JPH08210350A - 動圧軸受装置 - Google Patents

動圧軸受装置

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JPH08210350A
JPH08210350A JP1416095A JP1416095A JPH08210350A JP H08210350 A JPH08210350 A JP H08210350A JP 1416095 A JP1416095 A JP 1416095A JP 1416095 A JP1416095 A JP 1416095A JP H08210350 A JPH08210350 A JP H08210350A
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JP
Japan
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dynamic pressure
bearing
radial
pressure bearing
motor
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP1416095A
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English (en)
Inventor
Katsuhiko Tanaka
克彦 田中
Hiromitsu Muraki
宏光 村木
Ikunori Sakatani
郁紀 坂谷
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NSK Ltd
Original Assignee
NSK Ltd
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Publication date
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  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】ラジアル動圧軸受の動トルクや発熱の増大を押
さえ、かつ高速回転駆動に最適なモータを搭載できる寸
法制約の少ない高速回転対応の動圧軸受装置を提供す
る。 【構成】ミラー6を取付けた回転部材13がラジアル動
圧軸受Rとスラスト磁気軸受Smを介して固定部材に支
持されてモータMによって回転駆動される動圧軸受装置
において、回転部材13の内部にはスラスト磁気軸受S
m、外部にラジアル動圧軸受Rを設けると共に、モータ
Mとラジアル動圧軸受Rとの軸方向位置が異なる構成と
した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、動圧軸受装置に係り、
特に、光偏向装置のような高速回転を要求される用途に
適した動圧軸受装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の動圧軸受装置としては、例えば図
3に示すようなものがある。この従来例は、ハウジング
1の下部のベース板1Aの中心部に立設された固定軸2
に回転部材である回転スリーブ3がラジアル動圧流体軸
受R及びスラスト磁気軸受Smを介して回転自在に支持
されている。
【0003】その回転スリーブ3の外周面に、ミラー6
が搭載される。そして、回転スリーブ3の内周面にロー
タマグネット7が取り付けられると共に、そのロータマ
グネット7と径方向にエアギャップを介して対向するス
テータコイル8が固定軸2の外周面に取付けられて回転
スリーブ回転駆動用のモータMが構成されている。この
動圧軸受装置は、回転スリーブ3の内部に設けられたモ
ータMで回転スリーブ3を固定軸2と非接触に回転させ
ることにより、搭載したミラー6を高速回転させる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】光偏向装置用の動圧軸
受装置はデジタル複写機やレーザプリンタなどに用いら
れているが、それらのプリント速度の高速化に伴い、ま
すます高速回転が必要になってきている。しかしなが
ら、このようにモータMを回転スリーブ3の内部空間に
配置する従来の動圧軸受装置では、モータMの外径が大
きいのでラジアル動圧軸受Rの軸受面を構成する回転ス
リーブ外周面の直径が必然的に大きくなってしまうた
め、あまり高速回転を行うことができないという問題点
がある。
【0005】すなわち、動圧軸受の動トルクや発熱は、
軸受すきまに存在する空気の粘性抵抗によるものである
が、その粘性抵抗は軸受面直径の3乗に比例するため、
直径の大きいものほど高速回転では大きな駆動力を必要
とし、発熱も大きくなる。軸受の発熱が大きくなると、
回転スリーブとミラーとの熱膨張差に起因して回転中に
ミラーの位置がずれ、不釣り合いによる振動が大きくな
るという性能面への影響も無視できない。
【0006】また一方、回転スリーブ3の内部空間にモ
ータを配置するという寸法上の制約のもとでは、高速回
転に必要な駆動力を有する最適なモータを自由に設計す
ることができないという問題点もある。そこで本発明
は、ラジアル動圧軸受の動トルクや発熱の増大を押さ
え、かつ駆動に最適なモータを自由に設計できるように
した、寸法制約の少ない高速回転対応の動圧軸受装置を
提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明の動圧軸受装置は、ミラーを取付けた回転部
材の内部にスラスト磁気軸受、外部にラジアル動圧軸受
を設けると共に、モータとラジアル動圧軸受との軸方向
位置が異なる構成とした。
【0008】
【作用】本発明の動圧軸受装置にあっては、ラジアル動
圧軸受の外径を小さくすることができる。そのため、軸
受すきまの空気の粘性抵抗が小さくなり、高速回転でも
ラジアル動圧軸受の動トルクや発熱が抑制される。ま
た、モータの寸法が規制されないため、モータ設計上の
寸法の自由度が大きい。
【0009】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図1は、本発明の一実施例の断面図であ。先ず構
成を説明すると、この動圧軸受装置のハウジング11
は、下部がベース板11Aで塞がれ、そのベース板11
Aの中心部に固定軸12が立設されている。そして、ハ
ウジング11と下部ベース板11Aと固定軸12とが固
定部材を構成している。この固定軸12に、ミラー6を
搭載する回転部材としてアルミ合金製(表面硬化処理を
施しても良い)の回転スリーブ13が、ラジアル動圧軸
受Rとスラスト磁気軸受Smとを介して回転自在に支持
されている。
【0010】ラジアル動圧軸受Rは、回転スリーブ13
の外周面に設けられた円筒状の一方のラジアル軸受面1
4及びこれにラジアル軸受すきまを介して対向させたハ
ウジング11の内周面の他方のラジアル軸受面15を備
え、それら両ラジアル軸受面14,15の少なくとも一
方にヘリングボーン状の動圧発生用の溝を有して構成さ
れている。
【0011】また、スラスト磁気軸受Smは、固定軸1
2の自由端部に固着した永久磁石からなる一方の磁石部
材18及び回転スリーブ13の内周面に圧入または焼き
ばめ等の手段で固着した他方の磁石部材19を備え、両
磁石部材18,19がラジアル軸受すきまより大きなす
きまで非接触に半径方向に対向して吸引し合う吸引形ス
ラスト磁気軸受として構成されている。両磁石部材1
8,19の磁化方向は半径方向でも軸方向でも良い。
【0012】回転スリーブ13の上部の底部には段部2
0が設けてあり、そこに回転スリーブ13とほぼ同じ熱
膨張係数を有するアルミ合金製のミラー6が取付けられ
る。モータMは、ラジアル動圧軸受Rと軸方向位置が異
なる。モータMは回転部材である回転スリーブ13の外
部であって回転スリーブ13より大径のハウジング内部
空間11S内に配設されている。すなわち、回転スリー
ブ13の下部に圧入,焼きばめ,かしめ等の手段により
回転スリーブ13より大径のヨーク22が固着され、ハ
ウジング内部空間11S内に位置させたそのヨーク22
の端部にロータマグネット23が固着され、ヨーク22
とロータマグネット23がロータ24を構成している。
ロータマグネット23の内周面は、固定軸12に根元に
固定されたステータ25の外周面とエアギャップを介し
て半径方向に対向して周対向モータを構成している。
【0013】次に作用を述べる。ミラー6を搭載した回
転スリーブ13は、スラスト磁気軸受Smの軸方向に幾
らかずらして対向させてある両磁石部材18,19の磁
気吸引力で、固定軸12に対して常時非接触に軸方向に
浮上支持されている。モータMのステータ25のアマチ
ュアコイルに図外の制御回路を介して所定の電流を流す
ことによりロータ24が回転し、同時に回転スリーブ1
3が回転する。すると、ラジアル動圧軸受Rの動圧発生
用の溝のポンピング作用により、対向するラジアル軸受
面14,15の間の半径方向のラジアル軸受すきまに動
圧が発生して、回転スリーブ13はハウジング11の内
周面のラジアル軸受面15に対しても完全に非接触に支
持され、短い立ち上がり時間で高速の定常回転に到達す
る。
【0014】高速回転に達すると、従来のモータ内蔵回
転スリーブであれば外径の大きいラジアル動圧軸受Rか
らかなり発熱する。しかるに、この実施例の場合、モー
タMは回転スリーブ13の外部に配置されているので、
モータMの外径にかかわりなく回転スリーブ13の外周
面(一方のラジアル軸受面)14の直径は従来よりかな
り小さくできる。そのため、ラジアル動圧軸受Rのラジ
アル軸受すきまに存在する空気の粘性抵抗が小さくな
り、高速回転時の動圧軸受の動トルクや発熱を小さくで
きる。
【0015】また、モータMを回転スリーブ13の外部
に配置したため、回転スリーブ13の寸法の制約を受け
ずに必要な駆動力のモータを設計することができる。モ
ータMのロータ24の外径を大きくしすぎると風損が大
きくなり、逆に小さすぎると所要の駆動力が得られない
ことになるが、この実施例によればモータ設計の寸法自
由度が大きいので、最適なサイズのモータMを設置でき
る利点がある。
【0016】また、高速回転時のミラー6の風損、およ
びスラスト磁気軸受Smの軸受面と空気との摩擦による
発熱が回転スリーブ13に伝わり熱膨張が生じても、こ
の実施例では回転スリーブ13とミラー6とをほぼ同じ
熱膨張係数を有するアルミ合金製としたことにより、熱
膨張差によって回転スリーブ13とミラー6との重心位
置がずれて回転に不釣り合いが生じ装置が振動する現象
が防止される。
【0017】また、この実施例においては、回転スリー
ブ下部へのモータのロータ24の取付け及び回転スリー
ブ内周面へのスラスト磁気軸受の磁石部材19の取付け
を、いずれも焼きばめまたは圧入で行っているため、回
転スリーブ13が熱膨張してもロータ24及び磁石部材
19の重心の回転中心に対する移動が少なく、この点か
らも装置の回転のバランス保持,振動防止が図られてい
る。
【0018】図2に第2の実施例を示す。この実施例
は、スラスト磁気軸受Smを反発形磁気軸受とし、かつ
モータMを面対向モータとした点が第1の実施例とは異
なっている。モータMは、ベース11Aの平面上に多数
のアマチュアコイルを全体として平らな円環状に配列し
てなるステータ25に、アキシアル方向のエアギャップ
を介してドーナツ板状のロータ磁石23を平面対向に配
して構成されている。スラスト磁気軸受Smを反発形磁
気軸受にすると、第1の実施例と違って、磁石のラジア
ル吸引力の磁気アンバランスに基づくラジアル負荷を小
さくできるので、ラジアル動圧軸受Rの起動・停止時の
損傷を小さくできる利点がある。
【0019】すなわち第1の実施例の場合には、固定軸
12の一端部と回転スリーブ13の内周面とにそれぞれ
固着した円筒状の両磁石部材18,19の半径方向の取
付け誤差に伴う心ずれ及び着磁むら等によりラジアル方
向の磁気吸引力のアンバランスが生じる。一方、スラス
ト磁気軸受Smのエアギャップは、回転の起動摩擦トル
クを小さくするためラジアル流体軸受Rのラジアル軸受
すきまより大きくして常時非接触を保つようにしている
ので、ラジアル流体軸受Rの動圧がラジアル軸受すきま
を維持するのに十分な大きさにない回転スリーブ13の
起動時及び停止時においては、対向する両軸受面14,
15が接触回転する。したがって、ラジアル方向の磁石
吸引力のアンバランスによるラジアル負荷により、ラジ
アル動圧軸受Rの軸受面14,15が起動・停止時に損
傷を受けやすい。
【0020】これに対し、この第2の実施例のスラスト
磁気軸受Smは、両磁石部材18,19を平面対向に装
着して、その磁気反発力で回転スリーブ13を固定軸1
2に対し軸方向に浮上支持している。当然のことなが
ら、両磁石部材18,19の半径方向の取付け誤差に伴
う心ずれや着磁むらにより磁気反発力のラジアル方向の
アンバランスが生じるが、上記のようなラジアル方向の
磁気吸引力によるラジアル負荷に比べて小さいのでラジ
アル動圧軸受Rの軸受面14,15の起動・停止時の損
傷は小さい。
【0021】なお、ハウジング11内はハウジング11
と回転スリーブ13との間のラジアル軸受すきまを介し
て密封されているが、ベース11Aに小穴30を設け
て、ハウジングの内部空間11Sを空気ダンパとして機
能させることにより、外部振動による回転スリーブ13
のアキシアル方向の振動を減少させることができる。も
っとも、ラジアル動圧軸受Rのラジアル軸受すきまの大
きさが前記小穴30の機能を果たし得るものであれば、
改めて小穴30を設けなくても良い。
【0022】なお、スラスト磁気軸受Smが第1の実施
例のもののように吸引形スラスト磁気軸受の場合は、一
対の磁石部材18,19のうちの一方を磁石に代えて強
磁性体としても良い。また、動圧軸受装置を光偏向装置
等の本体へ組み込む前にハウジング11内にゴミなどの
異物が侵入しないようにするため、ハウジング11にミ
ラー6を覆うカバーを取り付けて動圧軸受装置全体を密
閉すると、輸送時や組立時の取り扱いが容易になる。
【0023】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の動圧軸受
装置によれば、ラジアル動圧軸受Rの大きさはモータM
に規制されないのでラジアル動圧軸受Rの外径を小さく
することができ、その結果、ラジアル軸受すきまの空気
の粘性抵抗が低減されて高速回転でもラジアル動圧軸受
の動トルクや発熱が抑制されるという効果を奏する。
【0024】また、モータの寸法がラジアル動圧軸受R
に規制されないため、モータ設計上の寸法の自由度が大
きくなり、高速回転に必要な駆動力を有する最適なモー
タを設置することができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例の断面図である。
【図2】本発明の第2の実施例の断面図である。
【図3】従来の軸受装置の一例を示す断面図である。
【符号の説明】
6 ミラー 11 ハウジング 12 固定軸 13 回転部材(回転スリーブ) M モータ R ラジアル動圧軸受 Sm スラスト磁気軸受

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ミラーを取付けた回転部材がラジアル動
    圧軸受とスラスト磁気軸受を介して固定部材に支持され
    てモータによって回転駆動される動圧軸受装置におい
    て、前記回転部材の内部には前記スラスト磁気軸受、外
    部に前記ラジアル動圧軸受を設けると共に、前記モータ
    とラジアル動圧軸受との軸方向位置が異なることを特徴
    とする動圧軸受装置。
JP1416095A 1995-01-31 1995-01-31 動圧軸受装置 Withdrawn JPH08210350A (ja)

Priority Applications (1)

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JP1416095A JPH08210350A (ja) 1995-01-31 1995-01-31 動圧軸受装置

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JPH08210350A true JPH08210350A (ja) 1996-08-20

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JP1416095A Withdrawn JPH08210350A (ja) 1995-01-31 1995-01-31 動圧軸受装置

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012253996A (ja) * 2011-06-03 2012-12-20 Samsung Electro-Mechanics Co Ltd モータ
US9359991B2 (en) 2009-10-29 2016-06-07 Oceana Energy Company Energy conversion systems and methods
CN116438327A (zh) * 2020-10-05 2023-07-14 应用材料公司 用于阴极的翻滚保护器和用于补偿阴极的翻滚的方法

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Legal Events

Date Code Title Description
A761 Written withdrawal of application

Effective date: 20050114

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761