JPH08212960A - 電子顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】電顕像をＣＲＴモニター等で観察中に、装置条
件等が電顕像と同じＣＲＴモニターの視野内に観察でき
る電子顕微鏡の装置を提供する。 【構成】電顕像と装置条件とをＣＲＴモニター１０の同
一視野内に表示し、電顕像の観察中に電顕像から目を離
さなくとも装置条件が確認できる装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は電子顕微鏡に関し、特
に、ＣＲＴモニターを備えた装置に係る。

【０００２】

【従来の技術】電子顕微鏡の像をＣＲＴモニターで観察
する装置の例は少なく、装置の各種設定条件は操作卓の
つまみの設定位置を目視確認する等の不便さが有った。
また、電顕像のフィルム撮影時に、あらかじめ決めた位
置にあらかじめ入力されたフィルム番号等を、電顕像と
一緒に撮影露光を実施している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ＣＲＴモニターに表示
された微妙な電顕像を観察し操作している時に、電顕像
の視野外にある装置設定条件に目を移すことは困難な点
に鑑み、観察中の電顕像から目を離さないで設定条件を
確認できる装置を提供するにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】装置設定条件の加速電圧
値，倍率，残フィルム枚数，フィルム露光番号等々の情
報を、電顕像と一緒に電顕像の観察を妨げないＣＲＴモ
ニターの一部に同時表示する。

【０００５】

【作用】瞬時に変化する様な一過性の電顕像を観察し操
作して写真撮影をする時に、その一瞬のタイミングを逃
さずに確実に狙った電顕像を、写真撮影できる機能が装
置に要求される最重要事項である。その時本発明の装置
を使えば、電顕像の視野外に目を移さずに装置設定条件
等が確認でき、電顕像の一瞬の変化タイミングも逃さな
いで撮影（もしくは制御ＣＰＵ等のメモリに記憶）がで
きる。

【０００６】

【実施例】図４に一般的な透過電子顕微鏡の原理的な概
略構成を示す。電子ビ−ム２は電子銃および加速管１か
ら発生し加速され、コンデンサレンズ３で所望の明るさ
とスポット径に設定して試料４に照射する。試料４のイ
メージは対物レンズ５と投影レンズ６とで拡大し、焦点
を合わされて蛍光板７に電顕像８を結像する。

【０００７】通常透過電子顕微鏡の操作は蛍光板７の電
顕像８を観察しながら、最適な試料４領域の観察ができ
る様に試料を移動させ、また加速電圧，像倍率，像の明
るさ等々を操作し、試料４のより良い電顕像８写真が得
られる様に装置条件を操作し設定する。写真撮影する電
顕像の最適条件が整うと、撮影用の未露光フィルムをフ
ィードしシャッターを操作して写真撮影を実行し、撮影
後にはフィルム撮影位置から取り除く。図にはこの構造
を示していないが、通常の透過電子顕微鏡には観察して
いる蛍光板７の下に写真撮影用の機構部が備わってい
る。すなわち蛍光板７で観察している電顕像８を写真撮
影する時は、蛍光板７を光軸から外しあらかじめフィー
ドし設定したフィルムに撮影する。この蛍光板７の光軸
から外す動作が透過電子顕微鏡の写真撮影のシャッター
操作に相当する。この時、未露光フィルムは装置から放
射されるＸ線の影響を受けない様に、撮影直前にフィル
ムのストッカーから一枚ずつ取り出される。

【０００８】透過電子顕微鏡を操作する環境は、蛍光板
７の微弱なコントラストの電顕像８を観察することが多
いため、通常暗い暗室での観察操作となることが多い。
そのために電子顕微鏡の操作卓の各種操作つまみやスイ
ッチは、誤操作が少なくなる様に部分照明がされている
が、蛍光板７を観察する時には顔を装置に近付け覗き込
む様な姿勢になり手探りの状態で操作することが多く、
装置への設定条件は電顕像８を操作している時には極め
て確認しにくい作業となる。

【０００９】また、通常の透過電子顕微鏡にあまり使わ
れていないが、一部の超高圧電子顕微鏡の様にＸ線漏洩
の問題や、また明るい部屋で電顕像を観察する様な場合
においては、蛍光板７の電顕像８をＴＶカメラ９で撮影
しＣＲＴモニター１０に表示することがある。

【００１０】図４にはＴＶカメラ９の配置例も示した
が、厳密に言うとこの配置であると、蛍光板７の電顕像
８を斜め上から撮影せざるを得ず、ＣＲＴモニター１０
で観察する図形は歪の大きい像になってしまう。このた
めＴＶカメラ装置１１を投影レンズ６と蛍光板７との間
の光軸に設定し、撮影するとより歪の少ない電顕像が得
られる。

【００１１】このＴＶカメラ装置１１の構成例を図５に
示した。このＴＶカメラ装置１１は簡単に言えば蛍光板
１２とＴＶカメラ９を一体にし組み合わせた構造をして
いる。ＴＶカメラ９で電顕像を観察する時は、このＴＶ
カメラ装置１１を投影レンズ６と蛍光板７との間の光軸
に挿入し、蛍光板１２に投影される電顕像１３の透過像
をミラー１４で反射させ、その反射像をＴＶカメラ９で
撮影してＣＲＴモニター１０に像を表示する。ただし、
このＴＶカメラ装置１１は使用する時のみ光軸に入れ、
電顕像の写真撮影をする時や蛍光板７の電顕像８を観察
する時は光軸から取り出して置かなければならない。

【００１２】図１は本発明を実施する上での装置構成例
である。表示コントローラ１５はＴＶカメラ９からの電
顕像の映像信号と、制御ＣＰＵ１６から装置の設定条件
の表示項目データを受けてＣＲＴモニター１０に表示制
御する装置である。

【００１３】また、操作スイッチ盤１７には種々の装置
設定条件の中から、ＣＲＴモニター１０へ表示する表示
項目２１を指定する操作スイッチ２２〜２４や、表示操
作を指定するスイッチ等が実装されていて、これ等の操
作スイッチの操作状態は常時制御ＣＰＵ１６に読み込ま
れ、その表示項目データは表示コントローラ１５に送ら
れる。さらに操作スイッチ盤１７から、表示要求が発生
した時に電顕像の信号と表示項目データを合成しＣＲＴ
モニター１０に表示し、表示終了の要求が有るまでその
表示を継続する。

【００１４】これによってＴＶカメラ９で撮影した電顕
像と操作スイッチ盤１７の表示項目はＣＲＴモニター１
０の表示エリア１９に表示が実行できる。すなわちオペ
レータが操作スイッチ盤１７の操作をして表示項目２１
を選択し、また表示オンオフスイッチ２５で表示の要否
を指示すれば、ＣＲＴモニター１０には指示通りの表示
項目２１が電顕像と同時に表示されることになる。

【００１５】図２に操作スイッチ盤１７の表示項目２１
等のスイッチ配置例、すなわちオペレータが観察中に確
認したい装置設定条件の中から、表示項目２１を指定す
る操作スイッチ２２〜２４，表示の要否を指定する表示
オンオフ指定スイッチ２５、そしてＣＲＴモニター１０
の表示エリア１９を指定する表示位置指定スイッチ２６
の配置例を示す。

【００１６】装置の設定条件は多数有るがここには表示
項目２１として、加速電圧表示スイッチ２２，倍率表示
スイッチ２３そして残フィルム枚数表示スイッチ２４の
３種類を選択する例を示した。それぞれのスイッチが押
されていればＣＲＴモニター１０の表示エリア１９に図
３で示した様に表示され、押されていないスイッチは表
示されない。また、表示オンオフ指定スイッチ２５が押
されている時は、スイッチ２２〜２４の押されているス
イッチの項目だけを表示し、スイッチ２５が押されてい
ない時は全く表示しない。

【００１７】また、ＣＲＴモニター１０のどこの位置に
表示エリア１９を置くかを指定するスイッチが表示位置
指定スイッチ２６である。このスイッチ２６は一般的に
使用されているスイッチによるマトリックス指定か、テ
ンキー入力等による座標指定かで入力する。しかしこの
表示位置の指定は通常固定して置く方が有用なことが多
いので、この操作はできなくとも装置の操作性に影響を
及ぼさない。

【００１８】これらのスイッチを操作することにより、
装置設定条件の中で必要な表示項目２１が選択されて、
ＣＲＴモニター１０の表示エリア１９に表示され、必要
に応じオペレータの指示に従って表示項目２１が変えら
れ、表示のオンオフが指示実行できる。

【００１９】図３にＣＲＴモニター１０の表示エリア１
９に表示された例を示す。加速電圧表示はその時装置に
印加されている加速電圧を、例えば１００Ｋボルトと２
１−１の様に表示し、倍率表示は現在オペレータが操作
している倍率、例えばＸ１０Ｋとすなわち一万倍の倍率
を２１−２の様に、さらに残フィルム枚数は０２０と後
２０枚の未露光フィルムが有ると２１−３の様に表示す
る。これら表示項目は実際的にはもっと多数の項目が必
要であるが、このデータは電子顕微鏡が制御ＣＰＵ１６
によって制御されている限り、現状の装置条件等は全て
制御ＣＰＵ16内に存在しているから、表示項目の追加や
設定条件は要求の度に最新の条件を表示できることは言
うまでもない。

【００２０】さらにこの装置構成例の延長として、表示
コントローラ１５には一般的に市販されている画像処理
装置に置き換え、また操作スイッチ盤１７の設定条件を
制御ＣＰＵ１０に読み込み、この制御ＣＰＵ１６の制御
の元に画像処理装置が電顕像と操作スイッチ盤１７の設
定条件をＣＲＴモニター１３に表示しても、図１で説明
した機能と同等以上のことが実行できる。

【００２１】また操作スイッチ盤１７をパソコンやワー
クステーションのウインドウの操作図形に置き換え画像
処理装置とともに使用すれば、より強力なマンマシンと
画像処理機能を持った装置とすることができ、より一層
の操作性の向上が図れる。

【００２２】また、電顕像を映像信号として制御ＣＰＵ
や画像処理装置に像データを記憶している場合には、こ
のＣＲＴモニター１０に表示された電顕像と表示項目の
コピーをプリンター等に出力することができる。またこ
の時表示項目は表示のオンオフと同様にプリント時にお
いてもその機能は有効で、同時に出力したり電顕像のみ
にしたりすることもできる。

【００２３】

【発明の効果】瞬時に変化する重要な一過性の電顕像を
観察し操作して写真撮影をする時に、本発明の装置を使
って操作すれば、電顕像の視野外に目を移さずに装置設
定条件等が確認できるため、電顕像の一瞬の変化タイミ
ングも逃さないで観察でき、またフィルムの有無や倍率
設定等の操作ミスを少なくして写真撮影かできる。

【００２４】同時に、制御ＣＰＵや画像処理装置等の記
憶装置を有する時には、瞬時の電顕像のデータ記録が可
能になり、さらに高速な瞬時の電顕像の変化が記録でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の構成原理の一例を示す。

【図２】操作スイッチ盤の表示項目等のスイッチ配置例
を示す。

【図３】ＣＲＴモニターの表示エリアに表示項目が表示
された例を示す。

【図４】一般的な透過電子顕微鏡の原理的な構成とＴＶ
カメラの配置例を示す。

【図５】像歪の少ない蛍光板付きＴＶカメラの構成例を
示す。

【符号の説明】

１…電子銃と加速管、２…電子ビーム、３…コンデンサ
レンズ、４…試料、５…対物レンズ、６…投影レンズ、
７…蛍光板、８，１３，１８…電顕像、９…ＴＶカメ
ラ、１０…ＣＲＴモニター、１１…ＴＶカメラ装置、１
２…蛍光板、１４…ミラー、１５…表示コントローラ、
１６…制御ＣＰＵ、１７…操作スイッチ盤、１９…表示
エリア、２１…表示項目、２１−１…加速電圧表示、２
１−２…倍率表示、２１−３…残フィルム枚数表示、２
２…加速電圧表示スイッチ、２３…倍率表示スイッチ、
２４…残フィルム枚数表示スイッチ、２５…表示オンオ
フスイッチ、２６…表示位置指定スイッチ。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】電子顕微鏡において、ＣＲＴモニターに表
   示している電顕像と同一視野内の電顕像の観察を妨げな
   い位置に、当該顕微鏡の設定条件を電顕像と同時に表示
   するＣＲＴモニターを備えたことを特徴とする電子顕微
   鏡。
2. 【請求項２】請求項１において、前記顕微鏡の設定条件
   の中から表示項目を選択指定する機能と、また選択した
   設定条件の表示項目をＣＲＴモニターに表示の要否を指
   定する機能を有することを特徴とする電子顕微鏡。
3. 【請求項３】請求項１又は２において、当該電子顕微鏡
   像をプリンター等に出力する時に、当該設定条件の同時
   プリント出力の要否を指定して実行できることを特徴と
   する電子顕微鏡。