JPH08191094A - 基板搬送装置及び方法 - Google Patents
基板搬送装置及び方法Info
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- JPH08191094A JPH08191094A JP7002751A JP275195A JPH08191094A JP H08191094 A JPH08191094 A JP H08191094A JP 7002751 A JP7002751 A JP 7002751A JP 275195 A JP275195 A JP 275195A JP H08191094 A JPH08191094 A JP H08191094A
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- degrees
- processing apparatus
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 基板Ｗを任意の方向に向けて処理装置や搬送
経路上で搬送することのできる簡単な構成の基板Ｗ搬送
装置を提供する。 【構成】 処理装置１の前で上流側２と下流側３に分け
て設置された基板搬送経路と、処理装置に対して基板Ｗ
を搬出入するオートハンド５と、基板搬送経路の上流側
と下流側の間で基板Ｗを保持する基板保持台４を有し、
オートハンド５は基板搬送経路の上流側から受け取った
基板Ｗを基板保持台４に置いた後に９０度または実質的
に９０度回転し、その後に基板保持台４から再び基板Ｗ
を受け取って処理装置１へ基板Ｗを供給すると共に、処
理装置１から回収された基板Ｗを基板保持台４に置いた
後に９０度または実質的に９０度回転し、その後に基板
保持台４から再び基板Ｗを受け取って基板搬送経路の下
流側へ受け渡す。
経路上で搬送することのできる簡単な構成の基板Ｗ搬送
装置を提供する。 【構成】 処理装置１の前で上流側２と下流側３に分け
て設置された基板搬送経路と、処理装置に対して基板Ｗ
を搬出入するオートハンド５と、基板搬送経路の上流側
と下流側の間で基板Ｗを保持する基板保持台４を有し、
オートハンド５は基板搬送経路の上流側から受け取った
基板Ｗを基板保持台４に置いた後に９０度または実質的
に９０度回転し、その後に基板保持台４から再び基板Ｗ
を受け取って処理装置１へ基板Ｗを供給すると共に、処
理装置１から回収された基板Ｗを基板保持台４に置いた
後に９０度または実質的に９０度回転し、その後に基板
保持台４から再び基板Ｗを受け取って基板搬送経路の下
流側へ受け渡す。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は所定の処理装置に対して
基板を搬出入するための基板搬送装置及び方法に関する
ものである。
基板を搬出入するための基板搬送装置及び方法に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の基板搬送装置を図６に示す。この
図において、１０１は搬入される基板に対して所定の処
理を行なう処理装置、１０２と１０３はそれぞれ基板搬
送経路の上流側（基板供給側）と下流側（基板回収側）
である。基板搬送経路の上流側１０２を搬送されてきた
基板が基板検出器１０９に検出されると、オートハンド
１０５はその基板保持部が基板搬送経路の上流側１０２
に設けられた基板受け取り台１１０の下部に位置するよ
うに回転する。そして基板を保持した後にオートハンド
１０５は右回り方向（時計方向）に９０度回転して基板
を処理装置１０１のステージ１０７に受け渡す。
図において、１０１は搬入される基板に対して所定の処
理を行なう処理装置、１０２と１０３はそれぞれ基板搬
送経路の上流側（基板供給側）と下流側（基板回収側）
である。基板搬送経路の上流側１０２を搬送されてきた
基板が基板検出器１０９に検出されると、オートハンド
１０５はその基板保持部が基板搬送経路の上流側１０２
に設けられた基板受け取り台１１０の下部に位置するよ
うに回転する。そして基板を保持した後にオートハンド
１０５は右回り方向（時計方向）に９０度回転して基板
を処理装置１０１のステージ１０７に受け渡す。
【０００３】処理装置１０１で処理された基板はステー
ジ１０７上に戻された後、オートハンド１０５によって
処理装置１０１から取り出され、オートハンド１０５が
右回り方向（時計方向）に９０度回転することにより、
基板搬送経路の下流側１０３に設けられた基板受け取り
台１１１上に載置される。そして基板は基板搬送経路の
下流側１０３に沿って搬送される。
ジ１０７上に戻された後、オートハンド１０５によって
処理装置１０１から取り出され、オートハンド１０５が
右回り方向（時計方向）に９０度回転することにより、
基板搬送経路の下流側１０３に設けられた基板受け取り
台１１１上に載置される。そして基板は基板搬送経路の
下流側１０３に沿って搬送される。
【０００４】ところで、このような装置ではオートハン
ド１０５が円筒型で回転するため上流側１０２から基板
を処理装置１０１に搬送するときに基板の向きが変わっ
てしまう。一方、処理装置１０１のステージ１０７上で
の基板の向きは、オートハンド１０５の基板搬送方向と
同じなため、上流側１０２に設けられた基板受け取り台
１１０を回転ステージとし、オートハンド１０５が基板
を保持する前に回転ステージ１１０で基板を９０度回転
させる必要がある。また下流側１０３でも基板受け取り
台１１１を回転ステージとし、基板を下流側１０３で搬
送する前に回転ステージ１１１で基板を９０度回転させ
る必要がある。
ド１０５が円筒型で回転するため上流側１０２から基板
を処理装置１０１に搬送するときに基板の向きが変わっ
てしまう。一方、処理装置１０１のステージ１０７上で
の基板の向きは、オートハンド１０５の基板搬送方向と
同じなため、上流側１０２に設けられた基板受け取り台
１１０を回転ステージとし、オートハンド１０５が基板
を保持する前に回転ステージ１１０で基板を９０度回転
させる必要がある。また下流側１０３でも基板受け取り
台１１１を回転ステージとし、基板を下流側１０３で搬
送する前に回転ステージ１１１で基板を９０度回転させ
る必要がある。
【０００５】この場合、上流側１０２から基板をオート
ハンド１０５で取り出した後、回転ステージ１１０に基
板を載置し、基板を９０度回転させ、再びオートハンド
１０５で基板を受け取り、処理装置１０１側のステージ
（仮置き台）１０７に基板を置く。次に処理装置１０１
のステージ１０７上で処理の終了した基板をオートハン
ド１０５で取りだし、下流側１０３の回転ステージ１１
１で基板を９０度回転させて元の向きに基板を方向変換
した後に、オートハンド１０５で下流側１０３に排出す
ることになる。
ハンド１０５で取り出した後、回転ステージ１１０に基
板を載置し、基板を９０度回転させ、再びオートハンド
１０５で基板を受け取り、処理装置１０１側のステージ
（仮置き台）１０７に基板を置く。次に処理装置１０１
のステージ１０７上で処理の終了した基板をオートハン
ド１０５で取りだし、下流側１０３の回転ステージ１１
１で基板を９０度回転させて元の向きに基板を方向変換
した後に、オートハンド１０５で下流側１０３に排出す
ることになる。
【０００６】
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、こ
のような従来装置では基板搬送経路の上流側１０２と下
流側１０３のそれぞれに回転ステージ１１０，１１１が
必要となり基板搬送装置の構造が複雑になるという問題
があった。各回転ステージ１１０，１１１を設けない場
合は、処理装置１０１で基板を処理をせずに基板を上流
側１０２から下流側１０３に流す際に、上流側１０２と
下流側１０３で基板の向きが１８０度変わってしまう。
また、各回転ステージ１１０，１１１による基板の９０
度回転をなくすためにオートハンド１０５を基板搬送経
路に対して直角に置く場合には、オートハンド１０５の
ストロークが大きくなるため、最小数（例えば１台）の
オートハンドで基板搬送経路を構成する機構と基板を処
理装置１０１に搬出入する機構を両立させることが困難
であった。
のような従来装置では基板搬送経路の上流側１０２と下
流側１０３のそれぞれに回転ステージ１１０，１１１が
必要となり基板搬送装置の構造が複雑になるという問題
があった。各回転ステージ１１０，１１１を設けない場
合は、処理装置１０１で基板を処理をせずに基板を上流
側１０２から下流側１０３に流す際に、上流側１０２と
下流側１０３で基板の向きが１８０度変わってしまう。
また、各回転ステージ１１０，１１１による基板の９０
度回転をなくすためにオートハンド１０５を基板搬送経
路に対して直角に置く場合には、オートハンド１０５の
ストロークが大きくなるため、最小数（例えば１台）の
オートハンドで基板搬送経路を構成する機構と基板を処
理装置１０１に搬出入する機構を両立させることが困難
であった。
【０００７】このような事情に鑑みなされた本発明の目
的は、基板を任意の方向に向けて処理装置や搬送経路上
で搬送することのできる簡単な構成の基板搬送装置及び
方法を提供することにある。
的は、基板を任意の方向に向けて処理装置や搬送経路上
で搬送することのできる簡単な構成の基板搬送装置及び
方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに本発明の基板搬送装置は、処理装置の前で上流側と
下流側に分けて設置された基板搬送経路と、前記処理装
置に対して基板を搬出入するオートハンドと、前記基板
搬送経路の上流側と下流側の間で基板を保持する基板保
持台を有し、前記オートハンドは前記基板搬送経路の上
流側から受け取った基板を前記基板保持台に置いた後に
９０度または実質的に９０度回転し、その後に前記基板
保持台から再び基板を受け取って前記処理装置へ基板を
供給すると共に、前記処理装置から回収された基板を前
記基板保持台に置いた後に９０度または実質的に９０度
回転し、その後に前記基板保持台から再び基板を受け取
って前記基板搬送経路の下流側へ受け渡すことを特徴と
している。
めに本発明の基板搬送装置は、処理装置の前で上流側と
下流側に分けて設置された基板搬送経路と、前記処理装
置に対して基板を搬出入するオートハンドと、前記基板
搬送経路の上流側と下流側の間で基板を保持する基板保
持台を有し、前記オートハンドは前記基板搬送経路の上
流側から受け取った基板を前記基板保持台に置いた後に
９０度または実質的に９０度回転し、その後に前記基板
保持台から再び基板を受け取って前記処理装置へ基板を
供給すると共に、前記処理装置から回収された基板を前
記基板保持台に置いた後に９０度または実質的に９０度
回転し、その後に前記基板保持台から再び基板を受け取
って前記基板搬送経路の下流側へ受け渡すことを特徴と
している。
【０００９】より好ましくは、前記処理装置で基板の処
理を行なわない際、前記オートハンドは前記基板搬送経
路の上流側から受け取った基板を前記基板保持台に置い
た後に１８０度または実質的に１８０度回転し、その後
に前記基板保持台から再び基板を受け取って前記基板搬
送経路の下流側へ受け渡し、また前記オートハンドは前
記処理装置に対して基板を搬出入する際に前記基板搬送
経路の基板搬送方向に対して直交または実質的に直交す
る方向に基板を搬送するものである。この場合前記基板
保持台は前記オートハンドの上方に配置されたり、前記
オートハンドは前記基板搬送経路の上流側と下流側の間
に設置されていると良い。
理を行なわない際、前記オートハンドは前記基板搬送経
路の上流側から受け取った基板を前記基板保持台に置い
た後に１８０度または実質的に１８０度回転し、その後
に前記基板保持台から再び基板を受け取って前記基板搬
送経路の下流側へ受け渡し、また前記オートハンドは前
記処理装置に対して基板を搬出入する際に前記基板搬送
経路の基板搬送方向に対して直交または実質的に直交す
る方向に基板を搬送するものである。この場合前記基板
保持台は前記オートハンドの上方に配置されたり、前記
オートハンドは前記基板搬送経路の上流側と下流側の間
に設置されていると良い。
【００１０】また本発明の基板搬送方法は、処理装置に
基板を供給する際、前記処理装置の前で上流側と下流側
に分けて設置された基板搬送経路の上流側からオートハ
ンドに基板を受け取らせ、前記オートハンドは受け取っ
た基板を基板保持台に置いた後に９０度または実質的に
９０度回転し、その後に前記基板保持台から再び基板を
受け取って前記処理装置へ基板を受け渡すと共に、前記
処理装置から基板を回収する際、前記オートハンドは回
収された基板を前記基板保持台に置いた後に９０度また
は実質的に９０度回転し、その後に前記基板保持台から
再び基板を受け取って前記基板搬送経路の下流側へ受け
渡すことを特徴としている。
基板を供給する際、前記処理装置の前で上流側と下流側
に分けて設置された基板搬送経路の上流側からオートハ
ンドに基板を受け取らせ、前記オートハンドは受け取っ
た基板を基板保持台に置いた後に９０度または実質的に
９０度回転し、その後に前記基板保持台から再び基板を
受け取って前記処理装置へ基板を受け渡すと共に、前記
処理装置から基板を回収する際、前記オートハンドは回
収された基板を前記基板保持台に置いた後に９０度また
は実質的に９０度回転し、その後に前記基板保持台から
再び基板を受け取って前記基板搬送経路の下流側へ受け
渡すことを特徴としている。
【００１１】そしてより好ましくは、前記処理装置で基
板の処理を行なわない際、前記オートハンドは前記基板
搬送経路の上流側から受け取った基板を前記基板保持台
に置いた後に１８０度または実質的に１８０度回転し、
その後に前記基板保持台から再び基板を受け取って前記
基板搬送経路の下流側へ受け渡すものである。
板の処理を行なわない際、前記オートハンドは前記基板
搬送経路の上流側から受け取った基板を前記基板保持台
に置いた後に１８０度または実質的に１８０度回転し、
その後に前記基板保持台から再び基板を受け取って前記
基板搬送経路の下流側へ受け渡すものである。
【００１２】
【実施例】以下に図示の実施例に従って本発明を詳細に
説明する。図１は本発明に係わる基板搬送装置の一実施
例の上面を示す図で、この図において１は搬入された基
板に対して所定の処理を行なう処理装置で、例えば半導
体基板上に半導体装置を製造するための処理や、液晶表
示板に用いられるカラーフイルタを製造するために基板
上にインクを塗布する処理を行うものである。２は基板
搬送経路となる搬送機構の上流側、３は斯かる搬送機構
の下流側で、それぞれの搬送機構２，３の中央部にはオ
ートハンド５のフィンガー６が進入できるようスペース
が形成されている。搬送方式は中央部にフィンガー６の
入るスペースがあれば、コンベアでも竿送り方式でも構
わない。
説明する。図１は本発明に係わる基板搬送装置の一実施
例の上面を示す図で、この図において１は搬入された基
板に対して所定の処理を行なう処理装置で、例えば半導
体基板上に半導体装置を製造するための処理や、液晶表
示板に用いられるカラーフイルタを製造するために基板
上にインクを塗布する処理を行うものである。２は基板
搬送経路となる搬送機構の上流側、３は斯かる搬送機構
の下流側で、それぞれの搬送機構２，３の中央部にはオ
ートハンド５のフィンガー６が進入できるようスペース
が形成されている。搬送方式は中央部にフィンガー６の
入るスペースがあれば、コンベアでも竿送り方式でも構
わない。
【００１３】搬送機構の上流側２と下流側３は処理装置
１の前で分けられ、オートハンド５はこの間に設けられ
ている。またオートハンド５は図１の紙面内で回転さ
れ、そのフィンガー６が処理装置１の仮置き台７，８
（図２参照）、搬送機構の上流側２や下流側３のいずれ
にもアクセスできるようになされている。９は搬送機構
の上流側２上の基板の有無を検出するための基板検出器
となるセンサーで、このセンサー９により基板が検出さ
れた際にオートハンド５は図１に示す状態から左回り
（反時計）方向に９０度または実質的に９０度回転して
フィンガー６で基板を保持する。
１の前で分けられ、オートハンド５はこの間に設けられ
ている。またオートハンド５は図１の紙面内で回転さ
れ、そのフィンガー６が処理装置１の仮置き台７，８
（図２参照）、搬送機構の上流側２や下流側３のいずれ
にもアクセスできるようになされている。９は搬送機構
の上流側２上の基板の有無を検出するための基板検出器
となるセンサーで、このセンサー９により基板が検出さ
れた際にオートハンド５は図１に示す状態から左回り
（反時計）方向に９０度または実質的に９０度回転して
フィンガー６で基板を保持する。
【００１４】４は処理装置１の基板保持台となる仮置き
台で、その支持機構部は図示していない。また基板搬送
用のオートハンド５は円筒座標型であり、その垂直軸
（図１において紙面垂直方向）が一番下まで下降したと
きに、フィンガー６の上面が仮置き台４や搬送機構の上
流側２と下流側３の下面より下になるように設定されて
いる。仮置き台４は搬送機構の上流側２と下流側３の間
でオートハンド５の上方に位置するように設置され、そ
の高さ方向の位置は図２に示すように搬送機構の上流側
２と下流側３の高さ方向の位置と同じまたは実質的に同
じである。
台で、その支持機構部は図示していない。また基板搬送
用のオートハンド５は円筒座標型であり、その垂直軸
（図１において紙面垂直方向）が一番下まで下降したと
きに、フィンガー６の上面が仮置き台４や搬送機構の上
流側２と下流側３の下面より下になるように設定されて
いる。仮置き台４は搬送機構の上流側２と下流側３の間
でオートハンド５の上方に位置するように設置され、そ
の高さ方向の位置は図２に示すように搬送機構の上流側
２と下流側３の高さ方向の位置と同じまたは実質的に同
じである。
【００１５】次に本実施例の動作を図５に示したフロー
チャートに基づいて説明する。なお図１で左側が上流、
右側が下流であり、基板は左から右に搬送される。また
以下の動作は不図示の制御装置によってコントロールさ
れる。
チャートに基づいて説明する。なお図１で左側が上流、
右側が下流であり、基板は左から右に搬送される。また
以下の動作は不図示の制御装置によってコントロールさ
れる。
【００１６】基板Ｗ（図３参照）が上流の加工装置（不
図示）で処理されて搬送機構（上流側）２によって搬送
されてくる。基板Ｗが搬送機構（上流側）２の所定位置
に来たことがセンサー９で検知されると、搬送機構（上
流側）２の基板搬送動作を停止させ（ステップ１０
１）、オートハンド５を最下降位置にして（ステップ１
０２）、その位置で図１から図３の向きに左回りに９０
度または実質的に９０度回転させる（ステップ１０
３）。その後、オートハンド５の直進軸を駆動してフィ
ンガー６を基板Ｗの下まで挿入する（ステップ１０
４）。
図示）で処理されて搬送機構（上流側）２によって搬送
されてくる。基板Ｗが搬送機構（上流側）２の所定位置
に来たことがセンサー９で検知されると、搬送機構（上
流側）２の基板搬送動作を停止させ（ステップ１０
１）、オートハンド５を最下降位置にして（ステップ１
０２）、その位置で図１から図３の向きに左回りに９０
度または実質的に９０度回転させる（ステップ１０
３）。その後、オートハンド５の直進軸を駆動してフィ
ンガー６を基板Ｗの下まで挿入する（ステップ１０
４）。
【００１７】次に、オートハンド５の垂直軸を上昇させ
て基板Ｗをフィンガー６に吸着保持させ（ステップ１０
５）、その後の更なる上昇で基板Ｗを搬送機構（上流
側）２より持ち上げた（ステップ１０６）後、直進軸を
後退させ、基板Ｗを図４のように仮置き台４及びオート
ハンド５の設置位置の上方に持ってくる（ステップ１０
７）。次に垂直軸を下降させ基板Ｗを搬送仮置き台４に
載置した（ステップ１０８）後、垂直軸を更に下降させ
（ステップ１０９）、オートハンド５を最下降位置まで
下げる（ステップ１１０）。
て基板Ｗをフィンガー６に吸着保持させ（ステップ１０
５）、その後の更なる上昇で基板Ｗを搬送機構（上流
側）２より持ち上げた（ステップ１０６）後、直進軸を
後退させ、基板Ｗを図４のように仮置き台４及びオート
ハンド５の設置位置の上方に持ってくる（ステップ１０
７）。次に垂直軸を下降させ基板Ｗを搬送仮置き台４に
載置した（ステップ１０８）後、垂直軸を更に下降させ
（ステップ１０９）、オートハンド５を最下降位置まで
下げる（ステップ１１０）。
【００１８】この状態で処理装置１が稼働していいるか
否かの判定を行ない（ステップ１１１）、稼働していれ
ばオートハンド５の回転軸が右回りに９０度または実質
的に９０度回転し（ステップ１１２）、その後に垂直軸
が上昇して搬送仮置き台４に置かれた基板Ｗを受け取り
更に上昇する（ステップ１１３）。そして、オートハン
ド５の直進軸が前進し（ステップ１１４）、基板Ｗを仮
置き台７の上方に位置させた後に、垂直軸を下降させて
基板Ｗを仮置き台７に載置する（ステップ１１５）。オ
ートハンドはその後に直進軸が後退して（ステップ１１
６）、後退端に戻った後にわずかに垂直軸を下降させ
（ステップ１１７）、その後に再び直進軸を前進させ
（ステップ１１８）、処理装置１の仮置き台８の位置で
垂直軸を上昇させて加工が終了した基板Ｗを受け取る
（ステップ１１９）。
否かの判定を行ない（ステップ１１１）、稼働していれ
ばオートハンド５の回転軸が右回りに９０度または実質
的に９０度回転し（ステップ１１２）、その後に垂直軸
が上昇して搬送仮置き台４に置かれた基板Ｗを受け取り
更に上昇する（ステップ１１３）。そして、オートハン
ド５の直進軸が前進し（ステップ１１４）、基板Ｗを仮
置き台７の上方に位置させた後に、垂直軸を下降させて
基板Ｗを仮置き台７に載置する（ステップ１１５）。オ
ートハンドはその後に直進軸が後退して（ステップ１１
６）、後退端に戻った後にわずかに垂直軸を下降させ
（ステップ１１７）、その後に再び直進軸を前進させ
（ステップ１１８）、処理装置１の仮置き台８の位置で
垂直軸を上昇させて加工が終了した基板Ｗを受け取る
（ステップ１１９）。
【００１９】この後に垂直軸を後退させ後退端へ戻り
（ステップ１２０）、オートハンド５の垂直軸を下降さ
せ処理済み基板Ｗを仮置き台４に載置し（ステップ１２
１）、更に下降する（ステップ１２２）。最下端に到達
する（ステップ１２３）と、回転軸が右回りに９０度ま
たは実質的に９０度回転し（ステップ１２４）、再び垂
直軸を上昇させ仮置き台４にある処理済み基板Ｗを受け
取りさらに上昇する（ステップ１２５）。次に、直進軸
を前進させ（ステップ１２６）、排出位置で垂直軸を下
降させ搬送機構（下流側）３へ処理済み基板Ｗを排出す
る（ステップ１２７）。
（ステップ１２０）、オートハンド５の垂直軸を下降さ
せ処理済み基板Ｗを仮置き台４に載置し（ステップ１２
１）、更に下降する（ステップ１２２）。最下端に到達
する（ステップ１２３）と、回転軸が右回りに９０度ま
たは実質的に９０度回転し（ステップ１２４）、再び垂
直軸を上昇させ仮置き台４にある処理済み基板Ｗを受け
取りさらに上昇する（ステップ１２５）。次に、直進軸
を前進させ（ステップ１２６）、排出位置で垂直軸を下
降させ搬送機構（下流側）３へ処理済み基板Ｗを排出す
る（ステップ１２７）。
【００２０】基板Ｗの排出が終了した後、直進軸を後退
させ（ステップ１２８）、後退端で垂直軸を最下端にし
た後に左回りに９０度回転させて初期の状態に戻る（ス
テップ１２９）。なお、処理装置１の仮置き台７に載置
された基板Ｗは、オートハンド５が処理済みの基板Ｗを
排出した後に、処理装置側の基板Ｗ取り扱い機構（不図
示）により仮置き台７から処理装置１の処理ステージに
移されて所定の処理が行われ、その後仮置き台８に搬送
される。
させ（ステップ１２８）、後退端で垂直軸を最下端にし
た後に左回りに９０度回転させて初期の状態に戻る（ス
テップ１２９）。なお、処理装置１の仮置き台７に載置
された基板Ｗは、オートハンド５が処理済みの基板Ｗを
排出した後に、処理装置側の基板Ｗ取り扱い機構（不図
示）により仮置き台７から処理装置１の処理ステージに
移されて所定の処理が行われ、その後仮置き台８に搬送
される。
【００２１】処理装置１が停止していて、基板Ｗを処理
装置１に搬送せず上流側２から下流側３に直接搬送する
場合を説明する。この場合にも図５のステップ１１１ま
では上述の場合と同様である。ステップ１１１で処理装
置１が可動状態にないと判定されると、オートハンド５
は最下降位置の状態で回転軸が右回りに１８０度または
実質的に１８０度回転する（ステップ１３０）。この
後、垂直軸を上昇させ仮置き台４にある基板Ｗを受け取
りさらに上昇する（ステップ１２５）。次に直進軸を前
進させ（ステップ１２６）、排出位置で垂直軸を下降さ
せ搬送機構（下流側）３へ基板Ｗを排出する（ステップ
１２７）。基板Ｗの排出が終了した後、直進軸を後退さ
せ（ステップ１２８）、後退端で垂直軸を最下端にした
後に左回りに９０度回転させて初期の状態に戻る（ステ
ップ１２９）。
装置１に搬送せず上流側２から下流側３に直接搬送する
場合を説明する。この場合にも図５のステップ１１１ま
では上述の場合と同様である。ステップ１１１で処理装
置１が可動状態にないと判定されると、オートハンド５
は最下降位置の状態で回転軸が右回りに１８０度または
実質的に１８０度回転する（ステップ１３０）。この
後、垂直軸を上昇させ仮置き台４にある基板Ｗを受け取
りさらに上昇する（ステップ１２５）。次に直進軸を前
進させ（ステップ１２６）、排出位置で垂直軸を下降さ
せ搬送機構（下流側）３へ基板Ｗを排出する（ステップ
１２７）。基板Ｗの排出が終了した後、直進軸を後退さ
せ（ステップ１２８）、後退端で垂直軸を最下端にした
後に左回りに９０度回転させて初期の状態に戻る（ステ
ップ１２９）。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
基板搬送経路の上流側と下流側のそれぞれに回転ステー
ジを設けることを不要にできると共に、装置が停止して
いるときでも上流側と下流側で基板の向きを変えること
なく基板を下流側に排出することができる。
基板搬送経路の上流側と下流側のそれぞれに回転ステー
ジを設けることを不要にできると共に、装置が停止して
いるときでも上流側と下流側で基板の向きを変えること
なく基板を下流側に排出することができる。
【図１】本発明に係わる基板搬送装置の一実施例の上面
を示す図。
を示す図。
【図２】本実施例の正面を示す図。
【図３】本実施例の基板を受け取る前の動作状態を示す
図。
図。
【図４】本実施例の基板を受け取った後の動作状態を示
す図。
す図。
【図５】本実施例の動作を説明するためのフローチャー
ト。
ト。
【図６】従来の基板搬送装置を示す図。
１ 処理装置 ２ 上流側搬送機構 ３ 下流側搬送機構 ４ 仮置き台 ５ オートハンド ７ 仮置き台 Ｗ 基板
Claims (7)
- 【請求項１】 処理装置の前で上流側と下流側に分けて
設置された基板搬送経路と、前記処理装置に対して基板
を搬出入するオートハンドと、前記基板搬送経路の上流
側と下流側の間で基板を保持する基板保持台を有し、前
記オートハンドは前記基板搬送経路の上流側から受け取
った基板を前記基板保持台に置いた後に９０度または実
質的に９０度回転し、その後に前記基板保持台から再び
基板を受け取って前記処理装置へ基板を供給すると共
に、前記処理装置から回収された基板を前記基板保持台
に置いた後に９０度または実質的に９０度回転し、その
後に前記基板保持台から再び基板を受け取って前記基板
搬送経路の下流側へ受け渡すことを特徴とする基板搬送
装置。 - 【請求項２】 前記処理装置で基板の処理を行なわない
際、前記オートハンドは前記基板搬送経路の上流側から
受け取った基板を前記基板保持台に置いた後に１８０度
または実質的に１８０度回転し、その後に前記基板保持
台から再び基板を受け取って前記基板搬送経路の下流側
へ受け渡すことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送
装置。 - 【請求項３】 前記オートハンドは前記処理装置に対し
て基板を搬出入する際に前記基板搬送経路の基板搬送方
向に対して直交または実質的に直交する方向に基板を搬
送することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装
置。 - 【請求項４】 前記基板保持台は前記オートハンドの上
方に配置されていることを特徴とする請求項３に記載の
基板搬送装置。 - 【請求項５】 前記オートハンドは前記基板搬送経路の
上流側と下流側の間に設置されていることを特徴とする
請求項４に記載の基板搬送装置。 - 【請求項６】 処理装置に基板を供給する際、前記処理
装置の前で上流側と下流側に分けて設置された基板搬送
経路の上流側からオートハンドに基板を受け取らせ、前
記オートハンドは受け取った基板を基板保持台に置いた
後に９０度または実質的に９０度回転し、その後に前記
基板保持台から再び基板を受け取って前記処理装置へ基
板を受け渡すと共に、前記処理装置から基板を回収する
際、前記オートハンドは回収された基板を前記基板保持
台に置いた後に９０度または実質的に９０度回転し、そ
の後に前記基板保持台から再び基板を受け取って前記基
板搬送経路の下流側へ受け渡すことを特徴とする基板搬
送方法。 - 【請求項７】 前記処理装置で基板の処理を行なわない
際、前記オートハンドは前記基板搬送経路の上流側から
受け取った基板を前記基板保持台に置いた後に１８０度
または実質的に１８０度回転し、その後に前記基板保持
台から再び基板を受け取って前記基板搬送経路の下流側
へ受け渡すことを特徴とする請求項６に記載の基板搬送
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7002751A JPH08191094A (ja) | 1995-01-11 | 1995-01-11 | 基板搬送装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7002751A JPH08191094A (ja) | 1995-01-11 | 1995-01-11 | 基板搬送装置及び方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08191094A true JPH08191094A (ja) | 1996-07-23 |
Family
ID=11538060
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7002751A Withdrawn JPH08191094A (ja) | 1995-01-11 | 1995-01-11 | 基板搬送装置及び方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08191094A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009519590A (ja) * | 2005-12-16 | 2009-05-14 | ゲブリューダー シュミット ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー | 基板の表面を処理する装置、設備および方法 |
-
1995
- 1995-01-11 JP JP7002751A patent/JPH08191094A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009519590A (ja) * | 2005-12-16 | 2009-05-14 | ゲブリューダー シュミット ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー | 基板の表面を処理する装置、設備および方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
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