JPH05111867A - マルチ砥石によるワークの加工方法 - Google Patents
マルチ砥石によるワークの加工方法Info
- Publication number
- JPH05111867A JPH05111867A JP27548391A JP27548391A JPH05111867A JP H05111867 A JPH05111867 A JP H05111867A JP 27548391 A JP27548391 A JP 27548391A JP 27548391 A JP27548391 A JP 27548391A JP H05111867 A JPH05111867 A JP H05111867A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grinding stone
- work
- rotary
- cut
- grindstone
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】複数の回転砥石を有するマルチ砥石によって、
ワークの平面に極めて狭い幅の複数の凸条面を切削加工
する場合でも、複数枚の回転砥石を備えたマルチ砥石を
使用して、高精度の切削加工を行うことができるマルチ
砥石によるワークの加工方法を提供することを目的とす
るものである。 【構成】複数の回転砥石１を有するマルチ砥石２によっ
てワーク３の平面に所定幅ｗの複数の凸条面４を切削加
工する方法において、先ず、前記複数の凸条面４の一側
縁４ａを前記マルチ砥石２を形成する回転砥石１で切削
加工し、次に、回転砥石１を凸条面４の一側縁４ａから
離し、前記マルチ砥石２あるいはワーク３を所定量移動
させて、凸条面４の他側縁４ｂを前記回転砥石１で切削
加工するようにしたことを特徴とするマルチ砥石による
ワークの加工方法。
ワークの平面に極めて狭い幅の複数の凸条面を切削加工
する場合でも、複数枚の回転砥石を備えたマルチ砥石を
使用して、高精度の切削加工を行うことができるマルチ
砥石によるワークの加工方法を提供することを目的とす
るものである。 【構成】複数の回転砥石１を有するマルチ砥石２によっ
てワーク３の平面に所定幅ｗの複数の凸条面４を切削加
工する方法において、先ず、前記複数の凸条面４の一側
縁４ａを前記マルチ砥石２を形成する回転砥石１で切削
加工し、次に、回転砥石１を凸条面４の一側縁４ａから
離し、前記マルチ砥石２あるいはワーク３を所定量移動
させて、凸条面４の他側縁４ｂを前記回転砥石１で切削
加工するようにしたことを特徴とするマルチ砥石による
ワークの加工方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、複数の回転砥石を有
するマルチ砥石によって、ワークの平面に所定幅の複数
の凸条面や所定間隔の複数の溝を切削加工するマルチ砥
石によるワークの加工方法に関するものである。
するマルチ砥石によって、ワークの平面に所定幅の複数
の凸条面や所定間隔の複数の溝を切削加工するマルチ砥
石によるワークの加工方法に関するものである。
【０００２】この種のマルチ砥石によるワークの加工方
法の一例として、コンピュータシステムの外部記憶装置
である磁気ディスク装置に使用される薄膜磁気ヘッドの
スライダーの加工方法がある。
法の一例として、コンピュータシステムの外部記憶装置
である磁気ディスク装置に使用される薄膜磁気ヘッドの
スライダーの加工方法がある。
【０００３】近年、磁気ディスク装置の小型化および大
容量化が要求されている。このような要求を満足させる
ために、磁気記録の高密度化が進められており、そのた
めの磁気ヘッドとして、磁極とコイルとを薄膜技術によ
って構成した薄膜磁気ヘッドが開発され、その薄膜磁気
ヘッドはますます小型化され、そのスライダーに凸条面
で形成された浮上面の幅もより狭くなってきている。
容量化が要求されている。このような要求を満足させる
ために、磁気記録の高密度化が進められており、そのた
めの磁気ヘッドとして、磁極とコイルとを薄膜技術によ
って構成した薄膜磁気ヘッドが開発され、その薄膜磁気
ヘッドはますます小型化され、そのスライダーに凸条面
で形成された浮上面の幅もより狭くなってきている。
【０００４】図４は従来一般の薄膜磁気ヘッドの斜視図
で、図５は薄膜磁気ヘッドの一部拡大図であり、同図
中、１０はアルミニウム・チタン・カーボン（Ａｌ・Ｔ
ｉ・Ｃ）のスライダーであり、一対の浮上面１０ａ，１
０ａが磁気記録媒体に対向するようになっている。スラ
イダー１０の端面部１０ｂには、一対の浮上面１０ａ，
１０ａそれぞれに対応する位置に、薄膜電磁変換素子を
構成するコイル１１および磁極１２，１３などが周知の
薄膜技術によって形成されている。
で、図５は薄膜磁気ヘッドの一部拡大図であり、同図
中、１０はアルミニウム・チタン・カーボン（Ａｌ・Ｔ
ｉ・Ｃ）のスライダーであり、一対の浮上面１０ａ，１
０ａが磁気記録媒体に対向するようになっている。スラ
イダー１０の端面部１０ｂには、一対の浮上面１０ａ，
１０ａそれぞれに対応する位置に、薄膜電磁変換素子を
構成するコイル１１および磁極１２，１３などが周知の
薄膜技術によって形成されている。
【０００５】前記薄膜磁気ヘッドは、Ａｌ・Ｔｉ・Ｃの
図示しないウェハ上に、図４に示す薄膜磁気ヘッドをア
レイ状に複数個形成し、図示しないが、このウェハから
複数の薄膜磁気ヘッドが横方向に並んだ薄膜磁気ヘッド
列毎に切断し、各薄膜磁気ヘッド列の複数の薄膜磁気ヘ
ッドの浮上面１０ａを切削加工し、最後に、各薄膜磁気
ヘッドを個々に切断分離する。各薄膜磁気ヘッド列の薄
膜磁気ヘッドの浮上面１０ａを形成するためには、各薄
膜電磁変換素子の両側に回転砥石を押し当てて溝を切削
する。
図示しないウェハ上に、図４に示す薄膜磁気ヘッドをア
レイ状に複数個形成し、図示しないが、このウェハから
複数の薄膜磁気ヘッドが横方向に並んだ薄膜磁気ヘッド
列毎に切断し、各薄膜磁気ヘッド列の複数の薄膜磁気ヘ
ッドの浮上面１０ａを切削加工し、最後に、各薄膜磁気
ヘッドを個々に切断分離する。各薄膜磁気ヘッド列の薄
膜磁気ヘッドの浮上面１０ａを形成するためには、各薄
膜電磁変換素子の両側に回転砥石を押し当てて溝を切削
する。
【０００６】図６は薄膜磁気ヘッドのスライダー１０に
浮上面１０ａを切削加工する方法を示すもので、以下こ
の切削加工方法について説明する。図６において、１４
は図示しない回転駆動機構によって回転駆動されるよう
に配設されたマルチ砥石で、このマルチ砥石は、薄膜磁
気ヘッドのスライダー１０に形成する一対の浮上面１０
ａ，１０ａそれぞれの幅と同一の対向幅で対向配置され
た４枚の回転砥石１５1 〜１５4 を有しており、また、
このマルチ砥石は、図示しない上下駆動機構および左右
駆動機構によって上下および左右移動可能になってい
る。
浮上面１０ａを切削加工する方法を示すもので、以下こ
の切削加工方法について説明する。図６において、１４
は図示しない回転駆動機構によって回転駆動されるよう
に配設されたマルチ砥石で、このマルチ砥石は、薄膜磁
気ヘッドのスライダー１０に形成する一対の浮上面１０
ａ，１０ａそれぞれの幅と同一の対向幅で対向配置され
た４枚の回転砥石１５1 〜１５4 を有しており、また、
このマルチ砥石は、図示しない上下駆動機構および左右
駆動機構によって上下および左右移動可能になってい
る。
【０００７】１６はウェハから複数の薄膜磁気ヘッドが
横方向に並んだ状態に切り出された薄膜磁気ヘッド列で
あり、この薄膜磁気ヘッド列１６は、図示しない駆動機
構で紙面に垂直方向に駆動されるテーブルに載置保持さ
れている。
横方向に並んだ状態に切り出された薄膜磁気ヘッド列で
あり、この薄膜磁気ヘッド列１６は、図示しない駆動機
構で紙面に垂直方向に駆動されるテーブルに載置保持さ
れている。
【０００８】前記マルチ砥石１４は、上下駆動機構によ
って上方に移動させ、さらに、左右駆動機構が図示しな
い制御手段で制御されて、４枚の回転砥石１５1,１
５2 、１５3 ，１５4 が薄膜電磁変換素子の磁気ギャッ
プの中間から等位置の上に来るように移動され、その後
に上下駆動機構によって下降させて回転砥石１５1,１５
2 、１５3 ，１５4 を薄膜磁気ヘッド列１６に押し当
て、薄膜磁気ヘッド列１６を紙面に垂直方向に移動さ
せ、薄膜電磁変換素子の磁気ギャップの中間から等位置
の両側に溝１６ａ，１６ｂを切削加工することによっ
て、スライダー１０に一対の浮上面１０ａ，１０ａが形
成される。
って上方に移動させ、さらに、左右駆動機構が図示しな
い制御手段で制御されて、４枚の回転砥石１５1,１
５2 、１５3 ，１５4 が薄膜電磁変換素子の磁気ギャッ
プの中間から等位置の上に来るように移動され、その後
に上下駆動機構によって下降させて回転砥石１５1,１５
2 、１５3 ，１５4 を薄膜磁気ヘッド列１６に押し当
て、薄膜磁気ヘッド列１６を紙面に垂直方向に移動さ
せ、薄膜電磁変換素子の磁気ギャップの中間から等位置
の両側に溝１６ａ，１６ｂを切削加工することによっ
て、スライダー１０に一対の浮上面１０ａ，１０ａが形
成される。
【０００９】このようにして、スライダー１０に一対の
浮上面１０ａ，１０ａが形成されると、前記マルチ砥石
１４は、上下駆動機構によって上方に移動させ、さら
に、左右駆動機構が図示しない制御手段で制御させて鎖
線で示すように右方に移動させて、順次一対の浮上面１
０ａ，１０ａが形成される。
浮上面１０ａ，１０ａが形成されると、前記マルチ砥石
１４は、上下駆動機構によって上方に移動させ、さら
に、左右駆動機構が図示しない制御手段で制御させて鎖
線で示すように右方に移動させて、順次一対の浮上面１
０ａ，１０ａが形成される。
【００１０】前記スライダー１０に形成された一対の浮
上面１０ａ，１０ａの間の切削加工は、図示しない別の
回転砥石で行われ、また、スライダー１０の間は、図示
しない別の切削工具によって切削分離されて個々の薄膜
磁気ヘッドが製造される。
上面１０ａ，１０ａの間の切削加工は、図示しない別の
回転砥石で行われ、また、スライダー１０の間は、図示
しない別の切削工具によって切削分離されて個々の薄膜
磁気ヘッドが製造される。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来のよ
うな薄膜磁気ヘッドの浮上面１０ａ，１０ａの切削加工
方法によると、幅が例えば２５０μｍといった薄膜磁気
ヘッドの浮上面１０ａ，１０ａを切削加工する場合に、
回転砥石１５1,１５2 、１５3 ，１５4 の対向幅もそれ
に従って極めて狭くなり、そのため高速回転する回転砥
石１５1,１５2 、１５3 ，１５4 の間に研削液を供給す
ることが難しく、研削液が供給されなくなると、浮上面
１０ａのエッジが欠けたり、回転砥石の寿命が短くな
る。
うな薄膜磁気ヘッドの浮上面１０ａ，１０ａの切削加工
方法によると、幅が例えば２５０μｍといった薄膜磁気
ヘッドの浮上面１０ａ，１０ａを切削加工する場合に、
回転砥石１５1,１５2 、１５3 ，１５4 の対向幅もそれ
に従って極めて狭くなり、そのため高速回転する回転砥
石１５1,１５2 、１５3 ，１５4 の間に研削液を供給す
ることが難しく、研削液が供給されなくなると、浮上面
１０ａのエッジが欠けたり、回転砥石の寿命が短くな
る。
【００１２】薄膜磁気ヘッドのスライダーに形成する浮
上面の幅はさらに狭くなる傾向にあり、このように浮上
面の幅が狭くなると、複数枚の回転砥石を備えたマルチ
砥石で、スライダーに一対の浮上面を一度に切削加工す
ることが困難となり、従って、１枚の回転砥石でスライ
ダーに一対の浮上面を切削加工しなければならず、加工
工数が多くなる、といった問題があった。
上面の幅はさらに狭くなる傾向にあり、このように浮上
面の幅が狭くなると、複数枚の回転砥石を備えたマルチ
砥石で、スライダーに一対の浮上面を一度に切削加工す
ることが困難となり、従って、１枚の回転砥石でスライ
ダーに一対の浮上面を切削加工しなければならず、加工
工数が多くなる、といった問題があった。
【００１３】この発明は、このような従来の問題点に鑑
みてなされたもので、複数の回転砥石を有するマルチ砥
石によって、ワークの平面に極めて狭い幅の複数の凸条
面や複数の溝を切削加工する場合でも、複数枚の回転砥
石を備えたマルチ砥石を使用して、高精度の切削加工を
行うことができるマルチ砥石によるワークの加工方法を
提供することを目的とするものである。
みてなされたもので、複数の回転砥石を有するマルチ砥
石によって、ワークの平面に極めて狭い幅の複数の凸条
面や複数の溝を切削加工する場合でも、複数枚の回転砥
石を備えたマルチ砥石を使用して、高精度の切削加工を
行うことができるマルチ砥石によるワークの加工方法を
提供することを目的とするものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、この発明のマルチ砥石によるワークの加工方法は、
図１に示すように、複数の回転砥石１を有するマルチ砥
石２によってワーク３の平面に所定幅Ｗの複数の凸条面
４を切削加工する方法において、先ず、前記複数の凸条
面４の一側縁４ａを前記マルチ砥石２を形成する回転砥
石１で切削加工し、次に、回転砥石１を凸条面４の一側
縁４ａから離し、前記マルチ砥石２あるいはワーク３を
所定量移動させて、凸条面４の他側縁４ｂを前記回転砥
石１で切削加工するようにしたことを特徴とするマルチ
砥石によるワークの加工方法としたものである。
め、この発明のマルチ砥石によるワークの加工方法は、
図１に示すように、複数の回転砥石１を有するマルチ砥
石２によってワーク３の平面に所定幅Ｗの複数の凸条面
４を切削加工する方法において、先ず、前記複数の凸条
面４の一側縁４ａを前記マルチ砥石２を形成する回転砥
石１で切削加工し、次に、回転砥石１を凸条面４の一側
縁４ａから離し、前記マルチ砥石２あるいはワーク３を
所定量移動させて、凸条面４の他側縁４ｂを前記回転砥
石１で切削加工するようにしたことを特徴とするマルチ
砥石によるワークの加工方法としたものである。
【００１５】また、図２に示すように、複数の回転砥石
１を有するマルチ砥石２によってワーク３の平面に所定
間隔の複数の溝５を切削加工する方法において、前記溝
５の間隔ｔの少なくとも二倍の間隔２ｔで回転砥石１を
有するマルチ砥石２を用意し、先ず、このマルチ砥石２
の回転砥石１でワーク３の平面に、所定間隔ｔの少なく
とも二倍の間隔２ｔの溝５を切削加工し、次に、回転砥
石１を切削した溝５から離し、前記マルチ砥石２あるい
はワーク３を溝５の間隔ｔだけ移動させた後に、この回
転砥石１をワーク３に押し当てて溝５′を切削加工する
ようにしたことを特徴とするマルチ砥石によるワークの
加工方法としたものである。
１を有するマルチ砥石２によってワーク３の平面に所定
間隔の複数の溝５を切削加工する方法において、前記溝
５の間隔ｔの少なくとも二倍の間隔２ｔで回転砥石１を
有するマルチ砥石２を用意し、先ず、このマルチ砥石２
の回転砥石１でワーク３の平面に、所定間隔ｔの少なく
とも二倍の間隔２ｔの溝５を切削加工し、次に、回転砥
石１を切削した溝５から離し、前記マルチ砥石２あるい
はワーク３を溝５の間隔ｔだけ移動させた後に、この回
転砥石１をワーク３に押し当てて溝５′を切削加工する
ようにしたことを特徴とするマルチ砥石によるワークの
加工方法としたものである。
【００１６】
【作用】この発明においては、先ず、ワーク３の平面に
切削加工する複数の凸条面４の一側縁４ａを前記マルチ
砥石２を形成する回転砥石１で切削加工し、次に、回転
砥石１を凸条面４の一側縁４ａから離し、前記マルチ砥
石２あるいはワーク３を所定量移動させて、凸条面４の
他側縁４ｂを前記回転砥石１で切削加工するようにした
ので、マルチ砥石２を形成する複数枚の回転砥石１は、
従来のように凸条面４の幅と同じく極めて狭い間隔で対
向配設されておらず、すなわち、複数枚の回転砥石１の
間隔は充分に広いので、回転砥石１の間に研削液を供給
することが容易となり、従来のように、凸条面４のエッ
ジが欠けたり、回転砥石の寿命を短くするようなことが
なくなる。
切削加工する複数の凸条面４の一側縁４ａを前記マルチ
砥石２を形成する回転砥石１で切削加工し、次に、回転
砥石１を凸条面４の一側縁４ａから離し、前記マルチ砥
石２あるいはワーク３を所定量移動させて、凸条面４の
他側縁４ｂを前記回転砥石１で切削加工するようにした
ので、マルチ砥石２を形成する複数枚の回転砥石１は、
従来のように凸条面４の幅と同じく極めて狭い間隔で対
向配設されておらず、すなわち、複数枚の回転砥石１の
間隔は充分に広いので、回転砥石１の間に研削液を供給
することが容易となり、従来のように、凸条面４のエッ
ジが欠けたり、回転砥石の寿命を短くするようなことが
なくなる。
【００１７】また、ワーク３の平面に所定間隔で複数切
削加工する溝５の間隔ｔの少なくとも二倍の間隔２ｔ
で、複数枚の回転砥石１を有するマルチ砥石２を用意
し、先ずこのマルチ砥石２の回転砥石１で、ワーク３の
平面に所定間隔ｔの少なくとも二倍の間隔２ｔの溝５を
切削加工し、次に、回転砥石１を切削した溝５から離
し、前記マルチ砥石２あるいはワーク３を溝５の間隔ｔ
だけ移動させた後に、この回転砥石１をワーク３に押し
当てて溝５′を切削加工するようにしたので、マルチ砥
石２を形成する複数枚の回転砥石１は、従来のように溝
５の間隔と同じく極めて狭い間隔で対向配設されていな
いので、すなわち、複数枚の回転砥石１の間隔は充分に
広いので、回転砥石１の間に研削液を供給することが容
易となり、従来のように、溝５のエッジが欠けたり、回
転砥石の寿命を短くするようなことがなくなる。
削加工する溝５の間隔ｔの少なくとも二倍の間隔２ｔ
で、複数枚の回転砥石１を有するマルチ砥石２を用意
し、先ずこのマルチ砥石２の回転砥石１で、ワーク３の
平面に所定間隔ｔの少なくとも二倍の間隔２ｔの溝５を
切削加工し、次に、回転砥石１を切削した溝５から離
し、前記マルチ砥石２あるいはワーク３を溝５の間隔ｔ
だけ移動させた後に、この回転砥石１をワーク３に押し
当てて溝５′を切削加工するようにしたので、マルチ砥
石２を形成する複数枚の回転砥石１は、従来のように溝
５の間隔と同じく極めて狭い間隔で対向配設されていな
いので、すなわち、複数枚の回転砥石１の間隔は充分に
広いので、回転砥石１の間に研削液を供給することが容
易となり、従来のように、溝５のエッジが欠けたり、回
転砥石の寿命を短くするようなことがなくなる。
【００１８】
【実施例】以下、図面に従ってこの発明のマルチ砥石に
よるワークの加工方法について説明する。図１に示すこ
の発明において、複数の回転砥石１を有するマルチ砥石
２によってワーク３の平面に所定幅Ｗの複数の凸条面４
を切削加工する方法は、先ず、図に示す状態から、図示
しない上下駆動機構によってマルチ砥石２を下降させ
て、図示しない回転駆動機構によって回転されている回
転砥石１をワーク３の平面に当て、図示しない駆動機構
によってワーク３を紙面に対して垂直方向に移動させる
ことによって、ワーク３の平面に複数の凸条面４の一側
縁４ａを回転砥石１で切削加工する。
よるワークの加工方法について説明する。図１に示すこ
の発明において、複数の回転砥石１を有するマルチ砥石
２によってワーク３の平面に所定幅Ｗの複数の凸条面４
を切削加工する方法は、先ず、図に示す状態から、図示
しない上下駆動機構によってマルチ砥石２を下降させ
て、図示しない回転駆動機構によって回転されている回
転砥石１をワーク３の平面に当て、図示しない駆動機構
によってワーク３を紙面に対して垂直方向に移動させる
ことによって、ワーク３の平面に複数の凸条面４の一側
縁４ａを回転砥石１で切削加工する。
【００１９】次に、上下駆動機構によって回転砥石１を
凸条面４の一側縁４ａから離し、図示しない左右駆動機
構および左右駆動制御手段によって、前記マルチ砥石２
あるいはワーク３を所定量移動させて、凸条面４の他側
縁４ｂの上に前記回転砥石１が位置するようにした後、
上下駆動機構によってマルチ砥石２を下降させて、凸条
面４の他側縁４ｂを切削加工するようにしたものであ
る。前記ワーク３に形成された一対の凸条面４，４の間
の切削加工は、図示しない別の回転砥石で行われる。
凸条面４の一側縁４ａから離し、図示しない左右駆動機
構および左右駆動制御手段によって、前記マルチ砥石２
あるいはワーク３を所定量移動させて、凸条面４の他側
縁４ｂの上に前記回転砥石１が位置するようにした後、
上下駆動機構によってマルチ砥石２を下降させて、凸条
面４の他側縁４ｂを切削加工するようにしたものであ
る。前記ワーク３に形成された一対の凸条面４，４の間
の切削加工は、図示しない別の回転砥石で行われる。
【００２０】図２に示すこの発明において、複数の回転
砥石１を有するマルチ砥石２によってワーク３の平面に
所定間隔の複数の溝５を切削加工する方法は、前記溝５
の間隔ｔの少なくとも二倍の間隔２ｔで回転砥石１を有
するマルチ砥石２を用意し、先ず、図に示す状態から、
図示しない上下駆動機構によって、このマルチ砥石２を
下降させて、図示しない回転駆動機構によって回転され
ている回転砥石１をワーク３の平面に当て、図示しない
駆動機構によってワーク３を紙面に対して垂直方向に移
動させることによって、ワーク３の平面に所定間隔ｔの
少なくとも二倍の間隔２ｔの溝５を切削加工する。
砥石１を有するマルチ砥石２によってワーク３の平面に
所定間隔の複数の溝５を切削加工する方法は、前記溝５
の間隔ｔの少なくとも二倍の間隔２ｔで回転砥石１を有
するマルチ砥石２を用意し、先ず、図に示す状態から、
図示しない上下駆動機構によって、このマルチ砥石２を
下降させて、図示しない回転駆動機構によって回転され
ている回転砥石１をワーク３の平面に当て、図示しない
駆動機構によってワーク３を紙面に対して垂直方向に移
動させることによって、ワーク３の平面に所定間隔ｔの
少なくとも二倍の間隔２ｔの溝５を切削加工する。
【００２１】次に、上下駆動機構によって回転砥石１を
切削した溝５から離し、図示しない左右駆動機構および
左右駆動制御手段によって、前記マルチ砥石２あるいは
ワーク３を溝５の間隔ｔだけ移動させた後に、上下駆動
機構によってこの回転砥石１をワーク３に押し当てて溝
５′を切削加工するようにしたものである。
切削した溝５から離し、図示しない左右駆動機構および
左右駆動制御手段によって、前記マルチ砥石２あるいは
ワーク３を溝５の間隔ｔだけ移動させた後に、上下駆動
機構によってこの回転砥石１をワーク３に押し当てて溝
５′を切削加工するようにしたものである。
【００２２】図３はこの発明を実施する切削加工機構の
概略を示す図であり、６は前記ワーク３が載置保持され
るテーブルで、レール７，７に載置されるとともに、図
示しない駆動機構によって回転されるボールネジ８と螺
合されてレール７，７に沿って摺動自在になっている。
概略を示す図であり、６は前記ワーク３が載置保持され
るテーブルで、レール７，７に載置されるとともに、図
示しない駆動機構によって回転されるボールネジ８と螺
合されてレール７，７に沿って摺動自在になっている。
【００２３】テーブル６に載置保持されたワーク３の平
面に、所定幅Ｗの複数の凸条面４を切削加工したり、所
定間隔の複数の溝５を切削加工する複数枚の回転砥石を
有するマルチ砥石２は回転軸９に保持され、この回転軸
９は図示しない回転駆動機構によって回転駆動され、ま
た、図示しない上下駆動機構および左右駆動機構によっ
て上下および左右に移動されるようになっている。
面に、所定幅Ｗの複数の凸条面４を切削加工したり、所
定間隔の複数の溝５を切削加工する複数枚の回転砥石を
有するマルチ砥石２は回転軸９に保持され、この回転軸
９は図示しない回転駆動機構によって回転駆動され、ま
た、図示しない上下駆動機構および左右駆動機構によっ
て上下および左右に移動されるようになっている。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、この発明のマルチ
砥石によるワークの加工方法によって、複数の回転砥石
を有するマルチ砥石によってワークの平面に所定幅の複
数の凸条面を切削加工する場合は、先ず、ワークの平面
に切削加工する複数の凸条面の一側縁を前記回転砥石で
切削加工し、次に、回転砥石を凸条面の一側縁から離
し、前記マルチ砥石あるいはワークを所定量移動させ
て、凸条面の他側縁を前記回転砥石で切削加工するよう
にしたので、マルチ砥石を形成する複数枚の回転砥石
は、従来のように凸条面の幅と同じく極めて狭い間隔で
対向配設されておらず、すなわち、複数枚の回転砥石の
間隔は充分に広いので、回転砥石の間に研削液を供給す
ることが容易となり、従来のように、凸条面のエッジが
欠けたり、回転砥石の寿命を短くするようなことがなく
なる。
砥石によるワークの加工方法によって、複数の回転砥石
を有するマルチ砥石によってワークの平面に所定幅の複
数の凸条面を切削加工する場合は、先ず、ワークの平面
に切削加工する複数の凸条面の一側縁を前記回転砥石で
切削加工し、次に、回転砥石を凸条面の一側縁から離
し、前記マルチ砥石あるいはワークを所定量移動させ
て、凸条面の他側縁を前記回転砥石で切削加工するよう
にしたので、マルチ砥石を形成する複数枚の回転砥石
は、従来のように凸条面の幅と同じく極めて狭い間隔で
対向配設されておらず、すなわち、複数枚の回転砥石の
間隔は充分に広いので、回転砥石の間に研削液を供給す
ることが容易となり、従来のように、凸条面のエッジが
欠けたり、回転砥石の寿命を短くするようなことがなく
なる。
【００２５】また、複数の回転砥石を有するマルチ砥石
によってワークの平面に所定間隔の複数の溝を切削加工
する場合は、ワークの平面に所定間隔で複数切削加工す
る溝の間隔の少なくとも二倍の間隔で、複数枚の回転砥
石を有するマルチ砥石を用意し、先ずこのマルチ砥石の
回転砥石で、ワークの平面に所定間隔の少なくとも二倍
の間隔の溝を切削加工し、次に、回転砥石を切削した溝
から離し、前記マルチ砥石あるいはワークを溝の間隔だ
け移動させた後に、この回転砥石をワークに押し当てて
溝を切削加工するようにしたので、マルチ砥石を形成す
る複数枚の回転砥石は、従来のように溝の間隔と同じく
極めて狭い間隔で対向配設されていないので、すなわ
ち、複数枚の回転砥石の間隔は充分に広いので、回転砥
石の間に研削液を供給することが容易となり、従来のよ
うに、溝のエッジが欠けたり、回転砥石の寿命を短くす
るようなことがなくなる。
によってワークの平面に所定間隔の複数の溝を切削加工
する場合は、ワークの平面に所定間隔で複数切削加工す
る溝の間隔の少なくとも二倍の間隔で、複数枚の回転砥
石を有するマルチ砥石を用意し、先ずこのマルチ砥石の
回転砥石で、ワークの平面に所定間隔の少なくとも二倍
の間隔の溝を切削加工し、次に、回転砥石を切削した溝
から離し、前記マルチ砥石あるいはワークを溝の間隔だ
け移動させた後に、この回転砥石をワークに押し当てて
溝を切削加工するようにしたので、マルチ砥石を形成す
る複数枚の回転砥石は、従来のように溝の間隔と同じく
極めて狭い間隔で対向配設されていないので、すなわ
ち、複数枚の回転砥石の間隔は充分に広いので、回転砥
石の間に研削液を供給することが容易となり、従来のよ
うに、溝のエッジが欠けたり、回転砥石の寿命を短くす
るようなことがなくなる。
【図１】この発明の第１実施例を示す図である。
【図２】この発明の第２実施例を示す図である。
【図３】この発明を実施する切削加工機構の概略を示す
図である。
図である。
【図４】従来一般の薄膜磁気ヘッドの斜視図である。
【図５】薄膜磁気ヘッドの一部拡大図である。
【図６】従来のスライダーの浮上面の切削加工法を示す
図である。
図である。
１ 回転砥石 ２ マルチ砥石 ３ ワーク ４ 凸条面 ４ａ 一側縁 ４ｂ 他側縁 ５，５′ 溝 ６ テーブル ７ レール ８ ボールネジ ９ 回転軸 １０ スライダー １０ａ 浮上面 １１ コイル １２ 磁極 １３ 磁極 １４ マルチ砥石 １５1 〜１５4 回転砥石 １６ 薄膜磁気ヘッド列 １６ａ 溝 １６ｂ 溝
Claims (2)
- 【請求項１】 複数の回転砥石（１）を有するマルチ砥
石（２）によってワーク（３）の平面に所定幅（Ｗ）の
複数の凸条面（４）を切削加工する方法において、先ず
前記複数の凸条面（４）の一側縁（４ａ）を前記マルチ
砥石（２）を形成する回転砥石（１）で切削加工し、次
に、回転砥石（１）を凸条面（４）の一側縁（４ａ）か
ら離し、前記マルチ砥石（２）あるいはワーク（３）を
所定量移動させて、凸条面（４）の他側縁（４ｂ）を前
記回転砥石（１）で切削加工するようにしたことを特徴
とするマルチ砥石によるワークの加工方法。 - 【請求項２】 複数の回転砥石（１）を有するマルチ砥
石（２）によってワーク（３）の平面に所定間隔の複数
の溝（５）を切削加工する方法において、前記溝（５）
の間隔（ｔ）の少なくとも二倍の間隔（２ｔ）で回転砥
石（１）を有するマルチ砥石（２）を用意し、先ず、こ
のマルチ砥石（２）の回転砥石（１）でワーク（３）の
平面に、所定間隔（ｔ）の少なくとも二倍の間隔（２
ｔ）の溝（５）を切削加工し、次に、回転砥石（１）を
切削した溝（５）から離し、前記マルチ砥石（２）ある
いはワーク（３）を溝（５）の間隔（ｔ）だけ移動させ
た後に、この回転砥石（１）をワーク（３）に押し当て
て溝（５′）を切削加工するようにしたことを特徴とす
るマルチ砥石によるワークの加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27548391A JPH05111867A (ja) | 1991-10-23 | 1991-10-23 | マルチ砥石によるワークの加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27548391A JPH05111867A (ja) | 1991-10-23 | 1991-10-23 | マルチ砥石によるワークの加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05111867A true JPH05111867A (ja) | 1993-05-07 |
Family
ID=17556154
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27548391A Pending JPH05111867A (ja) | 1991-10-23 | 1991-10-23 | マルチ砥石によるワークの加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05111867A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11207592A (ja) * | 1998-01-26 | 1999-08-03 | Isuzu Motors Ltd | シリンダボアの内面微細溝加工装置及び加工方法 |
| JP2017109464A (ja) * | 2015-12-15 | 2017-06-22 | 株式会社岡本工作機械製作所 | セラミック製ワークピースの溝切り加工方法 |
| CN120533565A (zh) * | 2025-07-28 | 2025-08-26 | 苏州凯莱泰克陶瓷新材料有限公司 | 一种纺织机械陶瓷导纱轮的智能抛光设备及方法 |
-
1991
- 1991-10-23 JP JP27548391A patent/JPH05111867A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11207592A (ja) * | 1998-01-26 | 1999-08-03 | Isuzu Motors Ltd | シリンダボアの内面微細溝加工装置及び加工方法 |
| JP2017109464A (ja) * | 2015-12-15 | 2017-06-22 | 株式会社岡本工作機械製作所 | セラミック製ワークピースの溝切り加工方法 |
| CN120533565A (zh) * | 2025-07-28 | 2025-08-26 | 苏州凯莱泰克陶瓷新材料有限公司 | 一种纺织机械陶瓷导纱轮的智能抛光设备及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6073337A (en) | Compressive stress treatment method for controlling curvature of a hydrodynamic bearing slider | |
| US5406694A (en) | Scalable method of fabricating thin-film sliders | |
| US5722156A (en) | Method for processing ceramic wafers comprising plural magnetic head forming units | |
| JP2002331452A (ja) | 研磨装置及び磁気ヘッド並びにその製造方法 | |
| US4333229A (en) | Method of manufacturing thin film magnetic head/slider combination | |
| US6531084B1 (en) | Laser edge treatment of sliders | |
| US6276991B1 (en) | Crown forming method of forming crown on floating type magnetic head | |
| US20140170944A1 (en) | Method of patterning a lapping plate, and patterned lapping plates | |
| JPH05111867A (ja) | マルチ砥石によるワークの加工方法 | |
| JP3499461B2 (ja) | スライダの加工方法 | |
| EP1003157B1 (en) | Hard disk burnishing head | |
| JPH02301014A (ja) | 浮動型磁気ヘッドの製造方法 | |
| US6926582B2 (en) | System and method for rounding disk drive slider corners and/or edges using a flexible slider fixture, an abrasive element, and support elements to control slider orientation | |
| JPH03295017A (ja) | 磁気ヘッドスライダーの製造方法 | |
| US20020132571A1 (en) | Method of manufacturing magnetic head | |
| JPH04285721A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JP2000215429A (ja) | 磁気ヘッドスライダの研磨方法および研磨治具 | |
| JP3886813B2 (ja) | 研磨方法 | |
| JPH10247309A (ja) | 回転ヘッド装置の製造方法，磁気ヘッドユニットの製造方法，回転ヘッド装置および磁気ヘッドユニット | |
| JP2964722B2 (ja) | 浮上型薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH11219574A (ja) | 磁気ヘッド及び磁気ディスク装置 | |
| JPH0877511A (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH08235530A (ja) | 薄膜磁気ヘッド装置の製造方法 | |
| JPS5818688B2 (ja) | 磁気ディスク用マルチヘッドコアスライダの製造法 | |
| JPH10241131A (ja) | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20010321 |