JPH0819965A - 研磨テープ - Google Patents
研磨テープInfo
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- JPH0819965A JPH0819965A JP15228494A JP15228494A JPH0819965A JP H0819965 A JPH0819965 A JP H0819965A JP 15228494 A JP15228494 A JP 15228494A JP 15228494 A JP15228494 A JP 15228494A JP H0819965 A JPH0819965 A JP H0819965A
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- Japan
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- film
- acid
- weight
- dicarboxylic acid
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 研磨剤層がベースフイルムに強固に接着さ
れ、かつ優れた生産性で製造し得る研磨テープを提供す
る。 【構成】 厚さが15〜100μmの二軸延伸ポリエス
テルフイルムよりなるベースフイルムの少なくとも片面
に、(A)分子内の全ジカルボン酸成分に対し、スルホ
ン酸塩基を有するジカルボン酸成分が2〜18モル%で
あって、二次転移点が15〜45℃の共重合ポリエステ
ル70〜95重量%と、(B)平均粒径が30〜500
nmの微粒子5〜30重量%からなる成分を主成分と
し、厚さが0.015〜0.3μmであるプライマー被
覆層を設け、該プライマー被覆層の少なくとも1表面上
に研磨剤層を更に設けてなる研磨テープ。
れ、かつ優れた生産性で製造し得る研磨テープを提供す
る。 【構成】 厚さが15〜100μmの二軸延伸ポリエス
テルフイルムよりなるベースフイルムの少なくとも片面
に、(A)分子内の全ジカルボン酸成分に対し、スルホ
ン酸塩基を有するジカルボン酸成分が2〜18モル%で
あって、二次転移点が15〜45℃の共重合ポリエステ
ル70〜95重量%と、(B)平均粒径が30〜500
nmの微粒子5〜30重量%からなる成分を主成分と
し、厚さが0.015〜0.3μmであるプライマー被
覆層を設け、該プライマー被覆層の少なくとも1表面上
に研磨剤層を更に設けてなる研磨テープ。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は易接着層を介して研磨剤
層をベースフイルムに強固に接着させた研磨テープに関
し、更に詳しくは二軸延伸ポリエステルフイルムからな
るベースフイルムに耐ブロッキング性、滑り性が優れ、
かつ接着性の優れたプライマー被覆層を設けることによ
る、生産性の優れた方法により製造された研磨テープに
関する。
層をベースフイルムに強固に接着させた研磨テープに関
し、更に詳しくは二軸延伸ポリエステルフイルムからな
るベースフイルムに耐ブロッキング性、滑り性が優れ、
かつ接着性の優れたプライマー被覆層を設けることによ
る、生産性の優れた方法により製造された研磨テープに
関する。
【0002】
【従来の技術】ポリエステルフイルム、特にポリエチレ
ンテレフタレートフイルムは研磨テープ用のベースフイ
ルムとして従来より広く使用されている。ところが近
年、研磨テープに要求される特性が高度化し、特に研磨
剤層とベースフイルムとの接着強度(以下『接着力』と
いうことがある)を従来のものよりも強固にしたもの、
或いは研磨テープとして耐久性の優れたものが要求され
るようになったが、ポリエステルフイルムをベースフイ
ルムに用いた従来の研磨テープではこの要求を満たして
いない。
ンテレフタレートフイルムは研磨テープ用のベースフイ
ルムとして従来より広く使用されている。ところが近
年、研磨テープに要求される特性が高度化し、特に研磨
剤層とベースフイルムとの接着強度(以下『接着力』と
いうことがある)を従来のものよりも強固にしたもの、
或いは研磨テープとして耐久性の優れたものが要求され
るようになったが、ポリエステルフイルムをベースフイ
ルムに用いた従来の研磨テープではこの要求を満たして
いない。
【0003】上記の接着力や耐久性を改良するため、例
えばポリウレタン、ポリエステルウレタン、ポリエステ
ル等からなるプライマー層をベースフイルムに塗設する
方法が用いられているが、ポリウレタンやポリエステル
ウレタンを用いる方法では研磨剤層の接着力がなお不足
すること、プライマー層を塗設したフイルムを回収しフ
イルムに再使用した場合、着色が著しいため再使用が難
しい等の欠点がある。またポリエステルを用いる方法で
は例えば架橋剤を含むプライマー層が用いられている
が、かかる方法では研磨テープがスクラッチ(引っ掻き
傷)を受けた際に研磨剤層がベースフイルムから脱落し
易いこと等の欠点があり解決に至っていない。
えばポリウレタン、ポリエステルウレタン、ポリエステ
ル等からなるプライマー層をベースフイルムに塗設する
方法が用いられているが、ポリウレタンやポリエステル
ウレタンを用いる方法では研磨剤層の接着力がなお不足
すること、プライマー層を塗設したフイルムを回収しフ
イルムに再使用した場合、着色が著しいため再使用が難
しい等の欠点がある。またポリエステルを用いる方法で
は例えば架橋剤を含むプライマー層が用いられている
が、かかる方法では研磨テープがスクラッチ(引っ掻き
傷)を受けた際に研磨剤層がベースフイルムから脱落し
易いこと等の欠点があり解決に至っていない。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、ポリ
エステルフイルムをベースフイルムに用い、研磨剤層が
ベースフイルムに強固に接着され、かつ優れた生産性で
製造し得る研磨テープを提供することにある。
エステルフイルムをベースフイルムに用い、研磨剤層が
ベースフイルムに強固に接着され、かつ優れた生産性で
製造し得る研磨テープを提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、かかる目的を
達成するために、次の構成をとる。
達成するために、次の構成をとる。
【0006】厚さが15〜100μmの二軸延伸ポリエ
ステルフイルムからなるベースフイルムの少なくとも片
面に、(A)分子内の全ジカルボン酸成分に対し、スル
ホン酸塩基を有するジカルボン酸成分が2〜18モル%
であって、二次転移点が15〜45℃の共重合ポリエス
テル70〜95重量%と、(B)平均粒径が30〜50
0nmの微粒子5〜30重量%からなる成分を主成分と
し、厚さが0.015〜0.3μmであるプライマー被
覆層を設け、該プライマー被覆層の少なくとも1表面上
に研磨剤層を更に設けてなる研磨テープ。
ステルフイルムからなるベースフイルムの少なくとも片
面に、(A)分子内の全ジカルボン酸成分に対し、スル
ホン酸塩基を有するジカルボン酸成分が2〜18モル%
であって、二次転移点が15〜45℃の共重合ポリエス
テル70〜95重量%と、(B)平均粒径が30〜50
0nmの微粒子5〜30重量%からなる成分を主成分と
し、厚さが0.015〜0.3μmであるプライマー被
覆層を設け、該プライマー被覆層の少なくとも1表面上
に研磨剤層を更に設けてなる研磨テープ。
【0007】本発明のベースフイルムに用いる二軸延伸
ポリエステルフイルムは、芳香族ポリエステルからなる
未延伸フイルムを二軸延伸して得られるフイルムであっ
て、該芳香族ポリエステルは、芳香族ジカルボン酸成分
とグリコール成分からなるポリエステルである。
ポリエステルフイルムは、芳香族ポリエステルからなる
未延伸フイルムを二軸延伸して得られるフイルムであっ
て、該芳香族ポリエステルは、芳香族ジカルボン酸成分
とグリコール成分からなるポリエステルである。
【0008】上記の芳香族ジカルボン酸成分としては例
えばテレフタル酸、イソフタル酸、2,6−ナフタリン
ジカルボン酸、4,4´−ジフェニルジカルボン酸等を
好ましい例として挙げることができ、また上記のグリコ
ール成分としては、例えばエチレングリコール、1,4
ブタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、1,4−
シクロヘキサンジメタノール等の脂肪族または脂環族グ
リコールを好ましい例として挙げることができ、これら
のうちエチレングリコールが特に好ましい。
えばテレフタル酸、イソフタル酸、2,6−ナフタリン
ジカルボン酸、4,4´−ジフェニルジカルボン酸等を
好ましい例として挙げることができ、また上記のグリコ
ール成分としては、例えばエチレングリコール、1,4
ブタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、1,4−
シクロヘキサンジメタノール等の脂肪族または脂環族グ
リコールを好ましい例として挙げることができ、これら
のうちエチレングリコールが特に好ましい。
【0009】芳香族ポリエステルの構成成分には、芳香
族ジカルボン酸成分以外に1,4−シクロヘキサンジカ
ルボン酸、アジピン酸、セバシン酸等の脂環族または脂
肪族ジカルボン酸成分を一部使用することができるが、
本発明のベースフイルムを形成する芳香族ポリエステル
は、全ジカルボン酸成分中の70モル%以上、特に80
モル%以上が芳香族ジカルボン酸であるのが好適であ
る。ポリエステル中の芳香族ジカルボン酸成分が70モ
ル%未満の場合、研磨テープとして機械的特性が不足す
るようになる。
族ジカルボン酸成分以外に1,4−シクロヘキサンジカ
ルボン酸、アジピン酸、セバシン酸等の脂環族または脂
肪族ジカルボン酸成分を一部使用することができるが、
本発明のベースフイルムを形成する芳香族ポリエステル
は、全ジカルボン酸成分中の70モル%以上、特に80
モル%以上が芳香族ジカルボン酸であるのが好適であ
る。ポリエステル中の芳香族ジカルボン酸成分が70モ
ル%未満の場合、研磨テープとして機械的特性が不足す
るようになる。
【0010】芳香族ポリエステルの好ましい例としては
ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−2,6−
ナタレンジカルボキシレート、テレフタル酸−イソフタ
ル酸−エチレングリコール共重合ポリエステル、テレフ
タル酸−イソフタル酸−アジピン酸−エチレングリコー
ル共重合ポリエステル等を挙げることができる。上記ポ
リエステルを主成分とする共重合ポリエステルも使用す
ることができる。
ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−2,6−
ナタレンジカルボキシレート、テレフタル酸−イソフタ
ル酸−エチレングリコール共重合ポリエステル、テレフ
タル酸−イソフタル酸−アジピン酸−エチレングリコー
ル共重合ポリエステル等を挙げることができる。上記ポ
リエステルを主成分とする共重合ポリエステルも使用す
ることができる。
【0011】ベースフイルムに用いるポリエステルに
は、ポリエステルフィルムを製造する際の巻取性などを
良くするため、必要に応じて有機や無機の微粒子を添加
することができる。
は、ポリエステルフィルムを製造する際の巻取性などを
良くするため、必要に応じて有機や無機の微粒子を添加
することができる。
【0012】かかる微粒子としては、通常ポリエステル
フイルムに添加されるものを用いることができるが、例
えば炭酸カルシウム、酸化カルシウム、酸化アルミニウ
ム、酸化チタン、カオリン、酸化珪素、酸化亜鉛、カー
ボンブラック、炭化珪素、酸化錫、架橋アクリル系樹脂
粒子、架橋ポリスチレン樹脂粒子、メラミン樹脂粒子、
シリコーン樹脂粒子等を挙げることができる。更にポリ
エステル中には着色剤、帯電防止剤、酸化防止剤、有機
滑剤、触媒、他の樹脂等も適宜添加することができる。
フイルムに添加されるものを用いることができるが、例
えば炭酸カルシウム、酸化カルシウム、酸化アルミニウ
ム、酸化チタン、カオリン、酸化珪素、酸化亜鉛、カー
ボンブラック、炭化珪素、酸化錫、架橋アクリル系樹脂
粒子、架橋ポリスチレン樹脂粒子、メラミン樹脂粒子、
シリコーン樹脂粒子等を挙げることができる。更にポリ
エステル中には着色剤、帯電防止剤、酸化防止剤、有機
滑剤、触媒、他の樹脂等も適宜添加することができる。
【0013】本発明のベースフイルムに用いる芳香族ポ
リエステルフイルムの厚さは15〜100μmであり、
好ましくは20〜90μmである。この厚さが15μm
よりも薄いと研磨テープの機械的強度が不足するため好
ましくなく、100μmよりも厚いと研磨テープを使用
する際にテープの剛性が大きくなりすぎて使用性が劣る
ため好ましくない。
リエステルフイルムの厚さは15〜100μmであり、
好ましくは20〜90μmである。この厚さが15μm
よりも薄いと研磨テープの機械的強度が不足するため好
ましくなく、100μmよりも厚いと研磨テープを使用
する際にテープの剛性が大きくなりすぎて使用性が劣る
ため好ましくない。
【0014】本発明では上記ベースフイルムの少なくと
も片面に、(A)分子内の全ジカルボン酸成分に対し、
スルホン酸塩基を有するジカルボン酸成分が2〜18モ
ル%であって、二次転移点が15〜45℃の共重合ポリ
エステル70〜95重量%と、(B)平均粒径が30〜
500nmの微粒子5〜30重量%からなる成分を主成
分とし、厚さが0.015〜0.3μmであるプライマ
ー被覆層を設ける。
も片面に、(A)分子内の全ジカルボン酸成分に対し、
スルホン酸塩基を有するジカルボン酸成分が2〜18モ
ル%であって、二次転移点が15〜45℃の共重合ポリ
エステル70〜95重量%と、(B)平均粒径が30〜
500nmの微粒子5〜30重量%からなる成分を主成
分とし、厚さが0.015〜0.3μmであるプライマ
ー被覆層を設ける。
【0015】本発明のプライマー被覆層を構成する成分
として用いる(A)共重合ポリエステルには、親水性を
付与するためスルホン酸塩基を有するジカルボン酸成分
を分子内の全ジカルボン酸成分に対し2〜18モル%共
重合したものを用いる。この共重合割合が2モル%未満
であると親水性が不足し、例えば水性液を用いてプライ
マー被覆層を塗設する場合に良好な水性液が造り難く、
18モル%を越えると耐水性が劣る。このスルホン酸塩
基を有するジカルボン酸成分としては、例えば5−ナト
リウムスルホイソフタル酸、5−カリウムスルホテレフ
タル酸などの多塩基酸を用いることができる。
として用いる(A)共重合ポリエステルには、親水性を
付与するためスルホン酸塩基を有するジカルボン酸成分
を分子内の全ジカルボン酸成分に対し2〜18モル%共
重合したものを用いる。この共重合割合が2モル%未満
であると親水性が不足し、例えば水性液を用いてプライ
マー被覆層を塗設する場合に良好な水性液が造り難く、
18モル%を越えると耐水性が劣る。このスルホン酸塩
基を有するジカルボン酸成分としては、例えば5−ナト
リウムスルホイソフタル酸、5−カリウムスルホテレフ
タル酸などの多塩基酸を用いることができる。
【0016】上記共重合ポリエステルのスルホン酸塩基
を有するジカルボン酸成分以外の多塩基酸成分として
は、例えばテレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、無
水フタル酸、2,6−ナフタリンジカルボン酸、4,4
´−ジフェニルジカルボン酸、1,4シクロヘキサンジ
カルボン酸、アジピン酸、セバシン酸、トリメリット
酸、ピロメリット酸、ダイマー酸等を挙げるこができ
る。これらの成分は2種以上を用いることができる。更
に、これらの成分と共にマレイン酸、フマール酸、イタ
コン酸等の如き不飽和多塩基酸成分やp−ヒドロキシ安
息香酸、p−(βヒドロキシエトキシ)安息香酸等の如
きヒドロキシカルボン酸成分を小割合用いることができ
る。不飽和多塩基酸成分やヒドロキシカルボン酸成分は
高々10モル%、好ましくは5モル%以下である。
を有するジカルボン酸成分以外の多塩基酸成分として
は、例えばテレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、無
水フタル酸、2,6−ナフタリンジカルボン酸、4,4
´−ジフェニルジカルボン酸、1,4シクロヘキサンジ
カルボン酸、アジピン酸、セバシン酸、トリメリット
酸、ピロメリット酸、ダイマー酸等を挙げるこができ
る。これらの成分は2種以上を用いることができる。更
に、これらの成分と共にマレイン酸、フマール酸、イタ
コン酸等の如き不飽和多塩基酸成分やp−ヒドロキシ安
息香酸、p−(βヒドロキシエトキシ)安息香酸等の如
きヒドロキシカルボン酸成分を小割合用いることができ
る。不飽和多塩基酸成分やヒドロキシカルボン酸成分は
高々10モル%、好ましくは5モル%以下である。
【0017】上記多塩基酸成分と共に用いられるヒドロ
キシ化合物成分としては、例えばエチレングリコール、
1,3−プロパンジオール、1,4−ブタンジオール、
1,6−ヘキサンジオール、ネオペンチレングリコー
ル、ジエチレングリコール、1,4−シクロヘキサンジ
メタノール、p−キシリレングリコール、テトラエチレ
ングリコール、ビスフェノールAアルキレンオキシド付
加物等のヒドロキシ化合物成分を挙げるこができる。
キシ化合物成分としては、例えばエチレングリコール、
1,3−プロパンジオール、1,4−ブタンジオール、
1,6−ヘキサンジオール、ネオペンチレングリコー
ル、ジエチレングリコール、1,4−シクロヘキサンジ
メタノール、p−キシリレングリコール、テトラエチレ
ングリコール、ビスフェノールAアルキレンオキシド付
加物等のヒドロキシ化合物成分を挙げるこができる。
【0018】また、(A)共重合ポリエステルの二次転
移点(示差熱量計(DSC)を用いてサンプルを20℃
/分の昇温速度で昇温させて測定したもの。以下「T
g」と記す場合がある)は15〜45℃である。Tgが
15℃未満ではフイルムの耐ブロッキング性が不足し、
45℃を越えると接着力が不足する。
移点(示差熱量計(DSC)を用いてサンプルを20℃
/分の昇温速度で昇温させて測定したもの。以下「T
g」と記す場合がある)は15〜45℃である。Tgが
15℃未満ではフイルムの耐ブロッキング性が不足し、
45℃を越えると接着力が不足する。
【0019】本発明のプライマー被覆層を構成する成分
として用いる(B)微粒子は有機または無機の微粒子で
あり、平均粒径が30〜500nm、好ましくは50〜
300nmのものである。平均粒径が30nm未満では
フイルムの耐ブロッキング性が不足し、500nmを越
えると接着力が不足する。
として用いる(B)微粒子は有機または無機の微粒子で
あり、平均粒径が30〜500nm、好ましくは50〜
300nmのものである。平均粒径が30nm未満では
フイルムの耐ブロッキング性が不足し、500nmを越
えると接着力が不足する。
【0020】かかる微粒子としては、シリカ、アルミ
ナ、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、カーボ
ンブラック、酸化錫、炭酸カルシウム、酸化カルシウ
ム、酸化アルミニウム、カオリン、酸化珪素などの無機
粒子、架橋ポリスチレン樹脂粒子、架橋アクリル系樹脂
粒子等の架橋高分子粒子、メラミン樹脂粒子、シリコー
ン樹脂粒子等の有機粒子を好ましく例示することができ
る。これらのうちシリカ、架橋高分子粒子を用いると、
プライマー被覆層を塗設したフイルムを巻き取る際の耐
ブロッキングが良好となり、また更に研磨剤層を塗設す
る際にプライマー被覆層を塗設したフイルムの滑り性が
良好となるため特に好ましい。
ナ、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、カーボ
ンブラック、酸化錫、炭酸カルシウム、酸化カルシウ
ム、酸化アルミニウム、カオリン、酸化珪素などの無機
粒子、架橋ポリスチレン樹脂粒子、架橋アクリル系樹脂
粒子等の架橋高分子粒子、メラミン樹脂粒子、シリコー
ン樹脂粒子等の有機粒子を好ましく例示することができ
る。これらのうちシリカ、架橋高分子粒子を用いると、
プライマー被覆層を塗設したフイルムを巻き取る際の耐
ブロッキングが良好となり、また更に研磨剤層を塗設す
る際にプライマー被覆層を塗設したフイルムの滑り性が
良好となるため特に好ましい。
【0021】これら(A)共重合ポリエステル(以下単
に「(A)」という場合がある)及び、(B)微粒子
(以下単に「(B)」という場合がある)の量比(重量
%比)は(A)が70〜95重量%、(B)が5〜30
重量%である。(A)が95重量%を越え(B)が5重
量%未満ではフィルムの耐ブロッキング性が不足し、
(B)が30重量%を越え(A)が70重量%未満では
フィルムの接着力が不足する。
に「(A)」という場合がある)及び、(B)微粒子
(以下単に「(B)」という場合がある)の量比(重量
%比)は(A)が70〜95重量%、(B)が5〜30
重量%である。(A)が95重量%を越え(B)が5重
量%未満ではフィルムの耐ブロッキング性が不足し、
(B)が30重量%を越え(A)が70重量%未満では
フィルムの接着力が不足する。
【0022】本発明のプライマー被覆層をベースフイル
ム(芳香族ポリエステルよりなる二軸延伸ポリエステル
フイルム)に積層するには、例えばプライマー被覆層を
構成する成分を含む塗布剤をベースフイルムにコーティ
ングする方法を挙げることができる。
ム(芳香族ポリエステルよりなる二軸延伸ポリエステル
フイルム)に積層するには、例えばプライマー被覆層を
構成する成分を含む塗布剤をベースフイルムにコーティ
ングする方法を挙げることができる。
【0023】塗布剤は水溶液、水分散液あるいは乳化液
の如き水性液の形態で用いることが好ましく、該水性液
中には更に例えばブロッキング防止剤、帯電防止剤、酸
化防止剤、熱安定剤、滑剤、可塑剤、紫外線吸収剤、他
のバインダー樹脂、ゴム類、界面活性剤、軟化剤等を任
意に添加することができる。
の如き水性液の形態で用いることが好ましく、該水性液
中には更に例えばブロッキング防止剤、帯電防止剤、酸
化防止剤、熱安定剤、滑剤、可塑剤、紫外線吸収剤、他
のバインダー樹脂、ゴム類、界面活性剤、軟化剤等を任
意に添加することができる。
【0024】塗布剤のベースフイルムへの塗布(以下
「塗工」という場合がある)を通常の塗工工程、すなわ
ち該フィルムの製造工程と切り離した工程で行うと、
芥、塵埃等を巻き込み易く好ましくない。かかる観点よ
りクリーンな雰囲気での塗工すなわちフィルム製造工程
での塗工が好ましい。
「塗工」という場合がある)を通常の塗工工程、すなわ
ち該フィルムの製造工程と切り離した工程で行うと、
芥、塵埃等を巻き込み易く好ましくない。かかる観点よ
りクリーンな雰囲気での塗工すなわちフィルム製造工程
での塗工が好ましい。
【0025】塗布剤は延伸可能なポリエステルフィルム
に塗布することが好ましい。この延伸可能なフィルムと
は、未延伸フィルム、一軸延伸フィルム又は二軸延伸フ
ィルムであり、特に縦方向に一軸延伸したフィルムに塗
布することが好ましく、この場合は塗布剤を塗布した
後、乾燥し、横方向に延伸し、場合によっては再縦延伸
や再横延伸し、更に熱処理を行うことができる。
に塗布することが好ましい。この延伸可能なフィルムと
は、未延伸フィルム、一軸延伸フィルム又は二軸延伸フ
ィルムであり、特に縦方向に一軸延伸したフィルムに塗
布することが好ましく、この場合は塗布剤を塗布した
後、乾燥し、横方向に延伸し、場合によっては再縦延伸
や再横延伸し、更に熱処理を行うことができる。
【0026】塗布剤はプライマー被覆層の厚さが0.0
15〜0.3μmとなる量を塗布するが、0.02〜
0.2μmとなる量を塗布することがより好ましい。プ
ライマー被覆層の厚さが0.015μm未満であると接
着力が不足し、一方0.3μmを越えるとフイルムがブ
ロッキングを起し易くなるため好ましくない。
15〜0.3μmとなる量を塗布するが、0.02〜
0.2μmとなる量を塗布することがより好ましい。プ
ライマー被覆層の厚さが0.015μm未満であると接
着力が不足し、一方0.3μmを越えるとフイルムがブ
ロッキングを起し易くなるため好ましくない。
【0027】塗布剤の塗布方法としては、公知の任意の
塗工法が適用できる。例えばロールコート法、グラビア
コート法、ロールブラッシュ法、スプレーコート法、エ
アーナイフコート法、含浸法及びカーテンコート法など
を単独または組み合わせて行なうことができる。
塗工法が適用できる。例えばロールコート法、グラビア
コート法、ロールブラッシュ法、スプレーコート法、エ
アーナイフコート法、含浸法及びカーテンコート法など
を単独または組み合わせて行なうことができる。
【0028】本発明の研磨剤層はバインダー樹脂成分と
研磨剤粒子成分とからなるものであり、バインダー樹脂
成分としては例えば共重合ポリエステル樹脂、ポリウレ
タン樹脂等を挙げることができる。かかる樹脂を用いる
と研磨剤層のベースフイルムとの接着力、研磨剤粒子の
固着結合性、分散性が良好となるため好ましい。
研磨剤粒子成分とからなるものであり、バインダー樹脂
成分としては例えば共重合ポリエステル樹脂、ポリウレ
タン樹脂等を挙げることができる。かかる樹脂を用いる
と研磨剤層のベースフイルムとの接着力、研磨剤粒子の
固着結合性、分散性が良好となるため好ましい。
【0029】また、研磨剤粒子成分としては、例えばア
ルミナ、炭化珪素、酸化鉄、酸化クロム、ダイアモンド
等の粒子を挙げることができる。かかる粒子を用いると
ラッピング作用とポリシング作用が優れた研磨テープが
得られるので好ましい。
ルミナ、炭化珪素、酸化鉄、酸化クロム、ダイアモンド
等の粒子を挙げることができる。かかる粒子を用いると
ラッピング作用とポリシング作用が優れた研磨テープが
得られるので好ましい。
【0030】上記の研磨剤粒子の好ましい平均粒径は
0.1〜35μmである。この平均粒径が35μmより
大きいと表面粗度が大きくなり過ぎるので好ましくな
い。また平均粒径が0.1μmよりも小さいとラッピン
グ作用が不足するので好ましくない。
0.1〜35μmである。この平均粒径が35μmより
大きいと表面粗度が大きくなり過ぎるので好ましくな
い。また平均粒径が0.1μmよりも小さいとラッピン
グ作用が不足するので好ましくない。
【0031】本発明に用いる研磨剤層のバインダー樹脂
成分と研磨用粒子成分の重量割合は、バインダー樹脂成
分が10〜90重量%のものであることが好ましい。バ
インダー樹脂成分の割合が上記の範囲であると分散性や
研磨性が良好となるので好ましい。
成分と研磨用粒子成分の重量割合は、バインダー樹脂成
分が10〜90重量%のものであることが好ましい。バ
インダー樹脂成分の割合が上記の範囲であると分散性や
研磨性が良好となるので好ましい。
【0032】また、研磨剤層は厚みが1〜30μmであ
るとラッピング作用が良好であり表面粗度も良好なもの
となる。この厚みが30μmより厚いとベースフイルム
との強度バランスが不良となり、1μmよりも薄いと研
磨力や耐久性が不足するため好ましくない。
るとラッピング作用が良好であり表面粗度も良好なもの
となる。この厚みが30μmより厚いとベースフイルム
との強度バランスが不良となり、1μmよりも薄いと研
磨力や耐久性が不足するため好ましくない。
【0033】本発明の研磨剤層は、例えば上記バインダ
ー樹脂を有機溶剤に溶解した溶液に研磨剤粒子を分散さ
せた塗料をグラビヤコーター、リバースコーター、キス
ロールコーター、ダイコーター等の方法で塗布した後、
加熱乾燥して塗設する方法等を用いることができる。
ー樹脂を有機溶剤に溶解した溶液に研磨剤粒子を分散さ
せた塗料をグラビヤコーター、リバースコーター、キス
ロールコーター、ダイコーター等の方法で塗布した後、
加熱乾燥して塗設する方法等を用いることができる。
【0034】
【実施例】以下、実施例をあげて本発明を更に詳細に説
明する。なお実施例中、評価用塗布には下記方法により
調整した塗液を用い、また接着力は下記方法により評価
した。
明する。なお実施例中、評価用塗布には下記方法により
調整した塗液を用い、また接着力は下記方法により評価
した。
【0035】(評価用塗液の調整)テレフタル酸(52
モル%)・イソフタル酸(48モル%)・エチレングリ
コール(93モル%)・ネオペンチルグリコール(7モ
ル%)共重合ポリエステル(Tg=48℃)50重量
%、トリレンジイソシアネート2重量%および酸化アル
ミニウム(平均粒径3.4μm)48重量%をトルエン
/メチルエチルケトン(60重量%/40重量%)中で
分散溶解して濃度65重量%の研磨塗料を調整した。
モル%)・イソフタル酸(48モル%)・エチレングリ
コール(93モル%)・ネオペンチルグリコール(7モ
ル%)共重合ポリエステル(Tg=48℃)50重量
%、トリレンジイソシアネート2重量%および酸化アル
ミニウム(平均粒径3.4μm)48重量%をトルエン
/メチルエチルケトン(60重量%/40重量%)中で
分散溶解して濃度65重量%の研磨塗料を調整した。
【0036】(研磨剤層の接着力)サンプルのポリエス
テルフイルムのプライマー被覆層塗布面に前記評価用研
磨塗液をマイヤーバーにて乾燥後の厚さが約9μmにな
るよう塗布し、110℃で3分間乾燥する。その後50
℃で24時間エージングし、塗布面をヘイドンスクラッ
チテスターでテストして傷が発生する時の荷重(g)を
測定した。
テルフイルムのプライマー被覆層塗布面に前記評価用研
磨塗液をマイヤーバーにて乾燥後の厚さが約9μmにな
るよう塗布し、110℃で3分間乾燥する。その後50
℃で24時間エージングし、塗布面をヘイドンスクラッ
チテスターでテストして傷が発生する時の荷重(g)を
測定した。
【0037】[実施例1]固有粘度が0.68のポリエ
チレンテレフタレートを溶融押出し、冷却して未延伸シ
ートとした後、該未延伸シートを縦方向に3.5倍延伸
して一軸延伸フイルムを得た。このフイルムの片面にテ
レフタル酸[40モル%](以下[ ]内の数値はモル
%を示す)・イソフタル酸[48]・5−Naスルホイ
ソフタル酸[12]と1,4ブタンジオール[52]・
エチレングリコール[38]・ジエチレングリコール
[10]よりなる共重合ポリエステル(スルホン酸塩基
成分12モル%、Tg=28℃:以下「A−1」とい
う)70重量%、平均粒径148nmのスチレン−ジビ
ニルベンゼン系架橋ポリマー微粒子(以下「B−1」と
いう)15重量%、エチレンおキシド・プロピレンオキ
シド共重合体15重量%からなる固形分濃度5重量%の
水性液をロールコーターにて塗布した。次いで水性液を
塗布した該一軸延伸フィルムを乾燥しつつ横方向に4倍
延伸し、更に235℃で熱固定してプライマー被覆層を
塗設した厚さ26μmのフィルムを得た。プライマー被
覆層の厚さは0.08μmであった。このフィルムを用
いた研磨テープの特性を表1に示す。
チレンテレフタレートを溶融押出し、冷却して未延伸シ
ートとした後、該未延伸シートを縦方向に3.5倍延伸
して一軸延伸フイルムを得た。このフイルムの片面にテ
レフタル酸[40モル%](以下[ ]内の数値はモル
%を示す)・イソフタル酸[48]・5−Naスルホイ
ソフタル酸[12]と1,4ブタンジオール[52]・
エチレングリコール[38]・ジエチレングリコール
[10]よりなる共重合ポリエステル(スルホン酸塩基
成分12モル%、Tg=28℃:以下「A−1」とい
う)70重量%、平均粒径148nmのスチレン−ジビ
ニルベンゼン系架橋ポリマー微粒子(以下「B−1」と
いう)15重量%、エチレンおキシド・プロピレンオキ
シド共重合体15重量%からなる固形分濃度5重量%の
水性液をロールコーターにて塗布した。次いで水性液を
塗布した該一軸延伸フィルムを乾燥しつつ横方向に4倍
延伸し、更に235℃で熱固定してプライマー被覆層を
塗設した厚さ26μmのフィルムを得た。プライマー被
覆層の厚さは0.08μmであった。このフィルムを用
いた研磨テープの特性を表1に示す。
【0038】[実施例2〜7、比較例1〜2]プライマ
ー被覆層の組成と塗布厚さを表1とした以外は実施例1
と同様にして得た研磨テープの特性を表1に示す。
ー被覆層の組成と塗布厚さを表1とした以外は実施例1
と同様にして得た研磨テープの特性を表1に示す。
【0039】[比較例3]実施例1において水性液を塗
布しない以外は実施例1と同様にして得たフィルムの特
性を表1に示す。
布しない以外は実施例1と同様にして得たフィルムの特
性を表1に示す。
【0040】
【表1】
【0041】表1中の共重合ポリエステルおよび微粒子
は下記のものを用いた。 A−2:2,6−ナタレンジカルボン酸[6]・イソフ
タル酸[84]・5−Naスルホイソフタル酸[10]
・ジエチレングリコール[2]・ネオペンチレングリコ
ール[26]・1,4−ブタンジオール[72] 共重合ポリエステル(スルホン酸塩基成分10モル%、
Tg=33℃) A−3:テレフタル酸[36]・4,4´ジフェニルジ
カルボン酸[42]・5−Kスルホイソフタル酸[2
2]・エチレングリコール[85]・ネオペンチレング
リコール[15] 共重合ポリエステル(スルホン酸塩基成分22モル%、
Tg=97℃) B−2:メタクリル酸メチル[86]・アクリル酸エチ
ル[6]・ジビニルベンゼン[8] 共重合架橋ポリマー(平均粒径200nm) B−3:スチレン[93]・ジビニルベンゼン[7] 共重合架橋ポリマー(平均粒径190nm) B−4:メラミン樹脂微粒子(平均粒径1.2μm)
は下記のものを用いた。 A−2:2,6−ナタレンジカルボン酸[6]・イソフ
タル酸[84]・5−Naスルホイソフタル酸[10]
・ジエチレングリコール[2]・ネオペンチレングリコ
ール[26]・1,4−ブタンジオール[72] 共重合ポリエステル(スルホン酸塩基成分10モル%、
Tg=33℃) A−3:テレフタル酸[36]・4,4´ジフェニルジ
カルボン酸[42]・5−Kスルホイソフタル酸[2
2]・エチレングリコール[85]・ネオペンチレング
リコール[15] 共重合ポリエステル(スルホン酸塩基成分22モル%、
Tg=97℃) B−2:メタクリル酸メチル[86]・アクリル酸エチ
ル[6]・ジビニルベンゼン[8] 共重合架橋ポリマー(平均粒径200nm) B−3:スチレン[93]・ジビニルベンゼン[7] 共重合架橋ポリマー(平均粒径190nm) B−4:メラミン樹脂微粒子(平均粒径1.2μm)
【0042】
【発明の効果】このようにして得られた本発明の研磨テ
ープは、プライマー被覆層の構成成分に特定の二次転移
温を有する共重合ポリエステルを特定割合で用いている
ため、研磨剤に加わる剪断応力をプライマー被覆層が緩
和し、界面における破壊を抑制するので研磨剤層とベー
スフイルムとの接着が強固なものとなる。
ープは、プライマー被覆層の構成成分に特定の二次転移
温を有する共重合ポリエステルを特定割合で用いている
ため、研磨剤に加わる剪断応力をプライマー被覆層が緩
和し、界面における破壊を抑制するので研磨剤層とベー
スフイルムとの接着が強固なものとなる。
Claims (2)
- 【請求項1】 厚さが15〜100μmの二軸延伸ポリ
エステルフイルムからなるベースフイルムの少なくとも
片面に、(A)分子内の全ジカルボン酸成分に対し、ス
ルホン酸塩基を有するジカルボン酸成分が2〜18モル
%であって、二次転移点が15〜45℃の共重合ポリエ
ステル70〜95重量%と、(B)平均粒径が30〜5
00nmの微粒子5〜30重量%からなる成分を主成分
とし、厚さが0.015〜0.3μmであるプライマー
被覆層を設け、該プライマー被覆層の少なくとも1表面
上に研磨剤層を更に設けてなる研磨テープ。 - 【請求項2】 微粒子がシリカ粒子及び/又は架橋高分
子粒子である請求項1に記載の研磨テープ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15228494A JPH0819965A (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | 研磨テープ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15228494A JPH0819965A (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | 研磨テープ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0819965A true JPH0819965A (ja) | 1996-01-23 |
Family
ID=15537162
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15228494A Pending JPH0819965A (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | 研磨テープ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0819965A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002043921A1 (en) * | 2000-12-01 | 2002-06-06 | Toyo Boseki Kabushiki Kaisha | Polishing pad, method of manufacturing the polishing pad, and cushion layer for polishing pad |
-
1994
- 1994-07-04 JP JP15228494A patent/JPH0819965A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002043921A1 (en) * | 2000-12-01 | 2002-06-06 | Toyo Boseki Kabushiki Kaisha | Polishing pad, method of manufacturing the polishing pad, and cushion layer for polishing pad |
| US7192340B2 (en) | 2000-12-01 | 2007-03-20 | Toyo Tire & Rubber Co., Ltd. | Polishing pad, method of producing the same, and cushion layer for polishing pad |
| US7329170B2 (en) | 2000-12-01 | 2008-02-12 | Toyo Tire & Rubber Co., Ltd. | Method of producing polishing pad |
| JP2008213140A (ja) * | 2000-12-01 | 2008-09-18 | Toyo Tire & Rubber Co Ltd | 研磨パッド及びその製造方法並びに研磨パッド用クッション層 |
| US7641540B2 (en) | 2000-12-01 | 2010-01-05 | Toyo Tire & Rubber Co., Ltd | Polishing pad and cushion layer for polishing pad |
| US7762870B2 (en) | 2000-12-01 | 2010-07-27 | Toyo Tire & Rubber Co., Ltd | Polishing pad and cushion layer for polishing pad |
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