JPH08192517A - ノズルプレートの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 インクジェットヘッドに用いられ、印字品質
に優れ、且つ大量生産性に優れたノズルプレートの製造
方法を提示すること。 【構成】 ノズルが形成される部分が凸形状となったノ
ズルプレート本体１０をポリサルホンで射出成形する。
次に、ノズルプレート本体１０の凸形状部５の少なくと
もバリ２００が形成された領域をエッチング液２１０に
浸漬する。すると、エッチング液２１０に浸漬された領
域のみが選択的に除去される。これにより、ノズルの内
面及び開口部にバリ２００のないノズルプレートが得ら
れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットヘッド
に用いられ、インクが噴射される複数のノズルが形成さ
れたノズルプレートの製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、ドロップオンデマンド方式のイン
クジェットヘッドとして、例えば、圧電セラミックスの
変形によってインク流路の容積を変化させ、その容積減
少時にインク流路内のインクをノズルから液滴として噴
射し、容積増大時にインク導入口からインク流路内にイ
ンクを導入するようにしたものがある。そして、所要の
印字データに従って所要の位置のノズルからインク滴を
噴射させることにより、インクジェットヘッドと対向す
る紙面上等に所望する文字や画像を形成するものであ
る。

【０００３】この種のインクジェットヘッドとしては、
例えば特開昭６３−２４７０５１号公報に記載されてい
るものがある。このインクジェットヘッドは、圧電セラ
ミックスの隔壁によって隔てられた複数の平行なインク
流路を形成し、前記インク流路の一端をノズルプレート
の前記ノズルに連通し、他の一端にインクを供給するイ
ンク供給手段を接続し、前記隔壁の変形によってインク
流路の容積を変化させて前記ノズルからインクを噴射す
る。

【０００４】上記のようなインクジェットヘッドのノズ
ルプレートの製造方法としては、例えば、特開昭６１−
３２７６１号公報に開示されているように、フィルム状
のノズルプレートにエキシマレーザビームによりノズル
を形成する方法が知られている。また、特開平３−２９
７６５１号公報に開示されているように、高分子樹脂材
料の射出成形法によりノズルが形成されたノズルプレー
トを成形する方法が知られている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】元来、インクジェット
ヘッドのノズルは、ノズル内の容積が小さいと、インク
流路内にエアーを巻き込み、良好なインク噴射が行え
ず、印字品質が低下するという問題があった。

【０００６】上述した特開昭６１−３２７６１号公報に
開示されたエキシマレーザビームによりノズルを形成す
る方法では、直線的な孔加工しかできず、ノズル内面の
テーパ角を大きくとれない。よって、形成するノズルの
オリフィス径が決まれば、その径を有する直線的な孔が
形成されるのみであり、ノズル容積を大きくすることが
できない。

【０００７】そこで、特開平３−２９７６５１号公報に
開示されたノズルプレートを射出成形で製造する方法に
よれば、ノズル内の容積を大きくし、エアーの巻き込み
を防止するなど、インク噴射に対して良好なノズル形状
にすることが容易に可能となる。しかしながら、射出成
形では金型の組合せ部分にバリが生じ易く、特に、ノズ
ルプレートの射出成形時にノズル孔が貫通したものを製
造すると、ノズル孔近傍やノズル孔内にバリが生じ、イ
ンクの吐出方向が曲げられ、印字品質が悪くなるという
問題があった。

【０００８】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、大量生産性に優れ、且つ印字品
質に優れたノズルプレートを製造するノズルプレートの
製造方法を提示することを目的とするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のノズルプレートの製造方法は、インクが噴射
される複数のノズルが形成されたノズルプレートを製造
する方法であり、射出工程により前記ノズルを有するプ
レートを成形する工程であって、前記ノズルが形成され
る部位が、前記ノズルがインクを噴射する方向へ突出し
た凸形状となるように形成する工程と、離型後、前記プ
レートの凸形状部の少なくとも頂部を除去する工程とか
らなる。

【００１０】尚、前記プレートの凸形状部の少なくとも
頂部を除去する工程は、エッチング法によるものでもよ
い。更に、前記エッチング法は、前記プレートの凸形状
の頂部をエッチング液に浸漬させ、化学的に腐食させて
除去するものであってもよい。

【００１１】尚、前記プレートの凸形状部の少なくとも
頂部を除去する工程は、ダイシング法によるものであっ
てもよい。

【００１２】尚、前記プレートの凸形状部の少なくとも
頂部を除去する工程は、研削加工によるものであっても
よい。

【００１３】また、前記プレートの材質として樹脂材料
を用いてもよい。

【００１４】また、前記プレートの材質として金属材料
を用いてもよい。

【００１５】

【作用】上記の構成を有する本発明の請求項１に係るノ
ズルプレートの製造方法においては、ノズルプレートを
射出成形する際には、ノズルが形成される部位が凸形状
となるように成形する。そして、離型後、この凸形状の
少なくとも頂部を除去することで、前記射出成形時にノ
ズル内及び近傍に生じたバリも除去される。

【００１６】請求項２に係るノズルプレートの製造方法
においては、大量生産性が良く、且つ製造装置のコスト
がかからないエッチング法を用いて、前記プレートの凸
部形状の少なくとも頂部を腐食させて除去する。

【００１７】請求項３に係るノズルプレートの製造方法
においては、前記プレートの凸形状の頂部をエッチング
液に浸漬させ、化学的に腐食させて除去する。

【００１８】請求項４に係るノズルプレートの製造方法
においては、ダイシング法を用いて、前記プレートの凸
部形状の少なくとも頂部を切り取って除去する。

【００１９】請求項５に係るノズルプレートの製造方法
においては、研削加工によって、前記プレートの凸部形
状の少なくとも頂部を摩耗させて除去する。

【００２０】請求項６に係るノズルプレートの製造方法
においては、材質として加工性に富んだ樹脂材料を用い
てノズルプレートを成形する。

【００２１】請求項７に係るノズルプレートの製造方法
においては、材質として加工性に富んだ金属材料を用い
てノズルプレートを成形する。

【００２２】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して説
明する。

【００２３】図３、図４及び図５に示すように、インク
ジェットヘッド３００は、圧電セラミックスプレート３
０２とカバープレート３２０とノズルプレート１とマニ
ホールド部材３０１とから構成されている。

【００２４】その圧電セラミックスプレート３０２は、
チタン酸ジルコン酸鉛系（ＰＺＴ）等のセラミックス材
料で形成され、圧電セラミックスプレート３０２には、
ダイヤモンドブレード等により切削加工された複数の横
溝３０３が形成されている。また、その横溝３０３の側
面となる隔壁３０６は矢印３０５の方向に分極されてい
る。それらの横溝３０３は同じ深さであり、かつ平行で
あり、圧電セラミックスプレート３０２の対向する端面
３０２ａ，３０２ｂに開口して加工されている。

【００２５】また、圧電セラミックスプレート３０２の
端面３０２ａには、縦溝３１１ａが横溝３０３に連通す
るように１つ置きに形成されている。圧電セラミックス
プレート３０２の端面３０２ｂには、縦溝３１１ｂが横
溝３０３に連通するように１つ置きに形成されている。
そして、縦溝３１１ａ，３１１ｂは交互に形成されてお
り、縦溝３１１ａと縦溝３１１ｂとは、隣合う横溝３０
３に形成されている。尚、縦溝３１１ａは、両外側の横
溝３０３に設けられている。また、圧電セラミックプレ
ート３０２の横溝３０３加工側に対して反対側の面３０
２ｃには、導電材料によるパターン３２４，３２５が形
成されている。

【００２６】そして、圧電セラミックスプレート３０２
の溝加工面、且つ端面３０２ａに対して斜め上方の位置
に配置されたスパッタリング等の蒸着源（図示せず）か
ら金属電極３０８，３０９，３１０が形成される（図３
における矢印３３０ａ，３３０ｂの方向から蒸着され
る）。尚、その際、圧電セラミックスプレート３０２の
端面３０２ａ及び隔壁３０６の天頂部には金属電極が形
成されないようにマスクしておく。すると、図３に示す
ように、金属電極３０８は、横溝３０３の両側面の上半
分の領域に形成され、金属電極３０９は、縦溝３１１ａ
が形成されていない横溝３０３の端面３０２ａ側の側面
の一部及び底面の一部に形成され、金属電極３１０は、
縦溝３１１ａの側面のうち端面３０２ａ側に形成され
る。尚、金属電極３０８と金属電極３０９とは電気的に
接続され、金属電極３０８と金属電極３１０とは電気的
に接続されている。

【００２７】次に、圧電セラミックスプレート３０２の
面３０２ｃ、且つ端面３０２ｂに対して斜め上方の位置
に配置されたスパッタリング等の蒸着源（図示せず）か
ら金属電極３１６，３１７が形成される（図５における
矢印３３１ａ，３３１ｂの方向から蒸着される）。尚、
圧電セラミックスプレート３０２の端面３０２ｂ及び面
３０２ｃのパターン３２４，３２５が形成された領域に
金属電極が形成されないようにマスクしておく。する
と、図５に示すように、その金属電極３１６は、圧電セ
ラミックスプレート３０２の面３０２ｃにおいて縦溝３
１１ａの底面より端面３０２ａ側の領域及び縦溝３１１
ａ内面の側面の一部に形成される。このとき、縦溝３１
１ａに形成された金属電極３１０上にも金属電極３１６
が形成されて、縦溝３１１ａの側面に形成された金属電
極３１６が金属電極３１０を介して金属電極３０８と電
気的に接続される。このため、縦溝３１１ａが形成され
た横溝３０３ａの片側の隔壁３０６に形成された金属電
極３０８が、その隔壁３０６によって構成される横溝３
０３ｂを挟む他の横溝３０３ａにおいて、前記横溝３０
３ｂを構成するもう一つの隔壁３０６に形成された金属
電極３０８と電気的に接続される。また、金属電極３１
６はパターン３２４に電気的に接続される。

【００２８】そして、図４及び図５に示すように、金属
電極３１７は、圧電セラミックスプレート３０２の面３
０２ｃにおいて縦溝３１１ｂの底面より圧電セラミック
スプレート３０２の中央側から端面３０２ｂ側の領域、
縦溝３１１ｂ内面の側面の全部及び縦溝３１１ｂの端面
３０２ｂ側に形成される。このとき、縦溝３１１ｂと連
通する横溝３０３ｂの金属電極３０８上にも金属電極３
１７が形成されて、縦溝３１１ｂの側面に形成された金
属電極３１７と電気的に接続される。このため、縦溝３
１１ｂが形成された横溝３０３ｂの全ての金属電極３０
８が金属電極３１７によって電気的に接続される。ま
た、金属電極３１７はパターン３２５に電気的に接続さ
れる。

【００２９】次に、前記圧電セラミックスプレート３０
２の少なくとも金属電極３０８、３０９、３１７をスピ
ンコート法によりエポキシ樹脂の保護膜７７（図７）で
被覆する。さらに、この保護膜７７は絶縁膜としての機
能も有する。

【００３０】尚、スピンコート法によるエポキシ樹脂膜
のほか、ディッピング法、ＣＶＤ法、などによりアクリ
ル樹脂などの他の有機材質或はＳｉＯ₂などの無機材質
の保護膜７７で被覆してもよい。

【００３１】尚、金属電極３１０及び後述する空気室３
２７を形成する横溝３０３ａに形成されている金属電極
３０８はインクに接しないので、保護膜７７により必ず
しも被覆する必要はない。

【００３２】次に、カバープレート３２０は、セラミッ
クス材料、ガラス材料または樹脂材料等から形成されて
おり、圧電セラミックスプレート３０２の横溝３０３加
工側の面と、カバープレート３２０とをエポキシ系接着
剤１２０（図７）によって接着する。従って、インクジ
ェットヘッド３００には、横溝３０３の上面が覆われ
て、縦溝３１１ｂと連通するインク室３０４（図７参
照）及び縦溝３１１ａと連通する非噴射領域としての空
気室３２７（図７参照）が構成される。尚、インク室３
０４は横溝３０３ｂに対応しており、空気室３２７は横
溝３０３ａに対応している。インク室３０４及び空気室
３２７は長方形断面の細長い形状であり、全てのインク
室３０４はインクが充填され、空気室３２７は空気が充
填される領域である。

【００３３】そして、圧電セラミックスプレート３０２
の端面３０２ａ及びカバープレート３２０の端面に、各
インク室３０４の位置に対応した位置にノズル２が設け
られたノズルプレート１を接着する。このノズルプレー
ト１に形成されているノズル２は、図８に示すようにテ
ーパ部３及びオリフィス部４から成る。

【００３４】そして、図５に示すように、マニホールド
部材３０１が、圧電セラミックスプレート３０２の端面
３０２ｂ及び圧電セラミックスプレート３０２の面３０
２ｃにおける縦溝３１１ｂ側に接着される。マニホール
ド部材３０１にはマニホールド３２２が形成されてお
り、そのマニホールド３２２は縦溝３１１ｂを包囲して
いる。

【００３５】圧電セラミックスプレート３０２の面３０
２ｃに形成されたパターン３２４、３２５は、図示しな
いフレキシブルプリント基板の配線パターンと接続され
る。そのフレキシブルプリント基板の配線パターンは、
後述する制御部に接続された図示しないリジット基板に
接続されている。

【００３６】次に、ノズルプレート１の製造方法を説明
する。

【００３７】まず、図１に示すようなノズル２の形成さ
れる部分が凸形状となった凸形状部５を有するノズルプ
レート本体１０を、樹脂材料であるポリサルホンで射出
成形する。このときの金型構造の概略図を図９（ａ），
図９（ｂ）に示す。図９（ｂ）は図９（ａ）のＡ−Ａ断
面を示す。図９中、テーパ部３を形成する山部１０３は
ノズル２に対応する。山部１０３はコア１１０に形成さ
れている。尚、ノズル２のオリフィス部４に対応する山
部１０３の先端部は、後述する凸形状部５の除去処理を
見越して、その分伸長されている。そして、射出成形
時、射出成形材料はゲート１００から導入され、金型の
空間に充填される。この時の金型温度は１５０℃であ
り、材料温度は３７０℃であり、樹脂材料を充填する圧
力は１２００〜１５００ｋｇ／ｃｍ²である。これによ
って、ノズル２の近傍に凸形状部５が形成されたノズル
プレート本体１０が射出成形される。そして、材料、金
型温度、材料温度、充填圧力等にもよるが、通常、イン
クが噴射される側の面を成形する型板１０４と各山部１
０３との空隙によりバリ２００が形成される。

【００３８】次に、凸形状部５の少なくともバリ２００
が形成された部分を除去する。図２にエッチング液によ
り除去する方法を示す。ポリサルホンをエッチングする
エッチング液２１０に、凸形状部５のバリ２００が形成
された部分を浸漬する。すると、エッチング液２１０に
浸漬された凸形状部５のバリ２００が形成された部分が
化学的に腐食することで除去されて、ノズルプレート１
が製造される。このとき、凸形状部５のみが選択的に除
去されるので、信頼性が高い。尚、バリ２００の大部分
はノズル内面のオリフィズ部４先端部に生ずるので、凸
形状部５の頂部のみエッチング液に浸漬し、除去しても
よい。

【００３９】ノズルプレート１の材質としては、ポリサ
ルホンのほか、液晶ポリマー、ポリアセタール、ポリフ
ェニルサルホン、ポリフタルアミド、ポリフェニレンオ
キサイド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルサルホ
ン、ポリカーボネートなどの樹脂材料を用いることがで
きる。

【００４０】また、セラミックス粉末、或いは金属粉末
の射出成形技術を用いてノズルプレート１を作製するこ
ともできる。すなわち、セラミックス粉末、或いは金属
粉末を樹脂材料などのバインダーと混合混練し、金型に
射出成形し、射出成形体を得た後、脱脂処理し樹脂材料
を射出成形体より除去し、脱脂体を得る。そして、さら
に脱脂体を焼結炉に挿入して焼結処理を行うことで作成
される。この焼結処理により脱脂体は収縮し、金型寸法
よりも約１０〜３０％程度小さくなる。このため、金型
側のノズル寸法及びピッチは製品よりも収縮分を見込ん
で大きくしておく必要がある。

【００４１】尚、使用するセラミックス粉末及び金属粉
末としては、例えば、アルミナ、ジルコニア、窒化珪
素、炭化珪素、ステンレスなどを用いることができる。

【００４２】なお、凸形状部５のバリ２００が形成され
た部分のみを選択的に除去する方法としては、上記した
エッチング法のほか、切断加工（例えば、ダイシング
法）、研削加工などの機械的な加工法を用いることがで
きるが、製造装置のコスト、大量生産性の観点からエッ
チング法がより好ましい。

【００４３】また、エッチング法に関しては、樹脂材
料、セラミックス材料、金属材料の各材料に適したエッ
チング液２１０を選定することが肝要であるが、通常、
セラミックス材料のエッチングは所定の量だけ除去する
のに時間がかかり、大量生産性に劣るので、樹脂材料、
金属材料がより好ましい。尚、各々の材料に適切なエッ
チング液２１０を例示すると、樹脂材料にはメチルエチ
ルケトン（ＭＥＫ）が、セラミック材料にはフッ酸，硝
酸及び水酸化ナトリウムの混合溶液が、金属材料には塩
酸、硝酸または塩化第二鉄の溶液がよく用いられる。ま
た、金属材料としては、加工性において有利なニッケル
が好ましく、その際に用いられるエッチング液２１０と
しては塩化第二鉄の溶液が好ましい。

【００４４】同様に、機械的な除去加工の場合にも、ノ
ズルプレート１の材料としては、セラミック材料より加
工性の良好な樹脂材料、金属材料を用いるのがより好ま
しい。

【００４５】次に、制御部のブロック図を示す図６によ
って、制御部の構成を説明する。圧電セラミックスプレ
ート３０２の面３０２ｃに形成されたパターン３２４，
３２５は、前記フレキシブルプリント基板、前記リジッ
ト基板を介して各々個々にＬＳＩチップ１５１に接続さ
れ、クロックライン１５２、データライン１５３、電圧
ライン１５４及びアースライン１５５もＬＳＩチップ１
５１に接続されている。ＬＳＩチップ１５１は、クロッ
クライン１５２から供給された連続するクロックパルス
に基づいて、データライン１５３上に現れるデータか
ら、どのノズル２からインク滴の噴射を行うべきかを判
断し、噴射するインク室３０４の両側の空気室３２７の
金属電極３０８に導通するパターン３２４に、電圧ライ
ン１５４の電圧Ｖを印加する。また、他のパターン３２
４及びインク室３０４の金属電極３０８に導通するパタ
ーン３２５をアースライン１５５に接続する。

【００４６】次に、本実施例のインクジェットヘッド３
００の動作を説明する。図７（ｂ）のインク室３０４ｂ
からインク滴を噴射するために、当該インク室３０４ｂ
の両側の空気室３２７ｂ、３２７ｃのインク室３０４ｂ
側の金属電極３０８ｃ、３０８ｆに対し電圧パルスをパ
ターン３２４を介して与え、他の金属電極３０８には、
他のパターン３２４、パターン３２５を介して接地す
る。すると、隔壁３０６ｂには矢印１１３ｂ方向の電界
が発生し、隔壁３０６ｃには矢印１１３ｃ方向の電界が
発生して、隔壁３０６ｂと３０６ｃとが互いに離れるよ
うに動く。インク室３０４ｂの容積が増えて、ノズル２
付近を含むインク室３０４ｂ内の圧力が減少する。この
状態をＬ／ａで示される時間だけ維持する。すると、そ
の間縦溝３１１ｂを介してマニホールド３２２からイン
クがインク室３０４ｂに供給される。なお、上記Ｌ／ａ
は、インク室３０４内の圧力波が、インク室３０４の長
手方向（縦溝３１１ｂからノズルプレート１４まで、ま
たはその逆）に対して、片道伝播するに必要な時間であ
り、インク室３０４の長さＬとインク中での音速ａによ
って決まる。

【００４７】圧力波の伝播理論によると、前記の立ち上
げからちょうどＬ／ａの時間経つとインク室３０４ｂ内
の圧力が逆転し、正の圧力に転じるが、このタイミング
に合わせて電極３０８ｃ、３０８ｆに印加されている電
圧を０Ｖに戻す。すると、隔壁３０６ｂと３０６ｃは変
形前の状態（図７（ａ））に戻り、インクに圧力が加え
られる。その時、前記正に転じた圧力と隔壁３０６ｂ、
３０６ｃが変形前の状態に戻って、発生した圧力とがた
し合わされ、比較的高い圧力がインク室３０４ｂ内のイ
ンクに与えられて、インク滴がノズル２から噴出され
る。

【００４８】以上説明したように、本実施例のノズルプ
レート１の製造方法では、前記ノズル２が形成される部
分が凸形状部５のノズルプレート本体１０が射出成形に
より成形され、前記ノズルプレート本体１０の凸形状部
５の少なくとも一部を除去するので、ノズル２の開口部
にバリ２００がない。従って、インクの噴射方向が良好
で、印字品質に優れる。

【００４９】尚、前記実施例においては、まず駆動電圧
をインク室３０４ｂの容積が増加する方向に印加し、次
に駆動電圧の印加を停止しインク室３０４ｂの容積を自
然状態に減少してインク室３０４ｂからインク滴を噴射
していたが、まず駆動電圧をインク室３０４ｂの容積が
減少するように印加してインク室３０４ｂからインク滴
を噴射し、次に駆動電圧の印加を停止してインク室３０
４ｂの容積を前記減少状態から自然状態へと増加させて
インク室３０４ｂ内にインクを供給してもよい。

【００５０】また、本実施例では、隔壁３０６は、圧電
セラミックスで形成されていたが、隔壁の上半分の領域
を圧電セラミックスで形成し、下半分をアルミナ等の圧
電セラミックスでない材料で形成してもよい。

【００５１】更に、本実施例では、隔壁３０６の上半分
の領域による圧電変形によって、インク室３０４からイ
ンクを噴射していたが、隔壁の上半分の領域の圧電セラ
ミックスの分極方向と反対方向の分極方向である圧電セ
ラミックスで隔壁の下半分の領域を形成し、隔壁の側面
全面に金属電極を形成して、隔壁全体の圧電変形によっ
て、インク室からインクを噴射させてもよい。

【００５２】また、本実施例では、圧電セラミックスを
用いたインクジェットヘッドであったが、周知のバブル
ジェット式やコンティニュアスジェット式等の様々な印
字方式のインクジェットヘッドに適応可能である。

【００５３】

【発明の効果】以上説明したことから明かなように本発
明のインクジェットヘッドのノズルプレート製造方法に
よれば、前記ノズルが形成される部分が凸形状部のプレ
ートが射出成形により成形され、前記プレートの凸形状
部の少なくとも一部を除去するので、ノズルの内部及び
開口部にバリがない。従って、インクの噴射方向が良好
で、印字品質に優れる。また、射出成形によって前記プ
レートを成形しているので、ノズル内部の形状をインク
噴射に対して良好な形状に容易に成形することができ、
大量生産性に優れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例のノズルプレート本体を示す
断面図である。

【図２】前記実施例のエッチング法によるノズルプレー
ト本体の凸形状部の除去方法を示す説明図である。

【図３】前記実施例のインクジェットヘッドを示す斜視
図である。

【図４】前記実施例の圧電セラミックスプレートを示す
斜視図である。

【図５】前記実施例のインクジェットヘッドを示す斜視
図である。

【図６】前記実施例のインクジェットヘッドの制御部を
示すブロック図である。

【図７】前記実施例のインクジェットヘッドの作動状態
を示す説明図である。

【図８】前記実施例のインクジェットヘッドのノズル部
を示す断面図である。

【図９】前記実施例のノズルプレート本体を製造するた
めの射出成形金型を示す断面図である。

【符号の説明】

１ ノズルプレート ２ ノズル ３ テーパ部 ４ オリフィス部 ５ 凸形状部 １０ ノズルプレート本体 ２００ バリ ２１０ エッチング液 ３００ インクジェットヘッド

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インクジェットヘッドに用いられ、イン
   クが噴射される複数のノズルが形成されたノズルプレー
   トの製造方法において、 射出工程により前記ノズルを有するプレートを成形する
   工程であって、前記ノズルが形成される部位が、前記ノ
   ズルがインクを噴射する方向へ突出した凸形状となるよ
   うに形成する工程と、 離型後、前記プレートの凸形状部の少なくとも頂部を除
   去する工程とからなることを特徴とするノズルプレート
   の製造方法。
2. 【請求項２】 前記プレートの凸形状部の少なくとも頂
   部を除去する工程は、エッチング法によるものであるこ
   とを特徴とする請求項１に記載のノズルプレートの製造
   方法。
3. 【請求項３】 前記エッチング法は、前記プレートの凸
   形状の頂部をエッチング液に浸漬させ、化学的に腐食さ
   せて除去するものであることを特徴とする請求項２に記
   載のノズルプレートの製造方法。
4. 【請求項４】 前記プレートの凸形状部の少なくとも頂
   部を除去する工程は、ダイシング法によるものであるこ
   とを特徴とする請求項１に記載のノズルプレートの製造
   方法。
5. 【請求項５】 前記プレートの凸形状部の少なくとも頂
   部を除去する工程は、研削加工によるものであることを
   特徴とする請求項１に記載のノズルプレートの製造方
   法。
6. 【請求項６】 前記プレートの材質として樹脂材料を用
   いることを特徴とする請求項３乃至５のいずれかに記載
   のノズルプレートの製造方法。
7. 【請求項７】 前記プレートの材質として金属材料を用
   いることを特徴とする請求項３乃至５のいずれかに記載
   のノズルプレートの製造方法。