JPH0821263B2 - 誘電体磁器組成物 - Google Patents

誘電体磁器組成物

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JPH0821263B2
JPH0821263B2 JP62135252A JP13525287A JPH0821263B2 JP H0821263 B2 JPH0821263 B2 JP H0821263B2 JP 62135252 A JP62135252 A JP 62135252A JP 13525287 A JP13525287 A JP 13525287A JP H0821263 B2 JPH0821263 B2 JP H0821263B2
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博司 加賀田
洋 丹羽
純一 加藤
敏弘 三原
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は1080℃以下で焼成される高誘電率系誘電体磁
器組成物に関し、特に低酸素分圧雰囲気で焼成でき高い
抵抗率の得られる組成物に関する。
従来の技術 近年セラミックコンデンサにおいては素子の小型化、
大容量化への要求から積層型セラミックコンデンサが急
速に普及しつつある。積層型セラミックコンデンサは内
部電極とセラミックを一体焼成する工程によって通常製
造される。従来より高誘電率系のセラミックコンデンサ
材料にはチタン酸バリウム系の材料が用いられてきた
が、焼成温度が1300℃程度と高いため、内部電極材料と
してはPt,Pdなどの高価な金属を用いる必要があった。
これに対し発明者らはすでに1080℃以下、低酸素分圧
雰囲気で焼成でき銅または銅を主成分とする合金などの
安価な卑金属材料を内部電極として使用できる、(Pba
Meb)(Mg1/3Nb2/3)xTiy O 2+a+b(MeはCa,Ba,S
r)で表される誘電体磁器組成物を提案している。この
組成物は低温度で焼成でき、低酸素分圧下で焼成した
際、高い抵抗率を有し、銅または銅を主成分とする合金
を内部電極とした積層コンデンサ素子に用いることがで
きる。
いっぽう上に述べたセラミック積層コンデンサ素子の
製造工程においては焼成時に内部電極である銅もしくは
銅を主成分とする合金が酸化せず誘電体セラミックが還
元して低抵抗化しない酸素分圧下での焼成が必要とされ
る。この酸素分圧の制御においては焼成温度が高いほど
最適条件を得るためのガス混合比の制御が困難になる。
このため、誘電体セラミックにたいしてはより低い温度
で焼成できかつ高い抵抗率を有する組成物が求められて
いた。
発明が解決しようとする問題点 (Pba Meb)(Mg1/3Nb2/3)xTiy O2+a+b(MeはC
a,Ba,Sr)で表される誘電体磁器組成物において、誘電
特性を損なわず焼成温度をより低くし抵抗率の高い誘電
体磁器組成物を提供することを目的とする。
問題点を解決するための手段 (Pba Meb)(Mg1/3Nb2/3)xTiy O2+a+b(MeはCa,
Ba,Sr)で表される誘電体磁器組成物(ただしx+y=
1)に対し、副成分として銅酸化物をCu2O換算で0.03〜
0.65重量%含有する組成物とする。
作用 本発明の誘電体磁器組成物の系において、副成分を含
まない組成物に対し副成分を含む組成物は低い温度で焼
結し誘電率の低下は少なく、誘電損失の増大も小さく、
かつ抵抗率は同等ないし向上する。
実施例 出発原料としては、化学的に高純度なPbO,MgO,Nb2O5,
TiO2,CaCO3,BaCO3,SrCO3,Cu2Oを用いた。これらを純度
補正をおこなったうえで所定量を秤量し、ジルコニア製
玉石を用い純水を溶媒としボールミルで17時間湿式混合
した。これを吸引ろ過して水分の大半を分離した後乾燥
し、その後ライカイ機で充分解砕した後粉体量の5wt%
の水分を加え、直径60mm高さ約50mmの円柱状に成形圧力
500kg/cm2で成形した。これをアルミナルツボ中に入れ
同質のフタをし、680℃〜760℃で2時間仮焼した。次に
仮焼物をアルミナ乳鉢で粗砕し、さらにジルコニア製玉
石を用い純水を溶媒としてボールミルで17時間粉砕し、
これを吸引ろ過し水分の大半を分離した後乾燥した。以
上の仮焼,粉砕,乾燥を数回くりかえした後この粉末に
ポリビニルアルコール6wt%水溶液を粉体量の6wt%加
え、32メッシュふるいを通して造粒し、成形圧力1000kg
/cm2で成形した。成形物は空気中で700℃まで昇温し1
時間保持しポリビルアルコール分をバーンアウトした。
これを上述の仮焼粉を体積の1/3程度敷きつめた上に200
メッシュMgO粉を約1mm敷いたマグネシヤ磁器容器に移
し、同質のフタをし、管状電気炉の炉心管内に挿入し、
炉心管内をロータリーポンプで脱気したのちN2-H2-H2O
混合ガスで置換し、焼成温度での酸素分圧(Po2)が1.0
x10-8atmになるようN2とH2ガスの混合比を調節しながら
混合ガスを流し所定温度まで400℃/hrで昇温し2時間保
持後400℃/hrで降温した。炉心管内のPo2は挿入した安
定化ジルコニア酸素センサーにより測定した。第1図に
焼成時のマグネシヤ磁器容器の構造を、第2図に炉心管
内部をそれぞれ断面図で示す。
第1図において1はマグネシア容器であり、その上部
はマグネシア容器蓋2で封じた。マグネシア容器1の下
部には仮焼粉3を配置し、その上にマグネシア粉4を配
置した。さらにその上に試料5を配置した。
第2図のように準備されたマグネシア容器1を第3図
のように炉心管6内に配置した。7は安定化ジルコニア
酸素センサーである。
焼成物は厚さ1mmの板状に切断し、両面にCr-Auを蒸着
し、誘電率、tanδを、1kHz、1V/mmの電界下で測定し
た。また抵抗率は、1kV/mmの電圧を印加後1分値から求
めた。
なお焼成温度は焼成物の密度がもっとも大きくなる温
度とした。
表1に本発明の組成範囲および周辺組成の成分、(a,
b,x,y,は、(PbaMeb)(Mg1/3Nb2/3)xTiy O2+a+bの
値)低酸素分圧雰囲気で焼成したときの焼成温度、誘電
率、誘電率の温度変化率(20℃に対する)、tanδ、抵
抗率、密度を示した。
発明範囲外の組成物では、a+bが1.010より小さい
と副成分として銅酸化物を添加しても、焼成温度が1080
℃より高くなるか、1080℃より焼成温度が低くなるまで
銅酸化物を添加すると誘電率が低下する、もしくは抵抗
率が低下する難点を有しており、1.250より大きくなる
と誘電率および抵抗率が低下する難点を有する。副成分
の銅酸化物が0.03wt%より小さいと焼成温度低下の改善
効果が現れず、0.65wt%より大きくなると誘電特性とく
に誘電率と抵抗率の低下が大きくなる。またxが限定の
範囲外の組成物はキュリー点が室温から大きくはずれ誘
電率が低くなる、もしくは誘電率の温度変化率が大きな
る難点を有している。特許請求の範囲内の組成物では前
記の問題がいずれも克服されている。
なお焼成雰囲気として選択した低酸素分圧雰囲気Po2;
1.0x10-8atmは、焼成温度における銅の平衡酸素分圧よ
り低く金属はほとんど酸化しないと考えられる。
発明の効果 本発明によれば、低酸素分圧雰囲気1080℃以下の焼成
で積層コンデンサ素子として高信頼性を得るためのチ密
で抵抗率の高い焼結体が得られ、とくに本発明の副成分
の添加により焼成温度が低下し焼成時の酸素分圧の制御
が容易になる。このため内部電極としてCuなどの卑金属
材料を用いた積層コンデンサ素子に本発明の組成物を用
いた場合、電気的特性を損なうことなく、より安定な製
造条件で素子が製造でき、量産性が向上する。
【図面の簡単な説明】
第1図は焼成時に磁器を入れるマグネシヤ容器の断面
図,第2図は焼成時の炉心管内の断面図を示す。 1……マグネシヤ容器、2……マグネシヤ容器蓋、3…
…仮焼粉、4……マグネシア粉、5……試料、6……炉
心管、7……安定化ジルコニア酸素センサー。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 加藤 純一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 三原 敏弘 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−96357(JP,A) 特開 昭55−121959(JP,A) 特開 昭56−2690(JP,A)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】(Pba Meb)(Mg1/3Nb2/3)xTiyO2+a+b
    表され、MeはCa,Ba,Srからなる群から選ばれた少なくと
    も一種の元素からなり、 x+y=1.00 0.001≦ b ≦0.225 1.010≦a+b≦1.250 0.650≦ x ≦0.960 の範囲内にある組成物に対し、副成分として、銅酸化物
    をCu2O換算で副成分合計の重量%で、0.03〜0.65%含有
    することを特徴とする誘電体磁器組成物。
JP62135252A 1987-05-29 1987-05-29 誘電体磁器組成物 Expired - Lifetime JPH0821263B2 (ja)

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JPH02172106A (ja) * 1988-12-23 1990-07-03 Tdk Corp 誘電体セラミック用組成物、誘電体セラミック焼結体および多層配線基板

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