JPH08185819A - 蛍光プリンタヘッド - Google Patents
蛍光プリンタヘッドInfo
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- JPH08185819A JPH08185819A JP32456094A JP32456094A JPH08185819A JP H08185819 A JPH08185819 A JP H08185819A JP 32456094 A JP32456094 A JP 32456094A JP 32456094 A JP32456094 A JP 32456094A JP H08185819 A JPH08185819 A JP H08185819A
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- Japan
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- printer head
- fluorescent
- drive circuit
- film
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】ポリシリコン薄膜トランジスタで構成される駆
動回路を蛍光表示部の真空容器内に内蔵する蛍光プリン
タヘッドの外部ノイズによる誤動作を防ぎ良好な画像を
得る。 【構成】ガラス基板１上に形成されたチャネル層４，ゲ
ート電極７，ソース・ドレイン領域５からなるポリシリ
コン薄膜トランジスタ駆動回路を絶縁膜３，保護膜１０
を介して導電体膜２，１１で被覆し、この導電膜２，１
１を接地することで駆動回路を、ノイズの原因となる電
磁波から遮蔽し、駆動回路の誤動作を防止する。
動回路を蛍光表示部の真空容器内に内蔵する蛍光プリン
タヘッドの外部ノイズによる誤動作を防ぎ良好な画像を
得る。 【構成】ガラス基板１上に形成されたチャネル層４，ゲ
ート電極７，ソース・ドレイン領域５からなるポリシリ
コン薄膜トランジスタ駆動回路を絶縁膜３，保護膜１０
を介して導電体膜２，１１で被覆し、この導電膜２，１
１を接地することで駆動回路を、ノイズの原因となる電
磁波から遮蔽し、駆動回路の誤動作を防止する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は蛍光プリンタヘッドに関
し、特に駆動回路を内蔵した蛍光プリンタヘッドに関す
る。
し、特に駆動回路を内蔵した蛍光プリンタヘッドに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】デジタル電子写真式複写機やプリンタ，
ファクシミリ装置に用いられている画像形成装置は、帯
電、露光、現像、転写のそれぞれの工程を順次繰り返す
ことにより、画像を形成する。具体的には、コロナ放電
等の帯電手段により帯電された感光体に、露光装置によ
る光信号の書き込みを行うことにより静電潜像が形成さ
れる。これをトナーにより現像し、その画像を転写紙上
に転写する。
ファクシミリ装置に用いられている画像形成装置は、帯
電、露光、現像、転写のそれぞれの工程を順次繰り返す
ことにより、画像を形成する。具体的には、コロナ放電
等の帯電手段により帯電された感光体に、露光装置によ
る光信号の書き込みを行うことにより静電潜像が形成さ
れる。これをトナーにより現像し、その画像を転写紙上
に転写する。
【０００３】一般に、これらの露光装置は半導体レーザ
を光源とし、ポリゴンミラーによりビームを紙送り方向
とは垂直方向に走査する方法、もしくは１次元に配列さ
れたＬＥＤアレイを用いた光ヘッドを用いている。
を光源とし、ポリゴンミラーによりビームを紙送り方向
とは垂直方向に走査する方法、もしくは１次元に配列さ
れたＬＥＤアレイを用いた光ヘッドを用いている。
【０００４】このような露光装置に対し、蛍光表示管を
発光素子として用いた蛍光プリンタヘッドが提案（画像
電子学会誌、１９９年、第２０巻、第４号、第３７３頁
参照）され、さらに小型、高性能、低コストを実現する
ための手段としてポリシリコン薄膜トランジスタにより
駆動される蛍光プリンタヘッド（Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ
Ｐｈｏｔｏ−Ｏｐｔｉｃａｌ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔ
ａｔｉｏｎ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｓ−Ｔｈｅ Ｉｎｔｅｒ
ｎａｔｉｏｎａｌ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｆｏｒＯｐｔｉｃ
ａｌ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎ
ｇ．第２１７１巻、第６６頁、１９９４年、参照）が提
案されている。
発光素子として用いた蛍光プリンタヘッドが提案（画像
電子学会誌、１９９年、第２０巻、第４号、第３７３頁
参照）され、さらに小型、高性能、低コストを実現する
ための手段としてポリシリコン薄膜トランジスタにより
駆動される蛍光プリンタヘッド（Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ
Ｐｈｏｔｏ−Ｏｐｔｉｃａｌ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔ
ａｔｉｏｎ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｓ−Ｔｈｅ Ｉｎｔｅｒ
ｎａｔｉｏｎａｌ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｆｏｒＯｐｔｉｃ
ａｌ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎ
ｇ．第２１７１巻、第６６頁、１９９４年、参照）が提
案されている。
【０００５】図３は従来の蛍光プリンタヘッドを説明す
るための模式的断面図である。
るための模式的断面図である。
【０００６】図３に示すように、ガラス基板１の上にポ
リシリコン薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を用いた駆動回
路２２をガラス基板１，真空容器側壁２０，ガラス板２
１で囲まれた真空容器内に内蔵させて形成し、この真空
容器内に形成して直熱形カソードとなるフィラメント２
６から放出される熱電子を加速してアノード上の蛍光体
膜３４に衝突させ発光させる電子管で、駆動回路２２を
含む表面に形成した絶縁膜２７の上の蛍光体膜３４の近
傍に設けたグリッド２５により蛍光体膜３４に衝突させ
る電子流を制御する。
リシリコン薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を用いた駆動回
路２２をガラス基板１，真空容器側壁２０，ガラス板２
１で囲まれた真空容器内に内蔵させて形成し、この真空
容器内に形成して直熱形カソードとなるフィラメント２
６から放出される熱電子を加速してアノード上の蛍光体
膜３４に衝突させ発光させる電子管で、駆動回路２２を
含む表面に形成した絶縁膜２７の上の蛍光体膜３４の近
傍に設けたグリッド２５により蛍光体膜３４に衝突させ
る電子流を制御する。
【０００７】このような蛍光プリンタヘッドは、各蛍光
体膜に薄膜トランジスタ駆動回路２２を接続して蛍光体
膜の電位を制御、保持するスタティック駆動を行うこと
により、低電圧ながらも高い輝度を得ることができる。
また、６００℃以下の低温プロセスで作成されるポリシ
リコン薄膜トランジスタ駆動回路２２を、蛍光表示管を
構成する真空容器内部に内蔵して形成することにより、
蛍光プリンタヘッドの小型化、コスト低減が得られる。
体膜に薄膜トランジスタ駆動回路２２を接続して蛍光体
膜の電位を制御、保持するスタティック駆動を行うこと
により、低電圧ながらも高い輝度を得ることができる。
また、６００℃以下の低温プロセスで作成されるポリシ
リコン薄膜トランジスタ駆動回路２２を、蛍光表示管を
構成する真空容器内部に内蔵して形成することにより、
蛍光プリンタヘッドの小型化、コスト低減が得られる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】この従来の蛍光プリン
タヘッドは、駆動回路を真空容器に内蔵して蛍光表示部
に近接させて配置しているため、電源又は接地端子から
の配線が長くなり、駆動回路に外部から電磁波が進入し
易く、そのノイズにより駆動回路が誤動作し易いという
問題があった。
タヘッドは、駆動回路を真空容器に内蔵して蛍光表示部
に近接させて配置しているため、電源又は接地端子から
の配線が長くなり、駆動回路に外部から電磁波が進入し
易く、そのノイズにより駆動回路が誤動作し易いという
問題があった。
【０００９】電子写真式画像形成装置においては、感光
体の帯電、転写時に数キロボルト程度の高電圧が必要で
あり、また、感光体駆動用のモータなどノイズ源も多
い。半導体レーザによる方法では、発光部を感光体から
離れた位置に配置可能であり電磁シールドも容易にでき
るが、蛍光プリントヘッドを用いる場合、画像形成装置
の小型化に伴い特に帯電器と露光器が非常に近接して配
置されることが多く、ノイズによる誤動作を生じ易い。
体の帯電、転写時に数キロボルト程度の高電圧が必要で
あり、また、感光体駆動用のモータなどノイズ源も多
い。半導体レーザによる方法では、発光部を感光体から
離れた位置に配置可能であり電磁シールドも容易にでき
るが、蛍光プリントヘッドを用いる場合、画像形成装置
の小型化に伴い特に帯電器と露光器が非常に近接して配
置されることが多く、ノイズによる誤動作を生じ易い。
【００１０】本発明の目的は、外部ノイズによる誤動作
を防止した蛍光プリンタヘッドを提供することにある。
を防止した蛍光プリンタヘッドを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の蛍光プリ
ンタヘッドは、薄膜トランジスタを用いて構成される駆
動回路を蛍光表示部の真空容器内に内蔵させた蛍光プリ
ンタヘッドにおいて、前記駆動回路の周囲を取囲んで被
覆し外部ノイズを遮蔽する導電体膜を有する。
ンタヘッドは、薄膜トランジスタを用いて構成される駆
動回路を蛍光表示部の真空容器内に内蔵させた蛍光プリ
ンタヘッドにおいて、前記駆動回路の周囲を取囲んで被
覆し外部ノイズを遮蔽する導電体膜を有する。
【００１２】本発明の第２の蛍光プリンタヘッドは、薄
膜トランジスタを用いて構成される駆動回路を蛍光表示
部の真空容器内に内蔵させた蛍光プリンタヘッドにおい
て、前記真空容器の外表面を被覆して設けた透明導電体
膜を有する。
膜トランジスタを用いて構成される駆動回路を蛍光表示
部の真空容器内に内蔵させた蛍光プリンタヘッドにおい
て、前記真空容器の外表面を被覆して設けた透明導電体
膜を有する。
【００１３】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１４】図１は本発明の第１の実施例を説明するた
めの模式的断面図である。
めの模式的断面図である。
【００１５】図１に示すように、ガラス基板１の上にリ
ンをドープした低抵抗のポリシリコン膜を減圧気相成長
（ＬＰＣＶＤ）法により堆積した厚さ１００ｎｍの導電
体膜２と酸化シリコン膜からなる絶縁膜３とを順次積層
して形成した後、この２層を順次パターニングする。次
に、酸化シリコン膜の上にアモルファスシリコン膜を１
００ｎｍの厚さに堆積してアモルファスシリコン膜にＮ
チャネルＴＦＴ形成用のリン及びＰチャネルＴＦＴ形成
用のホウ素を選択的にそれぞれイオン注入した後エキシ
マレーザ（波長３０８ｎｍ）を照射してアニールし、こ
れをパターニングしてポリシリコン層からなるチャネル
層４及び低抵抗ポリシリコン層からなるソース・ドレイ
ン領域５を形成する。
ンをドープした低抵抗のポリシリコン膜を減圧気相成長
（ＬＰＣＶＤ）法により堆積した厚さ１００ｎｍの導電
体膜２と酸化シリコン膜からなる絶縁膜３とを順次積層
して形成した後、この２層を順次パターニングする。次
に、酸化シリコン膜の上にアモルファスシリコン膜を１
００ｎｍの厚さに堆積してアモルファスシリコン膜にＮ
チャネルＴＦＴ形成用のリン及びＰチャネルＴＦＴ形成
用のホウ素を選択的にそれぞれイオン注入した後エキシ
マレーザ（波長３０８ｎｍ）を照射してアニールし、こ
れをパターニングしてポリシリコン層からなるチャネル
層４及び低抵抗ポリシリコン層からなるソース・ドレイ
ン領域５を形成する。
【００１６】次に、全面にＬＰＣＶＤ法により酸化シリ
コン膜を１５０ｎｍの厚さに堆積してゲート絶縁膜８を
形成し、ゲート絶縁膜８の上にリンをドープしたポリシ
リコン膜を２００ｎｍの厚さに堆積してパターニング
し、ゲート電極７を形成し、薄膜トランジスタ（ＴＦ
Ｔ）アレイを形成する。次に、ゲート電極７を含む表面
にスパッタ法により酸化シリコン膜を３００ｎｍの厚さ
に堆積して層間絶縁膜９を堆積する。次に、層間絶縁膜
９及びゲート絶縁膜８を選択的にエッチングして第１の
コンタクトホールを形成し、第１のコンタクトホールを
含む表面にアルミニウム膜を堆積してパターニングし、
第１のコンタクトホールのソース・ドレイン領域５と接
続するアルミニウム配線６を形成する。次に、全面にス
パッタ法により酸化シリコン膜を３００ｎｍの厚さに堆
積して保護膜１０を形成し、導電体膜２に達する第２の
コンタクトホールを形成してアルミニウム膜を堆積して
パターニングし、第２のコンタクトホールの導電体膜２
と接続してＴＦＴアレイの上を被覆する導電体膜１１を
形成する。ここで、導電体膜２は接地され、外部からの
ノイズを遮蔽して蛍光プリンタヘッドの誤動作を防止す
る。
コン膜を１５０ｎｍの厚さに堆積してゲート絶縁膜８を
形成し、ゲート絶縁膜８の上にリンをドープしたポリシ
リコン膜を２００ｎｍの厚さに堆積してパターニング
し、ゲート電極７を形成し、薄膜トランジスタ（ＴＦ
Ｔ）アレイを形成する。次に、ゲート電極７を含む表面
にスパッタ法により酸化シリコン膜を３００ｎｍの厚さ
に堆積して層間絶縁膜９を堆積する。次に、層間絶縁膜
９及びゲート絶縁膜８を選択的にエッチングして第１の
コンタクトホールを形成し、第１のコンタクトホールを
含む表面にアルミニウム膜を堆積してパターニングし、
第１のコンタクトホールのソース・ドレイン領域５と接
続するアルミニウム配線６を形成する。次に、全面にス
パッタ法により酸化シリコン膜を３００ｎｍの厚さに堆
積して保護膜１０を形成し、導電体膜２に達する第２の
コンタクトホールを形成してアルミニウム膜を堆積して
パターニングし、第２のコンタクトホールの導電体膜２
と接続してＴＦＴアレイの上を被覆する導電体膜１１を
形成する。ここで、導電体膜２は接地され、外部からの
ノイズを遮蔽して蛍光プリンタヘッドの誤動作を防止す
る。
【００１７】図２は本発明の第２の実施例を説明するた
めの模式的断面図である。
めの模式的断面図である。
【００１８】図２に示すように、ガラス基板１の上に第
１の実施例で説明した薄膜トランジスタにより構成され
る駆動回路２２を搭載してガラス基板１，真空容器側壁
２０，ガラス板２１で囲まれる真空容器内に内蔵させ、
真空容器内のフィラメント２６から放出される熱電子を
加速して衝突させ発光させる蛍光体膜２４を配線２３を
介して駆動回路２２に接続し、蛍光体膜２４の電位を制
御する。駆動回路２２を含む表面に形成した絶縁膜２７
上の蛍光体膜２４の近傍に設けたグリッド２５により電
子流を制御する。このように構成した蛍光プリンタヘッ
ドの外表面にＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄ
ｅ）からなる透明導電膜２８を形成して被覆し接地する
ことにより外部からのノイズを遮蔽し、駆動回路２２の
誤動作を防止している。
１の実施例で説明した薄膜トランジスタにより構成され
る駆動回路２２を搭載してガラス基板１，真空容器側壁
２０，ガラス板２１で囲まれる真空容器内に内蔵させ、
真空容器内のフィラメント２６から放出される熱電子を
加速して衝突させ発光させる蛍光体膜２４を配線２３を
介して駆動回路２２に接続し、蛍光体膜２４の電位を制
御する。駆動回路２２を含む表面に形成した絶縁膜２７
上の蛍光体膜２４の近傍に設けたグリッド２５により電
子流を制御する。このように構成した蛍光プリンタヘッ
ドの外表面にＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄ
ｅ）からなる透明導電膜２８を形成して被覆し接地する
ことにより外部からのノイズを遮蔽し、駆動回路２２の
誤動作を防止している。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、薄膜トラ
ンジスタを用いる駆動回路を蛍光表示部の真空容器内に
内蔵させた蛍光プリンタヘッドの駆動回路又は蛍光プリ
ンタヘッドの外表面を導電体膜で被覆することにより、
外部ノイズを遮蔽して駆動回路の誤動作を防止できると
いう効果を有する。
ンジスタを用いる駆動回路を蛍光表示部の真空容器内に
内蔵させた蛍光プリンタヘッドの駆動回路又は蛍光プリ
ンタヘッドの外表面を導電体膜で被覆することにより、
外部ノイズを遮蔽して駆動回路の誤動作を防止できると
いう効果を有する。
【図１】本発明の第１の実施例を説明するための模式的
断面図。
断面図。
【図２】本発明の第２の実施例を説明するための模式的
断面図。
断面図。
【図３】従来の蛍光プリンタヘッドの一例を説明するた
めの模式的断面図。
めの模式的断面図。
１ ガラス基板 ２，１１ 導電体膜 ３，２７ 絶縁膜 ４ チャネル層 ５ ソース・ドレイン領域 ６ アルミニウム配線 ７ ゲート電極 ８ ゲート絶縁膜 ９ 層間絶縁膜 １０ 保護膜 ２０ 真空容器側壁 ２１ ガラス板 ２２ 駆動回路 ２３ 配線 ２４ 蛍光体膜 ２５ グリッド ２６ フィラメント ２８ 透明導電体膜
Claims (2)
- 【請求項１】 薄膜トランジスタを用いて構成される駆
動回路を蛍光表示部の真空容器内に内蔵させた蛍光プリ
ンタヘッドにおいて、前記駆動回路の周囲を取囲んで被
覆し外部ノイズを遮蔽する導電体膜を有することを特徴
とする蛍光プリンタヘッド。 - 【請求項２】 薄膜トランジスタを用いて構成される駆
動回路を蛍光表示部の真空容器内に内蔵させた蛍光プリ
ンタヘッドにおいて、前記真空容器の外表面を被覆して
設けた透明導電体膜を有することを特徴とする蛍光プリ
ンタヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32456094A JP2820047B2 (ja) | 1994-12-27 | 1994-12-27 | 蛍光プリンタヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32456094A JP2820047B2 (ja) | 1994-12-27 | 1994-12-27 | 蛍光プリンタヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08185819A true JPH08185819A (ja) | 1996-07-16 |
| JP2820047B2 JP2820047B2 (ja) | 1998-11-05 |
Family
ID=18167181
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32456094A Expired - Lifetime JP2820047B2 (ja) | 1994-12-27 | 1994-12-27 | 蛍光プリンタヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2820047B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100424967B1 (ko) * | 1996-05-03 | 2004-07-23 | 마이크론 테크놀로지 인코포레이티드 | 차폐전계방출디스플레이 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63129952U (ja) * | 1987-02-17 | 1988-08-25 | ||
| JPS6417377A (en) * | 1987-07-10 | 1989-01-20 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Line light source device for printer |
| JPH0162648U (ja) * | 1987-10-13 | 1989-04-21 | ||
| JPH03133036A (ja) * | 1989-10-19 | 1991-06-06 | Seiko Epson Corp | アクティブマトリクス型蛍光表示装置 |
| JPH0554839A (ja) * | 1991-08-26 | 1993-03-05 | Nec Corp | 蛍光表示パネル |
-
1994
- 1994-12-27 JP JP32456094A patent/JP2820047B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63129952U (ja) * | 1987-02-17 | 1988-08-25 | ||
| JPS6417377A (en) * | 1987-07-10 | 1989-01-20 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Line light source device for printer |
| JPH0162648U (ja) * | 1987-10-13 | 1989-04-21 | ||
| JPH03133036A (ja) * | 1989-10-19 | 1991-06-06 | Seiko Epson Corp | アクティブマトリクス型蛍光表示装置 |
| JPH0554839A (ja) * | 1991-08-26 | 1993-03-05 | Nec Corp | 蛍光表示パネル |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100424967B1 (ko) * | 1996-05-03 | 2004-07-23 | 마이크론 테크놀로지 인코포레이티드 | 차폐전계방출디스플레이 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2820047B2 (ja) | 1998-11-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19970819 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980728 |