JPH08197728A - インク噴射装置 - Google Patents

インク噴射装置

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JPH08197728A
JPH08197728A JP7012435A JP1243595A JPH08197728A JP H08197728 A JPH08197728 A JP H08197728A JP 7012435 A JP7012435 A JP 7012435A JP 1243595 A JP1243595 A JP 1243595A JP H08197728 A JPH08197728 A JP H08197728A
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electrode
metal electrode
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    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
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    • B41J2002/14491—Electrical connection

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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 容易に電気的接続が行え、噴射チャンネルに
インクを供給し、且つ非噴射チャンネルにインクが入り
込まないようにすること。 【構成】 フレキシブルプリント基板141が圧電セラ
ミックスプレート及びカバープレートの一端面に接着さ
れると、インク供給口143が各インク室に連通し、被
覆部146が空気室にインクが入り込まないように塞
ぎ、接点電極142がインク室内の金属電極に電気的に
接続し、接点電極145が空気室内の金属電極に電気的
に接続する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、インク噴射装置に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】今日、これまでのインパクト方式の印字
装置にとってかわり、その市場を大きく拡大しつつある
ノンインパクト方式の印字装置のなかで、原理が最も単
純で、かつ多階調化やカラー化が容易であるものとし
て、インクジェット方式の印字装置が上げられる。なか
でも印字に使用するインク滴のみを噴射するドロップ・
オン・デマンド型が、噴射効率の良さ、ランニングコス
トの安さなどから急速に普及している。
【0003】ドロップ・オン・デマンド型として特公昭
53−12138号公報に開示されているカイザー型、
あるいは特公昭61−59914号公報に開示されてい
るサーマルジェット型がその代表的な方式としてある。
このうち、前者は小型化が難しく、後者は高熱をインク
に加えるためにインクの耐熱性に対する要求が必要とさ
れ、それぞれに非常に困難な問題を抱えている。
【0004】以上のような欠陥を同時に解決する新たな
方式として提案されたのが、特開昭63−247051
号公報に開示されているせん断モード型である。
【0005】図19に示すように、上記せん断モード型
のインク噴射装置600は、底壁601、天壁602及
びその間のせん断モードアクチュエータ壁603からな
る。そのアクチュエータ壁603は、底壁601に接着
され、且つ矢印611方向に分極された下部壁607
と、天壁602に接着され、且つ矢印609方向に分極
された上部壁605とからなっている。アクチュエータ
壁603は一対となってその間にインク流路613を形
成し、且つ次の一対のアクチュエータ壁603の間に
は、インク流路613よりも狭い空間615を形成して
いる。
【0006】各インク流路613の一端には、ノズル6
18を有するノズルプレート617が固着され、各アク
チュエータ壁603の両側面には電極619、621が
金属化層として設けられている。各電極619、621
はインクと絶縁するための絶縁層(図示せず)で覆われ
ている。そして、空間615に面している電極619、
621はアース623に接続され、インク流路613内
に設けられている電極619、621は、アクチュエー
タ駆動回路を与えるシリコン・チップ625に接続され
ている。
【0007】次に、このインク噴射装置600の製造方
法を説明する。まず、矢印611に分極された圧電セラ
ミックス層を底壁601に接着し、矢印609に分極さ
れた圧電セラミックス層を天壁602に接着する。各圧
電セラミックス層の厚みは、下部壁607、上部壁60
5の高さに等しい。次に、圧電セラミックス層に、平行
な溝をダイヤモンドカッティング円板の回転等によって
形成して、下部壁607、上部壁605を形成する。そ
して、真空蒸着によって下部壁607の側面に電極61
9を形成し、その電極619上に前記絶縁層を設ける。
同様にして上部壁605の側面に電極621、前記絶縁
層を設ける。
【0008】上部壁605の天頂部と下部壁607の天
頂部とを接着してインク流路613と空間615とを形
成する。次に、ノズル618が穿孔されているノズルプ
レート617を、ノズル618がインク流路613と対
応するように、インク流路613及び空間615の一端
に接着し、インク流路613と空間615との他端をシ
リコン・チップ625とアース623とに接続する。
【0009】そして、各インク流路613の電極61
9、621にシリコン・チップ625が電圧を印加する
ことによって、各アクチュエータ壁603がインク流路
613の容積を増加する方向に圧電厚みすべり変形し
て、所定時間後電圧印加が停止されてインク流路613
の容積が増加状態から自然状態となってインク流路61
3内のインクに圧力が加えられ、インク滴がノズル61
8から噴射される。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た構成のインク噴射装置600では、空間615に面し
ている電極619、621はアース623に接続され、
インク流路613内に設けられている電極619、62
1は、アクチュエータ駆動回路を与えるシリコン・チッ
プ625に接続されているが、その電気的接続の具体的
構成および方法が開示されていない。
【0011】更に、インク流路613にインクが供給さ
れ、且つ空間615にインクが入らないようにするため
の具体的構成及び方法が開示されていない。
【0012】また、一般的に複数の噴射チャンネルへの
インクの供給は、各インク流路613に連通するマニホ
ールド部材を介してインクタンクから行なわれる。上述
の例では、インク噴射装置600とマニホールド部材と
の接合位置や、インク噴射装置600とマニホールド部
材とをインクの漏れがないように接合しなければならな
いが、その具体的な方法が開示されていない。
【0013】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、第一の目的は、容易に電気的接
続が行え、マニホールド部材をインクの漏れがないよう
に接合することができるインク噴射装置を提供すること
である。そして、第二の目的は、容易に電気的接続が行
え、噴射チャンネルにインクを供給し、且つ非噴射チャ
ンネルにインクが入り込まないようにすることができる
インク噴射装置を提供することである。
【0014】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の請求項1では、インク供給源からインクが供
給され、インクを噴射する複数の噴射チャンネルと、各
噴射チャンネルにインクを供給するためのマニホールド
部材と、前記噴射チャンネル内のインクにエネルギーを
発生するエネルギー発生部材と、前記エネルギー発生部
材に連結され、電源回路から電圧が印加される電極とを
有するインク噴射装置において、前記電極を前記電源回
路に電気的に接続する接続部と、前記噴射チャンネルを
前記インク供給源に連通するインク供給部と、前記マニ
ホールド部材と接合する接合部とを含む連結部材を備え
ている。
【0015】請求項2では、インク供給源からインクが
供給され、インクを噴射する複数の噴射チャンネルと、
前記噴射チャンネルの両側に設けられ、インクが供給さ
れない非噴射チャンネルと、前記噴射チャンネル内のイ
ンクにエネルギーを発生するエネルギー発生部材と、前
記エネルギー発生部材に連結され、電源回路から電圧が
印加される電極とを有するインク噴射装置において、前
記電極を前記電源回路に電気的に接続する接続部と、前
記噴射チャンネルを前記インク供給源に連通するインク
供給部と、前記非噴射チャンネルを前記インク供給源に
連通させない非連通部とを含む連結部材を備えている。
【0016】請求項3では、前記連結部材は、フレキシ
ブルプリント基板であることを特徴とする。
【0017】請求項4では、前記エネルギー発生部材
は、前記噴射チャンネルと前記非噴射チャンネルとを隔
て、少なくとも一部が圧電セラミックスで形成された隔
壁であり、前記電極は、前記噴射チャンネル及び前記非
噴射チャンネル内の前記隔壁の前記圧電部に形成された
駆動電極部と、前記噴射チャンネル及び前記非噴射チャ
ンネル外に形成された接続電極部とを有し、前記連結部
材の接続部は前記電極の前記接続電極部に接続すること
を特徴とする。
【0018】請求項5では、前記電極の前記接続電極部
が形成された面と、前記噴射チャンネルにインクを供給
する面とが同一面であることを特徴とする。
【0019】請求項6では、前記電極の前記接続電極部
が形成された面と、前記噴射チャンネルにインクを供給
する面とが異なる面であることを特徴とする。
【0020】請求項7では、前記電極の前記接続電極部
が、前記駆動電極部の一部であることを特徴とする。
【0021】
【作用】上記の構成を有する本発明の請求項1では、前
記連結部材の前記接続部が、前記電極を前記電源回路に
電気的に接続し、前記連結部材の前記インク供給部が前
記噴射チャンネルを前記インク供給源に連通し、前記連
結部材の前記接合部が前記マニホールド部材に接合して
マニホールド部材からのインク漏れが防止される。つま
り連結部材により、電極への電圧印加が可能とされ、且
つ噴射チャンネルへのインクの供給が可能とされ、且つ
マニホールド部材からのインク漏れが防止される。
【0022】また、請求項2のインク噴射装置では、前
記連結部材の前記接続部が、前記電極を前記電源回路に
電気的に接続し、連結部材の前記インク供給部が前記噴
射チャンネルを前記インク供給源に連通し、連結部材の
前記非連通部が前記非噴射チャンネルを前記インク供給
源を連通させない。つまり連結部材により、電極への電
圧印加が可能とされ、且つ噴射チャンネルへのインクの
供給が可能とされ、且つ非噴射チャンネルへのインクの
入り込みが防止される。
【0023】
【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図面を
参照して説明する。
【0024】図1、図2、図3及び図4に示すように、
インクジェットヘッド100は、圧電セラミックスプレ
ート102とカバープレート121とノズルプレート1
4とフレキシブルプリント基板141とマニホールド部
材101とから構成されている。
【0025】その圧電セラミックスプレート102は、
チタン酸ジルコン酸鉛系(PZT)等のセラミックス材
料で形成され、圧電セラミックスプレート102には、
ダイヤモンドブレード等により切削加工された複数の溝
103が形成されている。また、その溝103の側面と
なる隔壁106は矢印105の方向に分極されている。
それら溝103は同じ深さであり、かつ平行であり、圧
電セラミックスプレート102の対向する端面102
a、102bに開口して加工されている。
【0026】そして、圧電セラミックスプレート102
の溝加工面及び端面102bに対して斜め上方の位置に
配置されたスパッタリング等の蒸着源(図示せず)から
駆動電極部としての金属電極108が形成される(矢印
130a、130bの方向から蒸着される)。尚、隔壁
106の天頂部に金属電極が形成されないようにマスク
しておく。すると、金属電極108が溝103の両側面
の上半分の領域に形成される。この時端面102bに
は、金属電極108に電気的に接続された接続電極部と
しての金属電極116、117が形成される。尚、圧電
セラミックスプレート102の端面102bにおいて、
金属電極116と金属電極117とが分離するようにマ
スクしておく。
【0027】金属電極116は、後述するインク室10
4(図7)となる溝103の両側の金属電極108を接
続し、金属電極117は、後述する空気室127(図
7)となる全ての溝103内の金属電極108を接続し
ている。
【0028】次に、前記圧電セラミックスプレート10
2の金属電極108、116、117をエポキシ樹脂で
被覆し、保護膜177(図7)を形成する。
【0029】次に、カバープレート121はアルミナで
形成されており、圧電セラミックスプレート102の溝
103の加工側の面と、カバープレート121とをエポ
キシ系接着剤20(図7)によって接着する。従って、
インクジェットヘッド100には、溝103の上面が覆
われて、金属電極116に接続する金属電極108を有
する噴射チャンネルとしてのインク室104(図7参
照)及び金属電極117に接続する金属電極108を有
する非噴射チャンネルとしての空気室127(図7参
照)が構成される。尚、インク室104及び空気室12
7は長方形断面の細長い形状であり、全てのインク室1
04はインクが充填され、空気室127は空気が充填さ
れる領域である。
【0030】次に、圧電セラミックスプレート102の
端面102a及びカバープレート121の端面に、各イ
ンク室104に対応した位置にノズル12が設けられた
ノズルプレート14が接着される。このノズルプレート
14は、ポリアルキレン(例えばエチレン)テレフタレ
ート、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテル
ケトン、ポリエーテルスルホン、ポリカーボネイト、酢
酸セルロース等のプラスチックによって形成される。
【0031】次に、圧電セラミックスプレート102の
端面102b及びカバープレート121の端面に、フレ
キシブルプリント基板141が接着される。そのフレキ
シブルプリント基板141には、各インク室104に対
応したインク供給口143と、金属電極116に対応し
た接点電極142と、金属電極117に対応した接点電
極145と、空気室127を塞ぐ被覆部146と、接点
電極142、145とをLSIチップ51(図5)に接
続するための接続パターン144とが設けられている。
尚、インク供給口143は、断面形状がフレキシブルプ
リント基板141の厚み方向において変化しない平行な
穴でもよいし、テーパつきの穴でもよい。
【0032】そして、フレキシブルプリント基板141
が接着されると、インク供給口143が各インク室10
4に連通し、被覆部146が空気室127を塞ぎ、接点
電極142が金属電極116に電気的に接続し、接点電
極145が金属電極117に電気的に接続する。
【0033】次に、マニホールド部材101が、圧電セ
ラミックスプレート102の端面102b側において、
フレキシブルプリント基板141を介して接着される。
マニホールド部材101にはマニホールド122及び供
給口123が形成されており、マニホールド122はイ
ンク供給口143を覆う形状であり、供給口123は図
示しないインクタンクに連通する。そして、前記インク
タンクは、供給口123、マニホールド122、インク
供給口143を介してインク室104に連通するが、空
気室127には被覆部146によって連通しない。
【0034】そして、圧電セラミックスプレート102
の端面102bに形成された金属電極116、117は
前記フレキシブルプリント基板141の接点電極14
2、145及びパターン144を介して電源回路として
のLSIチップ51(図5)に接続される。
【0035】次に、制御部のブロック図を示す図5によ
って、制御部の構成を説明する。フレキシブルプリント
基板141に設けられた接点電極142、145はパタ
ーン144を介して各々個々にLSIチップ51に接続
され、クロックライン52、データライン53、電圧ラ
イン54及びアースライン55もLSIチップ51に接
続されている。LSIチップ51は、クロックライン5
2から供給された連続するクロックパルスに基づいて、
データライン53上に現れるデータから、どのノズル1
2からインク滴の噴射を行うべきかを判断する。そし
て、LSIチップ51は、インクを噴射するインク室1
04内の金属電極108に導通する導電層のパターン1
44に、電圧ライン54の電圧Vを印加する。また、L
SIチップ51は、前記インク室104以外の金属電極
108及び空気室127の金属電極108に導通する導
電層のパターン144にアースライン55を接続する。
【0036】次に、本実施例のインクジェットヘッド1
00の動作を説明する。図8のインク室104bからイ
ンク滴を噴射するとLSIチップ51が判断すると、L
SIチップ51は、インク室104b内の金属電極10
8に導通するパターン144電圧ライン54の電圧Vを
印加し、且つ噴射しない他のインク室104及び空気室
127内の金属電極108に導通するパターン144に
アースライン55を接続する。つまり、インク室104
bの金属電極108を電圧Vとし、他のインク室104
及び空気室127内の金属電極108を接地する。
【0037】すると、隔壁106bには矢印13b方向
の電界が発生し、隔壁106cには矢印13c方向の電
界が発生して、隔壁106bと106cとが互いに離れ
るように動く。そして、隔壁106bと106cとの変
形によりインク室104bの容積が増えて、ノズル12
付近を含むインク室104b内の圧力が減少する。この
状態をL/aで示される時間だけ維持する。すると、そ
の間インク供給口143を介してマニホールド122か
らインクがインク室104bに供給される。なお、上記
L/aは、インク室104内の圧力波が、インク室10
4の長手方向(インク供給口143からノズルプレート
14まで、またはその逆)に対して、片道伝播するに必
要な時間であり、インク室104の長さLとインク中で
の音速aによって決まる。
【0038】圧力波の伝播理論によると、前記の立ち上
げからちょうどL/aの時間経つとインク室104b内
の圧力が逆転し、正の圧力に転じるが、このタイミング
に合わせてインク室104b内の金属電極108に印加
されている電圧を0Vに戻す。すると、隔壁106bと
106cは変形前の状態(図7)に戻り、インクに圧力
が加えられる。その時、前記正に転じた圧力と隔壁10
6b、106cが変形前の状態に戻って発生した圧力と
が足し合わされ、比較的高い圧力がインク室104b内
のインクに与えられて、インク滴がノズル12から噴出
される。
【0039】次に、プリンタの斜視図を示す図6によっ
て、プリンタの構成及び動作を説明する。インクジェッ
トヘッド100及びノズルプレート31は、図1〜図
4、図7及び図8で説明した構成、動作をもつものであ
る。インクジェットヘッド100はキャリッジ62上に
固定され、インク供給チューブ63は供給口123(図
4)と前記インクタンクとを連通し、LSIチップ51
(図5)はキャリッジ62に内蔵され、フレキシブルケ
ーブル64は図5に示したクロックライン52、データ
ライン53、電圧ライン54及びアースライン55に対
応している。キャリッジ62はスライダ66に沿って矢
印65方向に記録紙71の全幅にわたって往復移動し、
インクジェットヘッド100はキャリッジ62が移動し
ている時にプラテンローラ72に保持された記録紙71
に対して、ノズルプレート14に設けられたノズル12
(図1)からインク滴を噴射し、記録紙71上にインク
液滴を付着させる。
【0040】また、記録紙71はインクジェットヘッド
100がインク滴を噴射しているときは静止している
が、キャリッジ62が往復動作を行う度に紙送りローラ
73及び74によって矢印75方向に移送される。これ
によって、記録紙71の全面に所望の文字や画像を形成
される。
【0041】以上説明したように本実施例では、インク
室104及び空気室127内の金属電極108が、圧電
セラミックスプレート102の端面102bに形成され
た金属電極116及び接点電極117を介して、フレキ
シブルプリント基板141の接点電極142及び接点電
極145と電気的に接続され、インク室104が、フレ
キシブルプリント基板141のインク供給部143を介
して前記インクタンクと連通され、空気室127が、フ
レキシブルプリント基板141の被覆部146によって
インクが入り込まないように塞がれる。このため、イン
クジェットヘッド100とLSIチップ51との電気的
接続の部材と、インク室104にインクを供給すること
ができ、且つ空気室127にインクが供給されなくする
部材とを別々に備えることなく、1つの部材、即ちフレ
キシブルプリント基板141のみで構成するができる。
したがって、構成が簡単で、製造コストが低減する。
【0042】また、インクジェットヘッド100を小型
化することができる。
【0043】また、全ての空気室127内の金属電極1
08が金属電極117によって電気的に接続されている
ので、フレキシブルプリント基板141との接点数を少
なくすることができ、接続が容易である。
【0044】尚、本実施例では、金属電極108は圧電
セラミックスプレート102の端面102bに形成され
た金属電極116、117によって接点電極142、1
45と電気的に接続されていたが、圧電セラミックスプ
レート102の端面102bに形成された金属電極11
6、117を形成せずに接続してもよい。この方法を図
9〜図13を用いて以下に示す。
【0045】シール基板151には、各インク室104
に対応したインク供給口153と、各インク室104内
の金属電極108に対応した接点電極152と、空気室
127内の金属電極108に対応した接点電極155
と、接点電極152、153をLSIチップ51(図
5)に接続するための接続パターン154とが設けられ
ている。尚、シール基板151の接点電極155が形成
された領域が、空気室127の端面102b側の開口を
塞いでいる。この接点電極152は、ニッケル、アルミ
ニウム、金、カーボン等の導電材料の薄層152a(図
10)をスパッタリング、蒸着、メッキ、スクリーン印
刷等で形成した上に、Pb−Sn合金等の低融点合金の
薄層152b(図10)をスパッタリング、蒸着、メッ
キ、スクリーン印刷などで形成したものである。また、
接点電極155も同様にして形成されている。
【0046】次に、接点電極152付近の断面図を示す
図10及び図11によって、シール基板151の接着工
程を具体的に説明する。圧電セラミックスプレート10
2及びカバープレート103(図1)の端面に、シール
基板151を、インク室104とインク供給口153と
を対応させ、且つインク室104内の金属電極108と
接点電極152とを対応させ、且つ空気室127内の金
属電極108と接点電極155とを対応させるように配
置する。つまり、インク室104内の金属電極108と
薄層152bとを接触させる。そして、全体を低融点合
金の薄層152bの融点以上であり薄層152aの融点
未満の温度に加熱する。すると、図11に示すように、
低融点合金の薄層152bが溶融して金属電極108の
表面の一部に広がる。次に全体を室温まで冷却すると、
低融点合金の薄層152bが凝固して金属電極108と
導電材料の薄層152aとが電気的及び機械的に接合さ
れる。ここで、加熱する温度は、例えば低融点合金の薄
層152bの材料がPb40%−Sn60%合金の場合
は200℃程度である。従って、インク室104内の金
属電極108は、接点電極152及びパターン144を
介してLSIチップ51に接続される。接点電極155
についても同様にして空気室127内の金属電極108
と接続される。
【0047】尚、ハイブリッドIC基板に一般的に使用
される材料のアルミナやシリコン等でシール基板151
を形成することにより、周知の厚膜形成技術によって、
シール基板151に、どんな形状にも自在にパターンを
形成することが可能となる。このため、パターン144
の一端に、はんだ付け用電極を設け、表面処理を施し、
フレキシブル基板等をはんだ付けによって接続すること
によって、パターンとLSIチップ51とを電気的に接
続することができる。また、シール基板151の一端面
近くまでパターン154を導き、LSIチップ51との
電気的接続を図るための接点端子をはんだ付けすること
もできる。更に、パターン154の上に接点電極(図示
せず)を設けることにより、接触のみでLSIチップ5
1との電気的接続を実現できる。また、パターン154
の上にはんだ付けパッド(図示せず)を設け、そのパッ
ド上に、市販の表面実装用のコネクタをはんだ付けする
こともできる。また、シール基板151上にLSIチッ
プ51を実装してハイブリッドICとすることも可能で
ある。
【0048】また、図12に示すように、低融点合金の
薄層152bの代わりに導電性接着剤の薄層152c、
例えばエポキシ系接着剤に金属粉末を混合した材料等の
薄層を、導電材料の薄層152a上にスクリーン印刷等
で形成してもよい。インク室104内の金属電極108
と薄層152cとを接触させると、導電性接着剤の薄層
152cの一部が流動し、金属電極108の表面の一部
に到達する。そして、全体を導電性接着剤の薄層152
cが硬化する温度に加熱すると、金属電極108と導電
材料の薄層152aとが電気的及び機械的に接合され
る。ここで、加熱する温度は、例えばエポキシ系接着剤
の場合は150℃程度である。この場合、導電性接着剤
の薄層152cは、室温での放置で硬化するものや、紫
外線等の光線の照射により硬化するもの、加圧力により
硬化するもの等でもよい。
【0049】また、図13に示すように、シール基板1
51の接点電極152、155(図13には接点電極1
52のみ示す)が形成されていない領域に、接着剤15
6を塗布しておき、低融点合金の薄層152bが溶融、
凝固するのと同時に接着剤156を硬化させ、アクチュ
エータプレート102及びカバープレート103とシー
ル基板151とを接合してもよい。この場合、低融点合
金の薄層152bの代わりに導電性接着剤の薄層を用い
た方法でもよい。また、接着剤156は、室温での放置
で硬化するものや、紫外線等の光線の照射により硬化す
るもの、加圧力により硬化するもの等でもよい。
【0050】また、本実施例では、インク室104及び
空気室127内の金属電極108に接続した金属電極1
16及び金属電極117が圧電セラミックスプレート1
02の片側の端面102bに設けられていたが、両側の
端面102a、102bに分割して設けられていてもよ
い。例えば、インク室104内の金属電極108に接続
した金属電極を圧電セラミックスプレート102の片側
の端面102bに設け、空気室127内の金属電極10
8に接続した金属電極を端面102aに設け、フレキシ
ブルプリント基板を2つ用意し、その一方に端面102
bの金属電極に対応して接点電極とインク室104に対
応したインク供給口を設け、他方に端面102aの金属
電極に対応して接点電極とインク室104に対応したノ
ズルを設けてもよい。
【0051】更に、本実施例では、インク滴を噴射する
ノズル12が3個であったが、50個、200個など、
いくつでもよい。
【0052】また、本実施例では、まずインク室104
bの容積を増加させ、次に駆動電圧の印加を停止しイン
ク室104bの容積を自然状態に減少してインク室10
4bからインク滴を噴射していたが、インク室104b
の容積を減少させてインク室104bからインク滴を噴
射し、次に駆動電圧の印加を停止してインク室104b
の容積を前記減少状態から自然状態へと増加させてイン
ク室104b内にインクを供給させてもよい。
【0053】また、本実施例では、全ての空気室127
及び噴射しないインク室104内の金属電極108を接
地し、噴射するインク室104内の金属電極108に電
圧を印加していたが、LSIチップの構造を変更して全
ての空気室127内の金属電極108に電圧を印加し、
噴射しないインク室104内の金属電極108を高イン
ピーダンス状態にし、噴射するインク室104内の金属
電極108を接地して、噴射するインク室104の両隔
壁106のみに電界を発生させて、インクを噴射しても
よい。このようにすれば、インク室104内の金属電極
108に電圧が印加されないので、金属電極108をイ
ンクから保護する保護膜177を形成しなくてもよい。
このため、製造コストが低減する。
【0054】また、本実施例では、隔壁106が強誘電
性を有する圧電材料等で形成されていたが、隔壁106
の高さ方向の半分の領域を強誘電性を有する圧電材料等
で形成し、他の半分の領域をアルミナ等の非圧電材料で
形成してもよい。この場合、隔壁の側面全面に金属電極
が形成されていてもよい。
【0055】また、本実施例では、隔壁106が強誘電
性を有する圧電材料等で形成され、隔壁106の上半分
の領域に金属電極108が形成されて、隔壁106の上
半分の圧電変形によって下半分の領域を変形させてイン
クを噴射していたが、図14に示すように、隔壁206
の高さ方向の半分の領域を矢印201方向に分極された
圧電セラミックスプレート203で形成し、他の半分を
前記分極方向と反対方向である矢印202方向に分極さ
れた圧電セラミックスプレート204で形成し、隔壁2
06の全面に金属電極208を形成して、隔壁206の
上半分及び下半分の圧電変形によって、インク滴を噴射
してもよい。このようにすれば、隔壁206の変形のた
めの電圧値を小さくすることができる。
【0056】また、本実施例では、全ての空気室127
及び噴射しないインク室104内の金属電極108を接
地し、噴射するインク室104内の金属電極108に電
圧を印加していたが、以下に示すようにしてもよい。図
14に示すように、圧電セラミックスプレート203、
204の一端面には、インク室104内の両金属電極2
08に接続する金属電極216と、空気室127内の片
方の金属電極208それぞれ金属電極217が形成さ
れ、図15に示すように、フレキシブルプリント基板2
21には、各インク室104に対応したインク供給口2
23と、金属電極216に対応した接点電極224と、
金属電極217に対応した接点電極225と、空気室1
27を塞ぐ被覆部226と、全ての接点電極224をL
SIチップに接続するための接続パターン227と、接
点電極224を挟む1対の接点電極225に接続し、各
一対接点電極225をLSIチップ接続するための接続
パターン228とが設けられている。
【0057】そして、フレキシブルプリント基板221
が接着されると、インク供給口223が各インク室10
4に連通し、被覆部226が空気室127にインクが入
り込まないように塞ぎ、接点電極224が金属電極21
6に電気的に接続し、接点電極225が金属電極217
に電気的に接続する。そして、前記LSIチップは、噴
射するインク室104を構成する両隔壁206の空気室
127側の金属電極108に接点電極225及び接続パ
ターン228を介して電圧を印加すると共に、空気室1
27の他の金属電極208に接点電極225及び接続パ
ターン228を介してアースラインを接続すると共に、
全てのインク室104内の金属電極208に接点電極2
24及び接続パターン227を介してアースラインを接
続する。すると、噴射するインク室104の両隔壁20
6に電界が発生して、両隔壁206は互いに離れる方向
に変形し、電圧印加が停止されると元の状態に戻りイン
クが噴射される。このようにすれば、インク室104内
の金属電極208に電圧が印加されないので、図7のよ
うに金属電極108をインクから保護する保護膜177
を形成しなくてもよい。このため、製造コストが低減す
る。
【0058】上述図14の例では、金属電極217が空
気室127内の一方の金属電極208のみに接続されて
いたが、図16に示すようにインク室104を構成する
両隔壁206の両空気室127側の2つの金属電極20
8を接続する金属電極218を設けてもよい。この場
合、フレキシブルプリント基板の各接点電極間を広くす
ることができ、接点電極の短絡を防止することができ
る。更にインク室104内の金属電極208の全てを接
続する金属電極219を設ければ、フレキシブルプリン
ト基板との接点数が少なくなり、接続が容易となる。
【0059】また、本実施例では、圧電セラミックスプ
レート102の端面102bにおいて、インク室104
及び空気室127内の金属電極108に接続した金属電
極116、117をフレキシブルプリント基板141の
接点電極142、145と接続していたが、図17に示
すように、インク室104及び空気室127内の金属電
極108に接続した金属電極116a、117aを圧電
セラミックスプレート102の溝103加工側と反対側
の面102c側に形成し、図18に示すようにフレキシ
ブルプリント基板241をシール部分242と接続部分
245とに分け、シール部分242を端面102bに接
着すると共に、接続部分245を面102cに接着す
る。シール部分242には、各インク室104に対応し
たインク供給口243と、空気室127を塞ぐ被覆部2
44とが設けられている。接続部分245には、金属電
極116aに対応した接点電極246と、金属電極11
7aに対応した接点電極247とが設けられている。こ
のようにすれば、フレキシブルプリント基板241の各
接点電極246、247間を広くすることができ、接点
電極246、247の短絡を防止することができ、接続
が容易となる。
【0060】また、本実施例では、圧電セラミックスプ
レート102の片面のみに溝103を形成していたが、
圧電セラミックスプレートの厚さを厚くして、両面に溝
を形成して、2列のインク室を設けてもよい。
【0061】また、本実施例では、一枚の圧電セラミッ
クスプレート102を用いていたが、複数枚の圧電セラ
ミックスプレートを積層させてもよい。
【0062】
【発明の効果】以上説明したことから明かなように本発
明の請求項1のインク噴射装置によれば、前記連結部材
の前記接続部が、前記電極を前記電源回路に電気的に接
続し、連結部材の前記インク供給部が前記噴射チャンネ
ルを前記インク供給源に連通し、連結部材の前記接合部
が前記マニホールド部材からインクが漏れないように接
合しているので、構成が簡単で、製造コストが低減する
効果を奏する。また、容易に外部回路との電気的接続が
可能になることから、インク噴射装置の小型化、低価格
化、電気的接続点数の減少による高信頼性化の効果を奏
する。
【0063】また、請求項2のインク噴射装置によれ
ば、前記連結部材の前記接続部が、前記電極を前記電源
回路に電気的に接続し、連結部材の前記インク供給部が
前記噴射チャンネルを前記インク供給源に連通し、連結
部材の前記非連通部が前記非噴射チャンネルにインクが
入り込まないように塞いでいるので、構成が簡単で、製
造コストが低減する効果を奏する。また、容易に外部回
路との電気的接続が可能になることから、インク噴射装
置の小型化、低価格化、電気的接続点数の減少による高
信頼性化の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例のインクジェットヘッドを示
す斜視図である。
【図2】前記実施例の圧電セラミックスプレートを示す
斜視図である。
【図3】前記実施例のフレキシブルプリント基板を示す
平面図である。
【図4】前記実施例のマニホールド部材を示す平面図で
ある。
【図5】前記実施例の制御部を示す説明図である。
【図6】前記実施例のプリンタを示す斜視図である。
【図7】前記実施例のインクジェットヘッドを示す断面
図である。
【図8】前記実施例のインクジェットヘッドの動作を示
す説明図である。
【図9】前記実施例の他のフレキシブルプリント基板を
示す平面図である。
【図10】前記他のフレキシブルプリント基板と圧電セ
ラミックスプレートとの接着工程を示す説明図である。
【図11】前記他のフレキシブルプリント基板と圧電セ
ラミックスプレートとの接着状態を示す説明図である。
【図12】前記他のフレキシブルプリント基板と圧電セ
ラミックスプレートとの他の接着状態を示す説明図であ
る。
【図13】前記他のフレキシブルプリント基板と圧電セ
ラミックスプレートとの更に他の接着状態を示す説明図
である。
【図14】本発明の他の実施例のインクジェットヘッド
の端面を示す説明図である。
【図15】前記他の実施例のフレキシブルプリント基板
を示す平面図である。
【図16】本発明の更に他の実施例のインクジェットヘ
ッドの端面を示す説明図である。
【図17】前記実施例のインクジェットヘッドの他の接
続電極部を示す説明図である。
【図18】前記実施例のインクジェットヘッドの他の接
続電極部に接続するフレキシブルプリント基板を示す説
明図である。
【図19】従来例のインク噴射装置を示す説明図であ
る。
【符号の説明】
12 ノズル 14 ノズルプレート 51 LSIチップ 100 インクジェットヘッド 101 マニホールド部材 102 圧電セラミックスプレート 102a 端面 102b 端面 104 インク室 106 隔壁 108 金属電極 116 金属電極 117 金属電極 121 カバープレート 141 フレキシブルプリント基板 142 接点電極 143 インク供給口 145 接点電極 146 被覆部

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 インク供給源からインクが供給され、イ
    ンクを噴射する複数の噴射チャンネルと、各噴射チャン
    ネルにインクを供給するためのマニホールド部材と、前
    記噴射チャンネル内のインクにエネルギーを発生するエ
    ネルギー発生部材と、前記エネルギー発生部材に連結さ
    れ、電源回路から電圧が印加される電極とを有するイン
    ク噴射装置において、 前記電極を前記電源回路に電気的に接続する接続部と、
    前記噴射チャンネルを前記インク供給源に連通するイン
    ク供給部と、前記マニホールド部材と接合する接合部と
    を含む連結部材を備えたことを特徴とするインク噴射装
    置。
  2. 【請求項2】 インク供給源からインクが供給され、イ
    ンクを噴射する複数の噴射チャンネルと、前記噴射チャ
    ンネルの両側に設けられ、インクが供給されない非噴射
    チャンネルと、前記噴射チャンネル内のインクにエネル
    ギーを発生するエネルギー発生部材と、前記エネルギー
    発生部材に連結され、電源回路から電圧が印加される電
    極とを有するインク噴射装置において、 前記電極を前記電源回路に電気的に接続する接続部と、
    前記噴射チャンネルを前記インク供給源に連通するイン
    ク供給部と、前記非噴射チャンネルを前記インク供給源
    に連通させない非連通部とを含む連結部材を備えたこと
    を特徴とするインク噴射装置。
  3. 【請求項3】 前記連結部材は、フレキシブルプリント
    基板であることを特徴とする請求項2記載のインク噴射
    装置。
  4. 【請求項4】 前記エネルギー発生部材は、前記噴射チ
    ャンネルと前記非噴射チャンネルとを隔て、少なくとも
    一部が圧電セラミックスで形成された隔壁であり、前記
    電極は、前記噴射チャンネル及び前記非噴射チャンネル
    内の前記隔壁の前記圧電部に形成された駆動電極部と、
    前記噴射チャンネル及び前記非噴射チャンネル外に形成
    された接続電極部とを有し、前記連結部材の接続部は前
    記電極の前記接続電極部に接続することを特徴とする請
    求項2記載のインク噴射装置。
  5. 【請求項5】 前記電極の前記接続電極部が形成された
    面と、前記噴射チャンネルにインクを供給する面とが同
    一面であることを特徴とする請求項4記載のインク噴射
    装置。
  6. 【請求項6】 前記電極の前記接続電極部が形成された
    面と、前記噴射チャンネルにインクを供給する面とが異
    なる面であることを特徴とする請求項4記載のインク噴
    射装置。
  7. 【請求項7】 前記電極の前記接続電極部が、前記駆動
    電極部の一部であることを特徴とする請求項4記載のイ
    ンク噴射装置。
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