JPH08190055A - 顕微鏡対物レンズ - Google Patents
顕微鏡対物レンズInfo
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- JPH08190055A JPH08190055A JP7000871A JP87195A JPH08190055A JP H08190055 A JPH08190055 A JP H08190055A JP 7000871 A JP7000871 A JP 7000871A JP 87195 A JP87195 A JP 87195A JP H08190055 A JPH08190055 A JP H08190055A
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- lens
- image
- microscope objective
- positive
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/02—Objectives
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】コントラスト低下の原因であるフレアー光を低
減する。 【構成】物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニ
スカスレンズ成分及び貼り合わせレンズ成分を有し、物
体からの光束を収斂光束に変換する正の屈折力の前群
と、該前群の像側に配置され、負レンズ成分と正レンズ
成分との貼り合わせで構成された負屈折力の後群と、を
有し、前記前群中の前記貼り合わせレンズ成分のうち、
最も像側の貼り合わせレンズは、以下の条件を満足す
る。 ｜Ｒ1｜／ｆ＞１００ （１） ｜Ｒ2｜／ｆ＞２０ （２） 但し、Ｒ1 は前記前群中の前記最も像側の貼り合わせレ
ンズの物体側のレンズ面の曲率半径、Ｒ2 は前記前群中
の前記最も像側の貼り合わせレンズの像側のレンズ面の
曲率半径、ｆは顕微鏡対物レンズの焦点距離である。
減する。 【構成】物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニ
スカスレンズ成分及び貼り合わせレンズ成分を有し、物
体からの光束を収斂光束に変換する正の屈折力の前群
と、該前群の像側に配置され、負レンズ成分と正レンズ
成分との貼り合わせで構成された負屈折力の後群と、を
有し、前記前群中の前記貼り合わせレンズ成分のうち、
最も像側の貼り合わせレンズは、以下の条件を満足す
る。 ｜Ｒ1｜／ｆ＞１００ （１） ｜Ｒ2｜／ｆ＞２０ （２） 但し、Ｒ1 は前記前群中の前記最も像側の貼り合わせレ
ンズの物体側のレンズ面の曲率半径、Ｒ2 は前記前群中
の前記最も像側の貼り合わせレンズの像側のレンズ面の
曲率半径、ｆは顕微鏡対物レンズの焦点距離である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、顕微鏡用対物レンズに
関し、特に、金属顕微鏡対物レンズに関する。
関し、特に、金属顕微鏡対物レンズに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の乾燥系顕微鏡対物レンズは、例え
ば本願と同一出願人による特公平4-26446 号公報に示さ
れるレンズ構成となっていた。即ち、従来の乾燥系顕微
鏡対物レンズは、図１２に示すように、正屈折力の前群
Ｇ1 と負屈折力の後群Ｇ2 とを有している。更に、前記
正屈折力の前群Ｇ1 は、物体側から順に、物体側に凹面
を向けた正メニスカスレンズ成分、貼り合わせ正レンズ
成分及び物体側に凸面を向けたメニスカスレンズ成分と
を有している。また、前記負屈折力の後群Ｇ2 は、負レ
ンズ２枚と正レンズ１枚との貼り合わせレンズから成っ
ている。
ば本願と同一出願人による特公平4-26446 号公報に示さ
れるレンズ構成となっていた。即ち、従来の乾燥系顕微
鏡対物レンズは、図１２に示すように、正屈折力の前群
Ｇ1 と負屈折力の後群Ｇ2 とを有している。更に、前記
正屈折力の前群Ｇ1 は、物体側から順に、物体側に凹面
を向けた正メニスカスレンズ成分、貼り合わせ正レンズ
成分及び物体側に凸面を向けたメニスカスレンズ成分と
を有している。また、前記負屈折力の後群Ｇ2 は、負レ
ンズ２枚と正レンズ１枚との貼り合わせレンズから成っ
ている。
【０００３】ここで、前記前群Ｇ1 は、図１２に示す通
り、最も像側のレンズが両凸単レンズと両凹単レンズと
を貼り合わせた物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ
である。そして、前記前群Ｇ1 中の最も像側の貼り合わ
せレンズは、図１２から明らかなように、殆ど屈折作用
をもっていない。
り、最も像側のレンズが両凸単レンズと両凹単レンズと
を貼り合わせた物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ
である。そして、前記前群Ｇ1 中の最も像側の貼り合わ
せレンズは、図１２から明らかなように、殆ど屈折作用
をもっていない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、一般に、金
属顕微鏡では、被検物体を反射光で観察するため、顕微
鏡対物レンズが顕微鏡用の照明光学系も兼ねている。つ
まり、一般的な顕微鏡対物レンズでは光線が物体側から
像側へのみ進行するのに対し、金属顕微鏡対物レンズで
は、光線が物体側から像側へ進行するだけでなく、像側
から物体側へも光線は進行する。
属顕微鏡では、被検物体を反射光で観察するため、顕微
鏡対物レンズが顕微鏡用の照明光学系も兼ねている。つ
まり、一般的な顕微鏡対物レンズでは光線が物体側から
像側へのみ進行するのに対し、金属顕微鏡対物レンズで
は、光線が物体側から像側へ進行するだけでなく、像側
から物体側へも光線は進行する。
【０００５】ここで、図１２に示す従来の乾燥系顕微鏡
対物レンズを、金属顕微鏡対物レンズとして適用してみ
る。被検物体からの観察光が図１２に示す従来の乾燥系
顕微鏡対物レンズを進行するときは、特に問題は無い。
しかし、照明光が図１２に示す従来の乾燥系顕微鏡対物
レンズを被検物体からの観察光とは逆に進行するとき、
特定の面で照明光の反射が起こり、フレアー光が発生す
る。そして、この結果、コントラストが低下し、見えが
悪くなる。尚、本明細書中でフレアー光とは、レンズ面
の反射により像まで到達する迷光のことである。
対物レンズを、金属顕微鏡対物レンズとして適用してみ
る。被検物体からの観察光が図１２に示す従来の乾燥系
顕微鏡対物レンズを進行するときは、特に問題は無い。
しかし、照明光が図１２に示す従来の乾燥系顕微鏡対物
レンズを被検物体からの観察光とは逆に進行するとき、
特定の面で照明光の反射が起こり、フレアー光が発生す
る。そして、この結果、コントラストが低下し、見えが
悪くなる。尚、本明細書中でフレアー光とは、レンズ面
の反射により像まで到達する迷光のことである。
【０００６】図１２に示す従来の顕微鏡対物レンズの場
合では、前群Ｇ1 の最も像側の貼り合わせレンズの空気
との境界面ｒ16及びｒ18で有害な反射を起こしていた。
従来の技術で述べた様に、前群の最も像側の貼り合わせ
レンズは、殆ど屈折作用をもっていない。このため、照
明光として前群の最も像側の貼り合わせレンズに像側か
ら入射した光線は、図１２から明らかなように、屈折面
で入射光線と同一な方向へ反射される。
合では、前群Ｇ1 の最も像側の貼り合わせレンズの空気
との境界面ｒ16及びｒ18で有害な反射を起こしていた。
従来の技術で述べた様に、前群の最も像側の貼り合わせ
レンズは、殆ど屈折作用をもっていない。このため、照
明光として前群の最も像側の貼り合わせレンズに像側か
ら入射した光線は、図１２から明らかなように、屈折面
で入射光線と同一な方向へ反射される。
【０００７】図８を用いて上述の現象を詳述する。図８
は、屈折面１の光軸２上の曲率中心（図８の○印）と入
射光線Ｎの光軸２上の発散（又は収斂）する中心位置
（図８の×印）とが同一な場合である。この様な場合、
屈折面１に入射して屈折した屈折光線Ｋは屈折面１によ
る屈折作用を全く受けず、入射光線Ｎが屈折面１を素通
りしたような状態となる。また、この様な場合、屈折面
１に入射して反射した反射光線Ｈは、入射光線Ｎと全く
同一の光路を逆に進む。これは、屈折面１における法線
と入射光線Ｎとが一致し、入射光線Ｎは屈折面Ｒの入射
点に対し垂直入射となってしまうからである。
は、屈折面１の光軸２上の曲率中心（図８の○印）と入
射光線Ｎの光軸２上の発散（又は収斂）する中心位置
（図８の×印）とが同一な場合である。この様な場合、
屈折面１に入射して屈折した屈折光線Ｋは屈折面１によ
る屈折作用を全く受けず、入射光線Ｎが屈折面１を素通
りしたような状態となる。また、この様な場合、屈折面
１に入射して反射した反射光線Ｈは、入射光線Ｎと全く
同一の光路を逆に進む。これは、屈折面１における法線
と入射光線Ｎとが一致し、入射光線Ｎは屈折面Ｒの入射
点に対し垂直入射となってしまうからである。
【０００８】また、屈折面と入射光線が発散（又は収
斂）する中心位置とがほぼ一致した場合は、屈折面の曲
率中心と入射光線の発散（又は収斂）する中心位置と屈
折面により反射された反射光線の収斂（又は発散）する
中心位置とが、ほぼ一致した状態となる。この様に入射
光線と同一の方向へ反射された反射光は、そのまま観察
光と一緒になり像を形成する。結像された像は、この様
なフレアー光があると、コントラストが低下し、実際に
目で見た際の見えが非常に悪くなる。
斂）する中心位置とがほぼ一致した場合は、屈折面の曲
率中心と入射光線の発散（又は収斂）する中心位置と屈
折面により反射された反射光線の収斂（又は発散）する
中心位置とが、ほぼ一致した状態となる。この様に入射
光線と同一の方向へ反射された反射光は、そのまま観察
光と一緒になり像を形成する。結像された像は、この様
なフレアー光があると、コントラストが低下し、実際に
目で見た際の見えが非常に悪くなる。
【０００９】そこで、本発明は以上のことに鑑み、コン
トラスト低下の原因であるフレアー光の低減を第１の目
的とする。更に、本発明では、フレアー光の低減をはか
りつつ、なおかつ高倍率でアポクロマートな顕微鏡対物
レンズを達成し、特に色コマ収差を良好に補正すること
を第２の目的とする。
トラスト低下の原因であるフレアー光の低減を第１の目
的とする。更に、本発明では、フレアー光の低減をはか
りつつ、なおかつ高倍率でアポクロマートな顕微鏡対物
レンズを達成し、特に色コマ収差を良好に補正すること
を第２の目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記第１の目的を達成す
るために、本発明では、物体側から順に、物体側に凹面
を向けた正メニスカスレンズ成分及び貼り合わせレンズ
成分を有し、物体からの光束を収斂光束に変換する正の
屈折力の前群と、該前群の像側に配置され、負レンズ成
分と正レンズ成分との貼り合わせで構成された負屈折力
の後群と、を有し、前記前群中の前記貼り合わせレンズ
成分のうち、最も像側の貼り合わせレンズは、以下の条
件を満足する顕微鏡対物レンズを提供する。
るために、本発明では、物体側から順に、物体側に凹面
を向けた正メニスカスレンズ成分及び貼り合わせレンズ
成分を有し、物体からの光束を収斂光束に変換する正の
屈折力の前群と、該前群の像側に配置され、負レンズ成
分と正レンズ成分との貼り合わせで構成された負屈折力
の後群と、を有し、前記前群中の前記貼り合わせレンズ
成分のうち、最も像側の貼り合わせレンズは、以下の条
件を満足する顕微鏡対物レンズを提供する。
【００１１】 ｜Ｒ1｜／ｆ＞１００ （１） ｜Ｒ2｜／ｆ＞２０ （２） 但し、Ｒ1 は前記前群中の前記最も像側の貼り合わせレ
ンズの物体側のレンズ面の曲率半径、Ｒ2 は前記前群中
の前記最も像側の貼り合わせレンズの像側のレンズ面の
曲率半径、ｆは顕微鏡対物レンズの焦点距離である。
ンズの物体側のレンズ面の曲率半径、Ｒ2 は前記前群中
の前記最も像側の貼り合わせレンズの像側のレンズ面の
曲率半径、ｆは顕微鏡対物レンズの焦点距離である。
【００１２】また、本発明の顕微鏡対物レンズは、以下
の条件を満足することが好ましい。 ν21＞５０ （３） ν22＞５０ （４） 但し、ν21は前記後群中の前記負レンズ成分のアッベ
数、ν22は前記後群中の前記正レンズ成分のアッベ数で
ある。
の条件を満足することが好ましい。 ν21＞５０ （３） ν22＞５０ （４） 但し、ν21は前記後群中の前記負レンズ成分のアッベ
数、ν22は前記後群中の前記正レンズ成分のアッベ数で
ある。
【００１３】更に、高倍率でアポクロマートな顕微鏡対
物レンズを達成するために、前記前群中の前記物体側に
凹面を向けた正メニスカスレンズ成分は、少なくとも３
枚以上の正メニスカスレンズを有し、前記少なくとも３
枚以上の正メニスカスレンズのうち、少なくとも２枚以
上の正メニスカスレンズは、以下の条件を満足すること
が好ましい。
物レンズを達成するために、前記前群中の前記物体側に
凹面を向けた正メニスカスレンズ成分は、少なくとも３
枚以上の正メニスカスレンズを有し、前記少なくとも３
枚以上の正メニスカスレンズのうち、少なくとも２枚以
上の正メニスカスレンズは、以下の条件を満足すること
が好ましい。
【００１４】ν＞９０ （５） 但し、νは前記少なくとも２枚以上の正メニスカスレン
ズのアッベ数である。
ズのアッベ数である。
【００１５】
【作用】本発明では、図９に示すように、屈折面の曲率
中心と光線の発散（又は収斂）する中心位置とが、一致
しないようにしている。このようにすることで、本発明
では、フレアー光の低減を図っている。図９では、光線
の発散する光軸２上の中心位置（図９の×印）が、屈折
面１の曲率中心（図９の○印）と屈折面１との間にある
場合である。この場合は、図９に示すように、屈折面１
に入射する入射光線Ｎが、光軸２から離れる方向に反射
される。屈折面１に当たり反射された反射光線Ｈは、最
終的に顕微鏡の鏡筒内壁に達する。このとき、顕微鏡の
鏡筒内壁は黒色塗装或いは植毛されており、顕微鏡の鏡
筒内壁に達した光線は、消滅してしまう。
中心と光線の発散（又は収斂）する中心位置とが、一致
しないようにしている。このようにすることで、本発明
では、フレアー光の低減を図っている。図９では、光線
の発散する光軸２上の中心位置（図９の×印）が、屈折
面１の曲率中心（図９の○印）と屈折面１との間にある
場合である。この場合は、図９に示すように、屈折面１
に入射する入射光線Ｎが、光軸２から離れる方向に反射
される。屈折面１に当たり反射された反射光線Ｈは、最
終的に顕微鏡の鏡筒内壁に達する。このとき、顕微鏡の
鏡筒内壁は黒色塗装或いは植毛されており、顕微鏡の鏡
筒内壁に達した光線は、消滅してしまう。
【００１６】以上のことを定量的に条件化したものが、
条件（１）及び（２）である。これらの条件（１）及び
（２）を満足していれば、フレアー光の少ない顕微鏡対
物レンズを構成することが可能である。もし、条件
（１）及び（２）を満たさないと、課題のところで述べ
たように、照明光として入射した光線が入射光線と同一
又はほぼ同一な方向へ反射され、観察光と一緒になり、
フレアー光が増大し、本発明の目的を達成し得なくな
る。また、条件（１）の下限を１５０、条件（２）の下
限を２５とすると更に良い結果が得られる。また更に、
条件（１）の下限を２００、条件（２）の下限を３０と
すると極めて良い結果が得られる。
条件（１）及び（２）である。これらの条件（１）及び
（２）を満足していれば、フレアー光の少ない顕微鏡対
物レンズを構成することが可能である。もし、条件
（１）及び（２）を満たさないと、課題のところで述べ
たように、照明光として入射した光線が入射光線と同一
又はほぼ同一な方向へ反射され、観察光と一緒になり、
フレアー光が増大し、本発明の目的を達成し得なくな
る。また、条件（１）の下限を１５０、条件（２）の下
限を２５とすると更に良い結果が得られる。また更に、
条件（１）の下限を２００、条件（２）の下限を３０と
すると極めて良い結果が得られる。
【００１７】更に、本発明では、条件（３）及び（４）
を満足するのが好ましい。条件（３）及び（４）は、後
群中の貼り合わせ面で発生するフレアー光を低減するた
めの条件である。図１２に示す従来の乾燥系顕微鏡対物
レンズの場合でも、前群Ｇ1の最も像側の貼り合わせレ
ンズほどではないが、後群Ｇ2 はフレアー光を発生させ
る。この場合のフレアー光低減の方法は、原理的には、
図１０に示すように、入射光線Ｎの発散する中心位置
（図１０の×印）が、屈折面１の曲率中心と屈折面１と
の外側とすることである。図１０に示すような場合は、
屈折面１に当たった入射光線Ｎが、光軸２へ向かう方向
に反射される。反射された光線は、最終的に黒色塗装或
いは植毛された顕微鏡の鏡筒内壁面に到達し、消滅す
る。これにより、貼り合わせ面で発生するフレアー光の
光量を低減させることができる。もし、条件（３）及び
（４）を満足しない場合は、フレアー光が増大するた
め、好ましくない。
を満足するのが好ましい。条件（３）及び（４）は、後
群中の貼り合わせ面で発生するフレアー光を低減するた
めの条件である。図１２に示す従来の乾燥系顕微鏡対物
レンズの場合でも、前群Ｇ1の最も像側の貼り合わせレ
ンズほどではないが、後群Ｇ2 はフレアー光を発生させ
る。この場合のフレアー光低減の方法は、原理的には、
図１０に示すように、入射光線Ｎの発散する中心位置
（図１０の×印）が、屈折面１の曲率中心と屈折面１と
の外側とすることである。図１０に示すような場合は、
屈折面１に当たった入射光線Ｎが、光軸２へ向かう方向
に反射される。反射された光線は、最終的に黒色塗装或
いは植毛された顕微鏡の鏡筒内壁面に到達し、消滅す
る。これにより、貼り合わせ面で発生するフレアー光の
光量を低減させることができる。もし、条件（３）及び
（４）を満足しない場合は、フレアー光が増大するた
め、好ましくない。
【００１８】貼り合わせ面で発生するフレアー光を低減
する方法には、上記の方法以外に、貼り合わせ面前後の
屈折率差を０或いは０に近づけるという方法がある。し
かし、屈折率差を０或いは０に近づけると、その貼り合
わせ面で光線を曲げる作用が無くなり、収差補正の自由
度が１つ減ることになるので、望ましくない。また更
に、本発明では、条件（５）を満足するのが好ましい。
条件（５）は、高倍率でアポクロマートな顕微鏡対物レ
ンズを達成するための条件である。もし、条件（５）を
満足しない場合は、色コマ収差が増大し、アポクロマー
トな顕微鏡対物レンズでなくなってしまう。色コマ収差
が増大すると、像に色の滲みが生じ、像の見えが非常に
悪くなる。本明細書中で色コマ収差とは、各波長（色）
に対するコマ収差のことを言う。
する方法には、上記の方法以外に、貼り合わせ面前後の
屈折率差を０或いは０に近づけるという方法がある。し
かし、屈折率差を０或いは０に近づけると、その貼り合
わせ面で光線を曲げる作用が無くなり、収差補正の自由
度が１つ減ることになるので、望ましくない。また更
に、本発明では、条件（５）を満足するのが好ましい。
条件（５）は、高倍率でアポクロマートな顕微鏡対物レ
ンズを達成するための条件である。もし、条件（５）を
満足しない場合は、色コマ収差が増大し、アポクロマー
トな顕微鏡対物レンズでなくなってしまう。色コマ収差
が増大すると、像に色の滲みが生じ、像の見えが非常に
悪くなる。本明細書中で色コマ収差とは、各波長（色）
に対するコマ収差のことを言う。
【００１９】また、本発明では、以下の条件（６）を満
足することが望ましい。 ｜Ｒ3｜／ｆ＜５ （６） ここで、Ｒ3 は、前記前群中の前記最も像側の貼り合わ
せレンズの貼り合わせ面の曲率半径である。この条件
（６）は、緒収差を良好に補正するための条件である。
この条件の範囲を越えると、特に色収差が増大し、本発
明の第２目的である高倍率で且つアポクロマートな顕微
鏡対物レンズを達成できなくなる。条件（６）の上限を
４．６とすると、更に良い結果が得られる。更に、条件
（６）の上限を４．２とすると、極めて良い結果が得ら
れる。
足することが望ましい。 ｜Ｒ3｜／ｆ＜５ （６） ここで、Ｒ3 は、前記前群中の前記最も像側の貼り合わ
せレンズの貼り合わせ面の曲率半径である。この条件
（６）は、緒収差を良好に補正するための条件である。
この条件の範囲を越えると、特に色収差が増大し、本発
明の第２目的である高倍率で且つアポクロマートな顕微
鏡対物レンズを達成できなくなる。条件（６）の上限を
４．６とすると、更に良い結果が得られる。更に、条件
（６）の上限を４．２とすると、極めて良い結果が得ら
れる。
【００２０】
【実施例】以下に各実施例を示す。全ての実施例は、無
限遠系に設計されている。実際に顕微鏡の対物レンズと
して使用する場合は、例えば図１１に示す結像レンズを
像側に設けて使用する。表４に本実施例で使用する結像
レンズの諸元を示し、図１１に本実施例で使用する結像
レンズの構成図を示す。
限遠系に設計されている。実際に顕微鏡の対物レンズと
して使用する場合は、例えば図１１に示す結像レンズを
像側に設けて使用する。表４に本実施例で使用する結像
レンズの諸元を示し、図１１に本実施例で使用する結像
レンズの構成図を示す。
【００２１】以下の表１から表３に本発明による第１か
ら第３実施例の諸元を示す。各表中、左端の数字は物体
側からの順序を表し、ｎｄ及びνｄはそれぞれｄ線（λ
＝587.6nm ）に対する屈折率及びアッベ数を表す。ま
た、Ｗ．Ｄ．は、作動距離に対応する値、即ち物体面と
最前レンズ面頂点との距離を表す。焦点距離は、結像レ
ンズを用いず、諸元そのままの状態での値である。
ら第３実施例の諸元を示す。各表中、左端の数字は物体
側からの順序を表し、ｎｄ及びνｄはそれぞれｄ線（λ
＝587.6nm ）に対する屈折率及びアッベ数を表す。ま
た、Ｗ．Ｄ．は、作動距離に対応する値、即ち物体面と
最前レンズ面頂点との距離を表す。焦点距離は、結像レ
ンズを用いず、諸元そのままの状態での値である。
【００２２】また、図４、図５及び図６は、それぞれの
使用倍率で結像レンズを一緒に使用した場合の各実施例
の諸収差図である。諸収差図は、ｄ線（λ＝587.6nm ）
についての球面収差、非点収差、コマ収差、及び歪曲収
差を示し、特に、球面収差図中には、Ｃ線（λ＝656.3n
m ）、Ｆ線（λ＝486.1nm ）、ｇ線（λ＝435.8nm ）に
ついても併記した。
使用倍率で結像レンズを一緒に使用した場合の各実施例
の諸収差図である。諸収差図は、ｄ線（λ＝587.6nm ）
についての球面収差、非点収差、コマ収差、及び歪曲収
差を示し、特に、球面収差図中には、Ｃ線（λ＝656.3n
m ）、Ｆ線（λ＝486.1nm ）、ｇ線（λ＝435.8nm ）に
ついても併記した。
【００２３】更に、図７は、各実施例における最大入射
高での色コマ収差を表したものである。この図７では、
球面収差図同様、ｄ線（λ＝587.6nm ）のみならず、Ｃ
線（λ＝656.3nm ）、Ｆ線（λ＝486.1nm ）、ｇ線（λ
＝435.8nm ）についても併記してある。 〔第１実施例〕図１は、本実施例のレンズ構成図であ
る。図１を参照しながら、レンズ構成の説明を行う。
高での色コマ収差を表したものである。この図７では、
球面収差図同様、ｄ線（λ＝587.6nm ）のみならず、Ｃ
線（λ＝656.3nm ）、Ｆ線（λ＝486.1nm ）、ｇ線（λ
＝435.8nm ）についても併記してある。 〔第１実施例〕図１は、本実施例のレンズ構成図であ
る。図１を参照しながら、レンズ構成の説明を行う。
【００２４】前群Ｇ1 は、物体側から順に、正メニスカ
スレンズ成分である物体側に凹面を向けた第１正メニス
カスレンズＬ1 、同じく物体側に凹面を向けた第２及び
第３正メニスカスレンズＬ2 及びＬ3 、貼り合わせレン
ズ成分である像側に凹面を向けた負レンズＬ4 と両凸正
レンズＬ5 とからなる第１貼り合わせレンズ、像側に凹
面を向けた負レンズＬ6 と両凸正レンズＬ7 とからなる
第２貼り合わせレンズ、像側に凹面を向けた負レンズＬ
8 と両凸正レンズＬ9 とからなる第３貼り合わせレン
ズ、両凸正レンズＬ10と両凹負レンズＬ11とからなる第
４貼り合わせレンズとを有している。また、後群Ｇ
2 は、負レンズ成分である両凹負レンズＬ12と正レンズ
成分である像側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ13
との貼り合わせで構成された負レンズを有している。
スレンズ成分である物体側に凹面を向けた第１正メニス
カスレンズＬ1 、同じく物体側に凹面を向けた第２及び
第３正メニスカスレンズＬ2 及びＬ3 、貼り合わせレン
ズ成分である像側に凹面を向けた負レンズＬ4 と両凸正
レンズＬ5 とからなる第１貼り合わせレンズ、像側に凹
面を向けた負レンズＬ6 と両凸正レンズＬ7 とからなる
第２貼り合わせレンズ、像側に凹面を向けた負レンズＬ
8 と両凸正レンズＬ9 とからなる第３貼り合わせレン
ズ、両凸正レンズＬ10と両凹負レンズＬ11とからなる第
４貼り合わせレンズとを有している。また、後群Ｇ
2 は、負レンズ成分である両凹負レンズＬ12と正レンズ
成分である像側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ13
との貼り合わせで構成された負レンズを有している。
【００２５】以下の表１に第１実施例の諸元を示す。ま
た、図４は本実施例のレンズの緒収差図であり、図７
（ａ）は、本実施例における最大入射高での色コマ収差
図である。
た、図４は本実施例のレンズの緒収差図であり、図７
（ａ）は、本実施例における最大入射高での色コマ収差
図である。
【００２６】
【表１】
【００２７】 面番号 曲率半径 中心厚 屈折率 アッベ数 Ｎｏ ｒ 間隔ｄ ｎｄ νｄ １ -2.10 2.49 1.76684 46.8 Ｌ1 Ｇ1 ２ -2.38 0.05 ３ -6.92 2.00 1.43388 95.6 Ｌ2 ４ -4.80 0.05 ５ -235.08 2.30 1.43388 95.6 Ｌ3 ６ -9.86 0.10 ７ 704.79 1.00 1.79504 28.6 Ｌ4 ８ 10.65 5.00 1.49782 86.5 Ｌ5 ９ -8.06 0.10 １０ 26.72 1.10 1.61266 44.4 Ｌ6 １１ 6.68 4.80 1.49782 82.5 Ｌ7 １２ -17.50 0.10 １３ 16.37 1.10 1.68893 31.1 Ｌ8 １４ 4.62 4.50 1.49782 82.5 Ｌ9 １５ -164.01 0.50 １６ 874.78 3.00 1.78472 25.8 Ｌ10 １７ -5.25 3.40 1.67025 57.5 Ｌ11 １８ 146.43 7.00 １９ -4.25 1.00 1.58913 61.1 Ｌ12 Ｇ2 ２０ 3.26 2.00 1.74810 52.3 Ｌ13 ２１ 10.19 焦点距離ｆ＝１．３３ N.A.＝０．９５ 倍率：１５０ W.D.＝０．４ Ｒ1 ／ｆ＝６５８ Ｒ2 ／ｆ＝１１０ Ｒ3 ／ｆ＝−３．９５ 〔第２実施例〕図２は、本実施例のレンズ構成図であ
る。図２を参照しながら、レンズ構成の説明を行う。
る。図２を参照しながら、レンズ構成の説明を行う。
【００２８】前群Ｇ1 は、物体側から順に、正メニスカ
スレンズ成分である物体側に凹面を向けた第１正メニス
カスレンズＬ1 、同じく物体側に凹面を向けた第２及び
第３正メニスカスレンズＬ2 及びＬ3 、貼り合わせレン
ズ成分である両凹負レンズＬ 4 と両凸正レンズＬ5 とか
らなる第１貼り合わせレンズ、像側に凹面を向けた負メ
ニスカスレンズＬ6 と両凸正レンズＬ7 とからなる第２
貼り合わせレンズ、像側に凹面を向けた負メニスカスレ
ンズＬ8 と像側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ9
とからなる第３貼り合わせレンズ、物体側に凹面を向け
た正メニスカスレンズＬ10と両凹負レンズＬ11とからな
る第４貼り合わせレンズとを有している。また、後群Ｇ
2 は、負レンズ成分である両凹負レンズＬ12と正レンズ
成分である像側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ13
との貼り合わせで構成された負レンズを有している。
スレンズ成分である物体側に凹面を向けた第１正メニス
カスレンズＬ1 、同じく物体側に凹面を向けた第２及び
第３正メニスカスレンズＬ2 及びＬ3 、貼り合わせレン
ズ成分である両凹負レンズＬ 4 と両凸正レンズＬ5 とか
らなる第１貼り合わせレンズ、像側に凹面を向けた負メ
ニスカスレンズＬ6 と両凸正レンズＬ7 とからなる第２
貼り合わせレンズ、像側に凹面を向けた負メニスカスレ
ンズＬ8 と像側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ9
とからなる第３貼り合わせレンズ、物体側に凹面を向け
た正メニスカスレンズＬ10と両凹負レンズＬ11とからな
る第４貼り合わせレンズとを有している。また、後群Ｇ
2 は、負レンズ成分である両凹負レンズＬ12と正レンズ
成分である像側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ13
との貼り合わせで構成された負レンズを有している。
【００２９】以下の表２に第２実施例の諸元を示す。ま
た、図５は本実施例のレンズの緒収差図であり、図７
（ｂ）は、本実施例における最大入射高での色コマ収差
図である。
た、図５は本実施例のレンズの緒収差図であり、図７
（ｂ）は、本実施例における最大入射高での色コマ収差
図である。
【００３０】
【表２】 面番号 曲率半径 中心厚 屈折率 アッベ数 Ｎｏ ｒ 間隔ｄ ｎｄ νｄ １ -2.10 2.49 1.76684 46.8 Ｌ1 Ｇ1 ２ -2.38 0.05 ３ -7.00 2.00 1.43388 95.6 Ｌ2 ４ -4.69 0.05 ５ -68.57 2.30 1.43388 95.6 Ｌ3 ６ -9.34 0.10 ７ -336.00 1.00 1.79504 28.6 Ｌ4 ８ 10.96 5.00 1.49782 86.5 Ｌ5 ９ -8.10 0.10 １０ 31.86 1.10 1.61266 44.4 Ｌ6 １１ 7.06 4.80 1.49782 82.5 Ｌ7 １２ -15.56 0.10 １３ 13.88 1.10 1.68893 31.1 Ｌ8 １４ 4.57 4.50 1.49782 82.5 Ｌ9 １５ 85.72 0.50 １６ -362.00 3.00 1.78472 25.8 Ｌ10 １７ -5.25 3.40 1.67025 57.5 Ｌ11 １８ 1000.00 7.00 １９ -4.33 1.00 1.58913 61.1 Ｌ12 Ｇ2 ２０ 3.20 2.00 1.74810 52.3 Ｌ13 ２１ 9.68 焦点距離ｆ＝１．３３ N.A.＝０．９５ 倍率：１５０ W.D.＝０．４ Ｒ1 ／ｆ＝−２７２ Ｒ2 ／ｆ＝７５２ Ｒ3 ／ｆ＝−３．９５ 〔第３実施例〕図３は、本実施例のレンズ構成図であ
る。図３を参照しながら、レンズ構成の説明をおこな
う。
る。図３を参照しながら、レンズ構成の説明をおこな
う。
【００３１】前群Ｇ1 は、物体側から順に、正メニスカ
スレンズ成分である物体側に凹面を向けた第１正メニス
カスレンズＬ1 、同じく物体側に凹面を向けた第２及び
第３正メニスカスレンズＬ2 及びＬ3 、貼り合わせレン
ズ成分である両凹負レンズＬ 4 と両凸正レンズＬ5 とか
らなる第１貼り合わせレンズ、像側に凹面を向けた負レ
ンズＬ6 と両凸正レンズＬ7 とからなる第２貼り合わせ
レンズ、像側に凹面を向けた負レンズＬ8 と像側に凹面
を向けた正メニスカスレンズＬ9 とからなる第３貼り合
わせレンズ、両凸正レンズＬ10と両凹負レンズＬ11とか
らなる第４貼り合わせレンズとを有している。また、後
群Ｇ2 は、負レンズ成分である両凹負レンズＬ12と正レ
ンズ成分である像側に凹面を向けた正メニスカスレンズ
Ｌ13との貼り合わせで構成された負レンズを有してい
る。
スレンズ成分である物体側に凹面を向けた第１正メニス
カスレンズＬ1 、同じく物体側に凹面を向けた第２及び
第３正メニスカスレンズＬ2 及びＬ3 、貼り合わせレン
ズ成分である両凹負レンズＬ 4 と両凸正レンズＬ5 とか
らなる第１貼り合わせレンズ、像側に凹面を向けた負レ
ンズＬ6 と両凸正レンズＬ7 とからなる第２貼り合わせ
レンズ、像側に凹面を向けた負レンズＬ8 と像側に凹面
を向けた正メニスカスレンズＬ9 とからなる第３貼り合
わせレンズ、両凸正レンズＬ10と両凹負レンズＬ11とか
らなる第４貼り合わせレンズとを有している。また、後
群Ｇ2 は、負レンズ成分である両凹負レンズＬ12と正レ
ンズ成分である像側に凹面を向けた正メニスカスレンズ
Ｌ13との貼り合わせで構成された負レンズを有してい
る。
【００３２】以下の表３に第３実施例の諸元を示す。ま
た、図６は本実施例のレンズの緒収差図であり、図７
（ｃ）は、本実施例における最大入射高での色コマ収差
図である。
た、図６は本実施例のレンズの緒収差図であり、図７
（ｃ）は、本実施例における最大入射高での色コマ収差
図である。
【００３３】
【表３】 面番号 曲率半径 中心厚 屈折率 アッベ数 Ｎｏ ｒ 間隔ｄ ｎｄ νｄ １ -2.10 2.49 1.76684 46.8 Ｌ1 Ｇ1 ２ -2.38 0.05 ３ -7.06 2.00 1.43388 95.6 Ｌ2 ４ -4.71 0.05 ５ -86.06 2.30 1.43388 95.6 Ｌ3 ６ -9.25 0.10 ７ -300.34 1.00 1.79504 28.6 Ｌ4 ８ 10.80 5.00 1.49782 86.5 Ｌ5 ９ -8.11 0.10 １０ 53.77 1.10 1.61266 44.4 Ｌ6 １１ 7.39 4.80 1.49782 82.5 Ｌ7 １２ -14.73 0.10 １３ 12.94 1.10 1.68893 31.1 Ｌ8 １４ 4.68 4.50 1.49782 82.5 Ｌ9 １５ 3165.50 0.50 １６ 773.81 3.00 1.78472 25.8 Ｌ10 １７ -5.40 3.40 1.67025 57.5 Ｌ11 １８ 50.00 7.00 １９ -4.23 1.00 1.58913 61.1 Ｌ12 Ｇ2 ２０ 3.31 2.00 1.74810 52.3 Ｌ13 ２１ 10.64 焦点距離ｆ＝１．３３ N.A.＝０．９５ 倍率：１５０ W.D.＝０．４ Ｒ1 ／ｆ＝５８２ Ｒ2 ／ｆ＝３８ Ｒ3 ／ｆ＝−４．０６
【００３４】
【表４】 面番号 曲率半径 中心厚 屈折率 アッベ数 Ｎｏ ｒ 間隔ｄ ｎｄ νｄ １ 52.00 6.50 1.61720 54.0 ２ -87.00 2.00 1.74950 35.2 ３ 350.00 8.50 ４ 49.00 5.00 1.66755 42.0 ５ 0.00 2.50 1.61266 44.4 ６ 31.00 158.78 焦点距離ｆ＝２０４ 更に、表５に各実施例のフレアー係数を示す。フレアー
係数とは、（ある面の反射率を１００％と仮定したと
き、前記ある面から反射した反射光が検出系まで到達す
る光量）／（前記ある面に入射する光量）で定義するも
のである。尚、フレアー係数にその面での反射率を乗じ
たものが、実際のフレアー量となる。
係数とは、（ある面の反射率を１００％と仮定したと
き、前記ある面から反射した反射光が検出系まで到達す
る光量）／（前記ある面に入射する光量）で定義するも
のである。尚、フレアー係数にその面での反射率を乗じ
たものが、実際のフレアー量となる。
【００３５】
【表５】表５から明らかなように、第１実施例から第３
実施例までの対物レンズは、フレアー光が非常に少な
い。また、図４、図５及び図６から、各収差が、良好な
補正状態であることがわかる。特に、軸上色収差が、極
めて良好に補正されている。
実施例までの対物レンズは、フレアー光が非常に少な
い。また、図４、図５及び図６から、各収差が、良好な
補正状態であることがわかる。特に、軸上色収差が、極
めて良好に補正されている。
【００３６】更に、図７の各実施例における色コマ収差
の状態より、色コマ収差が非常に良好に補正されている
ことがわかる。以上の如く、各実施例によれば、フレア
ー光が極めて少なく、高倍率でアポクロマートな対物レ
ンズを構成できる。尚、本発明は、以上の実施例に限定
されるものではない。本実施例では無限遠系の対物レン
ズであったが、後群Ｇ2 を少し変形することにより、容
易に有限系の対物レンズとすることが可能である。ま
た、本発明による顕微鏡対物レンズは、金属顕微鏡用の
みならず、乾燥系顕微鏡用として一般的に使用できるの
は言うまでも無い。
の状態より、色コマ収差が非常に良好に補正されている
ことがわかる。以上の如く、各実施例によれば、フレア
ー光が極めて少なく、高倍率でアポクロマートな対物レ
ンズを構成できる。尚、本発明は、以上の実施例に限定
されるものではない。本実施例では無限遠系の対物レン
ズであったが、後群Ｇ2 を少し変形することにより、容
易に有限系の対物レンズとすることが可能である。ま
た、本発明による顕微鏡対物レンズは、金属顕微鏡用の
みならず、乾燥系顕微鏡用として一般的に使用できるの
は言うまでも無い。
【００３７】
【発明の効果】以上の如く、本発明によれば、フレアー
光が極めて少ない顕微鏡対物レンズを構成できる。フレ
アー光が少なくなればなるほど、像の見え味は良くな
る。この様な顕微鏡対物レンズは、ＩＣやＬＳＩ等の極
微細なパターンの検査用として用いることにより、半導
体産業の発展に大きく貢献するものである。
光が極めて少ない顕微鏡対物レンズを構成できる。フレ
アー光が少なくなればなるほど、像の見え味は良くな
る。この様な顕微鏡対物レンズは、ＩＣやＬＳＩ等の極
微細なパターンの検査用として用いることにより、半導
体産業の発展に大きく貢献するものである。
【図１】図１は、第１実施例のレンズ構成図である。
【図２】図２は、第２実施例のレンズ構成図である。
【図３】図３は、第３実施例のレンズ構成図である。
【図４】図４は、第１実施例のレンズの収差図である。
【図５】図５は、第２実施例のレンズの収差図である。
【図６】図６は、第３実施例のレンズの収差図である。
【図７】図７は、各実施例における最大入射高での色コ
マ収差図である。
マ収差図である。
【図８】図８は、屈折面と入射光と反射光との関係の説
明図である。
明図である。
【図９】図９は、屈折面と入射光と反射光との関係の説
明図である。
明図である。
【図１０】図１０は、屈折面と入射光と反射光との関係
の説明図である。
の説明図である。
【図１１】図１１は、結像レンズの構成図である。
【図１２】図１２は、従来の乾燥系顕微鏡対物レンズの
構成図である。
構成図である。
１ 屈折面 ２ 光軸 Ｎ 入射光線 Ｈ 反射光線 Ｋ 屈折光線
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成７年５月１０日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【手続補正書】
【提出日】平成７年５月１０日
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２７】
【表１】 面番号 曲率半径 中心厚 屈折率 アッベ数 Ｎｏ ｒ 間隔ｄ ｎｄ νｄ １ -2.10 2.49 1.76684 46.8 Ｌ1 Ｇ1 ２ -2.38 0.05 ３ -6.92 2.00 1.43388 95.6 Ｌ2 ４ -4.80 0.05 ５ -235.08 2.30 1.43388 95.6 Ｌ3 ６ -9.86 0.10 ７ 704.79 1.00 1.79504 28.6 Ｌ4 ８ 10.65 5.00 1.49782 86.5 Ｌ5 ９ -8.06 0.10 １０ 26.72 1.10 1.61266 44.4 Ｌ6 １１ 6.68 4.80 1.49782 82.5 Ｌ7 １２ -17.50 0.10 １３ 16.37 1.10 1.68893 31.1 Ｌ8 １４ 4.62 4.50 1.49782 82.5 Ｌ9 １５ -164.01 0.50 １６ 874.78 3.00 1.78472 25.8 Ｌ10 １７ -5.25 3.40 1.67025 57.5 Ｌ11 １８ 146.43 7.00 １９ -4.25 1.00 1.58913 61.1 Ｌ12 Ｇ2 ２０ 3.26 2.00 1.74810 52.3 Ｌ13 ２１ 10.19 焦点距離ｆ＝１．３３ N.A.＝０．９５ 倍率：１５０ W.D.＝０．４ Ｒ1 ／ｆ＝６５８ Ｒ2 ／ｆ＝１１０ Ｒ3 ／ｆ＝−３．９５ 〔第２実施例〕図２は、本実施例のレンズ構成図であ
る。図２を参照しながら、レンズ構成の説明を行う。
る。図２を参照しながら、レンズ構成の説明を行う。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３５】
【表５】 表５から明らかなように、第１実施例から第３実施例ま
での対物レンズは、フレアー光が非常に少ない。また、
図４、図５及び図６から、各収差が、良好な補正状態で
あることがわかる。特に、軸上色収差が、極めて良好に
補正されている。
での対物レンズは、フレアー光が非常に少ない。また、
図４、図５及び図６から、各収差が、良好な補正状態で
あることがわかる。特に、軸上色収差が、極めて良好に
補正されている。
Claims (3)
- 【請求項１】物体側から順に、物体側に凹面を向けた正
メニスカスレンズ成分及び貼り合わせレンズ成分を有
し、物体からの光束を収斂光束に変換する正の屈折力の
前群と、 該前群の像側に配置され、負レンズ成分と正レンズ成分
との貼り合わせで構成された負屈折力の後群と、を有
し、 前記前群中の前記貼り合わせレンズ成分のうち、最も像
側の貼り合わせレンズは、以下の条件を満足することを
特徴とする顕微鏡対物レンズ。 ｜Ｒ1｜／ｆ＞１００ ｜Ｒ2｜／ｆ＞２０ 但し、Ｒ1 は前記前群中の前記最も像側の貼り合わせレ
ンズの物体側のレンズ面の曲率半径、Ｒ2 は前記前群中
の前記最も像側の貼り合わせレンズの像側のレンズ面の
曲率半径、ｆは顕微鏡対物レンズの焦点距離である。 - 【請求項２】以下の条件を満足することを特徴とする請
求項１記載の顕微鏡対物レンズ。 ν21＞５０ ν22＞５０ 但し、ν21は前記後群中の前記負レンズ成分のアッベ
数、ν22は前記後群中の前記正レンズ成分のアッベ数で
ある。 - 【請求項３】前記前群中の前記物体側に凹面を向けた正
メニスカスレンズ成分は、少なくとも３枚以上の正メニ
スカスレンズを有し、 前記少なくとも３枚以上の正メニスカスレンズのうち、
少なくとも２枚以上の正メニスカスレンズは、以下の条
件を満足することを特徴とする請求項１又は２記載の顕
微鏡対物レンズ。 ν＞９０ 但し、νは前記少なくとも２枚以上の正メニスカスレン
ズのアッベ数である。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00087195A JP3384163B2 (ja) | 1994-11-09 | 1995-01-06 | 顕微鏡対物レンズ |
| US08/443,226 US5636058A (en) | 1994-11-09 | 1995-05-17 | Microscope objective lens and microscope using the same |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6-274614 | 1994-11-09 | ||
| JP27461494 | 1994-11-09 | ||
| JP00087195A JP3384163B2 (ja) | 1994-11-09 | 1995-01-06 | 顕微鏡対物レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08190055A true JPH08190055A (ja) | 1996-07-23 |
| JP3384163B2 JP3384163B2 (ja) | 2003-03-10 |
Family
ID=26333979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00087195A Expired - Lifetime JP3384163B2 (ja) | 1994-11-09 | 1995-01-06 | 顕微鏡対物レンズ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5636058A (ja) |
| JP (1) | JP3384163B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6069744A (en) * | 1997-04-15 | 2000-05-30 | Olympus Optical Co., Ltd. | Microscopic objective having a long working distance |
| KR101056484B1 (ko) * | 2010-02-19 | 2011-08-12 | 김우준 | 사각 광경로를 형성하는 광학 시스템 및 그 방법 |
| US9746658B2 (en) | 2014-10-24 | 2017-08-29 | Olympus Corporation | Objective for microscope |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1184254A (ja) * | 1997-09-09 | 1999-03-26 | Nikon Corp | 液浸系顕微鏡対物レンズ |
| US6251101B1 (en) | 1998-06-26 | 2001-06-26 | Visx, Incorporated | Surgical laser system microscope with separated ocular and objective lenses |
| DE10135321B4 (de) * | 2001-07-19 | 2005-11-10 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Mikroskop und Verfahren zur Untersuchung einer Probe mit einem Mikroskop |
| MXPA05004966A (es) * | 2002-11-12 | 2005-08-02 | Mallinckrodt Inc | Derivados cristalinos de canabinoide y procesos de purificacion de canabinoide. |
| JP2019003001A (ja) * | 2017-06-14 | 2019-01-10 | オリンパス株式会社 | 対物レンズ |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60209715A (ja) * | 1984-04-03 | 1985-10-22 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 高倍率アポクロマ−ト対物レンズ |
| JP3067331B2 (ja) * | 1991-10-30 | 2000-07-17 | 株式会社ニコン | 顕微鏡 |
-
1995
- 1995-01-06 JP JP00087195A patent/JP3384163B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1995-05-17 US US08/443,226 patent/US5636058A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US6069744A (en) * | 1997-04-15 | 2000-05-30 | Olympus Optical Co., Ltd. | Microscopic objective having a long working distance |
| KR101056484B1 (ko) * | 2010-02-19 | 2011-08-12 | 김우준 | 사각 광경로를 형성하는 광학 시스템 및 그 방법 |
| US9746658B2 (en) | 2014-10-24 | 2017-08-29 | Olympus Corporation | Objective for microscope |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3384163B2 (ja) | 2003-03-10 |
| US5636058A (en) | 1997-06-03 |
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