JPH0820883A - スタンパーの複製方法及びそれに用いる座金 - Google Patents
スタンパーの複製方法及びそれに用いる座金Info
- Publication number
- JPH0820883A JPH0820883A JP15718794A JP15718794A JPH0820883A JP H0820883 A JPH0820883 A JP H0820883A JP 15718794 A JP15718794 A JP 15718794A JP 15718794 A JP15718794 A JP 15718794A JP H0820883 A JPH0820883 A JP H0820883A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stamper
- washer
- master
- electroforming
- mother
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 claims abstract description 30
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 20
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 16
- 230000003362 replicative effect Effects 0.000 claims description 4
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000010951 brass Substances 0.000 abstract description 3
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 abstract 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 abstract 1
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 14
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 5
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 3
- 229910000480 nickel oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N oxonickel Chemical compound [Ni]=O GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000010076 replication Effects 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 238000010306 acid treatment Methods 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L chromic acid Substances O[Cr](O)(=O)=O KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-b]pyrazine-5,7-dione Chemical compound C1=CN=C2C(=O)OC(=O)C2=N1 AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- KERTUBUCQCSNJU-UHFFFAOYSA-L nickel(2+);disulfamate Chemical compound [Ni+2].NS([O-])(=O)=O.NS([O-])(=O)=O KERTUBUCQCSNJU-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明の目的は、マザースタンパー、サンス
タンパーを出来るだけ多く作成する複製方法を提供する
ことにある。 【構成】 スタンパーの複製方法であって、ガラス原盤
からマスタースタンパー、あるいは該マスタースタンパ
ーからマザースタンパーを電鋳により作成するにあたり
内周給電部に取り付けられる座金の側面が、電鋳により
座金側面に被着するスタンパー内周端部と咬合する凹凸
部を有することを特徴とするスタンパーの複製方法。
タンパーを出来るだけ多く作成する複製方法を提供する
ことにある。 【構成】 スタンパーの複製方法であって、ガラス原盤
からマスタースタンパー、あるいは該マスタースタンパ
ーからマザースタンパーを電鋳により作成するにあたり
内周給電部に取り付けられる座金の側面が、電鋳により
座金側面に被着するスタンパー内周端部と咬合する凹凸
部を有することを特徴とするスタンパーの複製方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、スタンパーの複製方法
及びそれに用いる座金に関する。詳しくは、スタンパー
を電鋳により複製するに際し、マザースタンパー、サン
スタンパーを出来るだけ多く作成することが出来る方法
及びそれに用いる座金に関する。
及びそれに用いる座金に関する。詳しくは、スタンパー
を電鋳により複製するに際し、マザースタンパー、サン
スタンパーを出来るだけ多く作成することが出来る方法
及びそれに用いる座金に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、コンパクトディスク（ＣＤ）や光
磁気ディスク等の光ディスク基板の射出成形に用いられ
る精密成型用金型（スタンパー）は次のようにして作成
される。まず、フォトレジストを塗布したガラス板にレ
ーザービームを照射して、記録信号、トラッキング信号
を記録した後現像して凹凸形状の信号を有するガラス原
盤を作成する。
磁気ディスク等の光ディスク基板の射出成形に用いられ
る精密成型用金型（スタンパー）は次のようにして作成
される。まず、フォトレジストを塗布したガラス板にレ
ーザービームを照射して、記録信号、トラッキング信号
を記録した後現像して凹凸形状の信号を有するガラス原
盤を作成する。
【０００３】次に、スパッタリング等の方法によってガ
ラス原盤の表面を銀やニッケル等の金属で導電化し、そ
れを陰極としてニッケル電鋳を行って数百ミクロン厚さ
の金属膜を形成する。ニッケル電鋳を行うには外周給電
法と内周給電法がある。外周給電法では、電鋳装置に表
面を導電化したガラス原盤を取り付け、通電部を備えた
リング状の押さえ治具でガラス原盤の外周を装置に固定
して電鋳を行う。
ラス原盤の表面を銀やニッケル等の金属で導電化し、そ
れを陰極としてニッケル電鋳を行って数百ミクロン厚さ
の金属膜を形成する。ニッケル電鋳を行うには外周給電
法と内周給電法がある。外周給電法では、電鋳装置に表
面を導電化したガラス原盤を取り付け、通電部を備えた
リング状の押さえ治具でガラス原盤の外周を装置に固定
して電鋳を行う。
【０００４】一方内周給電法の場合は、電鋳の際に内周
の給電部に図３に示すような真鍮などの導電性の高い金
属で作った直径数ｃｍ程度の円錐台形状の座金１を、図
２にあるように、座金中心孔を回転ヘッドの棒状通電部
３に通したのち、上から押え治具４を装着して、回転ヘ
ッド５上のガラスマスター２上に取り付ける。座金の上
面は同じ径の不導体の（プラスチック等）押え治具４で
シールされるため電流は流れず、電流ｉは座金の底面と
側面を通じてニッケル陽極との間に流れる。
の給電部に図３に示すような真鍮などの導電性の高い金
属で作った直径数ｃｍ程度の円錐台形状の座金１を、図
２にあるように、座金中心孔を回転ヘッドの棒状通電部
３に通したのち、上から押え治具４を装着して、回転ヘ
ッド５上のガラスマスター２上に取り付ける。座金の上
面は同じ径の不導体の（プラスチック等）押え治具４で
シールされるため電流は流れず、電流ｉは座金の底面と
側面を通じてニッケル陽極との間に流れる。
【０００５】座金は新しく出来る金属膜の一部となる。
この金属膜をガラス原盤から剥離し、表面のフォトレジ
ストをアルカリ洗浄液等で洗い流す。ここまでの工程を
一般的にマスタリングと呼ぶ。得られたスタンパーをそ
のまま内外周加工をして精密成型用金型として用いる場
合もあるが、複製して用いる場合は次のようにする。
この金属膜をガラス原盤から剥離し、表面のフォトレジ
ストをアルカリ洗浄液等で洗い流す。ここまでの工程を
一般的にマスタリングと呼ぶ。得られたスタンパーをそ
のまま内外周加工をして精密成型用金型として用いる場
合もあるが、複製して用いる場合は次のようにする。
【０００６】マスタリングで作成した金属膜（以下、マ
スタースタンパーという。）の表面に、電解処理やクロ
ム酸処理等によってニッケル酸化膜を形成する。マスタ
ースタンパーを図２と同様に回転ヘッド５上の２の部分
に記録面を外側にして取り付け、座金１を該記録面上の
棒状通電部３に押さえ治具４を用いて固定して電鋳を行
う。
スタースタンパーという。）の表面に、電解処理やクロ
ム酸処理等によってニッケル酸化膜を形成する。マスタ
ースタンパーを図２と同様に回転ヘッド５上の２の部分
に記録面を外側にして取り付け、座金１を該記録面上の
棒状通電部３に押さえ治具４を用いて固定して電鋳を行
う。
【０００７】電流の流れ方はマスタリングの時と同様で
ある。取り付けた座金は、電鋳により形成されるマザー
スタンパーの一部となる。マスタースタンパーとマザー
スタンパーを剥離し、マザースタンパー表面にニッケル
酸化膜を形成する。マザースタンパーの記録面に図２と
同様に座金を取り付け、電鋳してサンスタンパーを得
る。
ある。取り付けた座金は、電鋳により形成されるマザー
スタンパーの一部となる。マスタースタンパーとマザー
スタンパーを剥離し、マザースタンパー表面にニッケル
酸化膜を形成する。マザースタンパーの記録面に図２と
同様に座金を取り付け、電鋳してサンスタンパーを得
る。
【０００８】このサンスタンパーはマスタースタンパー
と同じ凹凸パターンを持っているので、これを内外周加
工して精密成型用金型として用いる。この様に複製をし
て用いれば、１枚のマスタースタンパーからマザースタ
ンパー、またそれぞれのマザースタンパーからサンスタ
ンパーを繰り返し電鋳することによって、電鋳のみで数
多くのスタンパーを得ることが可能になり、スタンパー
作成コストの低減ができる。
と同じ凹凸パターンを持っているので、これを内外周加
工して精密成型用金型として用いる。この様に複製をし
て用いれば、１枚のマスタースタンパーからマザースタ
ンパー、またそれぞれのマザースタンパーからサンスタ
ンパーを繰り返し電鋳することによって、電鋳のみで数
多くのスタンパーを得ることが可能になり、スタンパー
作成コストの低減ができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】コスト低減の面からマ
ザースタンパー、サンスタンパーを出来るだけ多く作成
することが望ましいが、どちらもあまり多く作成するこ
とはできない。それは次のような理由による。 ａ）複製を重ねることによりマスタースタンパー、マザ
ースタンパーの表面が劣化する。
ザースタンパー、サンスタンパーを出来るだけ多く作成
することが望ましいが、どちらもあまり多く作成するこ
とはできない。それは次のような理由による。 ａ）複製を重ねることによりマスタースタンパー、マザ
ースタンパーの表面が劣化する。
【００１０】ｂ）電鋳、表面処理が繰り返されることに
よりマスタースタンパー、マザースタンパーの内周端部
と座金との密着性・保持性が悪化し、電流が正常に供給
されなくなったり、メッキ装置への取り付けが不可能と
なったりする。 ａ）はスタンパー複製においては避けがたい問題である
が、ｂ）は、酸やアルカリの溶液に対しスタンパー本体
をなすニッケル等の金属に比較して腐食されやすい真鍮
等の座金が、繰り返される電鋳や酸化被膜形成処理によ
り腐食されて形状や大きさに変化が生じたり、電鋳後マ
スタースタンパーとマザースタンパー、あるいはマザー
スタンパーとサンスタンパーを剥離する際に加わるスタ
ンパーを反らせる力や、座金同士の接触部に生ずる接着
力等により座金の側面とスタンパー内周端部の接続がな
くなったりすることによるものであり、内周給電法によ
るスタンパー複製に固有の現象である。
よりマスタースタンパー、マザースタンパーの内周端部
と座金との密着性・保持性が悪化し、電流が正常に供給
されなくなったり、メッキ装置への取り付けが不可能と
なったりする。 ａ）はスタンパー複製においては避けがたい問題である
が、ｂ）は、酸やアルカリの溶液に対しスタンパー本体
をなすニッケル等の金属に比較して腐食されやすい真鍮
等の座金が、繰り返される電鋳や酸化被膜形成処理によ
り腐食されて形状や大きさに変化が生じたり、電鋳後マ
スタースタンパーとマザースタンパー、あるいはマザー
スタンパーとサンスタンパーを剥離する際に加わるスタ
ンパーを反らせる力や、座金同士の接触部に生ずる接着
力等により座金の側面とスタンパー内周端部の接続がな
くなったりすることによるものであり、内周給電法によ
るスタンパー複製に固有の現象である。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記のようなスタンパー
複製時における座金とスタンパー内周端部との密着性・
保持性の悪化を防止する手段として、本発明は特殊な座
金を用いる。本発明の要旨は、スタンパーの複製方法で
あって、ガラス原盤からマスタースタンパー、あるいは
該マスタースタンパーからマザースタンパーを電鋳によ
り作成するにあたり内周給電部に取り付けられる座金の
側面が、電鋳により座金側面に被着するスタンパー内周
端部と咬合する凹凸部を有することを特徴とするスタン
パーの複製方法に存する。
複製時における座金とスタンパー内周端部との密着性・
保持性の悪化を防止する手段として、本発明は特殊な座
金を用いる。本発明の要旨は、スタンパーの複製方法で
あって、ガラス原盤からマスタースタンパー、あるいは
該マスタースタンパーからマザースタンパーを電鋳によ
り作成するにあたり内周給電部に取り付けられる座金の
側面が、電鋳により座金側面に被着するスタンパー内周
端部と咬合する凹凸部を有することを特徴とするスタン
パーの複製方法に存する。
【００１２】本発明の座金の具体的な形状としては図１
（ａ）〜（ｄ）のような例が考えられる。本発明の座金
を用いて電鋳したスタンパーでは、スタンパーと座金の
側面が咬合するような形になっており、座金が底面側に
引っ張られたり、腐食により多少形状変化を起こした場
合にも座金とスタンパー内周端部との接続を保つことが
できる。
（ａ）〜（ｄ）のような例が考えられる。本発明の座金
を用いて電鋳したスタンパーでは、スタンパーと座金の
側面が咬合するような形になっており、座金が底面側に
引っ張られたり、腐食により多少形状変化を起こした場
合にも座金とスタンパー内周端部との接続を保つことが
できる。
【００１３】但し、対向するニッケル陽極との間の電流
を考えた場合、側面があまりに複雑な形状をしていた
り、陰（かげ）になる部分が大きいために、電流の分布
が不均一となりメッキのつき方にムラが出来ないような
ものが好ましい。一般にメッキにおいてはＶ形状の奥な
ど電流の密度が低い部分はメッキがつきにくく、反対に
突出した部分などでは電流の密度が高くなりメッキが厚
くつく。発明の座金はこれらの理由によるスタンパーの
平面性の悪化や、メッキそのものが続行不可能となるよ
うなことがないものが好ましい。
を考えた場合、側面があまりに複雑な形状をしていた
り、陰（かげ）になる部分が大きいために、電流の分布
が不均一となりメッキのつき方にムラが出来ないような
ものが好ましい。一般にメッキにおいてはＶ形状の奥な
ど電流の密度が低い部分はメッキがつきにくく、反対に
突出した部分などでは電流の密度が高くなりメッキが厚
くつく。発明の座金はこれらの理由によるスタンパーの
平面性の悪化や、メッキそのものが続行不可能となるよ
うなことがないものが好ましい。
【００１４】以上の要件から、発明の座金は側面のみが
加工され、陽極に向かって突出するような形状や袋状の
部分は持たず、陽極から陰になる部分も電流の回り込み
によって埋め合わせが可能な程度であることが望まし
い。また得られるスタンパーの平滑性を考えると、側面
が底面に対し垂直になっているよりも、斜めになってい
たほうがより望ましい。加工の平易さも考えると、図１
（ａ）のように側面に少なくとも１カ所の凸部を有し、
座金底面の半径≧座金上面の半径である形状が最も望ま
しいと言える。凸部は断面形状に於いて鋭角の凸部であ
るのが好ましい。
加工され、陽極に向かって突出するような形状や袋状の
部分は持たず、陽極から陰になる部分も電流の回り込み
によって埋め合わせが可能な程度であることが望まし
い。また得られるスタンパーの平滑性を考えると、側面
が底面に対し垂直になっているよりも、斜めになってい
たほうがより望ましい。加工の平易さも考えると、図１
（ａ）のように側面に少なくとも１カ所の凸部を有し、
座金底面の半径≧座金上面の半径である形状が最も望ま
しいと言える。凸部は断面形状に於いて鋭角の凸部であ
るのが好ましい。
【００１５】
【実施例】以下、本発明を実施例に従い更に詳細に説明
するが、本発明はその要旨を越えない限り以下の実施例
に限定されない。 実施例１ 直径200mmの円形のガラス板にフォトレジストを厚さ200
nm程度に塗布し、光ディスクのプリフォーマット情報を
レーザー露光した後、フォトレジストをアルカリ水溶液
で現像しね所望の記録パターンをもつガラス原盤を作成
した。
するが、本発明はその要旨を越えない限り以下の実施例
に限定されない。 実施例１ 直径200mmの円形のガラス板にフォトレジストを厚さ200
nm程度に塗布し、光ディスクのプリフォーマット情報を
レーザー露光した後、フォトレジストをアルカリ水溶液
で現像しね所望の記録パターンをもつガラス原盤を作成
した。
【００１６】その後ニッケルスパッタリングで該ガラス
原盤の表面に0.1μｍの厚みのニッケル膜を付与した。
電鋳に用いた座金は、図１ａ）の形状を有するもので、
座金の底面の端の部分の斜めの面が約50〜100μｍの幅
とされている。この座金をスパッタリング後のガラス表
面に図２のように取り付け、スルファミン酸ニッケル浴
で厚さ約３００ミクロンのニッケルメッキ層を形成し
た。
原盤の表面に0.1μｍの厚みのニッケル膜を付与した。
電鋳に用いた座金は、図１ａ）の形状を有するもので、
座金の底面の端の部分の斜めの面が約50〜100μｍの幅
とされている。この座金をスパッタリング後のガラス表
面に図２のように取り付け、スルファミン酸ニッケル浴
で厚さ約３００ミクロンのニッケルメッキ層を形成し
た。
【００１７】ガラス原盤とニッケルメッキ層を剥離し、
ニッケルメッキ層表面に残ったフォトレジストを洗い流
してこれを複製用のマスタースタンパーとした。マスタ
ースタンパーの表面にニッケル酸化膜を形成するため、
アルカリ水溶液中でマスタースタンパーを陰極側（10A/
dm2、30sec）、次いで陽極側（1.3A/dm2、10sec）とし
て電解処理を行った。
ニッケルメッキ層表面に残ったフォトレジストを洗い流
してこれを複製用のマスタースタンパーとした。マスタ
ースタンパーの表面にニッケル酸化膜を形成するため、
アルカリ水溶液中でマスタースタンパーを陰極側（10A/
dm2、30sec）、次いで陽極側（1.3A/dm2、10sec）とし
て電解処理を行った。
【００１８】水洗・乾燥後、電鋳装置のヘッドにマスタ
ースタンパーを取り付け、図１ａ）の形状を有する複製
用座金をマスタースタンパーの記録面側に底面が接する
ように取り付けて、厚さ約３００ミクロンのニッケルメ
ッキを行った。メッキ後メッキ膜及び複製用座金をマス
タースタンパーから剥離してマザースタンパーとした。
ースタンパーを取り付け、図１ａ）の形状を有する複製
用座金をマスタースタンパーの記録面側に底面が接する
ように取り付けて、厚さ約３００ミクロンのニッケルメ
ッキを行った。メッキ後メッキ膜及び複製用座金をマス
タースタンパーから剥離してマザースタンパーとした。
【００１９】マザースタンパーの表面に上記と同様にし
て剥離被膜を形成し、今度は通常の座金（図３）を取り
付けて電鋳を行った。厚さ約３００ミクロンのメッキを
行い、これをサンスタンパーとした。サンスタンパーは
それ以上スタンパー複製には使用しないので、座金は従
来のものとした。
て剥離被膜を形成し、今度は通常の座金（図３）を取り
付けて電鋳を行った。厚さ約３００ミクロンのメッキを
行い、これをサンスタンパーとした。サンスタンパーは
それ以上スタンパー複製には使用しないので、座金は従
来のものとした。
【００２０】この結果、１枚のマスタースタンパーから
少なくとも１０枚のマザースタンパーを得ることが出来
た。また、それぞれのマザースタンパーから平均９枚の
サンスタンパーを得ることが出来、総合して１枚のマス
タースタンパーから９０枚以上のサンスタンパーが得ら
れた。得られたサンスタンパーの平面性も良く、内外周
加工後の厚み分布はすべて±５ミクロンの範囲内であっ
た。
少なくとも１０枚のマザースタンパーを得ることが出来
た。また、それぞれのマザースタンパーから平均９枚の
サンスタンパーを得ることが出来、総合して１枚のマス
タースタンパーから９０枚以上のサンスタンパーが得ら
れた。得られたサンスタンパーの平面性も良く、内外周
加工後の厚み分布はすべて±５ミクロンの範囲内であっ
た。
【００２１】比較例１ 従来の座金（図３の座金）を用いる以外は実施例と同じ
条件でスタンパー複製を行ったところ、１枚のマスター
スタンパーから得られたマザースタンパーは７枚であっ
た。それぞれのマザースタンパーから、平均３枚のサン
スタンパーしか得ることが出来なかった。
条件でスタンパー複製を行ったところ、１枚のマスター
スタンパーから得られたマザースタンパーは７枚であっ
た。それぞれのマザースタンパーから、平均３枚のサン
スタンパーしか得ることが出来なかった。
【００２２】総合して、１枚のマスタースタンパーから
２０枚のサンスタンパーしか得ることができなかった。
複製が続行不可能となった要因は、座金とスタンパー内
周端部との密着性が悪化して電流供給の不均等やメッキ
液の入り込みを生じ、メッキ被膜の膨れ・マスタースタ
ンパーやマザースタンパーの表面腐食を引き起こした
り、マスタースタンパーあるいはマザースタンパーから
座金が抜け落ちて電鋳装置への取り付けが不可能になっ
たことによるものであった。
２０枚のサンスタンパーしか得ることができなかった。
複製が続行不可能となった要因は、座金とスタンパー内
周端部との密着性が悪化して電流供給の不均等やメッキ
液の入り込みを生じ、メッキ被膜の膨れ・マスタースタ
ンパーやマザースタンパーの表面腐食を引き起こした
り、マスタースタンパーあるいはマザースタンパーから
座金が抜け落ちて電鋳装置への取り付けが不可能になっ
たことによるものであった。
【００２３】
【発明の効果】スタンパー複製における座金とスタンパ
ー内周端部の密着性・保持性の悪化を防止する手段とし
て、ガラス原盤からマスタースタンパー、あるいは該マ
スタースタンパーからマザースタンパーを電鋳により作
成するにあたり、電鋳により座金側面に被着するスタン
パー内周端部と咬合する凹部又は凸部を側面に有するこ
とを特徴とする座金を用いることにより、スタンパーの
平面性を損なうことなく、より多数回の複製に耐えられ
るようにすることができる。
ー内周端部の密着性・保持性の悪化を防止する手段とし
て、ガラス原盤からマスタースタンパー、あるいは該マ
スタースタンパーからマザースタンパーを電鋳により作
成するにあたり、電鋳により座金側面に被着するスタン
パー内周端部と咬合する凹部又は凸部を側面に有するこ
とを特徴とする座金を用いることにより、スタンパーの
平面性を損なうことなく、より多数回の複製に耐えられ
るようにすることができる。
【図１】 本発明の座金の一例の側面図
【図２】 電鋳の際の取付け構造の一例の側面図
【図３】 従来の座金の一例の側面図
１ 座金 ２ ガラスマスター ３ 棒状通電部 ４ 押え治具 ５ 回転ヘッド
Claims (3)
- 【請求項１】 スタンパーの複製方法であって、ガラス
原盤からマスタースタンパー、あるいは該マスタースタ
ンパーからマザースタンパーを電鋳により作成するにあ
たり内周給電部に取り付けられる座金の側面が、電鋳に
より座金側面に被着するスタンパー内周端部と咬合する
凹凸部を有することを特徴とするスタンパーの複製方
法。 - 【請求項２】 スタンパーを複製するにあたりガラス原
盤からマスタースタンパー、あるいは該マスタースタン
パーからマザースタンパーの電鋳を行う際に内周給電部
に取り付けられる座金であって、座金側面に電鋳により
座金側面に被着するスタンパー内周端部と咬合する凹凸
部を有することを特徴とする座金。 - 【請求項３】 スタンパーを複製するにあたりガラス原
盤からマスタースタンパー、あるいは該マスタースタン
パーからマザースタンパーの電鋳を行う際に内周給電部
に取り付けられる座金であって、側面に少なくとも１箇
所の凸部を有し、座金底面の半径≧座金上面の半径であ
ることを特徴とするスタンパー複製用座金。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15718794A JPH0820883A (ja) | 1994-07-08 | 1994-07-08 | スタンパーの複製方法及びそれに用いる座金 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15718794A JPH0820883A (ja) | 1994-07-08 | 1994-07-08 | スタンパーの複製方法及びそれに用いる座金 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0820883A true JPH0820883A (ja) | 1996-01-23 |
Family
ID=15644104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15718794A Pending JPH0820883A (ja) | 1994-07-08 | 1994-07-08 | スタンパーの複製方法及びそれに用いる座金 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0820883A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5787068A (en) * | 1996-11-07 | 1998-07-28 | Imation Corp. | Method and arrangement for preventing unauthorized duplication of optical discs using barriers |
-
1994
- 1994-07-08 JP JP15718794A patent/JPH0820883A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5787068A (en) * | 1996-11-07 | 1998-07-28 | Imation Corp. | Method and arrangement for preventing unauthorized duplication of optical discs using barriers |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0418376B2 (ja) | ||
| US4385978A (en) | Cathode head | |
| JPH0820883A (ja) | スタンパーの複製方法及びそれに用いる座金 | |
| US4474650A (en) | Method of manufacturing a mother matrix | |
| JPH02149691A (ja) | 金属マトリックスの製造方法 | |
| EP1044776A1 (en) | Nickel plating of a mould using pulsating current | |
| JPH07241856A (ja) | 電鋳複製スタンパの製造方法 | |
| US3994784A (en) | Metal replication of Glass dies by electroforming | |
| US2067502A (en) | Art of duplicating phonograph records | |
| JPH08100288A (ja) | 金属メッシュ箔の製造法 | |
| JP2916542B2 (ja) | 電鋳原版電鋳方法及び電鋳原版 | |
| JPS6156292A (ja) | 電鋳装置 | |
| JPH09111489A (ja) | スタンパーの製造方法 | |
| JPS61221392A (ja) | スタンパ− | |
| JPS6314066B2 (ja) | ||
| JPH09223337A (ja) | スタンパーの製造方法 | |
| JP2650779B2 (ja) | スタンパ製造用治具 | |
| JPH06195761A (ja) | ニッケルスタンパの製造方法とその製造装置 | |
| JPS613894A (ja) | 電鋳用陽極 | |
| JPS5934783B2 (ja) | デイスク原盤の製法 | |
| JPS6156293A (ja) | スタンパ−製造装置 | |
| JPH09143782A (ja) | スタンパの電鋳方法 | |
| JPH0144794B2 (ja) | ||
| JPH1153777A (ja) | スタンパの複製方法 | |
| JPH08129782A (ja) | スタンパ複製用電鋳装置 |