JPH0821171B2 - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法Info
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- JPH0821171B2 JPH0821171B2 JP2054723A JP5472390A JPH0821171B2 JP H0821171 B2 JPH0821171 B2 JP H0821171B2 JP 2054723 A JP2054723 A JP 2054723A JP 5472390 A JP5472390 A JP 5472390A JP H0821171 B2 JPH0821171 B2 JP H0821171B2
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- JP
- Japan
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- polishing member
- air bearing
- slider block
- bearing surface
- slider
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
- B24B37/048—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces of sliders and magnetic heads of hard disc drives or the like
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔概要〕 浮上式磁気ヘッドのコアスライダの製造方法、特に浮
上面レールの周縁のＲ面取り方法に関し、 コアスライダブロックを１個ずつ分離しないで、ブロ
ック状のままＲ面取りでき、しかも自動的にかつ均一に
Ｒ面取りできるようにすることを目的とし、 磁気ヘッドのコアスライダにおける浮上面レールの周
縁の角を面取りしＲを付ける方法であって、 複数個のスライダに分離する前のスライダブロック
を、弾性シート上の研磨部材に載置して荷重をかけたと
き、浮上面レールの周縁が研磨部材に対し所定の食い込
み量で食い込むような硬度の弾性シートを用いることに
よって、前記研磨部材（16）をスライダブロックの隣接
する浮上面レールの間に前記弾性シートの弾性変形によ
り所定の食い込み量で食い込ませること、 コアスライダブロックを研磨部材の面に対し直線方向
に相対的に、かつ自動的に往復動させること、 この往復動の際に、コアスライダブロックが貼り付け
られた接着ブロックの上に、重りなどによる荷重を作用
させることで、コアスライダブロックと研磨部材の面と
の接触圧を一定に維持すること、 コアスライダブロックの浮上面レールが、往復動方向
に対し一定の角度±θで傾斜していること、 往復動方向に対し＋θ方向の往復動回数と−θ方向の
往復動回数を同等とすること、 を特徴とする構成とする。
上面レールの周縁のＲ面取り方法に関し、 コアスライダブロックを１個ずつ分離しないで、ブロ
ック状のままＲ面取りでき、しかも自動的にかつ均一に
Ｒ面取りできるようにすることを目的とし、 磁気ヘッドのコアスライダにおける浮上面レールの周
縁の角を面取りしＲを付ける方法であって、 複数個のスライダに分離する前のスライダブロック
を、弾性シート上の研磨部材に載置して荷重をかけたと
き、浮上面レールの周縁が研磨部材に対し所定の食い込
み量で食い込むような硬度の弾性シートを用いることに
よって、前記研磨部材（16）をスライダブロックの隣接
する浮上面レールの間に前記弾性シートの弾性変形によ
り所定の食い込み量で食い込ませること、 コアスライダブロックを研磨部材の面に対し直線方向
に相対的に、かつ自動的に往復動させること、 この往復動の際に、コアスライダブロックが貼り付け
られた接着ブロックの上に、重りなどによる荷重を作用
させることで、コアスライダブロックと研磨部材の面と
の接触圧を一定に維持すること、 コアスライダブロックの浮上面レールが、往復動方向
に対し一定の角度±θで傾斜していること、 往復動方向に対し＋θ方向の往復動回数と−θ方向の
往復動回数を同等とすること、 を特徴とする構成とする。
また、記録／再生素子部の硬度がコアスライダ部と異
なる磁気ヘッドの場合は、コアスライダブロックを研磨
部材の面に対し直線方向に相対的に、かつ自動的に往復
動させるとともに、進行方向に対し流入斜面が前端に位
置し、記録／再生素子部が後端に位置するときのみ研磨
部材と接触させる。
なる磁気ヘッドの場合は、コアスライダブロックを研磨
部材の面に対し直線方向に相対的に、かつ自動的に往復
動させるとともに、進行方向に対し流入斜面が前端に位
置し、記録／再生素子部が後端に位置するときのみ研磨
部材と接触させる。
磁気ディスク装置における磁気記録円板に情報を記録
／再生するための磁気ヘッドは、磁気記録円板が高速回
転する際の風力によって浮上した状態で記録／再生が行
なわれる。本発明は、このような浮上式磁気ヘッドのコ
アスライダの製造方法、特に浮上面レールの周縁のＲ面
取り方法に関する。
／再生するための磁気ヘッドは、磁気記録円板が高速回
転する際の風力によって浮上した状態で記録／再生が行
なわれる。本発明は、このような浮上式磁気ヘッドのコ
アスライダの製造方法、特に浮上面レールの周縁のＲ面
取り方法に関する。
第４図は磁気ヘッドによって情報を記録／再生してい
る状態を示す側面図である。Ｈは磁気ヘッドであり、コ
アスライダ１の後端に、コイル２が巻かれたコア３が接
着されている。そして、コア３とコアスライダ１との間
のギャップＧで、磁気記録円板４に情報が記録／再生さ
れる。
る状態を示す側面図である。Ｈは磁気ヘッドであり、コ
アスライダ１の後端に、コイル２が巻かれたコア３が接
着されている。そして、コア３とコアスライダ１との間
のギャップＧで、磁気記録円板４に情報が記録／再生さ
れる。
コアスライダ１は、ジンバルと呼ばれる薄板バネ５を
介してスプリングアーム６に取り付け支持されており、
該スプリングアーム６が、駆動アーム７を介して、駆動
軸８に取り付けられている。
介してスプリングアーム６に取り付け支持されており、
該スプリングアーム６が、駆動アーム７を介して、駆動
軸８に取り付けられている。
磁気記録円板４は高速回転するため、その際発生する
矢印a1方向の風力でコアスライダ１が浮上する。したが
って、後端のギャップＧでは、磁気記録円板４との間に
微小な浮上隙間をおいて、記録／再生が行なわれる。
矢印a1方向の風力でコアスライダ１が浮上する。したが
って、後端のギャップＧでは、磁気記録円板４との間に
微小な浮上隙間をおいて、記録／再生が行なわれる。
このように、コアスライダ１を風力で浮上させるため
に、コアスライダ１の先端の磁気記録円板４と対向する
位置に、空気の流入斜面９を形成することで、コアスラ
イダ１が浮上し易くしている。
に、コアスライダ１の先端の磁気記録円板４と対向する
位置に、空気の流入斜面９を形成することで、コアスラ
イダ１が浮上し易くしている。
第５図（ａ）はコアスライダ１の斜視図である。コア
スライダ１の、前記磁気記録円板４と対向する面（スラ
イダ面）には、２本の浮上面レール10、11を有してい
る。そして浮上面レール10、11の先端に、前記の流入斜
面９が形成されている。（ｂ）図に示すように、この流
入斜面９の寸法は、浮上方向の深さが２〜７μｍ、浮上
面レール方向の長さが300〜600μｍであり、その結果、
傾斜角度θは20′〜40′となる。
スライダ１の、前記磁気記録円板４と対向する面（スラ
イダ面）には、２本の浮上面レール10、11を有してい
る。そして浮上面レール10、11の先端に、前記の流入斜
面９が形成されている。（ｂ）図に示すように、この流
入斜面９の寸法は、浮上方向の深さが２〜７μｍ、浮上
面レール方向の長さが300〜600μｍであり、その結果、
傾斜角度θは20′〜40′となる。
第４図のように浮上面レール10、11が磁気記録円板４
と対向した状態で磁気記録円板４が高速回転している際
に、あるいは回転の開始・停止時に、磁気記録円板４の
突起が浮上面レール10、11の周縁の角部e1〜e4に衝突す
ることがある。このような場合に、ヘッドクラッシュを
来さないように、浮上面レール10、11の周縁e1〜e4を研
磨して面取りし、10〜20μｍのＲ面取りすることが行な
われる。
と対向した状態で磁気記録円板４が高速回転している際
に、あるいは回転の開始・停止時に、磁気記録円板４の
突起が浮上面レール10、11の周縁の角部e1〜e4に衝突す
ることがある。このような場合に、ヘッドクラッシュを
来さないように、浮上面レール10、11の周縁e1〜e4を研
磨して面取りし、10〜20μｍのＲ面取りすることが行な
われる。
第６図は流入斜面を形成する前のコアスライダブロッ
ク12の斜視図であり、鎖線で示す領域9aを研磨して流入
斜面を形成してから、破線13で示す位置から分断し、数
個〜10個程度のコアスライダにする。そして、数個〜10
個程度のコアスライダを一斉にＲ面取りする。
ク12の斜視図であり、鎖線で示す領域9aを研磨して流入
斜面を形成してから、破線13で示す位置から分断し、数
個〜10個程度のコアスライダにする。そして、数個〜10
個程度のコアスライダを一斉にＲ面取りする。
第７図はコアスライダブロック12の背面図（記録／再
生素子ｈ側から見た図）であり、鎖線の位置から個々の
コアスライダに分断される。そして第８図に示すよう
に、個々のコアスライダ１…を、面取り用の治具14に一
定間隔で貼りつける。このとき、コアスライダ１の浮上
面レール10、11の間隔Ｄが、隣接するコアスライダの浮
上面レール11、10の間隔ｄと一致するように配置され
る。これによって、すべての浮上面レール10、11…の間
隔が一定になる。
生素子ｈ側から見た図）であり、鎖線の位置から個々の
コアスライダに分断される。そして第８図に示すよう
に、個々のコアスライダ１…を、面取り用の治具14に一
定間隔で貼りつける。このとき、コアスライダ１の浮上
面レール10、11の間隔Ｄが、隣接するコアスライダの浮
上面レール11、10の間隔ｄと一致するように配置され
る。これによって、すべての浮上面レール10、11…の間
隔が一定になる。
第９図は従来の手作業式の面取り方法を示す斜視図で
あり、第８図のように複数個のコアスライダ１…が貼り
付けられた治具14を、シリコンゴム製シート15に貼りつ
けたダイヤモンドラッピングテープ16の上に載せる。こ
のように浮上面レール10、11をダイヤモンドラッピング
テープ16に当てた状態で、治具14を手で押しつけると、
第８図に示すように、浮上面レール10、11がダイヤモン
ドラッピングテープ16に食い込む。この状態で、矢印
a2、a3で示すように、治具14をジグザグ状にスライドさ
せると、浮上面レール10、11の周縁の角部（第５図に示
すe1〜e4）が最も強くダイヤモンドラッピングテープ16
に当たるため、磨耗によって面取りされ、Ｒがつく。
あり、第８図のように複数個のコアスライダ１…が貼り
付けられた治具14を、シリコンゴム製シート15に貼りつ
けたダイヤモンドラッピングテープ16の上に載せる。こ
のように浮上面レール10、11をダイヤモンドラッピング
テープ16に当てた状態で、治具14を手で押しつけると、
第８図に示すように、浮上面レール10、11がダイヤモン
ドラッピングテープ16に食い込む。この状態で、矢印
a2、a3で示すように、治具14をジグザグ状にスライドさ
せると、浮上面レール10、11の周縁の角部（第５図に示
すe1〜e4）が最も強くダイヤモンドラッピングテープ16
に当たるため、磨耗によって面取りされ、Ｒがつく。
ところが、このような手作業によるＲ面取り方法で
は、第８図に示すように、コアスライダブロック12を各
コアスライダ１…ごとに分離し、一定間隔に治具14に貼
りつける必要があり、作業が面倒である。また、第９図
に示すように、手作業で面取りするため、押圧力や摺動
速度、移動範囲などが異なり、また全体を均一に押圧で
きず、押圧力の強さが偏るなどの問題がある。そのた
め、第８図のように各浮上面レール10、11…の間隔を一
定にしたとしても、精度よくかつ均一にＲ面取りするこ
とが困難であり、また作業者によって仕上がりにバラツ
キが生じる。したがって、作業者の経験や熟練が必要と
なる。
は、第８図に示すように、コアスライダブロック12を各
コアスライダ１…ごとに分離し、一定間隔に治具14に貼
りつける必要があり、作業が面倒である。また、第９図
に示すように、手作業で面取りするため、押圧力や摺動
速度、移動範囲などが異なり、また全体を均一に押圧で
きず、押圧力の強さが偏るなどの問題がある。そのた
め、第８図のように各浮上面レール10、11…の間隔を一
定にしたとしても、精度よくかつ均一にＲ面取りするこ
とが困難であり、また作業者によって仕上がりにバラツ
キが生じる。したがって、作業者の経験や熟練が必要と
なる。
本発明の技術的課題は、このような問題に着目し、コ
アスライダブロックを１個ずつ分離しないで、ブロック
状のままＲ面取りでき、しかも自動的にかつ均一にＲ面
取りできるようにすることにある。
アスライダブロックを１個ずつ分離しないで、ブロック
状のままＲ面取りでき、しかも自動的にかつ均一にＲ面
取りできるようにすることにある。
「請求項１の発明」 第１図（ａ）は本発明による磁気ヘッドの製造方法の
基本原理を説明する平面図、（ｂ）は（ａ）図における
ｂ−ｂ断面図である。17は接着ブロックであり、その下
面には、第７図に示すようなコアスライダブロック12が
貼りつけられている。本発明では、複数個のスライダに
分離する前のスライダブロック12を、弾性シート15a上
の研磨部材16に載置して荷重をかけたとき、浮上面レー
ルの周縁が研磨部材16に対し所定の食い込み量で食い込
むような硬度の弾性シート15aを用いることによって、
前記研磨部材16をスライダブロック12の隣接する浮上面
レールの間に前記弾性シート15aの弾性変形により所定
の食い込み量で食い込ませる。このような作用が可能な
弾性シート15aとしては、ゴム硬度が例えば60°±10°
の範囲のものが適しており、その上にシート状ないしフ
ィルム状の研磨部材16を載せ、その上でＲ面取りを行な
う。なお、本明細書において示すゴム硬度は、「JIS加
硫ゴム物理試験方法JIS K 6301」の硬さ試験（スプリン
グ式硬さ試験機のＡ形）を用いて試験測定したものであ
る。
基本原理を説明する平面図、（ｂ）は（ａ）図における
ｂ−ｂ断面図である。17は接着ブロックであり、その下
面には、第７図に示すようなコアスライダブロック12が
貼りつけられている。本発明では、複数個のスライダに
分離する前のスライダブロック12を、弾性シート15a上
の研磨部材16に載置して荷重をかけたとき、浮上面レー
ルの周縁が研磨部材16に対し所定の食い込み量で食い込
むような硬度の弾性シート15aを用いることによって、
前記研磨部材16をスライダブロック12の隣接する浮上面
レールの間に前記弾性シート15aの弾性変形により所定
の食い込み量で食い込ませる。このような作用が可能な
弾性シート15aとしては、ゴム硬度が例えば60°±10°
の範囲のものが適しており、その上にシート状ないしフ
ィルム状の研磨部材16を載せ、その上でＲ面取りを行な
う。なお、本明細書において示すゴム硬度は、「JIS加
硫ゴム物理試験方法JIS K 6301」の硬さ試験（スプリン
グ式硬さ試験機のＡ形）を用いて試験測定したものであ
る。
そして、接着ブロック17を、研磨部材16の面に対し矢
印a4で示す直線方向に相対的にかつ自動的に、往復動さ
せる。
印a4で示す直線方向に相対的にかつ自動的に、往復動さ
せる。
この往復動の際に、接着ブロック17の上に重りなどに
よる荷重を作用させることで、接着ブロック17と研磨部
材16との接触圧を一定に維持する。
よる荷重を作用させることで、接着ブロック17と研磨部
材16との接触圧を一定に維持する。
また、コアスライダブロック12の浮上面レールを、矢
印a4で示す往復動方向に対し一定の角度±θで傾斜させ
る。しかも＋θ方向と−θ方向の往復動回数を同等とす
る。θとしては、15°〜45°程度が良い。
印a4で示す往復動方向に対し一定の角度±θで傾斜させ
る。しかも＋θ方向と−θ方向の往復動回数を同等とす
る。θとしては、15°〜45°程度が良い。
「請求項２の発明」 磁気記録／再生素子部が薄膜型の磁気ヘッドにおいて
は、第２図に示すように、コアスライダブロック12を直
線方向に往復動させる際に、往方向のみ研磨部材16と接
触させ、復方向では研磨部材16から浮き上がらせ、研磨
部材16と接触しないようにする。すなわち、進行方法に
対し流入斜面が前端に位置し、記録／再生素子部が後端
に位置するときのみ研磨部材16と接触させる。そのた
め、 そのほか、＋θ方向と−θ方向の往復動回数を同等と
すること、などに関しては、請求項１の発明と同じであ
る。
は、第２図に示すように、コアスライダブロック12を直
線方向に往復動させる際に、往方向のみ研磨部材16と接
触させ、復方向では研磨部材16から浮き上がらせ、研磨
部材16と接触しないようにする。すなわち、進行方法に
対し流入斜面が前端に位置し、記録／再生素子部が後端
に位置するときのみ研磨部材16と接触させる。そのた
め、 そのほか、＋θ方向と−θ方向の往復動回数を同等と
すること、などに関しては、請求項１の発明と同じであ
る。
「請求項１の発明」 研磨部材16を載せる弾性シート15aとして、硬度が例
えば60°±10°の範囲のものを使用している。硬度が例
えば70°より硬い弾性シートを使用すると、隣接する浮
上面レール10、11、10……の間に研磨部材16が充分食い
込まなくなり、Ｒ面取りが不十分となる。逆に弾性シー
トが例えば50°より柔らかいと、研磨部材16は隣接する
浮上面レール10、11、10…の間に充分食い込むが、コア
スライダブロック12が往復動する際に、浮上面レール1
0、11の角部が研磨部材16に引っ掛かり、円滑に往復動
できないという欠点が生じる。したがって、前記のよう
に硬度が例えば60°±10°の範囲の弾性シートを使用す
ると、（ｂ）図に示すように、浮上面レール間隔の狭い
ｄの部分においても、間隔の広いＤの部分においても、
隣接する浮上面レール間に研磨部材16が食い込み、かつ
円滑に移動できる。
えば60°±10°の範囲のものを使用している。硬度が例
えば70°より硬い弾性シートを使用すると、隣接する浮
上面レール10、11、10……の間に研磨部材16が充分食い
込まなくなり、Ｒ面取りが不十分となる。逆に弾性シー
トが例えば50°より柔らかいと、研磨部材16は隣接する
浮上面レール10、11、10…の間に充分食い込むが、コア
スライダブロック12が往復動する際に、浮上面レール1
0、11の角部が研磨部材16に引っ掛かり、円滑に往復動
できないという欠点が生じる。したがって、前記のよう
に硬度が例えば60°±10°の範囲の弾性シートを使用す
ると、（ｂ）図に示すように、浮上面レール間隔の狭い
ｄの部分においても、間隔の広いＤの部分においても、
隣接する浮上面レール間に研磨部材16が食い込み、かつ
円滑に移動できる。
また、コアスライダブロック12を研磨部材16の面に対
し直線方向に相対的に、かつ自動的に往復動させると共
に、コアスライダブロック12が貼り付けられた接着ブロ
ック17の上に、重りなどによる荷重を作用させること
で、コアスライダブロック12と研磨部材16の面との接触
圧を一定に維持している。そのため、Ｒ面取りする際の
接触圧その他の条件が、各浮上面レールにおいて、一定
となる。
し直線方向に相対的に、かつ自動的に往復動させると共
に、コアスライダブロック12が貼り付けられた接着ブロ
ック17の上に、重りなどによる荷重を作用させること
で、コアスライダブロック12と研磨部材16の面との接触
圧を一定に維持している。そのため、Ｒ面取りする際の
接触圧その他の条件が、各浮上面レールにおいて、一定
となる。
しかも、コアスライダブロック12の浮上面レールを、
往復動方向に対し一定の角度±θで傾斜させ、往復動方
向に対し＋θ方向の往復動回数と−θ方向の往復動回数
を同等とするため、すべての浮上面レールのＲ面取り方
向が同等となり、すべての浮上面レールを均一にかつバ
ランス良くＲ面取りできる。
往復動方向に対し一定の角度±θで傾斜させ、往復動方
向に対し＋θ方向の往復動回数と−θ方向の往復動回数
を同等とするため、すべての浮上面レールのＲ面取り方
向が同等となり、すべての浮上面レールを均一にかつバ
ランス良くＲ面取りできる。
このように、浮上面レールの間隔Ｄ、ｄが一定してい
なくても、浮上面レールのＲ面取りの品質が確保できる
ため、従来のようにコアスライダブロック12を分離する
ことなくブロック状のままＲ面取りできる。そのため、
流入斜面９を形成した後に、コアスライダブロック12が
貼りつけられた接着ブロックを、引き続いてＲ面取り装
置に取り付けるだけで、Ｒ面取りできる。
なくても、浮上面レールのＲ面取りの品質が確保できる
ため、従来のようにコアスライダブロック12を分離する
ことなくブロック状のままＲ面取りできる。そのため、
流入斜面９を形成した後に、コアスライダブロック12が
貼りつけられた接着ブロックを、引き続いてＲ面取り装
置に取り付けるだけで、Ｒ面取りできる。
「請求項２の発明」 薄膜型の磁気ヘッドの場合は、薄膜素子部ｈの硬度は
コアスライダ部より格段と柔らかい。例えばコアスライ
ダ１の材料であるAl2O3・Ticは、非常に硬いが、薄膜素
子部を構成しているAl2O3は柔らかく、両者の硬度差が
大きい。そのため、請求項１の発明のように単に往復動
させるのみでは、薄膜素子部ｈが研磨過剰となる。とこ
ろが、第２図に示す方法は、往方向においてのみ研磨部
材16と接触させ、復方向では研磨部材16から浮かせると
共に、研磨動作時には常に薄膜素子部ｈが後端に位置す
るように方向性を持たせる。このようにして、常に進行
方向に対し流入斜面が前端に位置し、記録／再生素子部
が後端に位置する状態で、研磨部材16と接触させること
により、薄膜素子部ｈ側と研磨部材16との接触圧が軽減
されるため、薄膜素子部ｈの研磨過剰を防止できる。
コアスライダ部より格段と柔らかい。例えばコアスライ
ダ１の材料であるAl2O3・Ticは、非常に硬いが、薄膜素
子部を構成しているAl2O3は柔らかく、両者の硬度差が
大きい。そのため、請求項１の発明のように単に往復動
させるのみでは、薄膜素子部ｈが研磨過剰となる。とこ
ろが、第２図に示す方法は、往方向においてのみ研磨部
材16と接触させ、復方向では研磨部材16から浮かせると
共に、研磨動作時には常に薄膜素子部ｈが後端に位置す
るように方向性を持たせる。このようにして、常に進行
方向に対し流入斜面が前端に位置し、記録／再生素子部
が後端に位置する状態で、研磨部材16と接触させること
により、薄膜素子部ｈ側と研磨部材16との接触圧が軽減
されるため、薄膜素子部ｈの研磨過剰を防止できる。
次に本発明によるＲ面取り方法が実際上どのように具
体化されるかを実施例で説明する。第３図は本発明の方
法を実施する装置を例示する斜視図である。テーブル18
の上に弾性シート15aを載せ、その上にダイヤモンドラ
ッピングテープ16などの研磨部材を載せる。弾性シート
15aとしては、硬度が60°±10°の範囲のものを使用す
る。
体化されるかを実施例で説明する。第３図は本発明の方
法を実施する装置を例示する斜視図である。テーブル18
の上に弾性シート15aを載せ、その上にダイヤモンドラ
ッピングテープ16などの研磨部材を載せる。弾性シート
15aとしては、硬度が60°±10°の範囲のものを使用す
る。
ダイヤモンドラッピングテープ16と平行に形成された
ベッド19上には、ヘッド20が載置され、ベッド19上で直
線方向に往復動するようになっている。ヘッド20には、
ダイヤモンドラッピングテープ16の真上において、上下
動する主軸21が支持されており、該主軸21の下端に、接
着ブロック17が真空チャックされている。なお、接着ブ
ロック17には、予めコアスライダブロック12が貼り付け
られている。
ベッド19上には、ヘッド20が載置され、ベッド19上で直
線方向に往復動するようになっている。ヘッド20には、
ダイヤモンドラッピングテープ16の真上において、上下
動する主軸21が支持されており、該主軸21の下端に、接
着ブロック17が真空チャックされている。なお、接着ブ
ロック17には、予めコアスライダブロック12が貼り付け
られている。
ヘッド20の内部に角度割り出し用のモータが内蔵さ
れ、歯車機構を介して主軸21と連結されている。また、
主軸21の全周にラックを形成し、該ラックを上下駆動モ
ータと連結することで、主軸21を上下動できるようにな
っている。
れ、歯車機構を介して主軸21と連結されている。また、
主軸21の全周にラックを形成し、該ラックを上下駆動モ
ータと連結することで、主軸21を上下動できるようにな
っている。
いま、薄膜素子部のように軟質の部分を有するコアス
ライダブロック12をＲ面取りする場合は、ヘッド20が往
方向に移動するときのみ、主軸21を下げて、コアスライ
ダブロック12をダイヤモンドラッピングテープ16に接触
させる。そして復方向に移動する場合は、主軸21を上昇
させることで、コアスライダブロック12をダイヤモンド
ラッピングテープ16から離すと共に、常に薄膜素子部を
コアスライダの後端に位置させることで、薄膜素子部が
研磨過剰となるのを防止できる。
ライダブロック12をＲ面取りする場合は、ヘッド20が往
方向に移動するときのみ、主軸21を下げて、コアスライ
ダブロック12をダイヤモンドラッピングテープ16に接触
させる。そして復方向に移動する場合は、主軸21を上昇
させることで、コアスライダブロック12をダイヤモンド
ラッピングテープ16から離すと共に、常に薄膜素子部を
コアスライダの後端に位置させることで、薄膜素子部が
研磨過剰となるのを防止できる。
また、主軸21を回転させることで、往復動方向に対し
＋θの角度を割り出し、所定回数往方向動作した後、主
軸21を−θまで回転させた後、前記と同回数だけ往方向
移動させる。
＋θの角度を割り出し、所定回数往方向動作した後、主
軸21を−θまで回転させた後、前記と同回数だけ往方向
移動させる。
なお１往復ごとに２θ回転させ、＋θ方向のＲ面取り
と−θ方向のＲ面取りを交互に行なうこともできる。
と−θ方向のＲ面取りを交互に行なうこともできる。
さらに、進行方向に対し流入斜面が前端に位置し、記
録／再生素子部が後端に位置するように方向性を持たせ
る限り、前進・後退のストロークエンドにおいて、常に
主軸21を回転させてコアスライダブロック12の向きを逆
転し、往復両方においてＲ面取りしてもよい。
録／再生素子部が後端に位置するように方向性を持たせ
る限り、前進・後退のストロークエンドにおいて、常に
主軸21を回転させてコアスライダブロック12の向きを逆
転し、往復両方においてＲ面取りしてもよい。
フェライトにコイルを巻いた記録／再生素子を有する
磁気ヘッドのように、コアスライダと記録／再生素子部
の硬度が同等の場合は、復動作時に主軸21を上昇させる
必要はない。すなわち、コアスライダブロック12をダイ
ヤモンドラッピングテープ16に接触させたまま往復動さ
せるのみでよい。なお、＋θ方向に所定回数往復動させ
た後に、一旦主軸21を上昇させ、−θ方向に向きを変え
てから下降させ、同じ回数往復動させることで、すべて
の浮上面レールを均等にＲ面取りできる。
磁気ヘッドのように、コアスライダと記録／再生素子部
の硬度が同等の場合は、復動作時に主軸21を上昇させる
必要はない。すなわち、コアスライダブロック12をダイ
ヤモンドラッピングテープ16に接触させたまま往復動さ
せるのみでよい。なお、＋θ方向に所定回数往復動させ
た後に、一旦主軸21を上昇させ、−θ方向に向きを変え
てから下降させ、同じ回数往復動させることで、すべて
の浮上面レールを均等にＲ面取りできる。
コアスライダブロック12を研磨部材16に押しつける荷
重は、主軸21の自重で設定することもできるが、主軸21
の上に重りを載せたり、レバー式にあるいはバネ式に荷
重を加えることもできる。
重は、主軸21の自重で設定することもできるが、主軸21
の上に重りを載せたり、レバー式にあるいはバネ式に荷
重を加えることもできる。
以上のように本発明によれば、研磨部材16を載せる弾
性シート15aとして、その弾性変形により、研磨部材16
をスライダブロック12の隣接する浮上面レールの間に所
定量食い込ませることのできる硬度を選択すると共に、
浮上面レールの向きを＋θ、−θ方向と切り換えて同じ
回数往復動させ、一定荷重を加えて相対的に直線方向に
往復動させるので、浮上面レールの間隔が一定していな
くても、すべての浮上面レールを均一にＲ面取りでき
る。そのため、コアスライダを分離しない状態でＲ面取
りでき、従来のように分離されたコアスライダを１個ず
つ治具に貼りつける作業が不必要となり、作業効率が向
上する。また、自動的にしかも高精度にかつ均一にＲ面
取りできる。更に、薄膜型磁気ヘッドのように、軟質部
分を有するコアスライダの場合は、軟質部が常に進行方
向の後端に位置するように、復方向移動時はコアスライ
ダブロック12が研磨部材16から上昇するため、軟質部が
研磨過剰となるようなこともない。
性シート15aとして、その弾性変形により、研磨部材16
をスライダブロック12の隣接する浮上面レールの間に所
定量食い込ませることのできる硬度を選択すると共に、
浮上面レールの向きを＋θ、−θ方向と切り換えて同じ
回数往復動させ、一定荷重を加えて相対的に直線方向に
往復動させるので、浮上面レールの間隔が一定していな
くても、すべての浮上面レールを均一にＲ面取りでき
る。そのため、コアスライダを分離しない状態でＲ面取
りでき、従来のように分離されたコアスライダを１個ず
つ治具に貼りつける作業が不必要となり、作業効率が向
上する。また、自動的にしかも高精度にかつ均一にＲ面
取りできる。更に、薄膜型磁気ヘッドのように、軟質部
分を有するコアスライダの場合は、軟質部が常に進行方
向の後端に位置するように、復方向移動時はコアスライ
ダブロック12が研磨部材16から上昇するため、軟質部が
研磨過剰となるようなこともない。
第１図、第２図は本発明による磁気ヘッドの製造方法の
基本原理を説明する図、 第３図は本発明の方法を実施する装置を例示する斜視図
である。 第４図は磁気ヘッドによって情報を記録／再生している
状態を示す側面図、 第５図はコアスライダの斜視図と流入斜面部の側面図、 第６図は流入斜面を形成する前のコアスライダブロック
の斜視図、 第７図は流入斜面を形成した後のコアスライダブロック
の背面図、 第８図、第９図は従来の浮上面レールのＲ面取り方法を
示す図である。 図において、１はコアスライダ、４は磁気記録円板、９
は流入斜面、10、11は浮上面レール、12はコアスライダ
ブロック、13は分離位置、15aは弾性シート、16は研磨
部材、17は接着ブロック、21は主軸をそれぞれ示す。
基本原理を説明する図、 第３図は本発明の方法を実施する装置を例示する斜視図
である。 第４図は磁気ヘッドによって情報を記録／再生している
状態を示す側面図、 第５図はコアスライダの斜視図と流入斜面部の側面図、 第６図は流入斜面を形成する前のコアスライダブロック
の斜視図、 第７図は流入斜面を形成した後のコアスライダブロック
の背面図、 第８図、第９図は従来の浮上面レールのＲ面取り方法を
示す図である。 図において、１はコアスライダ、４は磁気記録円板、９
は流入斜面、10、11は浮上面レール、12はコアスライダ
ブロック、13は分離位置、15aは弾性シート、16は研磨
部材、17は接着ブロック、21は主軸をそれぞれ示す。
Claims (2)
- 【請求項１】磁気ヘッドのスライダにおける浮上面レー
ルの周縁の角を面取りしＲを付ける方法であって、 複数個のスライダに分離する前のスライダブロックを、
弾性シート上の研磨部材（16）に載置して荷重をかけた
とき、浮上面レールの周縁が研磨部材（16）に対し所定
の食い込み量で食い込むような硬度の弾性シートを用い
ることによって、前記研磨部材（16）をスライダブロッ
ク（12）の隣接する浮上面レールの間に前記弾性シート
の弾性変形により所定の食い込み量で食い込ませるこ
と、 前記のスライダブロック（12）を研磨部材（16）の面に
対し直線方向に相対的に、かつ自動的に往復動させるこ
と、 この往復動の際に、スライダブロック（12）が貼り付け
られた接着ブロック（17）の上に、重りなどによる荷重
を作用させることで、スライダブロック（12）と研磨部
材（16）の面との接触圧を一定に維持すること、 スライダブロック（12）の浮上面レールが、往復動方向
に対し一定の角度±θで傾斜していること、 往復動方向に対し＋θ方向の往復動回数と−θ方向の往
復動回数を同等とすること、 を特徴とする磁気ヘッドの製造方法。 - 【請求項２】磁気ヘッドのスライダにおける浮上面レー
ルの周縁の角を面取りしＲを付ける方法であって、 複数個のスライダに分離する前のスライダブロックを、
弾性シート上の研磨部材（16）に載置して荷重をかけた
とき、浮上面レールの周縁が研磨部材（16）に対し所定
の食い込み量で食い込むような硬度の弾性シートを用い
ることによって、前記研磨部材（16）をスライダブロッ
ク（12）の隣接する浮上面レールの間に前記弾性シート
の弾性変形により所定の食い込み量で食い込ませるこ
と、 前記のスライダブロック（12）を研磨部材（16）の面に
対し直線方向に相対的に、かつ自動的に往復動させると
ともに、進行方向に対し流入斜面が前端に位置し、記録
／再生素子部が後端に位置するときのみ研磨部材（16）
と接触させること、 少なくとも流入斜面が前向きで移動するときのみ、スラ
イダブロック（12）が貼り付けられた接着ブロック（1
7）の上に、重りなどによる荷重を作用させることで、
スライダブロック（12）と研磨部材（16）の面との接触
圧を一定に維持すること、 スライダブロック（12）の浮上面レールが、進行方向に
対し一定の角度±θで傾斜していること、 往復動方向に対し＋θ向きの移動回数と−θ向きの移動
回数を同等とすること、 を特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2054723A JPH0821171B2 (ja) | 1990-03-06 | 1990-03-06 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2054723A JPH0821171B2 (ja) | 1990-03-06 | 1990-03-06 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03256214A JPH03256214A (ja) | 1991-11-14 |
| JPH0821171B2 true JPH0821171B2 (ja) | 1996-03-04 |
Family
ID=12978722
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2054723A Expired - Fee Related JPH0821171B2 (ja) | 1990-03-06 | 1990-03-06 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0821171B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6926582B2 (en) | 2002-04-16 | 2005-08-09 | Hitachi Global Storage Technologies Nethrlands B.V. | System and method for rounding disk drive slider corners and/or edges using a flexible slider fixture, an abrasive element, and support elements to control slider orientation |
-
1990
- 1990-03-06 JP JP2054723A patent/JPH0821171B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03256214A (ja) | 1991-11-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |