JPH08185609A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
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- JPH08185609A JPH08185609A JP6340392A JP34039294A JPH08185609A JP H08185609 A JPH08185609 A JP H08185609A JP 6340392 A JP6340392 A JP 6340392A JP 34039294 A JP34039294 A JP 34039294A JP H08185609 A JPH08185609 A JP H08185609A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 コンター効果の発生を抑止し且つ高出力を得
ることを可能とする薄膜磁気ヘッドを提供する。 【構成】 各磁気コア半体１１，１２を上記基体１，２
の突き合わせ面１ａ，２ｂにそれらの上部から薄膜形成
技術により成膜し、各基体１，２の突き合わせ面１ａ，
２ｂに形成された溝部１６，１７から同様に薄膜形成技
術により巻線が施されて薄膜コイル（図示は省略す
る。）を形成する。そして、突き合わせ面１ａ，２ｂに
て上記基体１，２を接合して各金属磁性膜１５が対向さ
せて磁気ギャップｇを形成する。
ることを可能とする薄膜磁気ヘッドを提供する。 【構成】 各磁気コア半体１１，１２を上記基体１，２
の突き合わせ面１ａ，２ｂにそれらの上部から薄膜形成
技術により成膜し、各基体１，２の突き合わせ面１ａ，
２ｂに形成された溝部１６，１７から同様に薄膜形成技
術により巻線が施されて薄膜コイル（図示は省略す
る。）を形成する。そして、突き合わせ面１ａ，２ｂに
て上記基体１，２を接合して各金属磁性膜１５が対向さ
せて磁気ギャップｇを形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ビデオテープレコーダ
や磁気ディスク装置等に好適な磁気ヘッドに関し、特に
コイルを薄膜工程により形成してなる磁気ヘッド及びそ
の製造方法に関する。
や磁気ディスク装置等に好適な磁気ヘッドに関し、特に
コイルを薄膜工程により形成してなる磁気ヘッド及びそ
の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ビデオテープレコーダ（ＶＴＲ）や磁気
ディスク装置等の磁気記録再生装置の磁気ヘッドとして
は、フェライトよりなる磁気コアの磁気ギャップ形成面
に金属磁性膜を成膜した、いわゆるメタル・イン・ギャ
ップ型磁気ヘッドや、一対の非磁性材料よりなる基板で
金属磁性膜を挟み込んだ形の、いわゆるラミネート型磁
気ヘッド等が使用されているが、今後の高画質化、デジ
タル化等に対応するためには、より高周波域で良好な電
磁変換特性を示すことが必要である。
ディスク装置等の磁気記録再生装置の磁気ヘッドとして
は、フェライトよりなる磁気コアの磁気ギャップ形成面
に金属磁性膜を成膜した、いわゆるメタル・イン・ギャ
ップ型磁気ヘッドや、一対の非磁性材料よりなる基板で
金属磁性膜を挟み込んだ形の、いわゆるラミネート型磁
気ヘッド等が使用されているが、今後の高画質化、デジ
タル化等に対応するためには、より高周波域で良好な電
磁変換特性を示すことが必要である。
【０００３】しかしながら、上記メタル・イン・ギャッ
プ型磁気ヘッドは、インピーダンスが大きく、高周波数
における使用には適さない。
プ型磁気ヘッドは、インピーダンスが大きく、高周波数
における使用には適さない。
【０００４】また、上記ラミネート型磁気ヘッドは、高
密度記録化のためにトラック幅を減少させる場合、磁路
を構成する金属磁性膜の膜厚を減少させる必要があり、
再生効率が低下する。さらに、磁路が金属磁性膜のみで
形成されるため、金属磁性膜の磁気異方性の制御に問題
があり、高い再生効率を得るのが困難である。なぜな
ら、一般に磁気ヘッドの磁気異方性は、磁化容易軸が磁
束の方向に対して常に垂直方向であるのが理想である
が、金属磁性膜の磁化容易軸を磁束の方向に対して常に
垂直方向になるようにすることは難しく、現状では異方
性のない等方（無配向）膜か、異方性があっても一方向
の一軸異方性を持つものしかないからである。
密度記録化のためにトラック幅を減少させる場合、磁路
を構成する金属磁性膜の膜厚を減少させる必要があり、
再生効率が低下する。さらに、磁路が金属磁性膜のみで
形成されるため、金属磁性膜の磁気異方性の制御に問題
があり、高い再生効率を得るのが困難である。なぜな
ら、一般に磁気ヘッドの磁気異方性は、磁化容易軸が磁
束の方向に対して常に垂直方向であるのが理想である
が、金属磁性膜の磁化容易軸を磁束の方向に対して常に
垂直方向になるようにすることは難しく、現状では異方
性のない等方（無配向）膜か、異方性があっても一方向
の一軸異方性を持つものしかないからである。
【０００５】そこで、一軸異方性を利用して高透磁率を
得る磁気ヘッドとして、薄膜形成技術を用いて上層コ
ア，下層コアが所定の磁気ギャップをもって成膜され、
同様に薄膜形成技術によりスパイラル状の巻線が形成さ
れてなるいわゆる誘導型（インダクティブ型）の薄膜磁
気ヘッドが提案されている。この薄膜磁気ヘッドは主に
ハードディスク等に搭載されるものである。
得る磁気ヘッドとして、薄膜形成技術を用いて上層コ
ア，下層コアが所定の磁気ギャップをもって成膜され、
同様に薄膜形成技術によりスパイラル状の巻線が形成さ
れてなるいわゆる誘導型（インダクティブ型）の薄膜磁
気ヘッドが提案されている。この薄膜磁気ヘッドは主に
ハードディスク等に搭載されるものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記薄
膜磁気ヘッドでは、その磁気記録媒体の摺動面におい
て、上層コア及び／又は下層コアのエッジが磁気ギャッ
プから数μｍ程度のところに位置し、当該エッジと磁気
ギャップとが略々平行とされる。このエッジの影響によ
り、いわゆるコンター効果が生じて再生時における信号
波形にうねりが発生することになる。この再生時のうね
りは磁気記録装置の種類によって著しく大きくなる場合
があり、コンター効果の防止策の案出が大きな課題とさ
れている現状である。
膜磁気ヘッドでは、その磁気記録媒体の摺動面におい
て、上層コア及び／又は下層コアのエッジが磁気ギャッ
プから数μｍ程度のところに位置し、当該エッジと磁気
ギャップとが略々平行とされる。このエッジの影響によ
り、いわゆるコンター効果が生じて再生時における信号
波形にうねりが発生することになる。この再生時のうね
りは磁気記録装置の種類によって著しく大きくなる場合
があり、コンター効果の防止策の案出が大きな課題とさ
れている現状である。
【０００７】そこで本発明は、上述の従来の磁気ヘッド
の有する欠点を解消すべく提案されたものであって、コ
ンター効果の発生を抑止し且つ高出力を得ることを可能
とする薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とする。
の有する欠点を解消すべく提案されたものであって、コ
ンター効果の発生を抑止し且つ高出力を得ることを可能
とする薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の対象とするもの
は、突き合わせ面にそれぞれ第１の金属磁性膜が磁気コ
ア半体として成膜された一対の基体を突き合わせ、これ
ら第１の金属磁性膜の対向面間に磁気ギャップを形成し
てなる薄膜磁気ヘッドである。
は、突き合わせ面にそれぞれ第１の金属磁性膜が磁気コ
ア半体として成膜された一対の基体を突き合わせ、これ
ら第１の金属磁性膜の対向面間に磁気ギャップを形成し
てなる薄膜磁気ヘッドである。
【０００９】本発明の磁気ヘッドは、磁気記録媒体摺動
面に臨む前記第１の金属磁性膜の磁気記録媒体摺動方向
における長さが拡大されていることを特徴とするもので
ある。
面に臨む前記第１の金属磁性膜の磁気記録媒体摺動方向
における長さが拡大されていることを特徴とするもので
ある。
【００１０】具体的には、非磁性材よりなる第１の基板
の上部に一対の非磁性板にて第２の金属磁性膜を挟持し
てなる第２の基板が接合されて基体とされ、第１の金属
磁性膜が突き合わせ面に成膜された第２の金属磁性膜と
連なって磁気記録媒体摺動面に臨む前記第１の金属磁性
膜の磁気記録媒体摺動方向における長さが拡大されてい
るものが考えられる。このとき、上記磁気コア半体の少
なくとも一方に薄膜コイルを形成する必要があり、また
金属磁性膜と磁気コア半体とを同一の材料から形成する
ことが好ましい。
の上部に一対の非磁性板にて第２の金属磁性膜を挟持し
てなる第２の基板が接合されて基体とされ、第１の金属
磁性膜が突き合わせ面に成膜された第２の金属磁性膜と
連なって磁気記録媒体摺動面に臨む前記第１の金属磁性
膜の磁気記録媒体摺動方向における長さが拡大されてい
るものが考えられる。このとき、上記磁気コア半体の少
なくとも一方に薄膜コイルを形成する必要があり、また
金属磁性膜と磁気コア半体とを同一の材料から形成する
ことが好ましい。
【００１１】この場合、金属磁性膜及び磁気コア半体の
材料としては、それぞれＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金，Ｆｅ
−Ｎｉ系合金，Ｆｅ−Ａｌ−Ｇｅ系合金，Ｆｅ−Ｇａ−
Ｇｅ系合金，Ｆｅ−Ｓｉ−Ｇａ系合金，Ｆｅ−Ｓｉ−Ｇ
ｅ系合金，Ｆｅ−Ｓｉ−Ｇａ−Ｒｕ系合金，Ｆｅ−Ｃｏ
−Ｓｉ−Ａｌ系合金，アモルファス合金等のうちの１種
を用いることが望ましい。ここで、上記アモルファス合
金としては、例えばＦｅ，Ｎｉ，Ｃｏのうち１つ以上の
元素とＰ，Ｃ，Ｂ，ＳＩのうち１つ以上の元素とからな
る合金や、これらの元素を主成分としてＡｌ，Ｇｅ，Ｂ
ｅ，Ｉｎ，Ｍｏ，Ｗ，Ｔｉ，Ｍｎ，Ｃｒ，Ｚｒ，Ｈｆ，
Ｎｂ等を含有した合金等のメタル−メタロイド系アモル
ファス合金、或はＣｏ，Ｈｆ，Ｚｒ等の遷移元素や希土
類元素等を主成分とするメタル−メタル系アモルファス
合金等が挙げられる。
材料としては、それぞれＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金，Ｆｅ
−Ｎｉ系合金，Ｆｅ−Ａｌ−Ｇｅ系合金，Ｆｅ−Ｇａ−
Ｇｅ系合金，Ｆｅ−Ｓｉ−Ｇａ系合金，Ｆｅ−Ｓｉ−Ｇ
ｅ系合金，Ｆｅ−Ｓｉ−Ｇａ−Ｒｕ系合金，Ｆｅ−Ｃｏ
−Ｓｉ−Ａｌ系合金，アモルファス合金等のうちの１種
を用いることが望ましい。ここで、上記アモルファス合
金としては、例えばＦｅ，Ｎｉ，Ｃｏのうち１つ以上の
元素とＰ，Ｃ，Ｂ，ＳＩのうち１つ以上の元素とからな
る合金や、これらの元素を主成分としてＡｌ，Ｇｅ，Ｂ
ｅ，Ｉｎ，Ｍｏ，Ｗ，Ｔｉ，Ｍｎ，Ｃｒ，Ｚｒ，Ｈｆ，
Ｎｂ等を含有した合金等のメタル−メタロイド系アモル
ファス合金、或はＣｏ，Ｈｆ，Ｚｒ等の遷移元素や希土
類元素等を主成分とするメタル−メタル系アモルファス
合金等が挙げられる。
【００１２】さらに、上記金属磁性膜及び磁気コア半体
の材料としては、それぞれＴｉ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｚｒ，Ｎ
ｂ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｗ，Ｒｕ，Ｏｓ，Ｒｈ，Ｉｒ，Ｒｅ，
Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｈｆ，Ｖ等のうちの少なくとも１種
を添加したものであることが好ましい。
の材料としては、それぞれＴｉ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｚｒ，Ｎ
ｂ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｗ，Ｒｕ，Ｏｓ，Ｒｈ，Ｉｒ，Ｒｅ，
Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｈｆ，Ｖ等のうちの少なくとも１種
を添加したものであることが好ましい。
【００１３】
【作用】本発明に係る薄膜磁気ヘッドにおいては、磁気
記録媒体摺動面に臨む前記第１の金属磁性膜の磁気記録
媒体摺動方向における長さが拡大されている、具体的に
は、非磁性材よりなる第１の基板の上部に一対の非磁性
板にて第２の金属磁性膜を挟持してなる第２の基板が接
合されて基体とされ、第１の金属磁性膜が突き合わせ面
に成膜された第２の金属磁性膜と連なって磁気記録媒体
摺動面に臨む前記第１の金属磁性膜の磁気記録媒体摺動
方向における長さが拡大されている。このとき、各第２
の基板の第２の金属磁性膜の対向面から第１の基板の対
向面にかけて磁気コア半体である第１の金属磁性膜が直
接成膜されており、第１の金属磁性膜と第２の金属磁性
膜とは磁気的に接続されたかたちとされている。したが
ってこの場合、当該薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒体摺動
面において、磁気ギャップの近傍には見かけ上磁気的な
段差が存在しないために再生時に当該磁気ギャップのみ
で信号を拾うようになってコンター効果（信号波形に生
じるうねり）が抑止される。しかも、各磁気コア半体が
薄膜として形成されているためにインダクタンスが極め
て小さく、その分巻線数の多い薄膜コイルを形成するこ
とが可能となって高出力が得られる。
記録媒体摺動面に臨む前記第１の金属磁性膜の磁気記録
媒体摺動方向における長さが拡大されている、具体的に
は、非磁性材よりなる第１の基板の上部に一対の非磁性
板にて第２の金属磁性膜を挟持してなる第２の基板が接
合されて基体とされ、第１の金属磁性膜が突き合わせ面
に成膜された第２の金属磁性膜と連なって磁気記録媒体
摺動面に臨む前記第１の金属磁性膜の磁気記録媒体摺動
方向における長さが拡大されている。このとき、各第２
の基板の第２の金属磁性膜の対向面から第１の基板の対
向面にかけて磁気コア半体である第１の金属磁性膜が直
接成膜されており、第１の金属磁性膜と第２の金属磁性
膜とは磁気的に接続されたかたちとされている。したが
ってこの場合、当該薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒体摺動
面において、磁気ギャップの近傍には見かけ上磁気的な
段差が存在しないために再生時に当該磁気ギャップのみ
で信号を拾うようになってコンター効果（信号波形に生
じるうねり）が抑止される。しかも、各磁気コア半体が
薄膜として形成されているためにインダクタンスが極め
て小さく、その分巻線数の多い薄膜コイルを形成するこ
とが可能となって高出力が得られる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明を適用した薄膜磁気ヘッドの具
体的な実施例について、図面を用いて詳細に説明する。
体的な実施例について、図面を用いて詳細に説明する。
【００１５】本実施例の磁気薄膜ヘッドは、図１〜図３
に示すように、一対の基体１，２の突き合わせ面１ａ，
２ｂに薄膜形成技術により第１の金属薄膜である各磁気
コア半体１１，１２がそれぞれ成膜され、当該各基体
１，２が突き合わせられて閉磁路が形成されてなるもの
である。
に示すように、一対の基体１，２の突き合わせ面１ａ，
２ｂに薄膜形成技術により第１の金属薄膜である各磁気
コア半体１１，１２がそれぞれ成膜され、当該各基体
１，２が突き合わせられて閉磁路が形成されてなるもの
である。
【００１６】上記各基体１，２は、それぞれ第１の基板
３及び第２の基板４から構成されており、非磁性材より
なる第１の基板３の上に第２の基板４が接合固定されて
いる。この第２の基板４は、一対の非磁性板１３，１４
が薄膜形成技術により成膜された第２の金属磁性膜１５
（以下、単に金属磁性膜１５と記す。）を挟持したかた
ちに形成されている。このとき、第２の基板４にはその
上面に所定の円筒研削が施されて磁気記録媒体の摺動面
ａが形成されている。
３及び第２の基板４から構成されており、非磁性材より
なる第１の基板３の上に第２の基板４が接合固定されて
いる。この第２の基板４は、一対の非磁性板１３，１４
が薄膜形成技術により成膜された第２の金属磁性膜１５
（以下、単に金属磁性膜１５と記す。）を挟持したかた
ちに形成されている。このとき、第２の基板４にはその
上面に所定の円筒研削が施されて磁気記録媒体の摺動面
ａが形成されている。
【００１７】上記各磁気コア半体１１，１２は、図２及
び図３に示すように、上記基体１，２の突き合わせ面１
ａ，２ｂにおいてそれらの上部から薄膜形成技術により
成膜されており、各基体１，２の突き合わせ面１ａ，２
ｂに形成された各溝部１６から同様に薄膜形成技術によ
り巻線が施されて薄膜コイル（図示は省略する。）が形
成されている。そして、これら磁気コア半体１１，１２
の表面に所定のギャップ膜が成膜され、突き合わせ面１
ａ，２ｂにて上記基体１，２が融合ガラス５により接合
されて、各金属磁性膜１５が対向して磁気ギャップｇが
形成される。
び図３に示すように、上記基体１，２の突き合わせ面１
ａ，２ｂにおいてそれらの上部から薄膜形成技術により
成膜されており、各基体１，２の突き合わせ面１ａ，２
ｂに形成された各溝部１６から同様に薄膜形成技術によ
り巻線が施されて薄膜コイル（図示は省略する。）が形
成されている。そして、これら磁気コア半体１１，１２
の表面に所定のギャップ膜が成膜され、突き合わせ面１
ａ，２ｂにて上記基体１，２が融合ガラス５により接合
されて、各金属磁性膜１５が対向して磁気ギャップｇが
形成される。
【００１８】ここで、上記金属磁性膜１５及び磁気コア
半体１１，１２は、それぞれ高飽和磁束密度を有し且つ
軟磁気特性に優れた強磁性合金材料よりなるものであ
り、この材料としては、例えば、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合
金，Ｆｅ−Ｎｉ系合金，Ｆｅ−Ａｌ−Ｇｅ系合金，Ｆｅ
−Ｇａ−Ｇｅ系合金，Ｆｅ−Ｓｉ−Ｇａ系合金，Ｆｅ−
Ｓｉ−Ｇｅ系合金，Ｆｅ−Ｓｉ−Ｇａ−Ｒｕ系合金，Ｆ
ｅ−Ｃｏ−Ｓｉ−Ａｌ系合金，アモルファス合金等のう
ちの１種を用いることが望ましい。ここで、上記アモル
ファス合金としては、例えばＦｅ，Ｎｉ，Ｃｏのうち１
つ以上の元素とＰ，Ｃ，Ｂ，ＳＩのうち１つ以上の元素
とからなる合金や、これらの元素を主成分としてＡｌ，
Ｇｅ，Ｂｅ，Ｉｎ，Ｍｏ，Ｗ，Ｔｉ，Ｍｎ，Ｃｒ，Ｚ
ｒ，Ｈｆ，Ｎｂ等を含有した合金等のメタル−メタロイ
ド系アモルファス合金、或はＣｏ，Ｈｆ，Ｚｒ等の遷移
元素や希土類元素等を主成分とするメタル−メタル系ア
モルファス合金等が挙げられる。さらに、金属磁性膜１
５としては、高周波領域における渦電流損失を回避する
ために金属磁性層と絶縁層とを交互に積層してなる多層
膜構造に形成したものを用いてもよい。
半体１１，１２は、それぞれ高飽和磁束密度を有し且つ
軟磁気特性に優れた強磁性合金材料よりなるものであ
り、この材料としては、例えば、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合
金，Ｆｅ−Ｎｉ系合金，Ｆｅ−Ａｌ−Ｇｅ系合金，Ｆｅ
−Ｇａ−Ｇｅ系合金，Ｆｅ−Ｓｉ−Ｇａ系合金，Ｆｅ−
Ｓｉ−Ｇｅ系合金，Ｆｅ−Ｓｉ−Ｇａ−Ｒｕ系合金，Ｆ
ｅ−Ｃｏ−Ｓｉ−Ａｌ系合金，アモルファス合金等のう
ちの１種を用いることが望ましい。ここで、上記アモル
ファス合金としては、例えばＦｅ，Ｎｉ，Ｃｏのうち１
つ以上の元素とＰ，Ｃ，Ｂ，ＳＩのうち１つ以上の元素
とからなる合金や、これらの元素を主成分としてＡｌ，
Ｇｅ，Ｂｅ，Ｉｎ，Ｍｏ，Ｗ，Ｔｉ，Ｍｎ，Ｃｒ，Ｚ
ｒ，Ｈｆ，Ｎｂ等を含有した合金等のメタル−メタロイ
ド系アモルファス合金、或はＣｏ，Ｈｆ，Ｚｒ等の遷移
元素や希土類元素等を主成分とするメタル−メタル系ア
モルファス合金等が挙げられる。さらに、金属磁性膜１
５としては、高周波領域における渦電流損失を回避する
ために金属磁性層と絶縁層とを交互に積層してなる多層
膜構造に形成したものを用いてもよい。
【００１９】このように、上記薄膜磁気ヘッドにおいて
は、第２の基板４が一対の非磁性板１３，１４にて金属
磁性膜１５を挟持してなり、薄膜の磁気コア半体１１，
１２がそれぞれ成膜されている一対の基体１，２が突き
合わせられて対向する各金属磁性膜１５により磁気ギャ
ップｇが形成されている。このとき、各第２の基板４の
突き合わせ面１ａ，２ｂにおいて、金属磁性膜１５から
第１の基板３に架けて磁気コア半体１１，１２が直接成
膜されており、金属磁性膜１５と磁気コア半体１１，１
２とは磁気的に接続されたかたちとされている。したが
ってこの場合、当該薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒体との
摺動面において、磁気ギャップｇの近傍には見かけ上磁
気的な段差が存在しないために再生時に当該磁気ギャッ
プのみで信号を拾うようになってコンター効果（信号波
形に生じるうねり）が抑止される。しかも、各磁気コア
半体が薄膜として形成されているためにインダクタンス
が極めて小さく、その分巻線数の多い薄膜コイルを形成
することが可能となって高出力が得られる。
は、第２の基板４が一対の非磁性板１３，１４にて金属
磁性膜１５を挟持してなり、薄膜の磁気コア半体１１，
１２がそれぞれ成膜されている一対の基体１，２が突き
合わせられて対向する各金属磁性膜１５により磁気ギャ
ップｇが形成されている。このとき、各第２の基板４の
突き合わせ面１ａ，２ｂにおいて、金属磁性膜１５から
第１の基板３に架けて磁気コア半体１１，１２が直接成
膜されており、金属磁性膜１５と磁気コア半体１１，１
２とは磁気的に接続されたかたちとされている。したが
ってこの場合、当該薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒体との
摺動面において、磁気ギャップｇの近傍には見かけ上磁
気的な段差が存在しないために再生時に当該磁気ギャッ
プのみで信号を拾うようになってコンター効果（信号波
形に生じるうねり）が抑止される。しかも、各磁気コア
半体が薄膜として形成されているためにインダクタンス
が極めて小さく、その分巻線数の多い薄膜コイルを形成
することが可能となって高出力が得られる。
【００２０】ここで、上記薄膜磁気ヘッドを作製するに
は、先ず図４に示すように、非磁性材よりなる短冊状の
ブロック２１の一側面に真空薄膜形成技術により所定の
金属磁性材を材料として所要厚の金属膜２２を成膜す
る。このように金属膜２２を成膜したブロック２１を複
数（ここでは４つ）用意し、金属膜２２を有しないブロ
ック２３を図中右端に載置して各金属膜２２がブロック
２１（及びブロック２３）により挟持されるように接合
して上部ブロック３１を作製する。そして、図５に示す
ように、非磁性材よりなる下部ブロック３２上に上記上
部ブロック３１を載置固定して基体ブロック３３を作製
する。
は、先ず図４に示すように、非磁性材よりなる短冊状の
ブロック２１の一側面に真空薄膜形成技術により所定の
金属磁性材を材料として所要厚の金属膜２２を成膜す
る。このように金属膜２２を成膜したブロック２１を複
数（ここでは４つ）用意し、金属膜２２を有しないブロ
ック２３を図中右端に載置して各金属膜２２がブロック
２１（及びブロック２３）により挟持されるように接合
して上部ブロック３１を作製する。そして、図５に示す
ように、非磁性材よりなる下部ブロック３２上に上記上
部ブロック３１を載置固定して基体ブロック３３を作製
する。
【００２１】次に、図６に示すように、基体ブロック３
３の一側面３３ｂに、上部ブロック３１から下部ブロッ
ク３２に架けて当該基体ブロック３３の長手方向に平行
に帯状の溝部３３ａを形成する。その後、図７に示すよ
うに、上記一側面３３ｂの各金属膜２２のエッジから溝
部３３ａに架けて真空薄膜形成技術により磁気コア半体
１１（及び磁気コア半体１２）を所要厚に成膜する。
３の一側面３３ｂに、上部ブロック３１から下部ブロッ
ク３２に架けて当該基体ブロック３３の長手方向に平行
に帯状の溝部３３ａを形成する。その後、図７に示すよ
うに、上記一側面３３ｂの各金属膜２２のエッジから溝
部３３ａに架けて真空薄膜形成技術により磁気コア半体
１１（及び磁気コア半体１２）を所要厚に成膜する。
【００２２】なお、上記各金属膜２２及び磁気コア半体
１１，１２の成膜方法としては、具体的には膜厚制御性
に優れたスパッタリング法や、真空蒸着法、イオンプレ
ーミング法、イオンビーム法等の手法を用いることが好
ましい。
１１，１２の成膜方法としては、具体的には膜厚制御性
に優れたスパッタリング法や、真空蒸着法、イオンプレ
ーミング法、イオンビーム法等の手法を用いることが好
ましい。
【００２３】そして、上記の真空薄膜形成技術により各
磁気コア半体１１（及び磁気コア半体１２）に薄膜コイ
ルを形成し、溶融した融着ガラスを用いて一対の上記基
体ブロック３３を接合して、円筒研削等の後処理を施し
所要のヘッドチップ（図示は省略する。）に切り出す。
このようにして上記薄膜磁気ヘッドが完成する。
磁気コア半体１１（及び磁気コア半体１２）に薄膜コイ
ルを形成し、溶融した融着ガラスを用いて一対の上記基
体ブロック３３を接合して、円筒研削等の後処理を施し
所要のヘッドチップ（図示は省略する。）に切り出す。
このようにして上記薄膜磁気ヘッドが完成する。
【００２４】
【発明の効果】本発明の薄膜磁気ヘッドによれば、コン
ター効果の発生を抑止し且つ高出力を得ることが可能と
なる。
ター効果の発生を抑止し且つ高出力を得ることが可能と
なる。
【図１】本実施例の薄膜磁気ヘッドを模式的に示す斜視
図である。
図である。
【図２】磁気コア半体が成膜された基体を模式的に示す
側面図である。
側面図である。
【図３】磁気コア半体が成膜された基体を模式的に示す
正面図である。
正面図である。
【図４】上部ブロック及び下部ブロックが作製された様
子を模式的に示す斜視図である。
子を模式的に示す斜視図である。
【図５】上部ブロックと下部ブロックとが接合されて基
体ブロックが作製された様子を模式的に示す斜視図であ
る。
体ブロックが作製された様子を模式的に示す斜視図であ
る。
【図６】基体ブロックに溝部が形成された様子を模式的
に示す斜視図である。
に示す斜視図である。
【図７】基体ブロックに各磁気コア半体が成膜された様
子を模式的に示す斜視図である。
子を模式的に示す斜視図である。
１，２ 基体 ３ 第１の基板 ４ 第２の基板 ５ 融着ガラス １１，１２ 磁気コア半体１１，１２ １３，１４ 非磁性板 １５ 金属磁性膜
Claims (6)
- 【請求項１】 突き合わせ面にそれぞれ第１の金属磁性
膜が磁気コア半体として成膜された一対の基体を突き合
わせ、これら第１の金属磁性膜の対向面間に磁気ギャッ
プを形成してなる薄膜磁気ヘッドにおいて、 磁気記録媒体摺動面に臨む前記第１の金属磁性膜の磁気
記録媒体摺動方向における長さが拡大されていることを
特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項２】 非磁性材よりなる第１の基板の上部に一
対の非磁性板にて第２の金属磁性膜を挟持してなる第２
の基板が接合されて基体とされ、 第１の金属磁性膜が突き合わせ面に成膜された第２の金
属磁性膜と連なって磁気記録媒体摺動面に臨む前記第１
の金属磁性膜の磁気記録媒体摺動方向における長さが拡
大されていることを特徴とする請求項１記載の薄膜磁気
ヘッド。 - 【請求項３】 磁気コア半体の少なくとも一方に薄膜コ
イルが形成されていることを特徴とする請求項１記載の
薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項４】 第２の基板の金属磁性膜と磁気コア半体
とが同一の材料からなることを特徴とする請求項１記載
の薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項５】 金属磁性膜及び磁気コア半体がそれぞれ
Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金，Ｆｅ−Ｎｉ系合金，Ｆｅ−Ａ
ｌ−Ｇｅ系合金，Ｆｅ−Ｇａ−Ｇｅ系合金，Ｆｅ−Ｓｉ
−Ｇａ系合金，Ｆｅ−Ｓｉ−Ｇｅ系合金，Ｆｅ−Ｓｉ−
Ｇａ−Ｒｕ系合金，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｓｉ−Ａｌ系合金，ア
モルファス合金のうちの１種よりなることを特徴とする
請求項１記載の薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項６】 金属磁性膜及び磁気コア半体がそれぞれ
Ｔｉ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｗ，Ｒ
ｕ，Ｏｓ，Ｒｈ，Ｉｒ，Ｒｅ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｈ
ｆ，Ｖのうちの少なくとも１種を含有することを特徴と
する請求項５記載の薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6340392A JPH08185609A (ja) | 1994-12-29 | 1994-12-29 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6340392A JPH08185609A (ja) | 1994-12-29 | 1994-12-29 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08185609A true JPH08185609A (ja) | 1996-07-16 |
Family
ID=18336518
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6340392A Withdrawn JPH08185609A (ja) | 1994-12-29 | 1994-12-29 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08185609A (ja) |
-
1994
- 1994-12-29 JP JP6340392A patent/JPH08185609A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020305 |