JPH0819946A - 円板形ワークの外周研磨方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 研磨部材をワークの外周に円弧で線接触させ
ることにより、該ワーク外周を短時間で効率良く確実に
研磨する。 【構成】 円板形のワーク１をチャック手段２に保持さ
せて軸線の回りに回転させながら、円弧状の作業面１９
を備えた複数の研磨部材３，３を重錘４６による付勢力
で該ワーク１の外周に同時に当接させ、これらの研磨部
材３，３でワーク外周を鏡面研磨する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、円板形をなすワークの
外周を研磨するための方法及び装置に関するものであ
り、更に詳しくは、シリコンやヒ化ガリウム等からなる
半導体ウエハ、アルミやセラミック等からなる磁気ディ
スク基板、ガラスからなる光ディスク基板のような、円
板形又はそれに類似する形状を持ったワークの外周を鏡
面研磨するための方法及び装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハ等の円板形をなすワークの
外周を研磨する研磨装置は、例えば実開昭５９−０９０
５６１号公報や、特開昭６４−０７１６５６号公報、特
開平０２−３０１１３５号公報、特開平０３−０２６４
５９号公報等に開示されているように、従来より公知で
ある。ところが、これらの研磨装置はいずれも、研磨布
を貼着したドラム形又は円板形の研磨部材をワークの外
周に押し当てて研磨する方式のものであるため、研磨部
材とワークとの接触が実質的に一点だけの点接触とな
り、このため研磨効率が悪く、生産性が低いという欠点
があった。

【０００３】一方、特開昭５９−０５８８２７号公報に
は、研磨布を貼着した上下一対のターンテーブルと、こ
れらのターンテーブル間にワークである半導体ウエハを
保持させるための、端部に該ウエハのエッジ部を包み込
む研磨布を備えたキャリヤとを有し、該キャリヤにウエ
ハを保持させた状態でターンテーブルを回転させること
により、上下のターンテーブルの研磨布でウエハの上下
面を研磨すると同時に、回転するウエハのエッジ部を上
記キャリヤの研磨布で研磨するようにしたものが開示さ
れている。

【０００４】しかしながらこの装置は、ウエハを保持す
るための手段であるキャリヤに研磨布を取り付け、該研
磨布を介してウエハを保持させることにより、研磨に伴
うウエハの回転によって結果的に該ウエハと研磨布とが
摺接し、エッジ部が研磨されるようにしたものであるた
め、研磨に確実性及び再現性がなく、複数のウエハのエ
ッジ部を一定の精度で均一に研磨することは殆ど不可能
に近い。しかも、上記ウエハの回転力が、上下のターン
テーブルによりウエハの上下面に加わる回転作用力の差
によって生ずるものであるうえに、該ウエハの外周がキ
ャリヤの研磨布で包み込まれていて摺動抵抗が大きいた
め、該ウエハは非常に回転しにくく、たとえ回転したと
しても安定した回転を得ることは到底困難で、これが研
磨の不確実さを一層助長していた。さらに上記ウエハ
は、一定位置においてエッジ部がキャリヤの研磨布全体
に均等に当接した状態で回転するとは限らず、研磨布の
何れかの部分に強く片当りした状態になり易いため、研
磨布全体を使ってエッジ部を有効に研磨することは困難
で、研磨効率が悪く、研磨布の偏摩耗も生じ易いという
欠点もある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、研磨
部材をワークの外周に所望の力で均等に線接触させ、そ
の状態でワークを回転させることにより、該ワークの外
周を短時間で効率良くしかも確実に研磨できるようにす
ることにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明においては、円板形のワークをチャック手段
に保持させて軸線の回りに回転させる工程：円弧状の作
業面を備えた複数の研磨部材の上記作業面を、上記チャ
ック手段に保持されたワークの外周に所要の力で同時に
当接させることにより、これらの研磨部材でワーク外周
を研磨する工程：を有することを特徴とする円板形ワー
クの外周研磨方法が提供される。上記研磨方法は、研磨
部材とワークとの接触位置を変えるためにこれらの研磨
部材とワークとを相対的に変移させる工程を含むことが
望ましい。また、本発明においては、円板形のワークを
保持して軸線の回りに回転させるチャック手段と、該チ
ャック手段に保持されたワークの外周に同時に当接する
複数の研磨部材と、これらの研磨部材をワークに所要の
力で押し付ける付勢手段とを備え、上記研磨部材が、ワ
ークの外周に円弧で当接する円弧状の作業面を備えてい
ることを特徴とする円板形ワークの外周研磨装置が提供
される。複数の研磨部材における円弧状の作業面は、全
体としてワークのほぼ全周に当接する長さを有すること
が望ましい。また、研磨部材とワークとの接触位置を変
えるため、適宜の接触位置調節手段を設けることができ
る。

【０００７】

【作用】円弧状の作業面を備えた複数の研磨部材をワー
クの外周に同時に線接触させて研磨するため、研磨部材
とワークとの接触長さは著しく長くなり、その結果、研
磨時間が従来の数十分の１以下に短縮されて、ワークの
外周を迅速且つ効率良くしかも確実に研磨することがで
できる。また、ワークをチャック手段に保持させて強制
的に回転させるようにしているから、研磨部材とワーク
との接触長さが長くて摺動抵抗が大きくても、ワークの
安定した回転が得られ、複数のワークに同一条件で所望
の研磨を確実に施すことができる。

【０００８】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。図１及び図２は本発明の外周研磨装置の第
１実施例を示すもので、この研磨装置は、円板形のワー
ク１を保持して軸線の回りに回転させるチャック手段２
と、該チャック手段２に保持されたワーク１の外周を研
磨する２つの研磨部材３，３と、これらの研磨部材３を
ワークに対して接離する方向に移動させる移動機構４
と、上記各研磨部材３を所要の力でワーク１に押し付け
る付勢手段５と、研磨部材３とワーク１との研磨時にお
ける接触位置を変えるための接触位置調節手段６とを備
えている。

【０００９】なお、本発明において研磨対象となるワー
ク１は、図４（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、外周の一部
にオリエンテーションフラット１ａやノッチ１ｂ、オリ
エンテーションフラットより短い直線部１ｃ等を有する
ものや、同図（Ｃ）に示すように穴１ｄを備えた円環状
のもの等、実質的に円板形をなすものであればどのよう
なものであっても良い。また、ワークの外周は、面取り
されていても曲面に形成されていても良い。

【００１０】上記チャック手段２は、ワーク１よりやや
小径の円板形をなすチャックテーブル１０を有し、該チ
ャックテーブル１０は、機体７上に適宜の支持手段で軸
線の回りに回転自在なるように支持され、モータ１１に
より所要の速度で正逆所要の方向に駆動回転されるよう
になっており、該チャックテーブル１０の上面には、図
示しない真空ポンプに接続された複数の吸着孔が形成さ
れ、真空吸着によりワーク１を、外周が該チャックテー
ブル１０から側方にはみ出した状態に保持し得るように
なっている。しかし、上記チャックテーブル１０上への
ワーク１のチャックは、静電気による付着力を利用する
静電チャックや、その他の適宜方法を用いることがで
き、ワーク１が円環状をしている場合には、中心穴１ｄ
に爪を引っ掛けてチャックする内周チャック機構を利用
することもできる。

【００１１】上記研磨部材３は、金属や合成樹脂、セラ
ミック等からなる基材１６に設けた円弧状の窪み１７の
内面に柔軟性のある研磨布１８を貼着することにより、
ワーク１の外周に円弧で当接する円弧状の作業面１９を
有するものとして構成され、２つの研磨部材３，３が上
記チャック手段２を挟んで互いに正反対の位置に配設さ
れ、それぞれが、移動機構４の一部を構成する可動台３
３上に、上記接触位置調節手段６によって上下動自在な
るように支持されている。

【００１２】上記研磨部材３の作業面１９は、ワーク１
の外周にできるだけ長い円弧で当接できることが望まし
く、より望ましくは、複数の研磨部材３の作業面１９が
ワーク１のほぼ全周に同時に当接することであり、この
ためこの実施例においては、２つの研磨部材３の作業面
１９を、それぞれ、ワーク１の円周のほぼ半分の長さを
持つ半円弧状に形成している。

【００１３】また、上記接触位置調節手段６は、可動台
３３上に鉛直軸線の回りに回転自在なるように立設され
たボール螺子２２と、該ボール螺子２２に螺合するナッ
ト２３とで構成されている。このうちナット２３は、上
記研磨部材３から後方に延出する支持アーム２０に一体
に組み込まれており、一方ボール螺子２２は、その下端
が可動台３３に支持されると共に、上端が、該可動台３
３から立ち上がったフレーム２４の側面の軸受部材２５
に支持され、該ボール螺子２２の下端には正逆回転モー
タ２６が連結されており、該モータ２６の回転によりボ
ール螺子２２が正逆方向に所要回転数だけ回転すること
により、上記支持アーム２０を介して研磨部材３が所要
量だけ上昇又は下降するようになっている。

【００１４】上記研磨部材３の上下動を円滑ならしめる
ため、上記フレーム２４には、上下方向に延びる左右一
対のガイド２８が取り付けられ、これに対して研磨部材
３には、これらのガイド２８に摺動自在に嵌合する摺動
部材２９が取り付けられ、これらのガイド２８と摺動部
材２９とによって研磨部材３の昇降を案内する案内手段
が構成されている。

【００１５】チャック手段２を挟んで互いに正反対の位
置にある上記２つの可動台３３は、機体７に設けられた
水平のガイド３４に沿って移動自在となっており、チャ
ック手段２に向かって前後動する。

【００１６】また、上記機体７上には、両端部を軸受部
材３６に支持された水平の螺子棒３５が、モータ３８に
より正逆方向に駆動回転されるように配設されており、
該螺子棒３５の一半部には右螺子が切られた螺子部３５
ａが設けられ、他半部には左螺子が切られた螺子部３５
ｂが設けられていて、各螺子部３５ａ，３５ｂにそれぞ
れナット部材３７が螺装されている。これらのナット部
材３７は、螺子棒３５の中心に対して相互に正反対の位
置を占めるように配置され、機体７上に螺子棒３５と平
行に設けられた水平のガイド３９に沿って移動自在とな
っており、螺子棒３５が回転すると、これらの螺子棒３
５及びガイド３９に沿って必ず相互に逆方向に移動す
る。そして、上記螺子棒３５におけるナット部材３７よ
りも外側の位置には、２つの可動台３３の下面に取り付
けられた連絡アーム４０が、それぞれ螺子棒３５の軸線
方向に遊動可能且つナット部材３７の外面に当接可能な
るように嵌合しており、これらの螺子棒３５とナット部
材３７、モータ３８、及び可動台３３により、上記移動
機構４が構成されている。

【００１７】また、上記機体７上には、一対のプーリ４
４が設けられ、これらのプーリ４４にそれぞれ紐４５が
巻き掛けられ、該紐４５の一端は可動台３３に固定さ
れ、紐４４の他端には付勢手段５を構成する重錘４６が
取り付けられ、この重錘４６により可動台３３が、チャ
ック手段２に近づく方向に常時付勢されている。

【００１８】上記構成を有する外周研磨装置において、
ワーク１の研磨が行われていないときは、図１及び図２
に示すように、モータ３８による螺子棒３５の正回転に
よって２つのナット部材３７が互いに螺子棒３５の外端
側へ移動した状態にあり、このとき、２つの可動台３３
も、上記ナット部材３７で連絡アーム４０が押されるこ
とによって螺子棒３５の外端側へ押しやられた状態にあ
るため、研磨部材３はワーク１から離間した図示の待機
位置を占めている。

【００１９】ワーク１の外周を研磨するに当り、該ワー
ク１をチャックテーブル１０上に保持させると、該チャ
ックテーブル１０が軸線の回りに回転すると共に、モー
タ３８による螺子棒３５の逆回転によって２つのナット
部材３７が互いに該螺子棒３５の内側（中心方向）へ移
動し、このナット部材３７の移動により、重錘４６で付
勢された２つの可動台３３もワーク１に近づく方向に移
動する。そして、図３に示すように、各可動台３３上に
支持されている研磨部材３の作業面１９がワーク１の外
周に当接すると、各可動台３３はその位置に停止する
が、ナット部材３７は更に前進して、連絡アーム４０に
不必要に接触することのない距離だけ離れた位置に停止
する。このナット部材３７の停止位置の設定は、例え
ば、リミットスイッチや光センサ等の適宜センサ手段を
用いるとか、螺子棒３５の回転数を設定する等の適宜方
法により行うことができる。

【００２０】かくして、重錘４６の付勢力によって各研
磨部材３の円弧状の作業面１９がワーク１の外周に当接
し、２つの研磨部材３によってワーク１のほぼ全周が包
まれた状態で鏡面研磨が施される。このとき、ワーク１
の外周部は研磨布１８に食い込んだ状態になっているた
め、その外周部が面取りされていたり曲面状に形成され
ていたとしても、面取部や曲面全体を含む外周部が一時
に研磨される。なお、研磨時におけるワーク１の回転速
度や重錘４６による研磨部材３の当接力等は、ワーク１
の種類やその他の研磨条件に応じて適宜設定される。

【００２１】このようにして、２つの研磨部材３の円弧
状の作業面１９をワーク１外周に当接させて研磨するこ
とにより、研磨部材３のワーク１に対する接触長さが長
くなるため、ドラム形や円板形の研磨部材３をワーク１
外周に点接触させて研磨する従来方法に比べ、数十分の
１以下という僅かな時間で迅速且つ効率良く研磨するこ
とができる。しかも、ワーク１をチャック手段２で強制
的に回転させるようにしているから、研磨部材３とワー
ク１との接触長さが長いことにより摺動抵抗が大きくて
も、ワーク１の安定した回転が得られ、このため、複数
のワーク１に同一条件で所望の研磨を確実に施すことが
可能である。さらに、重錘４６による付勢力で研磨部材
３をワーク１に当接させるようにしたことにより、常に
一定の当接力を得ることができ、オリエンテーションフ
ラット１ａを有するワーク１を研磨する場合に、該オリ
エンテーションフラットの位置で研磨部材３の位置が変
化した場合でも、一定の当接力を保つことができる。

【００２２】研磨が終了すると、モータ３８により螺子
棒３５が正回転して２つのナット部材３７が互いに螺子
棒３５の外端側へ移動し、連絡アーム４０を介して可動
台３３を螺子棒３５の外端側へ押しやる（図１及び図２
参照）ため、研磨部材３はワーク１から離間した待機位
置を占め、チャックテーブル１０の回転も停止する。そ
して、研磨済のワーク１がチャックテーブル１０から取
り出され、新たなワークが供給されて研磨が再開され
る。

【００２３】ここで、上記研磨部材３の作業面１９は、
ワーク１の研磨により摩耗して研磨能力が低下する。こ
のため、何枚かのワーク１を研磨する毎に、上記接触位
置調節手段６におけるボール螺子２２をモータ２６で正
逆に回転させることにより、研磨部材３を所要量だけ上
昇又は下降させてワーク１との接触位置を変更する。こ
の場合、２つの研磨部材３を、いずれも上昇又は下降さ
せるようにしても、一方を上昇させて他方を下降させる
ようにしても良い。

【００２４】図５及び図６には、研磨部材の他の構造例
が示されている。図５に示す研磨部材３は、円弧状の窪
み５０を備えた柔かい研磨布５１と、該研磨布５１の窪
み５０内面に貼着した硬い研磨布５２とからなる二重構
造のものであり、図６に示す研磨部材３は、全体をウレ
タン等で一体に形成したものである。

【００２５】また、上記各研磨部材３の作業面１９は、
全体を均一な表面とし、上述したように柔軟性を利用し
てワーク１外周部を食い込ませるようにしたものであっ
ても良いが、図７に示すように、ワーク１の一方の面取
部と周側面とが当接するような段部５４を形成して、摩
耗する毎に段部５４を少しずつ切り込んでいくようにし
ても、図８に示すように、ワーク１の外周部が嵌合する
凹溝５５を所要間隔で複数本形成し、嵌合位置を順次変
えていくようにしても良い。

【００２６】なお、図７においては、２つの研磨部材３
の段部５４が互いに上下逆方向から切り込まれていて、
２つの研磨部材３を上下逆方向に動かすことによってワ
ーク１との当接位置を変えるようになっているが、段部
５４を上下同じ方向から切り込むことにより、２つの研
磨部材３を上下同じ方向に動かすことによってワーク１
との当接位置を変えるようにすることも可能である。

【００２７】図９及び図１０は本発明の外周研磨装置の
第２実施例における要部を示すもので、この第２実施例
の外周研磨装置は、以下に説明する移動機構４が上記第
１実施例と相違するのみで、その他の構成は実質的に第
１実施例と同じである。このため、第１実施例と共通の
主要な構成部分については、第１実施例と同じ符合を付
してある。

【００２８】即ち、この第２実施例は、移動機構４をリ
ンクとカムとの組み合わせによって構成したもので、上
記リンク５７の基端部が機体７上に支軸５８で回動自在
に枢支され、該リンク５７の上端部は、可動台３３の連
結部材５９における２つのローラ６０の間に係合せしめ
られている。また、該リンク５７の側面のカム溝６１に
嵌合する偏心カムローラ６２を備えたカム軸６３が、機
体７に回転自在に支持され、モータ６４で所要角度だけ
低速で駆動回転されるようになっている。

【００２９】従って、ワーク外周の研磨に当り、図９の
状態からカム軸６３が時計回りにゆっくり回転すると、
偏心カムローラ６２もカム軸６３を中心にして同方向に
旋回するため、リンク５７が、重錘４６で付勢された可
動台３３に押されて右方向に傾動し、これに伴って可動
台３３も右方向に移動し、研磨部材３がワーク１の外周
に当接する。そして、可動台３３とリンク５７はその位
置に停止するが、カム軸６３はさらに回転し、偏心カム
ローラ６２がカム溝６１から外れた位置か又はカム溝６
１の下端部に再びちょうど嵌合した位置で停止し、その
状態で研磨が行われる。

【００３０】研磨が完了すると、カム軸６３が時計回り
にゆっくりと回転することにより、偏心カムローラ６２
がカム溝６１に係止してリンク５７を図の左方に押すた
め、該リンク５７は左側に傾動して可動台３３を左動さ
せ、研磨部材３をワーク１から離間させる。その後カム
軸６３とリンク５７は、図９の位置で停止する。

【００３１】図１１は本発明の外周研磨装置の第３実施
例の要部を示すもので、この第３実施例の外周研磨装置
は、以下に説明するように、移動機構４と付勢手段５と
がエアシリンダにより構成されている点で上記第１実施
例と相違するのみで、その他の構成は実質的に第１実施
例と同じである。このため、第１実施例と共通の主要な
構成部分については、第１実施例と同じ符合を付してあ
る。

【００３２】即ち、機体７上にはエアシリンダ７０が取
り付けられ、該エアシリンダ７０のロッド７１に可動台
３３の連絡アーム４０が連結されている。また、機体７
における２つの可動台３３の中間位置にはブラケット７
２が形成され、該ブラケット７２に圧力を検知するため
のロードセル７３が取り付けられ、該ロードセル７３と
上記連絡アーム４０との間に圧縮ばね７４が縮設されて
おり、該圧縮ばね７４を介して作用する圧力をロードセ
ル７３が検出すると、その信号により制御装置７５で電
磁弁７６が制御され、エアシリンダ７０に供給される空
気圧が制御されて、ワーク１に対する研磨部材３の当接
力が設定の大きさに調整されるようになっている。７７
は圧縮空気源である。

【００３３】また、上記機体７には、研磨部材３がワー
ク１の外周に接触したときのアームの位置を検出する位
置センサ７８が設けられ、この位置センサ７８からの検
出信号によりロードセル７３がオンするようになってい
る。

【００３４】従って、この第３実施例において、ワーク
１の外周を研磨するに当って図示の状態からエアシリン
ダ７０のロッド７１が伸長すると、連絡アーム４０を介
して可動台３３が図の右方向に移動し、研磨部材３の作
業面１９がワーク１の外周に当接する。このとき、連絡
アーム４０が位置センサ７８により検出されてロードセ
ル７３がオンとなり、圧縮ばね７４を介して作用する圧
力が検知される。そして、その圧力が設定された大きさ
になるようにエアシリンダ７０に供給される空気圧が制
御されることにより、ワーク１に対する研磨部材３の当
接力が設定の大きさに調整され、その状態でワーク１の
外周部の研磨が行われる。

【００３５】研磨が完了すると、エアシリンダ７０のロ
ッド７１が短縮することにより、可動台３３が図示の位
置まで後退し、ロードセル７３もオフとなる。

【００３６】上記各実施例においては、円弧状の作業面
１９を備えた２つの研磨部材３を使用し、各研磨部材３
における作業面１９がワーク１の円周のほぼ半分の長さ
に形成されているが、これらの作業面１９の長さはもう
少し短くても良く、例えばワーク１の円周の少なくとも
１／４程の長さがあれば、所期の目的を十分に達成する
ことは可能である。

【００３７】また、研磨部材３は２つに限るものではな
く、３つ又は４つ以上とすることもできる。図１２及び
図１３に示す第４実施例は、３つの研磨部材を有する装
置の一例を概略的に示したものである。

【００３８】この実施例において、チャック手段２の回
りには、基端部を支軸８１で機体７に回動自在に枢支さ
れた３つの揺動アーム８０が等角度に配設され、各揺動
アーム８０の先端にそれぞれ研磨部材３が取り付けられ
ており、該揺動アーム８０の回動によって各研磨部材３
が、上記チャック手段２に保持されたワークの外周に当
接する図示の研磨位置（揺動アームの中心ａで示す）
と、ワークから離間する待機位置（揺動アームの中心ｂ
で示す）との間を変移するようになっている。上記３つ
研磨部材３の作業面１９は、それぞれワークの円周のほ
ぼ１／３の長さを有している。

【００３９】上記各揺動アーム８０の支軸８１には、タ
イミングプーリやスプロケットのような巻掛手段８２が
それぞれ取り付けられ、これらの巻掛手段８２にタイミ
ングベルトやチェーンのような無端の帯体８３が巻き掛
けられ、該帯体８３が移動機構４で駆動されことによ
り、各揺動アーム８０が一斉に回動するようになってい
る。また、３つの揺動アーム８０のうちの少なくとも１
つには、各揺動アーム８０を研磨部材３がワークの外周
に当接する方向に付勢する付勢手段５としての、重錘８
４が連結されている。この重錘８４は紐８５の先端に連
結されており、該紐８５の基端部は、機体７に取り付け
られたプーリ８６に巻き掛けられたあと、揺動アーム８
０の支軸８１に取り付けられたプーリ８７に固定され
て、該プーリ８６に若干の長さ巻き込まれている。

【００４０】上記移動機構４は、機体７上に取り付けら
れたエアシリンダ９０と、帯体８３の一部に取り付けら
れた作動用部材９１とからなっていて、該作動用部材９
１の連結穴９１ａ内に上記エアシリンダ９０のロッド９
２が遊挿され、該ロッド９２の先端にストッパ９３が取
り付けられている。図示の状態は、重錘８４の付勢力に
よって各揺動アーム８０が研磨位置に回動し、研磨部材
３がワークの外周に当接して研磨が行われている状態で
あり、このとき、エアシリンダ９０のロッド９２の先端
のストッパ９３は作動用部材９１に係止することなく、
自由な状態にある。

【００４１】研磨が終了し、エアシリンダ９０のロッド
９２が短縮すると、該ロッド９２の先端のストッパ９３
が作動用部材９１に係止して該作動用部材９１を引き寄
せるため、帯体８３が図１３に矢印ｃで示す方向に移動
し、巻掛手段８２を介して支軸８１が半時計方向に回転
する。このため各揺動アーム８０は、重錘８４の付勢力
に抗して中心がａからｂの位置まで回動し、先端の研磨
部材３がワークから離間する。

【００４２】なお、この第４実施例においては、研磨部
材３のワークとの接触位置を変えるための接触位置調節
手段が設けられていないが、揺動アーム８０と研磨部材
３との間に上記第１実施例と同様の接触位置調節手段を
介設することもできる。

【００４３】また、上記各実施例においては、接触位置
調節手段として、研磨部材３を上下動させるようにして
いるが、研磨部材３は一定の高さに固定してチャックテ
ーブル１０を上下動させるようにしても良い。

【００４４】

【発明の効果】このように本発明によれば、円弧状の作
業面を備えた複数の研磨部材をワークの外周に同時に線
接触させて研磨するようにしたので、ドラム形や円板形
の研磨部材をワーク外周に点接触させて研磨する従来の
方法に比べ、ワークと研磨部材との接触長さを著しく長
くすることが可能となって、従来の数十分の１以下とい
う僅かな時間でワーク外周を迅速且つ効率良く研磨する
ことができる。しかも、チャック手段に保持されて強制
的に回転するワークの外周に、複数の研磨部材を付勢手
段より一定の力で押し付けて研磨するようにしているた
め、研磨部材とワークとの接触長さが長いことによって
それらの間の摺動抵抗が大きくても、ワークの安定した
回転と該ワークに対する研磨部材の安定した接触とを確
保して、ワーク外周を確実且つ均一に研磨することがで
き、これにより、複数のウエハの外周部を一定の精度で
確実に研磨することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の外周研磨装置の第１実施例を一部を破
断して示す正面図である。

【図２】図１の平面図である。

【図３】図１の外周研磨装置の異なる動作状態を示す部
分破断正面図である。

【図４】（Ａ）〜（Ｄ）はそれぞれ異なる種類のワーク
を示す平面図である。

【図５】研磨部材の異なる構成例を示す平面図である。

【図６】研磨部材の更に異なる構成例を示す平面図であ
る。

【図７】研磨部材の更に異なる構成例を示す縦断面図で
ある。

【図８】研磨部材の更に異なる構成例を示す縦断面図で
ある。

【図９】本発明の外周研磨装置の第２実施例における要
部の構成を、左半部についてのみ示す部分破断要部正面
図である。

【図１０】図９の要部側面図である。

【図１１】本発明の外周研磨装置の第３実施例における
要部の構成を、左半部についてのみ示す部分破断要部正
面図である。

【図１２】本発明の外周研磨装置の第４実施例を概略的
に示す要部正面図である。

【図１３】図１２の平面図である。

【符号の説明】

１ ワーク ２ チャック手段 ３ 研磨部材 ５ 付勢手段 ６ 接触位置調整手段 １９ 作業面

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】円板形のワークをチャック手段に保持させ
   て軸線の回りに回転させる工程：円弧状の作業面を備え
   た複数の研磨部材の上記作業面を、上記チャック手段に
   保持されたワークの外周に所要の力で同時に当接させる
   ことにより、これらの研磨部材でワーク外周を研磨する
   工程：を有することを特徴とする円板形ワークの外周研
   磨方法。
2. 【請求項２】研磨部材とワークとの接触位置を変えるた
   めにこれらの研磨部材とワークとを相対的に変移させる
   工程を含むことを特徴とする請求項１に記載の円板形ワ
   ークの外周研磨方法。
3. 【請求項３】円板形のワークを保持して軸線の回りに回
   転させるチャック手段と、該チャック手段に保持された
   ワークの外周に同時に当接する複数の研磨部材と、これ
   らの研磨部材をワークに所要の力で押し付ける付勢手段
   とを備え、上記研磨部材が、ワークの外周に円弧で当接
   する円弧状の作業面を備えていることを特徴とする円板
   形ワークの外周研磨装置。
4. 【請求項４】複数の研磨部材における円弧状の作業面
   が、全体としてワークのほぼ全周に当接する長さを有す
   ることを特徴とする請求項３に記載の円板形ワークの外
   周研磨装置。
5. 【請求項５】研磨部材とワークとの接触位置を変えるた
   めの接触位置調節手段を有することを特徴とする請求項
   ３又は４に記載の円板形ワークの外周研磨装置。