JPH08192327A - 工作機械の送り装置 - Google Patents
工作機械の送り装置Info
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- JPH08192327A JPH08192327A JP240995A JP240995A JPH08192327A JP H08192327 A JPH08192327 A JP H08192327A JP 240995 A JP240995 A JP 240995A JP 240995 A JP240995 A JP 240995A JP H08192327 A JPH08192327 A JP H08192327A
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000002146 bilateral effect Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
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- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 リニアモータの磁気垂直力によってベッドや
テーブルが変形しないように改良され、しかもテーブル
移動時にベッドに作用するテーブル重量を軽減してガイ
ド部のテーブル支持負担、テーブルの送り駆動力を低減
すること。 【構成】 ベッド1の上面に形成されたテーブル案内面
上にテーブル5が線形移動可能に設けられている工作機
械の送り装置において、ベッド1の傾斜取付面部15に
リニアモータの一次側部材7あるいは二次側部材9の一
方が取り付けられ、テーブル5はベッド1の傾斜取付面
部15に対向する傾斜取付面部19を有し、この傾斜取
付面部19に前記リニアモータの一次側部材7あるいは
二次側部材9の他方がベッド1に取り付けられている一
次側部材7あるいは二次側部材9と対向して取り付け
る。リニアモータの磁気垂直力によって一次側部材7と
二次側部材9との間に作用する吸引力はテーブル5に上
向き垂直力として作用する。
テーブルが変形しないように改良され、しかもテーブル
移動時にベッドに作用するテーブル重量を軽減してガイ
ド部のテーブル支持負担、テーブルの送り駆動力を低減
すること。 【構成】 ベッド1の上面に形成されたテーブル案内面
上にテーブル5が線形移動可能に設けられている工作機
械の送り装置において、ベッド1の傾斜取付面部15に
リニアモータの一次側部材7あるいは二次側部材9の一
方が取り付けられ、テーブル5はベッド1の傾斜取付面
部15に対向する傾斜取付面部19を有し、この傾斜取
付面部19に前記リニアモータの一次側部材7あるいは
二次側部材9の他方がベッド1に取り付けられている一
次側部材7あるいは二次側部材9と対向して取り付け
る。リニアモータの磁気垂直力によって一次側部材7と
二次側部材9との間に作用する吸引力はテーブル5に上
向き垂直力として作用する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、工作機械の送り装置に
関し、特に工作機械のベッドに線形移動可能に設けられ
たテーブルの送り装置に関するものである。
関し、特に工作機械のベッドに線形移動可能に設けられ
たテーブルの送り装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】プレーナ、フライス盤、マシニングセン
タなどの工作機械は、ベッドに線形移動可能に設けられ
たテーブルを有している。
タなどの工作機械は、ベッドに線形移動可能に設けられ
たテーブルを有している。
【0003】従来、このテーブルの送り装置は、多くの
場合、ボールねじと、ボールナットと、ボールねじある
いはボールナットを回転駆動する回転電機装置(モー
タ)とによる送りねじ式である。
場合、ボールねじと、ボールナットと、ボールねじある
いはボールナットを回転駆動する回転電機装置(モー
タ)とによる送りねじ式である。
【0004】送りねじ式の送り装置では、回転電機装置
の減速歯車やボールねじとボールナットとのバックラッ
シュ、ピッチ誤差などによる送り誤差をなくすことがで
きない。このため送り誤差成分が多く、フィードバック
制御におけるゲインの適正化がむずかしい。またこの送
りねじ式の送り装置は、回転電機装置による回転動力を
ボールねじとボールナットとで直線運動に変換するもの
であるから、構造が複雑で、摩擦損失が大きい。またボ
ールねじは自重によって撓み変形しないようなねじ棹径
が必要で、送りストロークが長い場合にはその支持構造
も複雑なものになる。
の減速歯車やボールねじとボールナットとのバックラッ
シュ、ピッチ誤差などによる送り誤差をなくすことがで
きない。このため送り誤差成分が多く、フィードバック
制御におけるゲインの適正化がむずかしい。またこの送
りねじ式の送り装置は、回転電機装置による回転動力を
ボールねじとボールナットとで直線運動に変換するもの
であるから、構造が複雑で、摩擦損失が大きい。またボ
ールねじは自重によって撓み変形しないようなねじ棹径
が必要で、送りストロークが長い場合にはその支持構造
も複雑なものになる。
【0005】これらのことに鑑み、線形移動するテーブ
ルをリニアモータによって直接駆動することが考えられ
ている。
ルをリニアモータによって直接駆動することが考えられ
ている。
【0006】図2に示されているように、ベッド1上を
リニアガイド3に案内されて線形移動するテーブル5を
リニアモータにより送り駆動する場合、テーブル5の下
底面とベッド1の上面とにリニアモータの一次巻線を装
備された一次側部材7と二次導体としての二次側部材9
とを水平対向配置するか、あるいは図3に示されている
ように、テーブル5の下底部に設けられた垂下部11の
垂直側面とベッド1の側壁部13の垂直側面とにリニア
モータの一次側部材7と二次側部材9とを垂直対向配置
することが行われる。
リニアガイド3に案内されて線形移動するテーブル5を
リニアモータにより送り駆動する場合、テーブル5の下
底面とベッド1の上面とにリニアモータの一次巻線を装
備された一次側部材7と二次導体としての二次側部材9
とを水平対向配置するか、あるいは図3に示されている
ように、テーブル5の下底部に設けられた垂下部11の
垂直側面とベッド1の側壁部13の垂直側面とにリニア
モータの一次側部材7と二次側部材9とを垂直対向配置
することが行われる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】リニアモータは、線形
方向の推力以外に、一次側部材7と二次側部材9との対
向面に対して垂直な磁気垂直力を発生し、この磁気垂直
力は、二次側部材9が磁性体であると、一次側部材7と
二次側部材9との間に吸引力として作用する。この吸引
力は、定格推力の10倍程度で非常に大きく、一次側部
材7、二次側部材9を取り付けられているベッド1、テ
ーブル5に直接に大きい負荷を与えることになる。
方向の推力以外に、一次側部材7と二次側部材9との対
向面に対して垂直な磁気垂直力を発生し、この磁気垂直
力は、二次側部材9が磁性体であると、一次側部材7と
二次側部材9との間に吸引力として作用する。この吸引
力は、定格推力の10倍程度で非常に大きく、一次側部
材7、二次側部材9を取り付けられているベッド1、テ
ーブル5に直接に大きい負荷を与えることになる。
【0008】このため、図2に示されている構造では、
テーブル5が中へこみ変形し、テーブル上面の平面度が
阻害される。またこの場合には吸引力のすべてをリニア
ガイド3で受けなくてならない。
テーブル5が中へこみ変形し、テーブル上面の平面度が
阻害される。またこの場合には吸引力のすべてをリニア
ガイド3で受けなくてならない。
【0009】また図3に示されている構造では、ベッド
1の側壁部13が内側に変形し、この変形により側壁部
13の上面部に配置されているリニアガイド3の真直度
が悪化し、テーブル5の送り精度が低下する。
1の側壁部13が内側に変形し、この変形により側壁部
13の上面部に配置されているリニアガイド3の真直度
が悪化し、テーブル5の送り精度が低下する。
【0010】これらのことは、大型機械で、必要推力が
大きくなるほど顕著なものになり、加工精度を低下させ
ることになる。
大きくなるほど顕著なものになり、加工精度を低下させ
ることになる。
【0011】本発明は、上述の如き問題点に着目してな
されたものであり、リニアモータの磁気垂直力によって
一次側部材と二次側部材との間に大きい吸引力が作用し
てもベッドやテーブルが変形しないように改良され、し
かもテーブル移動時にベッドに作用するテーブル重量を
軽減してガイド部のテーブル支持負担、テーブルの送り
駆動力を低減できる工作機械の送り装置を提供すること
を目的としている。
されたものであり、リニアモータの磁気垂直力によって
一次側部材と二次側部材との間に大きい吸引力が作用し
てもベッドやテーブルが変形しないように改良され、し
かもテーブル移動時にベッドに作用するテーブル重量を
軽減してガイド部のテーブル支持負担、テーブルの送り
駆動力を低減できる工作機械の送り装置を提供すること
を目的としている。
【0012】
【課題を解決するための手段】上述の如き目的を達成す
るため、本発明による工作機械の送り装置は、ベッドの
上面に形成されたテーブル案内面上にテーブルが線形移
動可能に設けられている工作機械の送り装置において、
前記ベッドの下面部にリニアモータの一次側部材あるい
は二次側部材の一方が取り付けられ、前記テーブルは前
記ベッドの前記下面部に対向する上面部を有し、当該上
面部に前記リニアモータの一次側部材あるいは二次側部
材の他方が前記ベッドに取り付けられている一次側部材
あるいは二次側部材と対向して取り付けていることを特
徴としている。
るため、本発明による工作機械の送り装置は、ベッドの
上面に形成されたテーブル案内面上にテーブルが線形移
動可能に設けられている工作機械の送り装置において、
前記ベッドの下面部にリニアモータの一次側部材あるい
は二次側部材の一方が取り付けられ、前記テーブルは前
記ベッドの前記下面部に対向する上面部を有し、当該上
面部に前記リニアモータの一次側部材あるいは二次側部
材の他方が前記ベッドに取り付けられている一次側部材
あるいは二次側部材と対向して取り付けていることを特
徴としている。
【0013】また本発明による工作機械の送り装置にお
いては、前記リニアモータは前記ベッドおよび前記テー
ブルの左右両側に各々設けられ、その各リニアモータの
一次側部材あるいは二次側部材を取り付けられている前
記ベッドの前記下面部と前記テーブルの上面部は左右両
側にあって左右対称をもって上下に傾斜してV形に配置
されていてもよい。
いては、前記リニアモータは前記ベッドおよび前記テー
ブルの左右両側に各々設けられ、その各リニアモータの
一次側部材あるいは二次側部材を取り付けられている前
記ベッドの前記下面部と前記テーブルの上面部は左右両
側にあって左右対称をもって上下に傾斜してV形に配置
されていてもよい。
【0014】
【作用】上述の如き構成によれば、リニアモータの磁気
垂直力によって一次側部材と二次側部材との間に吸引力
が作用すると、この吸引力はテーブルを持ち上げる方向
の上向き垂直力としてテーブルに作用し、テーブル移動
時にベッドに作用するテーブル重量を軽減する。またこ
の吸引力はテーブル重量による下向き垂直力と相殺され
るから、ベッドあるいはテーブルに大きい変形負荷が作
用することがなくなり、ベッドあるいはテーブルが変形
することが回避される。
垂直力によって一次側部材と二次側部材との間に吸引力
が作用すると、この吸引力はテーブルを持ち上げる方向
の上向き垂直力としてテーブルに作用し、テーブル移動
時にベッドに作用するテーブル重量を軽減する。またこ
の吸引力はテーブル重量による下向き垂直力と相殺され
るから、ベッドあるいはテーブルに大きい変形負荷が作
用することがなくなり、ベッドあるいはテーブルが変形
することが回避される。
【0015】特にテーブル移動開始時にはリニアモータ
に通電する電流値が高いことにより、リニアモータの磁
気垂直力も大きくなり、これに伴いテーブルを持ち上げ
る方向の垂直力がテーブル移動開始時に特に大きくなる
から、ベッドのテーブル案内面におけるテーブル支持負
荷を実質的に零、即ち無重力状態にすることができ、こ
のことからテーブル移動開始時の必要起動力を低減でき
る。
に通電する電流値が高いことにより、リニアモータの磁
気垂直力も大きくなり、これに伴いテーブルを持ち上げ
る方向の垂直力がテーブル移動開始時に特に大きくなる
から、ベッドのテーブル案内面におけるテーブル支持負
荷を実質的に零、即ち無重力状態にすることができ、こ
のことからテーブル移動開始時の必要起動力を低減でき
る。
【0016】リニアモータの一次側部材と二次側部材の
取付面であるベッドの下面部とテーブルの上面部とが上
下に傾斜していれば、テーブルを持ち上げる方向の上向
き垂直力はその取付面の傾斜角により決まる垂直方向分
力により与えられ、その大きさはその傾斜角により任意
の適当値に設定される。この場合、リニアモータはベッ
ドおよびテーブルの左右両側に各々設けられ、ベッドの
下面部とテーブルの上面部は左右両側にあって左右対称
をもって上下に傾斜してV形に配置されていることよ
り、各リニアモータによる水平方向分力は互いに向き合
って相殺され、テーブルガイド部に横力を及ぼすことが
ない。
取付面であるベッドの下面部とテーブルの上面部とが上
下に傾斜していれば、テーブルを持ち上げる方向の上向
き垂直力はその取付面の傾斜角により決まる垂直方向分
力により与えられ、その大きさはその傾斜角により任意
の適当値に設定される。この場合、リニアモータはベッ
ドおよびテーブルの左右両側に各々設けられ、ベッドの
下面部とテーブルの上面部は左右両側にあって左右対称
をもって上下に傾斜してV形に配置されていることよ
り、各リニアモータによる水平方向分力は互いに向き合
って相殺され、テーブルガイド部に横力を及ぼすことが
ない。
【0017】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面を用いて詳細に
説明する。
説明する。
【0018】なお、本発明の実施例において上述の従来
例と同一構成の部分は、上述の従来例に付した符号と同
一の符号を付してその説明を省略する。
例と同一構成の部分は、上述の従来例に付した符号と同
一の符号を付してその説明を省略する。
【0019】図1に示されている実施例では、ベッド1
の左右両側に各々45度の傾斜角をもって上下に傾斜し
たオーバハング状の取付面部(下面部)15が設けられ
ている。この左右の取付面部15は左右対称をもってV
形に配置されており、その各々にリニアモータの二次側
部材9が取り付けられている。
の左右両側に各々45度の傾斜角をもって上下に傾斜し
たオーバハング状の取付面部(下面部)15が設けられ
ている。この左右の取付面部15は左右対称をもってV
形に配置されており、その各々にリニアモータの二次側
部材9が取り付けられている。
【0020】テーブル5は左右両側に各々ベッド1の両
側を取り囲むような垂下片部17を有しており、この左
右の垂下片部17の下端部に各々45度の傾斜角をもっ
て上下に傾斜して取付面部15と平行対向する取付面部
19が設けられている。この左右の取付面部19も左右
対称をもってV形に配置されており、その各々にリニア
モータの一次側部材7が取り付けられている。
側を取り囲むような垂下片部17を有しており、この左
右の垂下片部17の下端部に各々45度の傾斜角をもっ
て上下に傾斜して取付面部15と平行対向する取付面部
19が設けられている。この左右の取付面部19も左右
対称をもってV形に配置されており、その各々にリニア
モータの一次側部材7が取り付けられている。
【0021】この構成によれば、リニアモータの磁気垂
直力によって一次側部材7と二次側部材9との間に吸引
力Fが作用すると、この吸引力Fの垂直方向分力Faが
テーブル5を持ち上げる方向の上向き垂直力としてテー
ブル5に作用し、テーブル移動時にベッド1に作用する
テーブル重量を軽減する。これによりリニアガイド3に
おけるテーブル5の支持負担、テーブル5の送り駆動力
が低減する。
直力によって一次側部材7と二次側部材9との間に吸引
力Fが作用すると、この吸引力Fの垂直方向分力Faが
テーブル5を持ち上げる方向の上向き垂直力としてテー
ブル5に作用し、テーブル移動時にベッド1に作用する
テーブル重量を軽減する。これによりリニアガイド3に
おけるテーブル5の支持負担、テーブル5の送り駆動力
が低減する。
【0022】またこの吸引力はテーブル重量による下向
き垂直力と相殺されるから、ベッド1あるいはテーブル
5に大きい変形負荷が作用するすることがなくなり、ベ
ッド1あるいはテーブル5が変形することが回避され
る。
き垂直力と相殺されるから、ベッド1あるいはテーブル
5に大きい変形負荷が作用するすることがなくなり、ベ
ッド1あるいはテーブル5が変形することが回避され
る。
【0023】特にテーブル移動開始時にはリニアモータ
に通電する電流値が高いことにより、リニアモータの磁
気垂直力も大きくなり、これに伴いテーブル1を持ち上
げる方向の垂直方向分力Faがテーブル移動開始時に特
に大きくなるから、ベッド1のリニアガイド3における
テーブル支持負荷を実質的に零にすることができ、この
ことからテーブル移動開始時の必要起動力を低減でき
る。
に通電する電流値が高いことにより、リニアモータの磁
気垂直力も大きくなり、これに伴いテーブル1を持ち上
げる方向の垂直方向分力Faがテーブル移動開始時に特
に大きくなるから、ベッド1のリニアガイド3における
テーブル支持負荷を実質的に零にすることができ、この
ことからテーブル移動開始時の必要起動力を低減でき
る。
【0024】なお、吸引力Fの水平方向分力Fbは左右
のリニアモータのもので互いに向き合って相殺され、リ
ニアガイド3に好ましからざる横力を及ぼすことがな
い。
のリニアモータのもので互いに向き合って相殺され、リ
ニアガイド3に好ましからざる横力を及ぼすことがな
い。
【0025】このようなことから、適当な垂直方向分力
Faを得るためには、取付面部15、19の傾斜角が適
当値に選定れればよい。
Faを得るためには、取付面部15、19の傾斜角が適
当値に選定れればよい。
【0026】なお、取付面部15、19は水平面であっ
てもよく、この場合には吸引力Fのすべてが垂直方向分
力Faとなる。
てもよく、この場合には吸引力Fのすべてが垂直方向分
力Faとなる。
【0027】上述の実施例では、リニアモータの一次側
部材7がテーブル5に取り付けられ、二次側部材9がベ
ッド1に取り付けられているが、本発明による送り装置
はこれに限定されることはなく、一次側部材7がベッド
1に取り付けられ、二次側部材9がテーブル5に取り付
けられていてもよい。
部材7がテーブル5に取り付けられ、二次側部材9がベ
ッド1に取り付けられているが、本発明による送り装置
はこれに限定されることはなく、一次側部材7がベッド
1に取り付けられ、二次側部材9がテーブル5に取り付
けられていてもよい。
【0028】以上に於ては、本発明を特定の実施例につ
いて詳細に説明したが、本発明は、これに限定されるも
のではなく、本発明の範囲内にて種々の実施例が可能で
あることは当業者にとって明らかであろう。
いて詳細に説明したが、本発明は、これに限定されるも
のではなく、本発明の範囲内にて種々の実施例が可能で
あることは当業者にとって明らかであろう。
【0029】
【発明の効果】以上の説明から理解される如く、本発明
による工作機械の送り装置によれば、リニアモータの磁
気垂直力によって一次側部材と二次側部材との間に吸引
力が作用すると、この吸引力はテーブルを持ち上げる方
向の上向き垂直力としてテーブルに作用し、テーブル移
動時にベッドに作用するテーブル重量を軽減するから、
ガイド部のテーブル支持負担が低減されて耐久性が向上
し、またテーブルの送り駆動力が低減され、リニアモー
タの必要推力が少なくて済むようになる。
による工作機械の送り装置によれば、リニアモータの磁
気垂直力によって一次側部材と二次側部材との間に吸引
力が作用すると、この吸引力はテーブルを持ち上げる方
向の上向き垂直力としてテーブルに作用し、テーブル移
動時にベッドに作用するテーブル重量を軽減するから、
ガイド部のテーブル支持負担が低減されて耐久性が向上
し、またテーブルの送り駆動力が低減され、リニアモー
タの必要推力が少なくて済むようになる。
【0030】またこの吸引力はテーブル重量による下向
き垂直力の相殺されるから、ベッドあるいはテーブルに
大きい変形負荷が作用するすることがなくなり、ベッド
あるいはテーブルが変形することが回避される。
き垂直力の相殺されるから、ベッドあるいはテーブルに
大きい変形負荷が作用するすることがなくなり、ベッド
あるいはテーブルが変形することが回避される。
【0031】このようなことから、スムーズな送り移動
動作が確保され、高加減速、高速送り、高水準の位置決
め精度が得られる。
動作が確保され、高加減速、高速送り、高水準の位置決
め精度が得られる。
【0032】また特にテーブル移動開始時にはリニアモ
ータに通電する電流値が高いことにより、リニアモータ
の磁気垂直力も大きくなり、これに伴いテーブルを持ち
上げる方向の垂直力がテーブル移動開始時に特に大きく
なるから、ベッドのテーブル案内面におけるテーブル支
持負荷を実質的に零にすることができ、このことからテ
ーブル移動開始時の必要起動力を低減できる。
ータに通電する電流値が高いことにより、リニアモータ
の磁気垂直力も大きくなり、これに伴いテーブルを持ち
上げる方向の垂直力がテーブル移動開始時に特に大きく
なるから、ベッドのテーブル案内面におけるテーブル支
持負荷を実質的に零にすることができ、このことからテ
ーブル移動開始時の必要起動力を低減できる。
【0033】リニアモータの一次側部材と二次側部材の
取付面であるベッドの下面部とテーブルの上面部とが上
下に傾斜していれば、テーブルを持ち上げる方向の上向
き垂直力はその取付面の傾斜角により決まる垂直方向分
力により与えられるから、その傾斜角の選定により適当
な垂直方向分力が大きい自由度の下に得られる。
取付面であるベッドの下面部とテーブルの上面部とが上
下に傾斜していれば、テーブルを持ち上げる方向の上向
き垂直力はその取付面の傾斜角により決まる垂直方向分
力により与えられるから、その傾斜角の選定により適当
な垂直方向分力が大きい自由度の下に得られる。
【図1】本発明による工作機械の送り装置の一実施例を
示す概略構成図である。
示す概略構成図である。
【図2】リニアモータによる工作機械の送り装置の一例
を示す概略構成図である。
を示す概略構成図である。
【図3】リニアモータによる工作機械の送り装置の他の
例を示す概略構成図である。
例を示す概略構成図である。
1 ベッド 3 リニアガイド 5 テーブル 7 一次側部材 9 二次側部材 15、19 取付面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 覚張 勝治 静岡県沼津市大岡2068の3 東芝機械株式 会社沼津事業所内 (72)発明者 田代 早苗 静岡県沼津市大岡2068の3 東芝機械株式 会社沼津事業所内 (72)発明者 熊本 聰 静岡県沼津市大岡2068の3 東芝機械株式 会社沼津事業所内
Claims (2)
- 【請求項1】 ベッドの上面に形成されたテーブル案内
面上にテーブルが線形移動可能に設けられている工作機
械の送り装置において、 前記ベッドの下面部にリニアモータの一次側部材あるい
は二次側部材の一方が取り付けられ、前記テーブルは前
記ベッドの前記下面部に対向する上面部を有し、当該上
面部に前記リニアモータの一次側部材あるいは二次側部
材の他方が前記ベッドに取り付けられている一次側部材
あるいは二次側部材と対向して取り付けていることを特
徴とする工作機械の送り装置。 - 【請求項2】 前記リニアモータは前記ベッドおよび前
記テーブルの左右両側に各々設けられ、その各リニアモ
ータの一次側部材あるいは二次側部材を取り付けられて
いる前記ベッドの前記下面部と前記テーブルの上面部は
左右両側にあって左右対称をもって上下に傾斜してV形
に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の工
作機械の送り装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP240995A JPH08192327A (ja) | 1995-01-11 | 1995-01-11 | 工作機械の送り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP240995A JPH08192327A (ja) | 1995-01-11 | 1995-01-11 | 工作機械の送り装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08192327A true JPH08192327A (ja) | 1996-07-30 |
Family
ID=11528456
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP240995A Pending JPH08192327A (ja) | 1995-01-11 | 1995-01-11 | 工作機械の送り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08192327A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006142386A (ja) * | 2004-11-16 | 2006-06-08 | Nissan Motor Co Ltd | 工作機械の送り装置 |
| JP2008312405A (ja) * | 2007-06-18 | 2008-12-25 | Mitsubishi Electric Corp | リニアモータ駆動の軸送り装置 |
| WO2019193659A1 (ja) * | 2018-04-03 | 2019-10-10 | 株式会社Fuji | リニアモータ |
-
1995
- 1995-01-11 JP JP240995A patent/JPH08192327A/ja active Pending
Cited By (4)
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|---|---|---|---|---|
| JP2006142386A (ja) * | 2004-11-16 | 2006-06-08 | Nissan Motor Co Ltd | 工作機械の送り装置 |
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| WO2019193659A1 (ja) * | 2018-04-03 | 2019-10-10 | 株式会社Fuji | リニアモータ |
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