JPH08180414A - 光学的情報記録方法 - Google Patents

光学的情報記録方法

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JPH08180414A
JPH08180414A JP6318571A JP31857194A JPH08180414A JP H08180414 A JPH08180414 A JP H08180414A JP 6318571 A JP6318571 A JP 6318571A JP 31857194 A JP31857194 A JP 31857194A JP H08180414 A JPH08180414 A JP H08180414A
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JP
Japan
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recording
laser power
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protective layer
bit
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JP6318571A
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English (en)
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Takashi Ono
孝志 大野
Michikazu Horie
通和 堀江
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Mitsubishi Chemical Corp
Original Assignee
Mitsubishi Chemical Corp
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/004Recording, reproducing or erasing methods; Read, write or erase circuits therefor
    • G11B7/006Overwriting
    • G11B7/0062Overwriting strategies, e.g. recording pulse sequences with erasing level used for phase-change media

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  • Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)
  • Optical Head (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は信号振幅が大きく、かつ記録、消去
の繰り返しによる特性の劣化の小さい相転移型光記録媒
体を提供することを目的とする。 【構成】 基板上に少なくとも誘電体保護層、相転移型
光記録層、誘電体保護層、反射層を順に積層してなる光
学的情報記録用媒体に、少なくとも記録レーザーパワー
1とP1より小さい消去レーザーパワーP2を用いて1
ビームオーバーライト記録する方法であって、ビットを
形成する記録パルスを該ビット長よりも短い複数のパル
スに分割し、分割した各パルスのレーザーパワーは記録
レーザーパワーP1とし、分割したパルスの間のレーザ
ーパワーを消去レーザーパワーP2の1/2より小さく
ゼロでないレーザーパワーP3としたことを特徴とする
記録方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光学的情報記録方法に
関し、レーザー光などの照射により、情報を記録、消
去、再生可能な光学的情報記録用媒体を用いて記録再生
する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、情報量の増大、記録再生の高密度
化、高速化の要求に応える記録媒体として、レーザー光
線を利用した光ディスクが開発されている。光ディスク
には、一度だけ記録が可能な追記型と、記録・消去が何
度でも可能な書換え型がある。
【0003】書換え型光ディスクとしては、光磁気効果
を利用した光磁気記録媒体や、可逆的な結晶状態の変化
を利用した相変化媒体が挙げられる。相変化媒体は、外
部磁界を必要とせず、レーザー光のパワーを変調するだ
けで、記録・消去が可能であり、さらに、消去と再記録
を単一ビームで同時に行う1ビームオーバーライトが可
能であるという利点を有する。
【0004】1ビームオーバーライト可能な相変化記録
方式では、記録膜を非晶質化させることによって記録ビ
ットを形成し、結晶化させることによって消去を行う場
合が一般的である。このような、相変化記録方式に用い
られる記録層材料としては、カルコゲン系合金薄膜を用
いることが多い。
【0005】例えば、Ge−Te系、Ge−Te−Sb
系、In−Sb−Te系、Ge−Sn−Te系合金薄膜
等が挙げられる。記録膜は適度に結晶化、非晶質化しや
すいこと、結晶状態と非晶質状態の反射率差が大きいこ
と、熱による体積変化が小さいこと等の観点から選定さ
れる。
【0006】一般に、書換え型の相変化記録媒体では、
相異なる構造を実現するために、2つの異なるレーザー
光パワーを用いる。この方式を、非晶質ビットと結晶化
された消去・初期状態で記録・消去を行う場合を例にと
って説明する。
【0007】結晶化は、通常は記録層の結晶化温度より
十分高く、融点よりは低い温度まで記録層を加熱するこ
とによってなされる。この場合、冷却速度は結晶化が十
分なされる程度に遅くなるよう、記録層を誘電体層で挟
んだり、ビームの移動方向に長い楕円形ビームを用いた
りする。
【0008】一方、非晶質化は記録層を融点より高い温
度まで加熱し、急冷することによって行う。この場合、
上記誘電体層は十分な冷却速度(過冷却速度)を得るた
めの放熱層としての機能も有する。さらに、上述のよう
な、加熱・冷却過程における記録層の溶融・体積変化に
伴う変形や、プラスチック基板への熱的ダメージを防い
だり、湿気による記録層の劣化を防止する機能、レーザ
ー光の干渉を利用しコントラストを高める機能等が重要
である。
【0009】保護層材料の材質は、レーザー光に対して
光学的に透明で、適当な屈折率を有すること、融点・軟
化点・分解温度が高いこと、形成が容易であること、適
度な熱伝導性を有することなどの観点から選定される。
1ビームオーバーライトを行うには非晶質ビットを形成
する記録レーザーパワーと非晶質ビットを結晶化する消
去レーザーパワーを用いる。
【0010】非晶質ビットを形成する部分は記録レーザ
ーパワーを照射するが、特にディスクの回転速度が遅い
場合には、熱干渉の影響でビットの後端が前端と比較し
て幅が広くなる等の記録マーク歪が生じる。マーク歪は
特にマークエッジ検出方式で不都合を生じる。この歪を
改善するためビットを形成するための記録パルスを複数
のパルスに分割し、熱干渉の影響を小さくすることが提
案されている。
【0011】分割したパルス間のレーザーパワーを消去
パワーまで落とすことにより、特に低線速で熱干渉によ
る最高到達温度や冷却速度のビット前後での非対称が緩
和される。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、パルス
分割によりビット前後の対称性は改善されるものの、記
録信号強度が十分にとれない場合がある。これは一度溶
融した部分の冷却速度が遅いため再結晶化してしまい、
その結果ビットの幅が狭くなるためである。
【0013】このような場合、記録用レーザーパルスを
多少短くし、記録レーザーパワーを大きくすることによ
りビット長を変えずに幅を広げることができるが、繰り
返し記録による特性劣化が著しくなる。これは記録レー
ザーパワーを大きくすることにより到達温度が高くなっ
たり高温保持時間が長くなることにより、ディスクに与
える熱ダメージが大きくなるためである。
【0014】本発明者らは記録パルス形状を検討するこ
とにより、信号振幅が大きく、かつ記録、消去の繰り返
しによる特性の劣化を小さくすることが可能であること
を見いだし本発明に到達した。
【0015】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、基板上
に少なくとも誘電体保護層、相転移型光記録層、誘電体
保護層、反射層を順に積層してなる光学的情報記録用媒
体に、少なくとも記録レーザーパワーP1とP1より小さ
い消去レーザーパワーP2を用いて1ビームオーバーラ
イト記録する方法であって、ビットを形成する記録パル
スを該ビット長よりも短い複数のパルスに分割し、分割
した各パルスのレーザーパワーは記録レーザーパワーP
1とし、分割したパルスの間のレーザーパワーを消去レ
ーザーパワーP2の1/2より小さくゼロでないレーザ
ーパワーP3としたことを特徴とする記録方法に関す
る。
【0016】分割したパルス間のレーザーパワーP3
消去レーザーパワーP2の1/2より小さくすることに
より溶解した部分の冷却速度が大きくなりビット部が大
きくなる。その結果信号振幅が大きくなる。またビット
を大きくするために記録レーザーパワーP1を上げる必
要がないので、繰り返し記録特性も優れたディスクを得
ることができる。
【0017】ビットの大きさが本発明による記録方法と
従来のパルス分割法で大きく違わない場合であっても、
本発明の記録方法の方が熱ダメージが小さく、繰り返し
記録特性が優れる場合もある。これは、従来の記録法は
分割パルス間の消去レーザーパワーP2による熱干渉に
よって本発明の記録法より最高到達温度が高くなったり
高温での保持時間が長くなったりしているためであると
考えられる。
【0018】分割したパルス間のレーザーパワーP3
消去レーザーパワーP2の1/2以上である場合にはこ
れらの効果は小さくなる。また、分割したパルス間のレ
ーザーパワーP3がゼロであるとトラッキングおよびフ
ォーカスをその間制御できなくなる。パルスの分割法は
媒体の層構成やディスク回転速度、P1、P2、P3等の
値によって適当なものが選ばれるが、ビット先端部は直
前のレーザーパワーが消去パワーP2であり通常温度が
上がりにくいため、先頭の分割パルスのパルス幅をビッ
ト中間部や後端部より長くすると良い場合がある。
【0019】また、分割パルス間のレーザーパワーP3
を小さくすることに加えて、分割パルス群の直前または
直後に消去レーザーパワーP2の1/2よりも小さいパ
ワー部を設けた記録波形とすることにより再結晶化部を
小さくしてもよい。図1は記録パルス群の直後に消去レ
ーザーパワーP2の1/2よりも小さいパワー部P3を設
けた例である。
【0020】また、従来記録法において分割パルス間の
消去パワー照射部の一部分のレーザーパワーを消去レー
ザーパワーの1/2より小さくすることによっても同様
の効果が得られる。すなわち図3−a、b、cのような
記録パルスとしても良い。分割パルス間のレーザーパワ
ーP3を消去レーザーパワーとする従来のパルス分割記
録法では再結晶化する部分が大きくなりビットが小さく
なるが、この現象は記録層と反射層の間の誘電体保護層
が厚く、熱の逃げにくい層構成のとき顕著となる。
【0021】したがって相変化光ディスクに望まれてい
る高記録感度化に関して重要な技術になると考えられ
る。また、記録層がGe、Sb、Teからなる場合は特
にGe含有量が20%以上のとき顕著となり、30%以
上のときはさらに顕著となる。Ge含有量が多いと信号
振幅は大きくすることができるため、信号振幅を大きく
する必要のあるCD−ROMと互換性をもつ書換媒体の
開発に関しても重要な技術になると考えられる。
【0022】本発明における記録媒体の基板としては、
ガラス、プラスチック、ガラス上に光硬化性樹脂を設け
たもの等のいずれであってもよい。基板、記録層を保護
するため保護層を設ける必要があるが、保護層として耐
熱性に優れ、基板の熱的変形防止効果があり、基板との
密着性の強いものを用いれば、現在光ディスク用基板と
して一般的に使用されているポリカーボネート樹脂基板
を使用することが可能である。
【0023】保護層の厚みは、10から500nmの範
囲であることが望ましい。一般に保護層の厚みが10n
m未満であると、基板や記録膜の変形防止効果が不十分
である。一方、プラスチック基板を用いた場合、500
nmを越えると、保護層自体の内部応力や基板との弾性
特性の差が顕著になって、クラックが発生しやすくな
る。
【0024】記録感度を良くするためには記録層と反射
層の間の保護層膜厚は100nm以上が好ましい。ま
た、このとき再結晶化しやすくなるため、本発明による
記録法の効果が大きくなる。相変化光記録層はGeSb
Te系、InSbTe系等が用いられ、結晶化速度、非
晶質化のしやすさ、結晶粒径、保存安定性等の改善のた
めSn、In、Ge、Pb、As、Se、Si、Bi、
Au、Ti、Cu、Ag、Pt、Pd、Co、Ni等を
加えてもよい。
【0025】その厚みは一般的に10nmから100n
mの範囲に選ばれる。記録層の厚みが10nmより薄い
と十分なコントラストが得にくく、得られたとしても膜
厚依存性が大きいので実用的でない。一方100nmを
越すとクラックが生じ易くなる。記録層が主にGe、S
b、Teからなる場合はGe含有量が20%以上のとき
再結晶化が顕著となり本発明による記録法の効果が大き
くなり、Ge含有量が30%以上のときはさらに効果は
顕著となる。
【0026】Ge含有量が50%以上になると書き変え
が難しくなる。記録層は、保護層で挟んで基板上に設
け、さらに反射層を設ける。更には紫外線硬化樹脂層等
を設けることが好ましい。記録層、保護層、反射層はス
パッタリング法などによって形成される。記録層用ター
ゲット、保護層用ターゲット、必要な場合には反射層材
料用ターゲットを同一真空チャンバー内に設置したイン
ライン装置で膜形成を行うことが各層間の酸化や汚染を
防ぐ点で望ましい。また、生産性の面からもすぐれてい
る。
【0027】
【実施例】以下実施例をもって本発明を詳細に説明す
る。 実施例1 ポリカーボネート基板上に(ZnS)80(SiO220
(mol.%)層を90nm、SiO2層を130n
m、(ZnS)80(SiO220(mol.%)層を1
80nm、Ge43Sb10Te47(at.%)層を25n
m、(ZnS)80(SiO220(mol.%)層を1
90nm、Au合金層を100nm順次マグネトロンス
パッタリング法にて積層した。
【0028】さらに紫外線硬化樹脂層を4μm設けるこ
とによりディスクを作製した。このディスクを光ディス
ク評価装置(レーザー波長780nm、対物レンズ開口
数NA0.55)を用い、以下のように繰り返し記録特
性を測定した。ディスクを1.4m/sで回転させ、図
1に示すような本発明のパルス分割法で記録パワーP1
および消去パワーP2をそれぞれ15mW、6mW、分
割パルスの間のレーザーパワーP3を0.8mWとしE
FMランダム信号を記録した。
【0029】結晶状態の反射率レベルをRc、11T信
号の反射率レベルをRa、製膜直後のアモルファス状態
での反射率レベルをRasとしたときの(Rc−Ra)/
(Rc−Ras)の値は0.77であった。この値が大き
いほどアモルファスビットの幅が広い。また、繰り返し
記録回数と3Tビットジッタの関係を調べたところ、ジ
ッタが40nsec以下に保たれる記録回数は15回で
あった。
【0030】なお結晶状態の反射率は62%、11Tビ
ット部の反射率は29%であった。一方、従来のパルス
分割法を用い、記録、消去レーザーパワーは変化させ
ず、図2のような波形で記録した場合には、(Rc−R
a)/(Rc−Ras)の値は0.67で、ジッタが40n
sec以下に保たれる記録回数は3回であった。実施例
1で使用した記録層組成は、繰り返し記録特性が実施例
2で用いた組成と比較すると劣っているが、信号振幅を
大きくとることができるという利点をもつ。
【0031】実施例2 ポリカーボネート基板上に(ZnS)80(SiO220
(mol.%)層を90nm、SiO2層を130n
m、(ZnS)80(SiO220(mol.%)層を1
80nm、Ge25Sb25Te50(at.%)層を30n
m、(ZnS)80(SiO220(mol.%)層を1
85nm、Au合金層を100nm順次マグネトロンス
パッタリング法にて積層しさらに紫外線硬化樹脂層を4
μm設けることによりディスクを作製した。
【0032】このディスクを光ディスク評価装置(レー
ザー波長780nm、NA0.55)を用い以下のよう
に繰り返し記録特性を測定した。ディスクを1.4m/
sで回転させ、図1に示すような本発明のパルス分割法
で記録パワーP1および消去パワーP2をそれぞれ15.
2mW、6.1mW、分割パルスの間のレーザーパワー
3を0.8mWとしEFMランダム信号を記録した。
【0033】結晶状態の反射率レベルをRc、11T信
号の反射率レベルをRa、製膜直後のアモルファス状態
での反射率レベルをRasとしたときの(Rc−Ra)/
(Rc−Ras)の値は0.80であった。繰り返し記録
回数と3Tビットジッタの関係を調べたところ、ジッタ
が40nsec以下に保たれる記録回数は100回であ
った。
【0034】なお結晶状態の反射率は64%、11Tビ
ット部の反射率は42%であった。一方、従来のパルス
分割法を用い、記録、消去レーザーパワーは変化させ
ず、図2のような波形で記録した場合には、(Rc−R
a)/(Rc−Ras)の値は0.75で、ジッタが40n
sec以下に保たれる記録回数は10回であった。
【0035】
【発明の効果】本発明の記録パルスを用いることにより
従来の分割パルス法と比較し、記録レーザーパワーを変
化させずに信号振幅を大きくすることができる。さら
に、本発明の記録法は媒体の熱ダメージを小さくするた
め、相変化光ディスクの欠点である繰り返し記録による
特性劣化を小さくすることができる。
【0036】本発明の効果は熱の逃げにくいディスク構
造、すなわち高記録感度媒体に対して特に顕著であり、
相変化光ディスクに望まれている高記録感度化に関して
重要な技術となる。また本発明の効果は、GeSbTe
系の場合、信号振幅を大きくすることができるGe含有
量の多い組成に対して顕著である。
【0037】したがって信号振幅を大きくする必要のあ
るCD−ROMと互換性をもつ書換媒体の開発に関して
も重要な技術となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の方法によるパルス形状を示す図面。
【図2】 従来の方法によるパルス形状を示す図面。
【図3】 本発明の方法によるパルス形状の他の一例を
示す図面。
【符号の説明】
1 記録パワー P2 消去パワー P3 分割パルスの間のレーザーパワー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G11B 7/24 511 7215−5D 537 Z 7215−5D

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上に少なくとも誘電体保護層、相転
    移型光記録層、誘電体保護層、反射層を順に積層してな
    る光学的情報記録用媒体に、少なくとも記録レーザーパ
    ワーP1とP1より小さい消去レーザーパワーP2を用い
    て1ビームオーバーライト記録する方法であって、ビッ
    トを形成する記録パルスを該ビット長よりも短い複数の
    パルスに分割し、分割した各パルスのレーザーパワーは
    記録レーザーパワーP1とし、分割したパルスの間のレ
    ーザーパワーを消去レーザーパワーP2の1/2より小
    さくゼロでないレーザーパワーP3としたことを特徴と
    する記録方法。
  2. 【請求項2】 基板上に少なくとも誘電体保護層、相転
    移型光記録層、誘電体保護層、反射層を順に積層してな
    る光学的情報記録用媒体に、少なくとも記録レーザーパ
    ワーP1とP1より小さい消去レーザーパワーP2を用い
    て1ビームオーバーライト記録する方法であって、ビッ
    トを形成する記録パルスを該ビット長よりも短い複数の
    パルスに分割し、分割した各パルスのレーザーパワーは
    記録レーザーパワーP1とし、分割したパルスの間のレ
    ーザーパワーは、消去レーザーパワーP2の1/2より
    小さくゼロでないレーザーパワーP3と消去レーザーパ
    ワーP2近傍のレーザーパワーとで構成することを特徴
    とする記録方法。
  3. 【請求項3】 記録層と反射層の間の誘電体保護層の膜
    厚が100〜500nmであることを特徴とする請求項
    1に記載の記録方法。
  4. 【請求項4】 記録層と反射層の間の誘電体保護層の膜
    厚が100〜500nmであることを特徴とする請求項
    2に記載の記録方法。
  5. 【請求項5】 相転移型光記録層が主にGe、Sb、T
    eからなり、Geの含有量が20〜50at.%である
    ことを特徴とする請求項1に記載の記録方法。
  6. 【請求項6】相転移型光記録層が主にGe、Sb、Te
    からなり、Geの含有量が20〜50at.%であるこ
    とを特徴とする請求項2に記載の記録方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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