JPH03156413A

JPH03156413A - 投影レンズ

Info

Publication number: JPH03156413A
Application number: JP29689889A
Authority: JP
Inventors: Naohisa Hayashi; 尚久林
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1989-11-14
Filing date: 1989-11-14
Publication date: 1991-07-04
Anticipated expiration: 2011-03-04
Also published as: JPH0820596B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）この発明は、フォトリングラフィの分野において、フォ
トレジストを塗布した感材に所要の微細なパターンを焼
き付けるのに使用される投影レンズに関し、殊に近紫外
光で焼き付けるのに適する投影レンズに関するものであ
る。

（従来の技術）この種の投影レンズとしては、従来より例えばステッパ
ーと称する超精密縮小焼付装置に用いられている超精密
投影レンズや、縮写用として用いられる製版用引伸レン
ズがある。

（発明が解決しようとする課題）上記従来の超精密投影レンズは、高解像力を得るために
近紫外領域のうち、例えばｇ線についてのみ諸収差を高
精度で補正したものであるため、下記のような難点があ
る。

イ、フォトレジストの感光波長域は近紫外ないし紫外領
域に及ぶが、上記従来例ではｇ線についてのみ考慮した
ものであるため、ｇ線、ｈ線、ｉ線のうち、ｇ線の輝線
しか使用できず、そのため露光に寄与するエネルギーが
少なく、露光に要する時間も長くなり、焼付効率の低下
を余儀な（されていた。

口、有効な画面サイズが小さい。

一方、上記従来の製版用引伸レンズは、可視光領域を考
慮した製版用レンズであるため、有効な画面サイズは大
きく、可視光領域における諸収差を高精度で補正したも
のであるが、下記のような難点がある。

ハ、近紫外領域の透過率が低いうえ、解像力も低い。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、上記
難点イ〜ハを解決することを技術課題とする。

く課題を解決するための手段〉本発明は上記課題を解決するものとして以下のように構
成される。

即ち、物体側から順に第１レンズ群と第２レンズ群を配
置し、第１レンズ群は順次物体側に凸面を向けた正のメニスカ
スレンズと、物体側に凸面を向けた正のメニスカスレン
ズと、負のレンズとから成り、第２レンズ群は順次負の
レンズと、像面側に凸面を向ケた正のメニスカスレンズ
と、像面側に曲面半径が小さい方の凸面を向けた正のレ
ンズとから成り、硝材のｉ線に対する内部透過率（厚さ
１０ｍｍ）をＴｉとじ、ｇ線、ｈ線、ｉ線に対する屈折
率を、それぞれｎｇ、ｎｈｓｎＬとし、分散値をｖｈ＝
　（ｎｈ　１）／　（ｎｉ−ｎｇ）とするとき、それぞ
れのレンズが　Ｔｔ＞９０％正のレンズが　１．６０　＜　ｎ　ｈ＜　１．７０４５
〈シフ〈５２負のレンズが　１．５５　＜　ｎ　ｈ＜　１．６５２８
〈νゎ〈３６を満足する硝材より成ることを特徴とするものである。

つまり、本発明では第１レンズ群及び第２レンズ群が、
ガウスタイプのレンズ構成であり、各レンズ群を構成す
る正レンズと負レンズが上記のようにｇ線、ｈ線、ｉ線
の近紫外領域を考慮し、ｉ線に対する内部透過率（厚さ
１０＋ｎｎ＋のとき）が９０％以上となる硝材で形成さ
れる。

（作　用）本発明では、第１レンズ群及び第２レンズ群が、ガウス
タイプのレンズ構成であり、口径比・画角ともに大きく
とれる。

即ち、第１図に示すように、中央の向かい合う凹面ｒ６
・ｒ７では、光線高が低いのでこれらの面のパワーを強
くでき、その結果ペッツバール和が小さくなり、画角が
大きくなる。同時にこれらの凹面はサジタル・コマ収差
の原因にも成りかねないが、この点については以下のよ
うにして補正している。

即ち、コマ収差、湾曲収差をはじめとする諸収差を補正
する上で、正のレンズを構成する硝材の屈折率はなるべ
く高いほうが一般的に望ましいが、ｉ線についても高い
透過率を確保するには用いられる硝材が限定され、あま
り屈折率の高い硝材を使うことができない。従って、前
記の条件に適合する硝材を選択することになるが、この
場合、第２レンズＬ、と第３レンズＬ３との合成系、及
び第４レンズＬ４と第５レンズＬ、との合成系をメニス
カスレンズ、あるいはそれと等価にし、かつ第２レンズ
Ｌ、と第３レンズＬ、との合成系、及び第４レンズＬ４
と第５レンズＬ、との合成系のパワーを小さくすること
によりサジタル・コマ収差と非点収差を補正している。

なお、前記硝材の分散値ν、の範囲と、上記パワーを小
さくすることを意図したことから、（ｆ　、／　ｆ　３
）、（ｆ　、／　ｆ　、）の値に制限が加わる。

これにより水銀ランプを使用する場合の、フォトレジス
トの感光波長域内の主要輝線であるｇ線（４３５，８３
ｎｍ）、ｈ線（４０４，６６ｎｍ）、ｉ線（３６５，Ｏ
ｌｎｍ）に対する透過率、色収差等を改善している。以
上の構成をとることにより、投影レンズは有効画面サイ
ズが大きく、解像力が高く、全体の透過率も向上する。

（実　施　例）以下、本発明に係る投影レンズの実施例をレンズデータ
表（表１〜表１６）と、レンズの配置構成図及び諸収差
を示す図（第１図〜第３２図）とによって例示する。

各レンズデータ表中のｆは全系の焦点距離、Ｙは像高（
画面サイズ）、Ｆは実効Ｆナンバー、ｍは基準倍率、Ｔ
ｉはｉ線に対する各硝材の内部透過率（厚さ１０ｍｍ）
を示し、ｒ、ｃｌ、ｎｇνｈは第１図中の各符号に対応
し、それぞれ、曲率半径、レンズの中心厚（面間距離）
、屈折率、分散値を示す。また、ｎ　ｔ−ｎ　ｈ、　ｎ
　ｓはそれぞれｇ線、ｈ線、ｉ線、ζこ対する屈折率、
ν１は次式で規定する分散値をしめす。

ν、−（ｎｈ−１）／　（ｎｇ−ｎｔ）なお、以下のす
べての実施例では基準倍率ｍを−（１／２）、実効Ｆナ
ンバを５．６、最大像高Ｙを３１．５となるように設定
されている。

また、後述の実施例１〜実施例４では、貼り合わせ面を
有しない６枚構成のものについて例示し、第２レンズＬ
３、第３レンズＬ５、第４レンズＬ４、及び第５レンズ
Ｌ、の焦点距離をそれぞれｆ　、、　ｆ　、。

ｆ、、ｆ、とするとき、 −２，０＜　（ｆ、／ｆ、）　＜−１，３１，８＜　（
ｆ、／ｆ、）　＜−１，５を満たすように構成されてい
る。

また、後述の実施例５〜実施例８では、第４レンズＬ４
と第５レンズＬ、を接合配置、した６枚構成のものにつ
いて例示し、第２レンズＬ７、第３レンズＬ５、第４レ
ンズＬ４、及び第５レンズＬ、の焦点距離をそれぞれｆ
、、ｆ、、ｆ、、ｆ、とするとき、−２，１＜　（ｆ！
／ｆり　＜−１，５−１，４＜　（ｆ、／ｆ、）　＜−
１，２を満たすように構成されている。

また、後述の実施例９〜実施例１２では、第２レンズＬ
、と第３レンズＬ、を接合配置した６枚構成のものにつ
いて例示し、第２レンズｌ　ｔ、第３レンズＬＳ、第４
レンズＬ　４、及び第５レンズＬ。

の焦点距離をそれぞれｆ、、ｆ、、ｆ、、ｆ、とすると
き、　　−１，５＜　（ｆ、／ｆ、）　＜−１，２−２
，４＜　（ｆ、／ｆ、）＜−１，８を満たすように構成
されている。

さらに、後述の実施例１３〜実施例１６では、第２レン
ズし、と第３レンズＬ、を接合配置するとともに、第４
レンズＬ４と第５レンズＬ、を接合配置した６枚構成の
ものについて例示し、第２レンズＬ２、第３レンズＬ８
、第４レンズＬ４、及び第５レンズＬ、の焦点距離をそ
れぞれｆ、、ｆ、、ｆ、。

ｆ、とするとき、 −１，６＜　（ｆ　ｔ／ｆｓ）　＜−１，３−１，５＜
　（ｆ　６／ｆ　、）　＜−１，３を満たすように構成
されている。

一方、レンズ特性を示す図（第２図〜第３２図）は、実
施例１〜実施例１６に対応するもので、球面収差、非点
収差及び歪曲収差を示す３種のグラフＡ、Ｂ、Ｃを含む
。そして、球面収差Ａのグラフにおいては、横軸に収差
量を、縦軸にＦナンバーをとり、それぞれｇ線、ｈ線、
ｉ線に対する球面収差曲線ｇｓｈＳ　ｌを示している。

なお、非点収差を示すグラフＢにおいてＳはサジタル像
面を、Ｍはメリディオナル像面を示し、歪曲収差を示す
グラフＣと同様に、ｈ線についての収差を示している。

歪曲収差を示すグラフについてあらかじめ注釈を加えて
おくと、これらのグラフは第２図から第３２図までの１
６種の実施例すべてについて、すべての像高にわたって
歪曲収差が実質上ゼロであることを示している。

以下余白。

実施例１本実施例のレンズデータを表１に、レンズの配置構成図
を第１図に、収差図を第２図に示す。

この実施例は、第１レンズ群Ｇ、が順次物体側に凸面ヲ
向けた正のメニスカスレンズＬｌと、物体側に凸面を向
けた正のメニスカスレンズＬ、と、物体側に凸面を向け
た負のメニスカスレンズし。

とから成り、第２レンズ群Ｇ、が順次負のレンズＬ４と
、像面側に凸面を向けたメニスカスレンズＬ、と、両凸
レンズＬ６とから成り、サジタル・コマ収差と非点収差
を小さ（し、かつｇ線、ｈ線、ｉ線の色消しをなすよう
に、凸凸凹−凹凸凸の組み合わせに配置構成されている
。

この実施例では、（ｔ　、／ｆ＊）　＝−１，９５、（
ｆ、−／ｆ、）＝−１，７５になっている。

このように構成することで基準倍率における諸収差を良
好に補正している。

以下余白。

表１ｆ＝９３．０２　　Ｙ＝：１１．５Ｆ　＝５．６　　　ｍ＝−０，５ｒ　　　　　　ｄ　　　　　ｎｈ　　　　　νｈ　Ｔｉ
（％）４４．０００　　　　ｇ、７５　　１．６３６７
？　　　４５．５　　９５．０５０２、０００２７．４３０Ｂ７．４５０１２７、４００１Ｂ、７３０２９、５３０３４２、０００ −１６１．７００３７、２７４２１３．０００４６．１０００．１０１０．２５０．６２２．００３１、０５６．８０２９０６．２００．１０９．７５１、６２８５６１、６３４２６１、６３４２６１、６３７７４１、６３７７４４７．２２８．２２８．２５１．２５１．２９４．１９６．３９６．３９２．０９２．０実施例２本実施例のレンズデータを表２に、レンズの配置構成図
を第３図に、収差図を第４図に示す。

この実施例は、第１レンズ群Ｇ１が順次物体側に凸面向
けた正のメニスカスレンズＬ、と、物体側に凸面を向け
た正のメニスカスレンズＬ、と、物体側に凸面を向けた
負のメニスカスレンズし。

とから成り、第２レンズ群Ｇ！が順次負のメニスカスレ
ンズＬ４と、像面側に凸面を向けたメニスカスレンズし
、と、両凸レンズＬ６とから成り、凸凸凹−凹凸凸の組
み合わせに配置構成されている。

この実施例では、（ｆｔ／ｆｓ）　−−１，６８、（ｆ
、／ｆ、）＝−１，７３になっている。

以下余白。

表２ｆ　＝８８．６９Ｙ＝３１．５Ｆ　＝５．６ｍ＝−０，５ｒ　　　　　　ｄ　　　　　ｎｈ　　　　　シｈＴバ％
）５３．３９０　　　６．６０　　１．６７０３９　　
４９．６　　９４．３７１８、ＱＱＱ３３、３００９８、７００１４０、７００２２、３００ −２１．４００ −３１６．０００１０８、　Ｇｏ。

−３１，８９０３２２、０００ −５２，２２００，１０８，９０１，２０４，００ａｏ、　ｏ。

４．５００．７７７．２００．１０７．２５１、６７０３９１、６３４２６Ｌ、　６ａ４２８１．６８９１１１、６９８７１４９．６９４．３２８．２９６．３２８．２９６．３４８．２９２．３４６．２９３．３以下余白。

実施例３本実施例のレンズデータを表３に、レンズの配置構成図
を第５図に、収差図を第６図に示す。

この実施例は、第１レンズ群Ｇ、が順次物体側に凸面向
けた正のメニスカスレンズＬ１と、物体側に凸面を向け
た正のメニスカスレンズＬ、と、物体側に平面を向けた
負のレンズＬ３とから成り、第２レンズ群Ｇ、が順次像
面側に凸面を向けた負のメニスカスレンズＬ４と、正の
メニスカスレンズＬ５、及びり、とから成り、凸凸凹−
凹凸凸の組み合わせに配置構成されている。

この実施例では、（ｆ、／ｆ、）＝−１，３９、（ｆｓ
／ｆ、）＝−１，５９になっている。

以下余白。

表３ｆ　＝８７．５５Ｙ＝３１．５Ｆ＝５．６ｍ＝−０，５ｒ　　　　　　ｄ　　　　　ｎｈ　　　　　νｈ　　’
ｒ−（％）５４．０７０　　　５．６０　　１．６７０
３９　　４９．６　　９４．３２４０．０００３１、５２０５０６、０００２２、５７０ −１８．３１０１６６、０００ −１（１９，０００２８、７４０１３００、０００ −４５，３２０６，００１０、４０１，１０２、００２７、５０３，０００，４０６，５５０，１０６，８０１、６７０３９１、６３１７７１、６０３１４１、６８９７７１、６９８７１４９，６９４，３８４９５，９３１，５７１４８，２９２，３４６，２９３，３実施例４本実施例のレンズデータを表４に、レンズの配置構成図
を第７図に、収差図を第８図に示す。

この実施例は、第１レンズ群Ｇ、が順次物体側に凸面向
けた正のメニスカスレンズＬ１と、正のメニスカスレン
ズし、と、負のレンズＬ、とから成り、第２レンズ群Ｇ
、が順次像面側に凸面を向けた負のメニスカスレンズＬ
４と、正のメニスカスレンズし、と、両面凸レンズＬ６
とから成り、凸凸凹−凹凸凸の組み合わせに配置構成さ
れている。

この実施例では、（ｆ、／ｆ、）＝−１，６８、（ｆ、
／ｆ、）＝−１，７８になっている。

以下余白。

表４ｆ　＝８８．９３Ｙ＝３１．５Ｆ　＝５．６ｍ＝−０，５ｒ　　　　　　ｄ　　　　　ｎ　ｈ　　　　ｖ　ｈ　　
　Ｔ　ｒ　（％）５２．１５６　　　６．７０　　１．
６７０３９　　４９．６　　９４Ｊ８３７、０００３２、９３４１０３、５００１４９、０００２１、８５０ −２１．４００３９２、０００１１３．０００３２、４７６３２３０００５０、３２８０．９０６．８５１．２５５．８０２９、４０５．７００．８５６、０００．１０７．５５１、６７０３９１、６３１７７１．６３１７７１、６８９７７１、６９８７１４９．６９４．３２８．４９５．９２８．４９５．９４８．２９２．３４６．２９３．３以下余白。

尤皇烈５本実施例のレンズデータを表５に、レンズの配置構成図
を第９図に、収差図を第１０図に示す。

この実施例は、第１レンズ群Ｇ１が順次物体側に凸面向
けた正のメニスカスレンズＬ、と、正のメニスカスレン
ズＬ、と、負のメニスカスレンズＬ、とから成り、第２
レンズ群Ｇ、が順次像面側に凸面を向けた負のメニスカ
スレンズＬ４と、正のメニスカスレンズＬ、と、両面凸
レンズＬ８とから成り、凸凸凹−凹凸凸の組み合わせに
配置構成されている。なお、第４レンズＬ４と第５レン
ズＬ５は接合配置されているこの実施例では、（ｆｔ／ｆ３）＝−１，８５、（ｆ、
／ｆ４）　＝−１，２２になっている。

以下余白。

表５ｆ　＝８６．７２Ｙ＝３１．５Ｆ＝５．６ｍ＝−０，５ｒ　　　　　ｄ　　　　　ｎｈ　　　　Ｉ’、　　’ｒ
ｔ（％）３Ｂ、’／２Ｂ　　　　７．７５　　１．６３
６７７　　４５．５　　９５．０２７４、０００２５、２００７６、２９０１０２、０００１Ｂ、　２００ −２５．８８０ −１４６．０００ −１４６．０００３２．０００３５６０００ −８５．２１８０．１０７．１００．４０３．００２５、９０ｔｏ、　７５０．００７．１００．１０４．８５１、６２１１１５６１、６３４２６１６３４２６１、６３７７４１、６３７７４４７．２９４．１２８．２９６．３２８．２９６．３５１．２９２．０５１．２９２．０以下余白。

Ｋ塁男６本実施例のレンズデータを表６に、レンズの配置構成図
を第１１図に、収差図を第１２図に示す。

この実施例は、第１レンズ群Ｇ、が順次物体側に凸面向
けた正のメニスカスレンズＬＩと、正のメニスカスレン
ズＬ、と、負のメニスカスレンズＬ３とから成り、第２
レンズ群Ｇ、が順次像面側に凸面を向けた負のメニスカ
スレンズＬ、と、正のメニスカスレンズＬ、と、平凸レ
ンズＬ８とから成り、凸凸凹−凹凸凸の組み合わせに配
置構成されている。なお、第４レンズＬ４と第５レンズ
Ｌ、は接合配置されているこの実施例では、（ｆ、／ｆ、）＝−２，０５、（ｆ、
／ｆ、）＝−１，２６になっている。

以下余白。

表６ｆ　＝８４．０７Ｙ＝３１．５Ｆ　＝５．６ｍ＝−０，５ｒｄ　　　　　　ｎｈ　　　　　Ｉ／ｈ　　Ｔ＋（％）
４９．０００　　　６．２５　　１．６７０３９　　４
９．６　　９４．３６７０、０００３１、５５０８６．１１０１１４．０００２０、４００ −２２．００００．１０９．８０１．１５２．００２５、５０２．００１．６７０３９１、６３４２６１、６３４２６ −２９．１０００．１０４．６５１、６９８７１ −６１．０００４９．６９４．３２８．２９６．３２８．２６３４６．２９３．３以下余白。

Ｘ度創７本実施例のレンズデータを表７に、レンズの配置構成図
を第１３図に、収差図を第１４図に示す。

この実施例は、第１レンズ群Ｇ１が順次物体側に凸面向
けた正のメニスカスレンズＬ１と、正のメニスカスレン
ズＬ、と、負のメニスカスレンズし、とから成り、第２
レンズ群Ｇ、が順次像面側に凸面を向けた負のメニスカ
スレンズＬ４と、正のメニスカスレンズＬ、と、正のメ
ニスカスレンズＬ６とから成り、凸凸凹−凹凸凸の組み
合わせに配置構成されている。なお、第４レンズＬ４と
第５レンズＬ、は接合配置されているこの実施例では、（ｆｔ／ｆ、）＝−１，５１、（ｆ、
／ｒ、）＝−ｔ、３０　　になっている。

以下余白。

ｆ　＝８４．８１５６、９００２５４、０００３２、９２０２６２、０００５３５、０００２２、１６０ −１７．８７２９２、９５０９２、９５０２５、１４０ −６１２．０００ −５１．９００以下余白。

表７Ｙ＝３１．５Ｆ　＝５．６ｍ＝−０，５ｄ　　　　　　ｎｈ　　　　　νｈ　Ｔ□（％）５．０
０　　１．６７０３９　　４９．６　　９４．３４、１
０８．５５１．７０４．７０２５、１０２、０００．００６．６５０．１０５．３０１、６７０３９１、６３１７７１、６０３１４１、６８９７７１、６９８７１４９．６９４．３２８．４９５．９３１．５９７．１４８．２９２．３４６．２９３．３実施例８本実施例のレンズデータを表８に、レンズの配置構成図
を第１５図に、収差図を第１６図に示す。

この実施例は、第１レンズ群Ｇ１が順次物体側に凸面向
けた正のメニスカスレンズし、と、正のメニスカスレン
ズＬ、と、負のメニスカスレンズＬ３とから成り、第２
レンズ群Ｇ、が順次像面側に凸面を向けた負のメニスカ
スレンズし４と、正のメニスカスレンズＬ、と、平凸レ
ンズＬ、とから成り、凸凸凹−凹凸凸の組み合わせに配
置構成されている。なお、第４レンズＬ４と第５レンズ
Ｌ、は接合配置されているこの実施例では、（ｆ、／ｆ、）＝−２，０４、（ｆ、
／　ｆ、）　＝−１，７０になっている。

以下余白。

表８ｆ　＝８４．２０Ｙ＝３１．５Ｆ　＝５．６ｍ＝−０，５ｒ　　　　　　ｄ　　　　　　ｎｈ　　　　　Ｉ／ｂＴ
ｔ（％）４ｇ、３８０　　　６．４０　　１．６７０３
９　　４９．６　　９４．３６５０、０００３１、７１６６８、９０Ｇ１２０．００００２９０２２、２７０１０７、０００ −１１）７．０００ −２９．６５４ −６１．２８２０．１０９．１０１．２０２．７０２５、４５２．０００．００９．０００．１０４．６５１、６７０３９１、６３１７７１、６３１７７１、６１１９７７１、６９８７１４９．６９４．３２８．４９５．９２８．４９５．９４８．２２３４６．２９３．３以下余白。

Ｘ貴男９本実施例のレンズデータを表９に、レンズの配置構成図
を第１７図に、収差図を第１８図に示す。

この実施例は、第１レンズ群Ｇ、が順次物体側に凸面向
けた正のメニスカスレンズし、と、正のメニスカスレン
ズし、と、負のメニスカスレンズし、とから成り、第２
レンズ群Ｇ、が順次像面側に凸面を向けた負のメニスカ
スレンズＬ４と、正のメニスカスレンズＬ、と、両面凸
レンズＬ８とから成り、凸凸凹−凹凸凸の組み合わせに
配置構成されている。なお、第２レンズＬ、と第３レン
ズＬ。

は接合配置されているこの実施例では、（ｆ、／ｆ、）＝−１，４４、（ｆ、
／ｆ、）＝−２，００になっている。

以下余白。

表９ｆ　＝８６．５０Ｙ＝３１．５Ｆ　＝５．６ｍ＝−０，５ｒ　　　　　　ｄ　　　　　　ｎｈ　　　　　ｖｈ　　
Ｔｒ（％）５３．１００　　　５．８５　　１．６３６
７７　　４５．５　　９５．０４５０、０００２３、２７６４４、２７３４４、２７３１７、７８３２１、９３５ −１２５０．０００９０、２６０ −３１．２４６３２２、０００４５、８６１０．１０６．５００．００２．００３０、１０２．００１．４７ｔｏ、　ｏ。

０．１０７．３０１、６２８５６１、６３４２６１、６３４２６１、６３７７４１、６３７７４４７．２９４．１２８゜２９６．３２８．２９６．３５１．２９２．０５１．２９２．０以下余白。

Ｘ貴男１０本実施例のレンズデータを表１０に、レンズの配置構成
図を第１９図に、収差図を第２０図に示す。この実施例
は、第１レンズ群Ｇ１が順次物体側に凸面向けた正のメ
ニスカスレンズし、と、正のメニスカスレンズＬ、と、
負のメニスカスレンズＬ、とから成り、第２レンズ群Ｇ
、が順次像面側に凸面を向けた負のメニスカスレンズし
、と、正のメニスカスレンズＬ、と、両面凸レンズＬ、
とから成り、凸凸凹−凹凸凸の組み合わせに配置構成さ
れている。なお、第２レンズＬｔと第３レンズＬ、は接
合配置されているこの実施例では、（ｆｔ／ｆ、）＝−１，３６、（ｆ、
／　ｆ、）＝−１，８６になっている。

以下余白。

表１０ｆ　＝８６．４８Ｙ＝３１．５Ｆ＝５．６ｍ＝−０，５ｒ　　　　　ｄ　　　　　ｎｈ　　　　Ｉ／ｈ　　Ｔｔ
（％）６３．４３０　　５．ＩＱ　　　１．６７０３９
　　４９．６　　９４．３４７２、０００３１、４００９３、５００９３、５００２２、８７０１９、７１０ −２４０．０００８８、３６０３０、１６５６００、０００４６、４８５０．１０６．１００．００８．００２８、２０４．０００゜８０６．３５０．７０７．２５１　６７０３９１、６３４２６１、６３４２６１、６８９７７１、６９８７１４９．６９４．３２８．２９６．３８２６３４８．２９２．３６２９３．３以下余白。

本実施例のレンズデータを表１１に、レンズの配置構成
図を第２１図に、収差図を第２２図に示す。この実施例
は、第１レンズ群Ｇ１が順次物体側に凸面向けた正のメ
ニスカスレンズＬ、と、正のメニスカスレンズし、と、
負のメニスカスレンズＬ３とから成り、第２レンズ群Ｇ
、が順次像面側に凸面を向けた負のメニスカスレンズＬ
４と、正のメニスカスレンズし、と、両面凸レンズＬ６
とから成り、凸凸凹−凹凸凸の組み合わせに配置構成さ
れている。なお、第２レンズＬｔと第３レンズＬ３は接
合配置されているこの実施例では、（ｆ、／ｆ、）＝−１，２２、（ｆ、
／ｆ、）＝−２，３２になっている。

以下余白。

表１１ｆ　＝８４．４５Ｙ＝３１．５Ｆ　＝５．６ｍ＝−０，５ｒ　　　　　　ｄ　　　　　　ｎｈ　　　　　Ｉ／ｈ　
　Ｔｚ（％）５２．２５０　　　５．ＯＱ　　　１．６
７０３９　　４９．６　　９４．３２１７、０００２２、８００６３．０００６３、０００１ｇ、　２３０ −１９．２３０２８７、０００ −７６、０００３２、７３８１５２０、０００ −３９．３４１９．２５５．６００．００２．００３８５４．２５０．９１４．６５０．１０６．７５１、６７０３９１、８３１７７１、６０３１４１、６８９７７１６９８７１４９．６９４．３２８．４９５．９３１．５９７．１４８．２９２．３４６．２９３．３以下余白。

Ｘ廊遭１２本実施例のレンズデータを表１２に、レンズの配置構成
図を第２３図に、収差図を第２４図に示す。　この実施
例は、第１レンズ群Ｇ、が順次物体側に凸面向けた正の
メニスカスレンズＬ１と、正のメニスカスレンズし、と
、負のメニスカスレンズＬ３とから成り、第２レンズ群
Ｇ、が順次像面側に凸面を向けた負のメニスカスレンズ
し４と、正のメニスカスレンズし、と、両面凸レンズＬ
６とから成り、凸凸凹−凹凸凸の組み合わせに配置構成
されている。なお、第２レンズＬ！と第３レンズし、は
接合配置されているこの実施例では、（ｆ、／ｆ、）＝−１，３６、（ｆ、
／ｆ、）＝−１，８８になっている。

以下余白。

表１２ｆ　＝８６．２８Ｙ＝３１．５Ｆ　＝５．６ｍ＝−０，５ｒ　　　　　　ｄ　　　　　　ｎｈ　　　　　Ｊ／ｈＴ
ｔ（％）６２．７ｇ６　　　５．１０　　１．６７０３
９　　４９．６　　９４．３４４４、０００３１、３７６９８、９００９８．９００２２、６７６ −１９．８２０ −２５３．５００ −９０．９００３０　５９０５９０．０００ −４６．１９５０．１０６．２００．００８．００２７、７０４．８００．８１５．６００．７５７．００１、８７０３９１、６３１７７１、６３１７７１、６８９７７１、６９８７１４９．６９４．３２８．４９５．９２８．４９５．９４８．２９２．３４６．２３３以下余白。

Ｋ塵泗１３本実施例のレンズデータを表１３に、レンズの配置構成
図を第２５図に、収差図を第２６図に示す。この実施例
は、第１レンズ群Ｇ１が順次物体側に凸面向けた正のメ
ニスカスレンズＬ１と、正のメニスカスレンズし、と、
負のメニスカスレンズし、とから成り、第２レンズ群Ｇ
２が順次像面側に凸面を向けた負のメニスカスレンズＬ
４と、正のメニスカスレンズＬ、と、正のメニスカスレ
ンズＬ０とから成り、凸凸凹−凹凸凸の組み合わせに配
置構成されている。なお第２レンズＬ、と第３レンズＬ
　３、第４レンズＬ４と第５レンズＬ５はそれぞれ接合
配置されているこの実施例では、（ｆ、／ｆ３）＝−１，５８、（ｆ、
／ｆ、）＝−１，４１になっている。

以下余白。

表１３ｆ　＝８３．５３Ｙ＝３１．５Ｆ　＝５．６ｍ＝−０，５ｒ　　　　　　ｄ　　　　　　ｎ＋、　　　　　ｖｈ　
　　Ｔｉ＋（％）３９、ｇ３０　　　６．２０　　１．
６３６７７　　４５．５　　９５．０１５８．０００２３、０５０５７、２１０５？、　２１０１６、１３０ −２１．３７０ −７４．４７０７４、４７０９０６０ −１１８００００ −５８．０８００．１０７．０００．００２．００２３．９０２．００００１１．９００．１０４．４０１、６２８５６１、６３４２６１、８３４２６１、６３７７４１、６３７７４４７．２９４．１２８．２６３２８．２６３５１．２９２．０５１．２９２．０以下余白。

実施例１４本実施例のレンズデータを表１４に、レンズの配置構成
図を第２７図に、収差図を第２８図に示す。この実施例
は、第１レンズ群Ｇ１が順次物体側に凸面向けた正のメ
ニスカスレンズＬ１と、正のメニスカスレンズＬ、と、
負のメニスカスレンズし、とから成り、第２レンズ群Ｇ
、が順次像面側に凸面を向けた負のメニスカスレンズＬ
４と、正のメニスカスレンズＬｓト、正のメニスカスレ
ンズし、とから成り、凸凸凹−凹凸凸の組み合わせに配
置構成されている。なお第２レンズＬ、と第３レンズＬ
３、第４レンズＬ４と第５レンズＬ５はそれぞれ接合配
置されているこの実施例では、（ｆ、／ｆ３）＝−１゜４７、（ｆ　
、／ｆ、）　＝−１，４２になっている。

このように構成することで基準倍率における諸収差を良
好、に補正している。

以下余白。

表１４ｆ　＝８３．１８Ｙ＝３１．５Ｆ　＝５．６ｍ＝−０，５ｒ　　　　　　ｄ　　　　　　ｎｈ　　　　　ｌ／ｈ　
　Ｔ＋（％）５５．０００　　　４．５０　　１．６７
０３９　　４９．６　　９４．３２１２．０００３０　１５０９０．３６０９０、３６０２０．６００１７．４００５０、４４７ −５０４４７２４、０００２５２．０００ −４５．６０００．１０１２．０００．００２．３５２４、３５２、０００．００５．７００．１０８．２０１、６７０３９１、６３４２６１、６３４２６１、６８９７７１、６９８７１４９．６９４．３２８．２９６．３８２６３４８．２９２．３４６．２９３．３以下余白。

割貴男１５本実施例のレンズデータを表１５に、レンズの配置構成
図を第２９図に、収差図を第３０図に示す。この実施例
は、第１レンズ群Ｇ、が順次物体側に凸面向けた正のメ
ニスカスレンズＬ１と、正のメニスカスレンズし、と、
負のメニスカスレンズＬ、とから成り、第２レンズ群Ｇ
、が順次像面側に凸面を向けた負のメニスカスレンズＬ
４と、正のメニスカスレンズＬ、と、正のメニスカスレ
ンズＬ６とから成り、凸凸凹−凹凸凸の組み合わせに配
置構成されている。なお第２レンズＬ、と第３レンズＬ
３、第４レンズＬ４と第５レンズＬ、はそれぞれ接合配
置されているこの実施例では、（ｆ、／ｆ、）＝−１，３９、（ｆ、
／ｆ、）＝−１，３３になっている。

以下余白。

表１５ｆ　＝８３．４２Ｙ＝３１．５Ｆ　＝５．６ｍ＝−０，５ｙ　　　　　　ｄ　　　　　　ｎｈ　　　　　νｈＴ＋
（％）５５．９４０　　　４．５５　　１．６７０３９
　　４９．６　　９４Ｊ２０７　０００２８、６２７９８゜７００９ｇ、　７００２０．２９０１７、２５６９７、２００ −９７．２００ −２４，７４２ −２０１．０００４５、３８６４．００１０、９００．００２．００３９０２．０００．００６．０００．１０８．００１、６７０３９１、６３１７７１、６０３１４１、６８９７７１．６９８７１４９．６９４．３２８．４９５．９３１．５９７、■ ４８．２９２．３４６．２９３．３以下余白。

塞奥１１６本実施例のレンズデータを表１６に、レンズの配置構成
図を第３１図に、収差図を第３２図に示す。この実施例
は、第１レンズ群Ｇ、が順次物体側に凸面向けた正のメ
ニスカスレンズＬ１と、正のメニスカスレンズＬ、と、
負のメニスカスレンズＬ３とから成り、第２レンズ群Ｇ
、が順次像面側に凸面を向けた負のメニスカスレンズＬ
４と、正のメニスカスレンズし、と、正のメニスカスレ
ンズＬ８とから成り、凸凸凹−凹凸凸の組み合わせに配
置構成されている。なお、第２レンズＬ、と第３レンズ
Ｌ３、第４レンズＬ４と第５レンズＬ。

はそれぞれ接合配置されているこの実施例では、（ｆ、／ｆ、）＝−１，４６、（ｆ、
／ｆ、）　＝−１，４０になっている。

以下余白。

表１６ｆ　二８３．１９Ｙ＝３１．５Ｆ＝５．６ｍ＝−０，５ｒ　　　　　　ｄ　　　　　　ｎｈ　　　　　Ｉ／ｈ　
　Ｔ＋（％）５５．１７０　　　４．５０　　１．６７
０３９　　４９．６　　９４．３２１２、０００３０、４００９６、７００９６、７０００６５０ −１７．３５０５２、４００５２、４００２３．９００ −２５０．０００ −４５．６２３０．１０１２．０００．００２．５５２４、２５２．０００．００５．６０１０８゜６０１、６７０３９１、６３１７７１、６３１７７１、６８９７７１、６９８７１以下余白。

４９．６９４．３２８．４９５．９２８．４９５．９４８．２９２．３４６．２９３．３〈発明の効果〉以上の説明で明らかなように、本発明に係る投影レンズ
は前記のように構成されているので、下記の効果を奏す
る。

イ、各しンズ群を構成する正レンズ及び負レンズがｇ線
、ｈ線、ｉ線を含む近紫外領域を考慮した硝材で形成さ
れ、フォトレジストの感光波長域における光の透過率が
大幅に向上し、これにより焼付時間の短縮を図ることが
できる。

口、有効な画面サイズを大きくできる。

ハ、諸収差が大幅に改善され、画質の向上を図ることが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図・第３図・第５図・第７図・第９図・第１１図・
第１３図・第１５図・第１７図・第１９図・第２１図・
第２３図・第２５図・第２７図・第２９図・第３１図は
それぞれ本発明に係る実施例１〜実施例１６を示すレン
ズの配置構成図、第２図・第４図・第６図・第８図・第
１０図・第１２図・第１４図・第１６図・第１８図・第
２０図・第２２図・第２４図・第２６図・第２８図・第
３０図・第３２図はそれぞれ実施例１〜実施例１６に対
応するレンズの収差図である。Ｇ、・・・第１レンズ群、Ｌｌ・・第１レンズ、Ｌ、・
・・第２レンズ、Ｌ３・・・第３レンズ、Ｇ、・・・第
２レンズ群、Ｌ４・・・第４レンズ、Ｌｓ・・・第５レ
ンズ、Ｌ、・・第６レンズｎｇ、ｎｈ）　ｎｔ・・・それぞれｇ線、ｈ線、ｉ線に
対する屈折率、ν９・・・分散値、Ｔｉ・・・ｉ線に対
する透過率。

Claims

【特許請求の範囲】１、物体側から順に第１レンズ群と第２レンズ群を配置
し、第１レンズ群は順次物体側に凸面を向けた正のメニスカスレンズと、物体側に凸面を向けた正のメ
ニスカスレンズと、負のレンズとから成り、第２レンズ群は順次負のレンズと、像面側に凸面を向けた正のメニスカスレンズと、像面側に曲率
半径が小さい方の凸面を向けた正のレンズとから成り、硝材のｉ線に対する内部透過率（厚さ１０ｍｍ）をＴ＿
ｉとし、ｇ線、ｈ線、ｉ線に対する屈折率を、それぞれ
ｎ＿ｇ、ｎ＿ｈ、ｎ＿ｉとし、分散値をν＿ｈ＝（ｎ＿
ｈ−１）／（ｎ＿ｉ−ｎ＿ｇ）とするとき、それぞれのレンズがＴ＿ｉ＞９０％正のレンズが１．６０＜ｎ＿ｈ＜１．７０４５＜ν＿ｈ＜５２負のレンズが１．５５＜ｎ＿ｈ＜１．６５２８＜ν＿ｈ＜３６を満足する硝材より成ることを特徴とする投影レンズ２、物体側からそれぞれ２、３、４、５番目のレンズの
焦点距離をｆ＿２、ｆ＿３、ｆ＿４、ｆ＿５としたとき
、条件式 −２．０＜（ｆ＿２／ｆ＿３）＜−１．３ −１．８＜（ｆ＿５／ｆ＿４）＜−１．５を満たす請求項１に記載した投影レンズ３、物体側から４番目と５番目のレンズが接合配置され
、物体側からそれぞれ２、３、４、５番目のレンズの焦
点距離をｆ＿２、ｆ＿３、ｆ＿４、ｆ＿５としたとき、
条件式 −２．１＜（ｆ＿２／ｆ＿３）＜−１．５ −１．４＜（ｆ＿５／ｆ＿４）＜−１．２を満たす請求項１に記載した投影レンズ４、物体側から２番目と３番目のレンズが接合配置され
、物体側からそれぞれ２、３、４、５番目のレンズの焦
点距離をｆ＿２、ｆ＿３、ｆ＿４、ｆ＿５としたとき、
条件式 −１．５＜（ｆ＿２／ｆ＿３）＜−１．２ −２．４＜（ｆ＿５／ｆ＿４）＜−１．８を満たす請求項１に記載した投影レンズ５、物体側から２番目と３番目、４番目と５番目のレン
ズが接合配置され、物体側からそれぞれ２、３、４、５
番目のレンズの焦点距離をｆ＿２、ｆ＿３、ｆ＿４、ｆ
＿５としたとき、条件式−１．６＜（ｆ＿２／ｆ＿３）
＜−１．３ −１．５＜（ｆ＿５／ｆ＿４）＜−１．３を満たす請求項１に記載した投影レンズ