JPH0820596B2 - 投影レンズ - Google Patents
投影レンズInfo
- Publication number
- JPH0820596B2 JPH0820596B2 JP1296898A JP29689889A JPH0820596B2 JP H0820596 B2 JPH0820596 B2 JP H0820596B2 JP 1296898 A JP1296898 A JP 1296898A JP 29689889 A JP29689889 A JP 29689889A JP H0820596 B2 JPH0820596 B2 JP H0820596B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- line
- convex surface
- object side
- lens group
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 claims description 27
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 13
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 12
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 10
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 6
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 22
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 4
- 206010010071 Coma Diseases 0.000 description 3
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Lenses (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 《産業上の利用分野》 この発明は、フォトリソグラフィの分野において、フ
ォトレジストを塗布した感材に所要の微細なパターンを
焼き付けるのに使用される投影レンズに関し、殊に近紫
外光で焼き付けるのに適する投影レンズに関するもので
ある。
ォトレジストを塗布した感材に所要の微細なパターンを
焼き付けるのに使用される投影レンズに関し、殊に近紫
外光で焼き付けるのに適する投影レンズに関するもので
ある。
《従来の技術》 この種の投影レンズとしては、従来より例えばステッ
パーと称する超精密縮小焼付装置に用いられている超精
密投影レンズや、縮写用として用いられる製版用引伸レ
ンズがある。
パーと称する超精密縮小焼付装置に用いられている超精
密投影レンズや、縮写用として用いられる製版用引伸レ
ンズがある。
《発明が解決しようとする課題》 上記従来の超精密投影レンズは、高解像力を得るため
に近紫外領域のうち、例えばｇ線についてのみ諸収差を
高精度で補正したものであるため、下記のような難点が
ある。
に近紫外領域のうち、例えばｇ線についてのみ諸収差を
高精度で補正したものであるため、下記のような難点が
ある。
イ．フォトレジストの感光波長域は近紫外ないし紫外領
域に及ぶが、上記従来例ではｇ線についてのみ考慮した
ものであるため、ｇ線、ｈ線、ｉ線のうち、ｇ線の輝線
しか使用できず、そのため露光に寄与するエネルギーが
少なく、露光に要する時間も長くなり、焼付効率の低下
を余儀なくされていた。
域に及ぶが、上記従来例ではｇ線についてのみ考慮した
ものであるため、ｇ線、ｈ線、ｉ線のうち、ｇ線の輝線
しか使用できず、そのため露光に寄与するエネルギーが
少なく、露光に要する時間も長くなり、焼付効率の低下
を余儀なくされていた。
ロ．有効な画面サイズが小さい。
一方、上記従来の製版用引伸レンズは、可視光領域を
考慮した製版用レンズであるため、有効な画面サイズは
大きく、可視光領域における諸収差を高精度で補正した
ものであるが、下記のような難点がある。
考慮した製版用レンズであるため、有効な画面サイズは
大きく、可視光領域における諸収差を高精度で補正した
ものであるが、下記のような難点がある。
ハ．近紫外領域の透過率が低いうえ、解像力も低い。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、上
記難点イ〜ハを解決することを技術課題とする。
記難点イ〜ハを解決することを技術課題とする。
《課題を解決するための手段》 本発明は上記課題を解決するものとして以下のように
構成される。
構成される。
即ち、物体側から順に第１レンズ群と第２レンズ群を
配置し、 第１レンズ群は順次物体側に凸面を向けた正のメニス
カスレンズと、物体側に凸面を向けた正のメニスカスレ
ンズと、負のレンズとから成り、第２レンズ群は順次負
のレンズと、像面側に凸面を向けた正のメニスカスレン
ズと、像面側に曲率半径が小さい方の凸面を向けた正の
レンズとから成り、硝材のｉ線に対する内部透過率（厚
さ10mm）をTiとし、ｇ線、ｈ線、ｉ線に対する屈折率
を、それぞれng、nh、niとし、分散値を νｈ＝（nh−１）／（ni−ng） とするとき、 それぞれのレンズが Ti＞90％ 正のレンズが 1.60＜nh＜1.70 45＜νｈ＜52 負のレンズが 1.55＜nh＜1.65 28＜νｈ＜36 を満足する硝材より成るとともに、 物体側から２番目と３番目のレンズが接合配置され、
物体側からそれぞれ２、３、４、５番目のレンズの焦点
距離をf2、f3、f4、f5としたとき、条件式 −1.5＜（f2/f3）＜−1.2 −2.4＜（f5/f4）＜−1.8 を満たすことを特徴とするものである。
配置し、 第１レンズ群は順次物体側に凸面を向けた正のメニス
カスレンズと、物体側に凸面を向けた正のメニスカスレ
ンズと、負のレンズとから成り、第２レンズ群は順次負
のレンズと、像面側に凸面を向けた正のメニスカスレン
ズと、像面側に曲率半径が小さい方の凸面を向けた正の
レンズとから成り、硝材のｉ線に対する内部透過率（厚
さ10mm）をTiとし、ｇ線、ｈ線、ｉ線に対する屈折率
を、それぞれng、nh、niとし、分散値を νｈ＝（nh−１）／（ni−ng） とするとき、 それぞれのレンズが Ti＞90％ 正のレンズが 1.60＜nh＜1.70 45＜νｈ＜52 負のレンズが 1.55＜nh＜1.65 28＜νｈ＜36 を満足する硝材より成るとともに、 物体側から２番目と３番目のレンズが接合配置され、
物体側からそれぞれ２、３、４、５番目のレンズの焦点
距離をf2、f3、f4、f5としたとき、条件式 −1.5＜（f2/f3）＜−1.2 −2.4＜（f5/f4）＜−1.8 を満たすことを特徴とするものである。
つまり、本発明では第１レンズ群及び第２レンズ群
が、ガウスタイプのレンズ構成であり、各レンズ群を構
成する正レンズと負レンズが上記のようにｇ線、ｈ線、
ｉ線の近紫外領域を考慮し、ｉ線に対する内部透過率
（厚さ10mmのとき）が90％以上となる硝材で形成され
る。
が、ガウスタイプのレンズ構成であり、各レンズ群を構
成する正レンズと負レンズが上記のようにｇ線、ｈ線、
ｉ線の近紫外領域を考慮し、ｉ線に対する内部透過率
（厚さ10mmのとき）が90％以上となる硝材で形成され
る。
《作用》 本発明では、第１レンズ群及び第２レンズ群が、ガウ
スタイプのレンズ構成であり、口径比・画角ともに大き
くとれる。
スタイプのレンズ構成であり、口径比・画角ともに大き
くとれる。
即ち、第１図に示すように、中央の向かい合う凹面r6
・r7では、光線高が低いのでこれらの面のパワーを強く
でき、その結果ペッツバール和が小さくなり、画角が大
きくなる。同時にこれらの凹面はサジタル・コマ収差の
原因にも成りかねないが、この点については以下のよう
にして補正している。
・r7では、光線高が低いのでこれらの面のパワーを強く
でき、その結果ペッツバール和が小さくなり、画角が大
きくなる。同時にこれらの凹面はサジタル・コマ収差の
原因にも成りかねないが、この点については以下のよう
にして補正している。
即ち、コマ収差、湾曲収差をはじめとする諸収差を補
正する上で、正のレンズを構成する硝材の屈折率はなる
べく高いほうが一般的に望ましいが、ｉ線についても高
い透過率を確保するのに用いられる硝材が限定され、あ
まり屈曲率の高い硝材を使うことができない。従って、
前記の条件に適合する硝材を選択することになるが、こ
の場合、第２レンズL2と第３レンズL3との合成系、及び
第４レンズL4と第５レンズL5との合成系をメニスカスレ
ンズ、あるいはそれと等価にし、かつ第２レンズL2と第
３レンズL3との合成系、及び第４レンズL4と第５レンズ
L5との合成系のパワーを小さくすることによりサジタル
・コマ収差と非点収差を補正している。なお、前記硝材
の分散値νｈの範囲と、上記パワーを小さくすることを
意図したことから、（f2/f3）、（f5/f4）の値に制限 −1.5＜（f2/f3）＜−1.2 −2.4＜（f5/f4）＜−1.8 が加わる。
正する上で、正のレンズを構成する硝材の屈折率はなる
べく高いほうが一般的に望ましいが、ｉ線についても高
い透過率を確保するのに用いられる硝材が限定され、あ
まり屈曲率の高い硝材を使うことができない。従って、
前記の条件に適合する硝材を選択することになるが、こ
の場合、第２レンズL2と第３レンズL3との合成系、及び
第４レンズL4と第５レンズL5との合成系をメニスカスレ
ンズ、あるいはそれと等価にし、かつ第２レンズL2と第
３レンズL3との合成系、及び第４レンズL4と第５レンズ
L5との合成系のパワーを小さくすることによりサジタル
・コマ収差と非点収差を補正している。なお、前記硝材
の分散値νｈの範囲と、上記パワーを小さくすることを
意図したことから、（f2/f3）、（f5/f4）の値に制限 −1.5＜（f2/f3）＜−1.2 −2.4＜（f5/f4）＜−1.8 が加わる。
これにより水銀ランプを使用する場合の、フォトレジ
ストの感光波長域内の主要輝線であるｇ線（435.83n
m）、ｈ線（404.66nm）、ｉ線（365.01nm）に対する透
過率、色収差等を改善している。以上の構成をとること
により、投影レンズは有効画面サイズが大きく、解像力
が高く、全体の透過率も向上する。
ストの感光波長域内の主要輝線であるｇ線（435.83n
m）、ｈ線（404.66nm）、ｉ線（365.01nm）に対する透
過率、色収差等を改善している。以上の構成をとること
により、投影レンズは有効画面サイズが大きく、解像力
が高く、全体の透過率も向上する。
《実施例》 以下、本発明に係る投影レンズの実施例をレンズデー
タ表（表１〜表４）と、レンズの配置構成図及び諸収差
を示す図（第１図〜第９図）とによって例示する。
タ表（表１〜表４）と、レンズの配置構成図及び諸収差
を示す図（第１図〜第９図）とによって例示する。
各レンズデータ表中のｆは全系の焦点距離、Ｙは像高
（画面サイズ）、Ｆは実効Ｆナンバー、ｍは基準倍率、
Tiはｉ線に対する各硝材の内部透過率（厚さ10mm）を示
し、ｒ、ｄ、ｎ、νｈは第１図中の各符号に対応し、そ
れぞれ、曲率半径、レンズの中心厚（面間距離）、屈折
率、分散値を示す。また、ng、nh、niはそれぞれｇ線、
ｈ線、ｉ線、に対する屈折率、νｈは次式で規定する分
散値を示す。
（画面サイズ）、Ｆは実効Ｆナンバー、ｍは基準倍率、
Tiはｉ線に対する各硝材の内部透過率（厚さ10mm）を示
し、ｒ、ｄ、ｎ、νｈは第１図中の各符号に対応し、そ
れぞれ、曲率半径、レンズの中心厚（面間距離）、屈折
率、分散値を示す。また、ng、nh、niはそれぞれｇ線、
ｈ線、ｉ線、に対する屈折率、νｈは次式で規定する分
散値を示す。
νｈ＝（nh−１）／（ni−ng） なお、以下のすべての実施例１〜実施例４では基準倍
率ｍを−（1/2）、実効Ｆナンバーを5.6、最大像高Ｙを
31.5となるように設定されている。
率ｍを−（1/2）、実効Ｆナンバーを5.6、最大像高Ｙを
31.5となるように設定されている。
また、すべての実施例１〜実施例４では、第２レンズ
L2と第３レンズL3を接合配置した６枚構成のものについ
て例示し、第２レンズL2、第３レンズL3、第４レンズ
L4、第５レンズL5の焦点距離をそれぞれf2、f3、f4、f5
とするとき、 −1.5＜（f2/f3）＜−1.2 −2.4＜（f5/f4）＜−1.8 を満たすように構成されている。
L2と第３レンズL3を接合配置した６枚構成のものについ
て例示し、第２レンズL2、第３レンズL3、第４レンズ
L4、第５レンズL5の焦点距離をそれぞれf2、f3、f4、f5
とするとき、 −1.5＜（f2/f3）＜−1.2 −2.4＜（f5/f4）＜−1.8 を満たすように構成されている。
一方、レンズ特性を示す第３図、第５図、第７図、第
９図は、それぞれ実施例１〜実施例４に対応するもの
で、球面収差、非点収差及び歪曲収差を示す３種のグラ
フＡ、Ｂ、Ｃを含む。そして、球面収差Ａのグラフにお
いては、横軸に収差量を、縦軸にＦナンバーをとり、そ
れぞれｇ線、ｈ線、ｉ線に対する球面収差曲線ｇ、ｈ、
ｉを示している。なお、非点収差を示すグラフＢにおい
てＳはサジタル像面を、Ｍはメリディオナル像面を示
し、歪面収差を示すグラフＣと同様に、ｈ線についての
収差を示している。歪曲収差を示すグラフについてあら
かじめ注釈を加えておくと、これらのグラフ（第３図、
第５図、第７図、第９図）は、４種の実施例すべてにつ
いて、すべての像高にわたって歪曲収差が実質上ゼロで
あることを示している。
９図は、それぞれ実施例１〜実施例４に対応するもの
で、球面収差、非点収差及び歪曲収差を示す３種のグラ
フＡ、Ｂ、Ｃを含む。そして、球面収差Ａのグラフにお
いては、横軸に収差量を、縦軸にＦナンバーをとり、そ
れぞれｇ線、ｈ線、ｉ線に対する球面収差曲線ｇ、ｈ、
ｉを示している。なお、非点収差を示すグラフＢにおい
てＳはサジタル像面を、Ｍはメリディオナル像面を示
し、歪面収差を示すグラフＣと同様に、ｈ線についての
収差を示している。歪曲収差を示すグラフについてあら
かじめ注釈を加えておくと、これらのグラフ（第３図、
第５図、第７図、第９図）は、４種の実施例すべてにつ
いて、すべての像高にわたって歪曲収差が実質上ゼロで
あることを示している。
実施例１ 本実施例のレンズデータを表１に、レンズの配置構成
図を第２図に、収差図を第３図に示す。
図を第２図に、収差図を第３図に示す。
この実施例は、第１レンズ群G1が順次物体側に凸面を
向けた正のメニスカスレンズL1と、正のメニスカスレン
ズL2と、負のメニスカスレンズL3とから成り、第２レン
ズ群G2が順次像面側に凸面を向けた負のメニスカスレン
ズL4と、正のメニスカスレンズL5と、両面凸レンズL6と
から成り、凸凸凹−凹凸凸の組み合わせに配置構成され
ている。なお、第２レンズL2と第３レンズL3は接合配置
されている。
向けた正のメニスカスレンズL1と、正のメニスカスレン
ズL2と、負のメニスカスレンズL3とから成り、第２レン
ズ群G2が順次像面側に凸面を向けた負のメニスカスレン
ズL4と、正のメニスカスレンズL5と、両面凸レンズL6と
から成り、凸凸凹−凹凸凸の組み合わせに配置構成され
ている。なお、第２レンズL2と第３レンズL3は接合配置
されている。
この実施例では、（f2/f3）＝−1.44、（f5/f4）＝−
2.00になっている。
2.00になっている。
このように構成することで基準倍率における諸収差を
良好に補正している。
良好に補正している。
実施例２ 本実施例のレンズデータを表２に、レンズの配置構成
図を第４図に、収差図を第５図に示す。この実施例は、
第１レンズ群G1が順次物体側に凸面を向けた正のメニス
カスレンズL1と、正のメニスカスレンズL2と、負のメニ
スカスレンズL3とから成り、第２レンズ群G2が順次像面
側に凸面を向けた負のメニスカスレンズL4と、正のメニ
スカスレンズL5と、両面凸レンズL6とから成り、凸凸凹
−凹凸凸の組み合わせに配置構成されている。なお、第
２レンズL2と第３レンズL3は接合配置されている。
図を第４図に、収差図を第５図に示す。この実施例は、
第１レンズ群G1が順次物体側に凸面を向けた正のメニス
カスレンズL1と、正のメニスカスレンズL2と、負のメニ
スカスレンズL3とから成り、第２レンズ群G2が順次像面
側に凸面を向けた負のメニスカスレンズL4と、正のメニ
スカスレンズL5と、両面凸レンズL6とから成り、凸凸凹
−凹凸凸の組み合わせに配置構成されている。なお、第
２レンズL2と第３レンズL3は接合配置されている。
この実施例では、（f2/f3）＝−1.36、（f5/f4）＝−
1.86になっている。
1.86になっている。
このように構成することで基準倍率における諸収差を
良好に補正している。
良好に補正している。
実施例３ 本実施例のレンズデータを表３に、レンズの配置構成
図を第６図に、収差図を第７図に示す。この実施例は、
第１レンズ群G1が順次物体側に凸面を向けた正のメニス
カスレンズL1と、正のメニスカスレンズL2と、負のメニ
スカスレンズL3とから成り、第２レンズ群G2が順次像面
側に凸面を向けた負のメニスカスレンズL4と、正のメニ
スカスレンズL5と、両面凸レンズL6とから成り、凸凸凹
−凹凸凸の組み合わせに配置構成されている。なお、第
２レンズL2と第３レンズL3は接合配置されている。
図を第６図に、収差図を第７図に示す。この実施例は、
第１レンズ群G1が順次物体側に凸面を向けた正のメニス
カスレンズL1と、正のメニスカスレンズL2と、負のメニ
スカスレンズL3とから成り、第２レンズ群G2が順次像面
側に凸面を向けた負のメニスカスレンズL4と、正のメニ
スカスレンズL5と、両面凸レンズL6とから成り、凸凸凹
−凹凸凸の組み合わせに配置構成されている。なお、第
２レンズL2と第３レンズL3は接合配置されている。
この実施例では、（f2/f3）＝−1.22、（f5/f4）＝−
2.32になっている。
2.32になっている。
このように構成することで基準倍率における諸収差を
良好に補正している。
良好に補正している。
実施例４ 本実施例のレンズデータを表４に、レンズの配置構成
図を第８図に、収差図を第９図に示す。この実施例は、
第１レンズ群G1が順次物体側に凸面を向けた正のメニス
カスレンズL1と、正のメニスカスレンズL2と、負のメニ
スカスレンズL3とから成り、第２レンズ群G2が順次像面
側に凸面を向けた負のメニスカスレンズL4と、正のメニ
スカスレンズL5と、両面凸レンズL6とから成り、凸凸凹
−凹凸凸の組み合わせに配置構成されている。なお、第
２レンズL2と第３レンズL3は接合配置されている。
図を第８図に、収差図を第９図に示す。この実施例は、
第１レンズ群G1が順次物体側に凸面を向けた正のメニス
カスレンズL1と、正のメニスカスレンズL2と、負のメニ
スカスレンズL3とから成り、第２レンズ群G2が順次像面
側に凸面を向けた負のメニスカスレンズL4と、正のメニ
スカスレンズL5と、両面凸レンズL6とから成り、凸凸凹
−凹凸凸の組み合わせに配置構成されている。なお、第
２レンズL2と第３レンズL3は接合配置されている。
この実施例では、（f2/f3）＝−1.36、（f5/f4）＝−
1.88になっている。
1.88になっている。
このように構成することで基準倍率における諸収差を
良好に補正している。
良好に補正している。
《発明の効果》 以上の説明で明らかなように、本発明に係る投影レン
ズは前記のように構成されているので、下記の効果を奏
する。
ズは前記のように構成されているので、下記の効果を奏
する。
イ．各レンズ群を構成する正レンズ及び負レンズがｇ
線、ｈ線、ｉ線を含む近紫外領域を考慮した硝材で形成
され、フォトレジストの感光波長域における光の透過率
が大幅に向上し、これにより焼付時間の短縮を図ること
ができる。
線、ｈ線、ｉ線を含む近紫外領域を考慮した硝材で形成
され、フォトレジストの感光波長域における光の透過率
が大幅に向上し、これにより焼付時間の短縮を図ること
ができる。
ロ．有効な画面サイズを大きくできる。
ハ．諸収差が大幅に改善され、画質の向上を図ることが
できる。
できる。
第１図はレンズの諸元を示す配置構成図、第２図・第４
図・第６図・第８図はそれぞれ本発明に係る実施例１〜
実施例４を示すレンズの配置構成図、第３図・第５図・
第７図・第９図はそれぞれ実施例１〜実施例４に対応す
るレンズの収差図である。 G1……第１レンズ群、L1……第１レンズ、L2……第２レ
ンズ、L3……第３レンズ、G2……第２レンズ群、L4……
第４レンズ、L5……第５レンズ、L6……第６レンズ、
ng、nh、ni……それぞれｇ線、ｈ線、ｉ線に対する屈折
率、νｈ……分散値、Ti……ｉ線に対する透過率。
図・第６図・第８図はそれぞれ本発明に係る実施例１〜
実施例４を示すレンズの配置構成図、第３図・第５図・
第７図・第９図はそれぞれ実施例１〜実施例４に対応す
るレンズの収差図である。 G1……第１レンズ群、L1……第１レンズ、L2……第２レ
ンズ、L3……第３レンズ、G2……第２レンズ群、L4……
第４レンズ、L5……第５レンズ、L6……第６レンズ、
ng、nh、ni……それぞれｇ線、ｈ線、ｉ線に対する屈折
率、νｈ……分散値、Ti……ｉ線に対する透過率。
Claims (1)
- 【請求項１】物体側から順に第１レンズ群と第２レンズ
群を配置し、 第１レンズ群は順次物体側に凸面を向けた正のメニスカ
スレンズと、物体側に凸面を向けた正のメニスカスレン
ズと、負のレンズとから成り、 第２レンズ群は順次負のレンズと、像面側に凸面を向け
た正のメニスカスレンズと、像面側に曲率半径が小さい
方の凸面を向けた正のレンズとから成り、 硝材のｉ線に対する内部透過率（厚さ10mm）をTiとし、
ｇ線、ｈ線、ｉ線に対する屈折率を、それぞれng、nh、
niとし、 分散値をνｈ＝（nh−１）／（ni−ng）とするとき、 それぞれのレンズが Ti＞90％ 正のレンズが 1.60＜nh＜1.70 45＜νｈ＜52 負のレンズが 1.55＜nh＜1.65 28＜νｈ＜36 を満足する硝材より成るとともに、 物体側から２番目と３番目のレンズが接合配置され、物
体側からそれぞれ２、３、４、５番目のレンズの焦点距
離をf2、f3、f4、f5としたとき、条件式 −1.5＜（f2/f3）＜−1.2 −2.4＜（f5/f4）＜−1.8 を満たすことを特徴とする投影レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1296898A JPH0820596B2 (ja) | 1989-11-14 | 1989-11-14 | 投影レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1296898A JPH0820596B2 (ja) | 1989-11-14 | 1989-11-14 | 投影レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03156413A JPH03156413A (ja) | 1991-07-04 |
| JPH0820596B2 true JPH0820596B2 (ja) | 1996-03-04 |
Family
ID=17839594
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1296898A Expired - Lifetime JPH0820596B2 (ja) | 1989-11-14 | 1989-11-14 | 投影レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0820596B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2894261B2 (ja) * | 1995-11-20 | 1999-05-24 | 日本電気株式会社 | 投影レンズおよびその投影レンズを用いた液晶プロジェクター |
| JP4905653B2 (ja) * | 2006-03-28 | 2012-03-28 | ペンタックスリコーイメージング株式会社 | 中望遠レンズ系 |
| JP5716986B2 (ja) * | 2010-02-25 | 2015-05-13 | 株式会社ニコン | レンズ系及び光学機器 |
| JP5641393B2 (ja) * | 2010-02-25 | 2014-12-17 | 株式会社ニコン | レンズ系及び光学機器 |
| JP7414575B2 (ja) * | 2020-02-21 | 2024-01-16 | キヤノン株式会社 | 光学系、及びそれを用いた撮像装置 |
| CN114296219B (zh) * | 2021-12-29 | 2023-09-12 | 歌尔光学科技有限公司 | 一种投影镜头以及投影仪 |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5212408B2 (ja) * | 1971-08-10 | 1977-04-07 | ||
| JPS564562B2 (ja) * | 1972-06-28 | 1981-01-30 | ||
| JPS5288020A (en) * | 1976-01-16 | 1977-07-22 | Nippon Chemical Ind | Deformed gauss type photographic lens |
| JPS52121318A (en) * | 1976-04-06 | 1977-10-12 | Olympus Optical Co Ltd | Photographic lens of large aperture ratio |
| JPS5443725A (en) * | 1977-09-13 | 1979-04-06 | Olympus Optical Co Ltd | Standard photographic lens |
| JPS55100517A (en) * | 1979-01-26 | 1980-07-31 | Olympus Optical Co Ltd | Gauss type lens |
| JPS5627108A (en) * | 1979-08-10 | 1981-03-16 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Gauss type photographic lens |
| JPS5695206A (en) * | 1979-12-05 | 1981-08-01 | Ricoh Co Ltd | Gauss type lens |
| JPS56107209A (en) * | 1980-01-31 | 1981-08-26 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Photographic lens of large aperture ratio corrected for short distance |
| JPS56114918A (en) * | 1980-02-15 | 1981-09-09 | Canon Inc | Large-diameter lens with easy focusing |
| JPS5786812A (en) * | 1980-11-20 | 1982-05-31 | Olympus Optical Co Ltd | Copying lens |
| JPS58132711A (ja) * | 1982-02-03 | 1983-08-08 | Ricoh Co Ltd | ガウス型拡大結像レンズ |
| JPS5961813A (ja) * | 1982-09-30 | 1984-04-09 | Minolta Camera Co Ltd | ４群６枚のガウス型レンズ |
| JPS59121015A (ja) * | 1982-12-28 | 1984-07-12 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 近距離補正された写真レンズ |
| JPS5990810A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-05-25 | Ricoh Co Ltd | ガウス型レンズ |
| JPS61124913A (ja) * | 1984-11-22 | 1986-06-12 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 変形ガウス型レンズ |
-
1989
- 1989-11-14 JP JP1296898A patent/JPH0820596B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03156413A (ja) | 1991-07-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3819048B2 (ja) | 投影光学系及びそれを備えた露光装置並びに露光方法 | |
| KR100387149B1 (ko) | 투영광학계및이를이용한노광장치 | |
| JP2005519347A (ja) | 最大開口型の投影対物レンズ | |
| JP3823436B2 (ja) | 投影光学系 | |
| JPH116957A (ja) | 投影光学系および投影露光装置並びに投影露光方法 | |
| JPH0534593A (ja) | 縮小投影レンズ | |
| JPH07140384A (ja) | 投影光学系及び投影露光装置 | |
| JP3301884B2 (ja) | リレー光学系 | |
| CN101206300A (zh) | 一种投影光学系统及投影曝光装置 | |
| JPH07128592A (ja) | 縮小投影レンズ | |
| JPH06130291A (ja) | 標準レンズ | |
| JP4491107B2 (ja) | 撮影用レンズ | |
| JP2623620B2 (ja) | ズームレンズ系 | |
| JPH0820596B2 (ja) | 投影レンズ | |
| US5729391A (en) | Microscope objective lens | |
| EP0581585B1 (en) | Catadioptric reduction projection optical system | |
| JP3525599B2 (ja) | 低倍率顕微鏡対物レンズ | |
| JPH08286108A (ja) | カラースキャナー用光学系 | |
| JPH10333030A (ja) | 精密複写レンズ | |
| JP3026648B2 (ja) | 等倍投影レンズ | |
| JPH05188298A (ja) | 反射屈折縮小投影光学系 | |
| JPS6190115A (ja) | 結像用対物レンズ | |
| JPH09222562A (ja) | ズームレンズ | |
| US5847869A (en) | Microscope photography lens system | |
| JPH09281416A (ja) | リレーファインダー光学系 |