大きくなる方向性を有する流体抵
抗を備えたインク供給口により接続するようにした。
【0008】
【作用】インク滴吐出のために圧力発生室に圧力が印加
されると、圧力発生室内のインクの一部がノズル開口か
らインク滴として吐出し、また一部がインク供給口から
共通のインク室に流れ出すが、圧力発生室側から共通の
インク室への流れに対して大きな流体抵抗が生じるか
ら、圧力発生室の圧力がインク滴吐出のために有効に利
用される。一方、インク吐出後の圧力発生室の膨張によ
り共通のインク室から圧力発生室にインクが流れ込む際
には、流体抵抗が小さくなるから、圧力発生室に速やか
にインクが供給されてメニスカスがインク滴吐出可能位
置に急速に復帰する。
【0009】
【実施例】そこで以下に本発明の詳細を図示した実施例
に基づいて説明する。図1は、本発明の一実施例を1つ
の共通のインク室に接続する圧力発生室近傍の構造を示
す断面図であって、図中符号2は第1の蓋板で、厚さ1
0μm程度のジルコニアの薄板から構成され、その表面
に、後述する圧力発生室4に対向するように駆動電極5
を形成し、その上にPZTからなる圧電振動板3が固定
されている。
【0010】7は、スペーサで、圧力発生室4を形成す
るのに適した厚さ、例えば150μmのジルコニア(Z
rO2)などのセラミックス板に通孔を穿設して構成さ
れ、後述する第2の蓋体8と第1の蓋体2により両面を
封止されて圧力発生室4を形成する。
【0011】8は、スペーサ7の他方の面を封止する前
述の第2の蓋板で、圧力発生室4の一端側には後述する
共通のインク室12と圧力発生室4を接続するインク供
給口9が設けられ、また圧力発生室4の他端側にはノズ
ル開口19と接続する連通孔10が設けられている。
【0012】このインク供給口9は、図2に示したよう
にロート状の通孔として形成されていて、圧力発生室側
に拡開するテーパ部9aと、共通のインク室12に対向
する側には細く絞られたストレート部9bとを備えてい
る。
【0013】11は、後述する共通インク室構成板13
と第2の蓋板8とを接合するための熱溶着フィルムで、
共通のインク室12に一致する通孔14と連通孔10が
設けられている。
【0014】13は、前述の共通のインク室形成板で、
共通のインク室12を形成するに適した厚み、例えば1
50μmのステンレス鋼やセラミックなどの耐蝕性を備
えた板材に、共通のインク室12の形状に対応する通孔
と、ノズル開口とを接続する連通孔16を穿設して構成
されている。
【0015】18はノズルプレートで、圧力発生室4の
一側寄りには各圧力発生室4に連通するノズル開口19
が設けられていて、連通孔10、15、16を介して各
圧力発生室4とノズル開口19を連通させるように熱溶
着フィルム等の接着層20で共通のインク室形成板13
に接着されている。
【0016】この実施例において、圧電振動板3に駆動
信号が印加されると、第1の蓋板2が圧力発生室4側を
凸とするようにたわんで、圧力発生室4を収縮させる。
これにより圧力発生室4のインクの一部が連通孔10、
15、16を経由してノズル開口19に至り、ここから
インク滴として吐出される。
【0017】同時にインク供給口9を経由して圧力発生
室4から共通のインク室12にインクが流れ込むが、そ
の過程で圧力発生室側が拡開したテーパ部9aにより絞
られながら細いストレート部9bを通って共通のインク
室12に流れ込むため、共通のインク室12内での流速
が極めて大きくなり、共通のインク室12内に渦C(図
3(イ))を発生させることになる。
【0018】このため、共通のインク室12の近傍で大
きな圧力損失が生じ、圧力発生室4から共通のインク室
12への流れ出しに大きな流体抵抗が作用することにな
る。この渦に起因する流体抵抗の増加は、圧力発生室4
から共通のインク室12に流れ出そうとするインクを阻
止するように作用するから、圧力発生室4に生じた圧力
がノズル開口19からのインク滴の吐出のために有効に
利用されることになる。
【0019】インク滴形成後に駆動信号が除去される
と、圧電振動板3が元の位置に復帰して、圧力発生室4
が膨張する。これによりインク滴の形成により消費され
た分のインクが共通のインク室12からインク供給口9
を経由して圧力発生室4に流入する。
【0020】共通のインク室12から圧力発生室4への
インクの流れに際しては、インクは共通のインク室12
からインク供給口9のストレート部9bを経由してテー
パ部9aによりインク流の断面積を徐々に拡大されなが
ら圧力発生室4に流れ込むため、圧力発生室4内で渦を
生じることが無い。したがって、共通のインク室12か
ら圧力発生室4のインクの流れに伴う圧力損失は、イン
ク滴吐出時の場合に比較して極めて小さくなり、圧力発
生室4にインクがスムースが流れ込み、メニスカスが速
やかに元の状態に復帰し、次のインク滴噴射までの時間
を短く設定できる。
【0021】図4は、本発明の他の実施例を示すもので
あって、図中符号22は、圧力発生室23、共通のイン
ク室24、及びこれらを接続するインク供給口25を形
成するスペーサで、一方の面をノズル開口26を備えた
第1の蓋板27で封止され、また他方の面を後述する圧
電振動子28により弾性変形可能な第2の蓋板29によ
り封止されている。
【0022】インク供給口25は、前述に実施例と同様
に圧力発生室23側が拡開するテーパ部25aと、これ
に接続されて共通のインク室24に連通するストレート
部25bとから形成されている。
【0023】28は、前述の圧電振動子で、一端が基台
30に固定されていて、縦振動モードの振動により第2
の蓋板29を押圧して圧力発生室23を膨張収縮させる
ものである。
【0024】この実施例において、圧電振動子28が伸
長すると、圧力発生室23が収縮してノズル開口26か
らインク滴が吐出する。
【0025】同時にインク供給口25を経由して圧力発
生室23から共通のインク室24にインクが流れ込む
が、その過程で圧力発生室側が拡開したテーパ部25a
により絞られながら細いストレート部25bを通って共
通のインク室24に流れ込むため、共通のインク室24
内でのインクの流速が極めて大きくなり、共通のインク
室24内に渦C(図3(イ))を発生することになり、
インク供給口25が大きな流体抵抗を発現する。
【0026】この結果、圧力発生室23内の圧力がノズ
ル開口26からのインク滴の吐出のために有効に利用さ
れることになる。
【0027】圧電振動子28が元の位置に復帰して圧力
発生室23が膨張すると、共通のインク室24からイン
ク供給口25を経由して圧力発生室23に流入する。
【0028】この場合には、共通のインク室24のイン
クは、インク供給口25のストレート部25bからテー
パ部25aを経由して流れの断面積を拡大されながら圧
力発生室23に流れ込むため、圧力発生室内で渦を生じ
ることが無く、したがって、インクがスムースが流れ込
み、メニスカスを速やかに元の状態に復帰させることに
なる。
【0029】図5は、スペーサの一実施例を示すもので
あって、図中符号30は、共通のインク室を形成する通
孔を、また符号31は圧力発生室を形成する通孔で、こ
れらを連通させるように通孔31側が拡開し、また通孔
30側がストレート部で絞られた溝32を設けて構成さ
れている。図6は、インク供給口に形成されるテーパ角
とインク吐出量及びインク滴吐出後のメニスカスの戻り
時間との関係を示すものであって、インク滴の吐出量
は、テーパ角が50度程度の場合に最大となり、テーパ
角5乃至60度の範囲でそれ以外の角度よりもインク吐
出量が多くなっている。
【0030】またメニスカス戻り時間は、やはりテーパ
角が50度程度の場合に最短となり、テーパ角が5乃至
60度の範囲で、それ以外の角度よりもメニスカスの戻
り時間が短くなっている。
【0031】これらのことから、インク供給口に形成す
る圧力発生室に拡開するテーパ部のテーパ角を5乃至6
0度程度の範囲で選択すると、インク吐出量が多く、し
かも高速駆動が可能となる。
【0032】図7は、本発明の一実施例を1つの共通の
インク室に接続する圧力発生室近傍の構造を示す断面図
であって、図中符号2は第1の蓋板で、厚さ10μm程
度のジルコニアの薄板から構成され、その表面に、後述
する圧力発生室4に対向するように駆動電極5を形成
し、その上にPZTからなる圧電振動板3が固定されて
いる。
【0033】7は、スペーサで、圧力発生室4を形成す
るのに適した厚さ、例えば150μmのジルコニア(Z
rO2)などのセラミックス板に通孔を穿設して構成さ
れ、後述する第2の蓋体8と第1の蓋体2により両面を
封止されて圧力発生室4を形成する。
【0034】8は、スペーサ7の他方の面を封止する前
述の第2の蓋板で、圧力発生室4の一端側には後述する
共通のインク室12と圧力発生室4とは、図8に示した
ように共通のインク室側に拡開するテーパ部35aと、
圧力発生室12に対向する側には細く絞られたストレー
ト部35bとからなるインク供給口35が設けられ、圧
力発生室4の他端側にはノズル開口19と接続する連通
孔10が設けられている。
【0035】11は、後述する共通インク室構成板13
と第2の蓋板8とを接合するための熱溶着フィルムで、
共通のインク室12に一致する通孔14と連通孔10が
設けられている。
【0036】13は、前述の共通のインク室形成板で、
共通のインク室12を形成するに適した厚み、例えば1
50μmのステンレス鋼やセラミックなどの耐蝕性を備
えた板材に、共通のインク室12の形状に対応する通孔
と、ノズル開口とを接続する連通孔16を穿設して構成
されている。
【0037】18はノズルプレートで、圧力発生室4の
一側寄りには各圧力発生室4に連通するノズル開口19
が設けられていて、連通孔10、15、16を介して各
圧力発生室4とノズル開口19を連通させるように熱溶
着フィルム等の接着層20で共通のインク室形成板13
に接着されている。
【0038】この実施例において、圧電振動板3に駆動
信号が印加されると、第1の蓋板2が圧力発生室4側を
凸とするようにたわんで、圧力発生室4を収縮させる。
これにより圧力発生室4のインクの一部が連通孔10、
15、16を経由してノズル開口19に至り、ここから
インク滴として吐出される。
【0039】インク滴形成後に駆動信号が除去される
と、圧電振動板3が元の位置に復帰して、圧力発生室4
が膨張する。これによりインク滴の形成により消費され
た分のインクが共通のインク室12からインク供給口3
5を経由して圧力発生室4に流入する。
【0040】この流入の過程で、その過程で共通のイン
ク室12側が拡開したテーパ部35aにより絞られなが
ら細いストレート部35bを通って圧力発生室4に流れ
込むため、圧力発生室4内での流速が極めて大きくな
り、圧力発生室4内に渦C(図9)を発生させることに
なる。
【0041】この渦に起因する流体抵抗の増加は、共通
のインク室12から圧力発生室4に流れ込もうとするイ
ンクに抵抗を与えることになる。この結果、インク滴を
吐出した後のノズル開口19に形成されたメニスカス
は、大きく引き込まれることになり、圧電振動板3の不
要な後振動によるサテライト等の吐出不良に拘わらなく
なる。
【0042】さらにメニスカスの振動振幅が大きくな
り、特に圧電振動板3を大きく発振振動させて使用する
インクジェット記録ヘッドにあっては、後振動を抑える
ための有効な方策となり、次ぎのインク滴吐出のタイミ
ングが取り易くなる。
【0043】メニスカスが所定の位置に達した時点、つ
まり階調を制御するに適した位置に到達した時点で、圧
電振動子28が伸長すると、圧力発生室23が伸長して
ノズル開口26からインク滴が吐出する。
【0044】なお、この実施例においては積層型のイン
クジェット式記録ヘッドについて説明したが、図10に
示したような縦振動モードの圧電振動子を使用したイン
クジェット式記録ヘッドにおけるインク供給口37を、
共通のインク室24側に拡開するテーパ部37aと、圧
力発生室23に接続するストレート部37bとで構成し
ても同様の作用を奏することは明らかである。
【0045】このように共通のインク室側に拡開するテ
ーパ部を備えたインク供給口によると、図10に示した
ようにテーパ角が5度乃至60度の範囲に設定した時に
インク滴吐出後のメニスカスの振動が大きくなり、メニ
スカスの動的特性を積極的に利用し易くなることが判明
した。上述の実施例においては圧力発生手段に圧電振動
子を用いたものに例を採って説明したが、圧力発生室に
ヒータを設けてジュール熱によりインク溶媒を瞬間的に
気化させ、このときの圧力によりインク滴を吐出させる
バブルジェット式記録ヘッドに適用しても同様の作用を
奏することは明らかである。
【0046】
【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
圧力発生手段を備えた圧力発生室と、インクタンクから
のインクの供給を受ける共通のインク室と、圧力発生室
に連通するノズル開口を備えたインクジェット式記録ヘ
ッドにおいて、圧力発生室と共通のインク室とが、共通
のインク室から圧力発生室への流れに対する流体抵抗よ
りも、圧力発生室側から共通のインク室側への流れに対
する流体抵抗が大きくなる方向性を有する流体抵抗を備
えたインク供給口により接続したので、インク供給口が
インク滴吐出の際には大きな流体抵抗を示し、また圧力
発生室にインクを充填する際には流体抵抗を低下させて
インク滴を高い効率で吐出するとともに、メニスカスを
速やかに復帰させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施
例を、圧力発生室の断面構造でもって示す図である。
【図2】インク供給口を拡大して示す断面図である。
【図3】図(イ)、(ロ)は、それぞれインク滴吐出時
及び圧力発生室にインクを充填する場合のインク供給口
近傍のインクの流れを模式的に示す図である。
【図4】本発明のインクジェット式記録ヘッドの他の実
施例を示す断面図である。
【図5】同上インクジェット式記録ヘッドに使用するス
ペーサの一実施例をインク供給口の近傍を拡大して示す
図である。
【図6】図(イ)、(ロ)は、それぞれインク供給口に
形成するテーパ部のテーパ角と、インク吐出量、及びメ
ニスカスの戻り時間との関係を示す線図である。
【図7】本発明のインクジェット式記録ヘッドの他の実
施例を、圧力発生室の断面構造でもって示す図である。
【図8】同上実施例におけるインク供給口を拡大して示
す断面図である。
【図9】圧力発生室にインクを充填する場合のインク供
給口近傍のインクの流れを模式的に示す図である。
【図10】本発明の他の実施例を示す断面図である。
【符号の説明】
2 第1の蓋板 3 圧電振動板 4 圧力発生室 7 スペーサ 8 第2の蓋板 9 インク供給口 9a テーパ部 9b ストレート部 13 共通のインク室形成板 18 ノズルプレート 19 ノズル開口 35 インク供給口 35a テーパ部 35b ストレート部

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 圧力発生手段を備えた圧力発生室と、イ
    ンクタンクからのインクの供給を受ける共通のインク室
    と、前記圧力発生室に連通するノズル開口を備えたイン
    クジェット式記録ヘッドにおいて、前記圧力発生室と前
    記共通のインク室とが、前記共通のインク室から前記圧
    力発生室への流れに対する流体抵抗よりも、前記圧力発
    生室側から前記共通のインク室側への流れに対する流体
    抵抗が大きくなる方向性を有する流体抵抗を備えたイン
    ク供給口により接続されているインクジェット式記録ヘ
    ッド。
  2. 【請求項2】 前記インク供給口が、前記圧力発生室側
    に拡開するテーパ部とストレート部から形成されている
    請求項1のインクジェット式記録ヘッド。
  3. 【請求項3】 前記テーパ部のテーパ角が5乃至60度
    である請求項2のインクジェット式記録ヘッド。
  4. 【請求項4】 表面に圧電振動板を有して振動部材を形
    成する弾性板、 前記弾性板により一方の面が封止されて圧力発生室を形
    成する圧力発生室形成部材、 該圧力発生室形成部材の他方を封止するとともに、前記
    圧力発生室の両端部において連通する連通孔を備えた蓋
    部材、 前記圧力発生室側に拡開するテーパ部を備えたインク供
    給口を有する流路制限板、 前記インク供給口を介して前記圧力発生室に連通する共
    通のインク室、及び前記圧力発生室に連通する連通孔と
    を備えた共通のインク室形成板、 前記共通のインク室形成板の他面を封止するとともに前
    記各連通孔を介して前記圧力発生室に接続するノズル開
    口を備えたノズルプレート、 とをそれぞれ順番に積層して一体に成形してなるインク
    ジェット式記録ヘッド。
  5. 【請求項5】 表面に圧電振動子が当接する弾性板、 前記弾性板により一方の面が封止されて共通のインク
    室、圧力発生室を形成するとともに、前記圧力発生室側
    に拡開して前記共通のインク室と圧力発生室とを接続す
    るインク供給口を形成するスペーサ、 前記スペーサの他面を封止するとともに前記圧力発生室
    に接続するノズル開口を備えたノズルプレート、 とをそれぞれ順番に積層して一体に成形してなるインク
    ジェット式記録ヘッド。
  6. 【請求項6】 圧力発生手段を備えた圧力発生室と、イ
    ンクタンクからのインクの供給を受ける共通のインク室
    と、前記圧力発生室に連通するノズル開口を備えたイン
    クジェット式記録ヘッドにおいて、前記圧力発生室と前
    記共通のインク室とが、前記圧力発生室側から前記共通
    のインク室側への流れに対する流体抵抗よりも、前記共
    通のインク室から前記圧力発生室への流れに対する流体
    抵抗が大きくなる方向性を有する流体抵抗を備えたイン
    ク供給口により接続されているインクジェット式記録ヘ
    ッド。
  7. 【請求項7】 前記インク供給口が、前記共通のインク
    室側に拡開するテーパ部とストレート部から形成されて
    いる請求項6のインクジェット式記録ヘッド。
  8. 【請求項8】 前記テーパ部のテーパ角が5乃至60度
    である請求項7のインクジェット式記録ヘッド。
  9. 【請求項9】 表面に圧電振動板を有して振動部材を形
    成する弾性板、 前記弾性板により一方の面が封止されて圧力発生室を形
    成する圧力発生室形成部材、 該圧力発生室形成部材の他方を封止するとともに、前記
    圧力発生室の両端部において連通する連通孔を備えた蓋
    部材、 前記共通のインク室側に拡開するテーパ部を備えたイン
    ク供給口を有する流路制限板、 前記インク供給口を介して前記圧力発生室に連通する共
    通のインク室、及び前記圧力発生室に連通する連通孔と
    を備えた共通のインク室形成板、 前記共通のインク室形成板の他面を封止するとともに前
    記各連通孔を介して前記圧力発生室に接続するノズル開
    口を備えたノズルプレート、 とをそれぞれ順番に積層して一体に成形してなるインク
    ジェット式記録ヘッド。
  10. 【請求項10】 表面に圧電振動子が当接する弾性板、 前記弾性板により一方の面が封止されて共通のインク
    室、圧力発生室を形成するとともに、前記共通のインク
    室側に拡開して前記共通のインク室と圧力発生室とを接
    続するインク供給口を形成するスペーサ、 前記スペーサの他面を封止するとともに前記圧力発生室
    に接続するノズル開口を備えたノズルプレート、 とをそれぞれ順番に積層して一体に成形してなるインク
    ジェット式記録ヘッド。
JP33562094A 1994-08-04 1994-12-21 インクジェット式記録ヘッド Expired - Lifetime JP3296391B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33562094A JP3296391B2 (ja) 1994-12-21 1994-12-21 インクジェット式記録ヘッド
US08/510,996 US5748214A (en) 1994-08-04 1995-08-03 Ink jet recording head
DE69514966T DE69514966T2 (de) 1994-08-04 1995-08-04 Tintenstrahlaufzeichnungskopf
EP95112310A EP0695638B1 (en) 1994-08-04 1995-08-04 Ink jet recording head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33562094A JP3296391B2 (ja) 1994-12-21 1994-12-21 インクジェット式記録ヘッド

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08174824A true JPH08174824A (ja) 1996-07-09
JP3296391B2 JP3296391B2 (ja) 2002-06-24

Family

ID=18290630

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP33562094A Expired - Lifetime JP3296391B2 (ja) 1994-08-04 1994-12-21 インクジェット式記録ヘッド

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3296391B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014058094A (ja) * 2012-09-18 2014-04-03 Ricoh Co Ltd 液体吐出ヘッド及びこれを備えた画像形成装置

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008195080A (ja) * 2008-05-01 2008-08-28 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置
JP2010184505A (ja) * 2010-06-04 2010-08-26 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置
JP5051314B2 (ja) * 2011-04-14 2012-10-17 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014058094A (ja) * 2012-09-18 2014-04-03 Ricoh Co Ltd 液体吐出ヘッド及びこれを備えた画像形成装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP3296391B2 (ja) 2002-06-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4323947B2 (ja) インクジェット記録ヘッド
JP3552449B2 (ja) インクジェット式印字ヘッドの駆動方法および装置
JPH0342186B2 (ja)
US6962398B2 (en) Method for driving ink jet recording head and ink jet recorder
US20040001123A1 (en) Ink jet recording apparatus and ink jet recording method
JP3679863B2 (ja) インクジェット式記録ヘッド
JPH05261918A (ja) インクジェットヘッド
JP2001047620A (ja) インクジェットヘッド
JPH0288246A (ja) プリントヘッド
JP2607274B2 (ja) インクジェット記録ヘッド
JP3296391B2 (ja) インクジェット式記録ヘッド
JP3552024B2 (ja) インクジェット式記録ヘッド
JP3196800B2 (ja) 積層型インクジェット式記録ヘッド
JP2020100052A (ja) 液滴吐出ヘッド
JPH0939235A (ja) インクジェットヘッドおよびその駆動方法
EP0775579B1 (en) Laminated ink jet recording head and method of driving therefor
US6527372B1 (en) Method for optimizing driving input signal in an ink jet head using shape memory alloy
US6491382B2 (en) Liquid discharge head and apparatus having restricted movement of a movable member
US6322203B1 (en) Ink jet recording head and ink jet recorder
JP3976817B2 (ja) インクジェット式記録装置
JP3634555B2 (ja) インクジェット式記録ヘッド
JPS61193859A (ja) ドロツプオンデマンド型インクジエツトヘツド
JP3239417B2 (ja) インクジェット式印字ヘッド、及びその製造方法
JP2002127407A (ja) インクジェット式記録ヘッド
JP3108970B2 (ja) インクジェット装置

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20020313

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080412

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090412

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090412

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100412

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110412

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110412

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120412

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130412

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130412

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140412

Year of fee payment: 12

EXPY Cancellation because of completion of term