JPH08215538A - ハロゲン系ガスの除去法 - Google Patents
ハロゲン系ガスの除去法Info
- Publication number
- JPH08215538A JPH08215538A JP7029741A JP2974195A JPH08215538A JP H08215538 A JPH08215538 A JP H08215538A JP 7029741 A JP7029741 A JP 7029741A JP 2974195 A JP2974195 A JP 2974195A JP H08215538 A JPH08215538 A JP H08215538A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- halogen
- weight
- parts
- gas
- koh
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 32
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 title claims abstract description 32
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 11
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 34
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims abstract description 25
- AXCZMVOFGPJBDE-UHFFFAOYSA-L calcium dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Ca+2] AXCZMVOFGPJBDE-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims abstract description 5
- 239000000920 calcium hydroxide Substances 0.000 claims abstract description 5
- 229910001861 calcium hydroxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 claims abstract description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 135
- 229910015275 MoF 6 Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910003902 SiCl 4 Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910015900 BF3 Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910014263 BrF3 Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910014271 BrF5 Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910020323 ClF3 Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 101100441092 Danio rerio crlf3 gene Proteins 0.000 abstract 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 229910015255 MoF6 Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910003910 SiCl4 Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910004014 SiF4 Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910010342 TiF4 Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910009035 WF6 Inorganic materials 0.000 abstract 1
- WTEOIRVLGSZEPR-UHFFFAOYSA-N boron trifluoride Chemical compound FB(F)F WTEOIRVLGSZEPR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- XHVUVQAANZKEKF-UHFFFAOYSA-N bromine pentafluoride Chemical compound FBr(F)(F)(F)F XHVUVQAANZKEKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 235000011116 calcium hydroxide Nutrition 0.000 abstract 1
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 abstract 1
- RLCOZMCCEKDUPY-UHFFFAOYSA-H molybdenum hexafluoride Chemical compound F[Mo](F)(F)(F)(F)F RLCOZMCCEKDUPY-UHFFFAOYSA-H 0.000 abstract 1
- 231100000614 poison Toxicity 0.000 abstract 1
- 230000007096 poisonous effect Effects 0.000 abstract 1
- FDNAPBUWERUEDA-UHFFFAOYSA-N silicon tetrachloride Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)Cl FDNAPBUWERUEDA-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- ABTOQLMXBSRXSM-UHFFFAOYSA-N silicon tetrafluoride Chemical compound F[Si](F)(F)F ABTOQLMXBSRXSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- XROWMBWRMNHXMF-UHFFFAOYSA-J titanium tetrafluoride Chemical compound [F-].[F-].[F-].[F-].[Ti+4] XROWMBWRMNHXMF-UHFFFAOYSA-J 0.000 abstract 1
- FQFKTKUFHWNTBN-UHFFFAOYSA-N trifluoro-$l^{3}-bromane Chemical compound FBr(F)F FQFKTKUFHWNTBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- JOHWNGGYGAVMGU-UHFFFAOYSA-N trifluorochlorine Chemical compound FCl(F)F JOHWNGGYGAVMGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- NXHILIPIEUBEPD-UHFFFAOYSA-H tungsten hexafluoride Chemical compound F[W](F)(F)(F)(F)F NXHILIPIEUBEPD-UHFFFAOYSA-H 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 43
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 17
- HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M sodium;oxocalcium;hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+].[Ca]=O HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 16
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 14
- 239000002585 base Substances 0.000 description 9
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 7
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 2
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 1
- 230000003100 immobilizing effect Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000002427 irreversible effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- -1 specifically Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
- Exhaust Gas Treatment By Means Of Catalyst (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】毒性のあるハロゲン系ガスを、固体ハロゲン化
物として固定化することにより安全に除去する。 【構成】ハロゲン系ガス（Ｆ2 ，Ｃｌ2 ，Ｂｒ2 ，Ｈ
Ｆ，ＣｌＦ3 ，ＳｉＦ4 ，ＢｒＦ3 ，ＢｒＦ5 ，Ｗ
Ｆ6 ，ＴｉＦ4 ，ＢＦ3 ，ＭｏＦ6 ，ＨＣｌ，ＳｉＣｌ
4 ）と水酸化カルシウムおよび水酸化カリウムの混合物
と反応させ、固定化させる。
物として固定化することにより安全に除去する。 【構成】ハロゲン系ガス（Ｆ2 ，Ｃｌ2 ，Ｂｒ2 ，Ｈ
Ｆ，ＣｌＦ3 ，ＳｉＦ4 ，ＢｒＦ3 ，ＢｒＦ5 ，Ｗ
Ｆ6 ，ＴｉＦ4 ，ＢＦ3 ，ＭｏＦ6 ，ＨＣｌ，ＳｉＣｌ
4 ）と水酸化カルシウムおよび水酸化カリウムの混合物
と反応させ、固定化させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、毒性のあるハロゲン系
ガスを、固体アルカリ化合物と効率よく反応させ固体ハ
ロゲン化物として固定化することにより、安全に除去す
るハロゲン系ガスの除去法に関する。
ガスを、固体アルカリ化合物と効率よく反応させ固体ハ
ロゲン化物として固定化することにより、安全に除去す
るハロゲン系ガスの除去法に関する。
【０００２】
【従来技術】ハロゲン系ガスを化学的に分類すると、単
体としてはＦ2 、Ｃｌ2 、Ｂｒ2 、インターハロゲンと
してはＣｌＦ3 、ＢｒＦ3 、ＢｒＦ5 がある。また、ハ
ロゲン化金属ガスとしてもＳｉＦ4 をはじめ多く存在す
る。ハロゲン系ガスは、ハロゲン原子の持つ高い反応性
を特徴とし、半導体製造用をはじめ化学工業分野におい
て多くの用途がある。それらを使用した場合、その反応
物としても多くのハロゲン系ガスを生成する。これらの
ハロゲン系ガスは高い反応性を有するものが多く、危険
性および毒性の強いものが多い。そのため、これらのハ
ロゲン系ガスをそのまま大気中に放出することはできな
い。
体としてはＦ2 、Ｃｌ2 、Ｂｒ2 、インターハロゲンと
してはＣｌＦ3 、ＢｒＦ3 、ＢｒＦ5 がある。また、ハ
ロゲン化金属ガスとしてもＳｉＦ4 をはじめ多く存在す
る。ハロゲン系ガスは、ハロゲン原子の持つ高い反応性
を特徴とし、半導体製造用をはじめ化学工業分野におい
て多くの用途がある。それらを使用した場合、その反応
物としても多くのハロゲン系ガスを生成する。これらの
ハロゲン系ガスは高い反応性を有するものが多く、危険
性および毒性の強いものが多い。そのため、これらのハ
ロゲン系ガスをそのまま大気中に放出することはできな
い。
【０００３】従来は、これらハロゲン系ガスをアルカリ
スクラバーにより湿式方式で除去を行っていた。この方
式の多くは、高い塔の中にガスを導入し上方からアルカ
リ水を噴射させ接触させることによりハロゲン系ガスを
反応除去するものである。アルカリ水は除去可能であれ
ば循環再使用する場合や逐次一部抜き出し排出を行いア
ルカリ水を追加する場合がある。
スクラバーにより湿式方式で除去を行っていた。この方
式の多くは、高い塔の中にガスを導入し上方からアルカ
リ水を噴射させ接触させることによりハロゲン系ガスを
反応除去するものである。アルカリ水は除去可能であれ
ば循環再使用する場合や逐次一部抜き出し排出を行いア
ルカリ水を追加する場合がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする問題点】上記従来技術では、
ガス除去装置が大型化し、スケール除去の必要等の多く
の問題があった。一方、乾式除去方法としては、ソーダ
石灰や活性アルミナを充填した固体層にハロゲン系ガス
を通して除去する方法があるが、除去量が少ないといっ
た問題がある。最近では活性炭等の吸着薬剤による小型
のハロゲン系ガスの除去装置が出てきているが、それら
においては吸着除去薬剤の廃棄処理が困難等の問題があ
る。そのため、ガス除去装置が小型で除去量が多く使用
済みの除去剤の廃棄の容易なハロゲン系ガス除去法の開
発が待たれていた。
ガス除去装置が大型化し、スケール除去の必要等の多く
の問題があった。一方、乾式除去方法としては、ソーダ
石灰や活性アルミナを充填した固体層にハロゲン系ガス
を通して除去する方法があるが、除去量が少ないといっ
た問題がある。最近では活性炭等の吸着薬剤による小型
のハロゲン系ガスの除去装置が出てきているが、それら
においては吸着除去薬剤の廃棄処理が困難等の問題があ
る。そのため、ガス除去装置が小型で除去量が多く使用
済みの除去剤の廃棄の容易なハロゲン系ガス除去法の開
発が待たれていた。
【０００５】
【問題点を解決するための具体的手段】本発明は反応性
の高いハロゲン系ガスを固体アルカリ化合物と反応さ
せ、効率よく除去することを特徴とするハロゲン系ガス
の除去法を提供するものである。本発明者らは、ソーダ
石灰（水酸化カルシウムおよび水酸化ナトリウムの混合
物）と比べ、水酸化カルシウムに水酸化カリウムを加え
ることにより、ハロゲン系ガスを効率よく反応させ除去
量を増大させることを見い出し本発明に到着したもので
ある。
の高いハロゲン系ガスを固体アルカリ化合物と反応さ
せ、効率よく除去することを特徴とするハロゲン系ガス
の除去法を提供するものである。本発明者らは、ソーダ
石灰（水酸化カルシウムおよび水酸化ナトリウムの混合
物）と比べ、水酸化カルシウムに水酸化カリウムを加え
ることにより、ハロゲン系ガスを効率よく反応させ除去
量を増大させることを見い出し本発明に到着したもので
ある。
【０００６】すなわちハロゲン系ガスを固体アルカリ化
合物で除去する場合、ハロゲン系ガスの種類に応じて固
体アルカリ化合物の組成を、詳細には水酸化カルシウム
（９５重量部）をベースとして水酸化カリウムを０．５
〜１５重量部の範囲で混合し使用する。最適には、０．
５〜５重量部範囲が好ましい。これによりハロゲン系ガ
スを乾式で効率よく反応させ除去量を増大させることが
できるため、ガス除去装置が小型で除去量の多いハロゲ
ン系ガス除去法が実現できる。また、反応メカニズムが
吸着ではなく、固体アルカリ化合物との不可逆反応であ
るため使用済みの除去剤の廃棄が安全であるといった特
徴をもつ。
合物で除去する場合、ハロゲン系ガスの種類に応じて固
体アルカリ化合物の組成を、詳細には水酸化カルシウム
（９５重量部）をベースとして水酸化カリウムを０．５
〜１５重量部の範囲で混合し使用する。最適には、０．
５〜５重量部範囲が好ましい。これによりハロゲン系ガ
スを乾式で効率よく反応させ除去量を増大させることが
できるため、ガス除去装置が小型で除去量の多いハロゲ
ン系ガス除去法が実現できる。また、反応メカニズムが
吸着ではなく、固体アルカリ化合物との不可逆反応であ
るため使用済みの除去剤の廃棄が安全であるといった特
徴をもつ。
【０００７】
【実施例】以下実施例を挙げ、本発明を詳述するが係る
実施例に限定されるものではない。
実施例に限定されるものではない。
【０００８】実施例１〜１４ ハロゲン系ガスを窒素ガスで１０％の濃度に希釈したガ
スを５〜１５メッシュの粒状の固体アルカリ化合物１Ｋ
ｇを充填した内径２．５ｃｍ、長さ１ｍの固定床式縦型
反応器上部より、１００ｃｃ／分で室温、大気圧下で供
給し除去した。除去後のガスをＮＨ4 ＯＨ＝１％の希釈
水に通し、フッ素、塩素、臭素といったハロゲンを捕捉
し、イオン電極法により定量分析した。いずれのハロゲ
ンにおいてもガス中換算でその濃度が１ｐｐｍ以上で除
去の終点とし除去能力を求めた。各実施例の条件及び結
果を表１、表２に示した。
スを５〜１５メッシュの粒状の固体アルカリ化合物１Ｋ
ｇを充填した内径２．５ｃｍ、長さ１ｍの固定床式縦型
反応器上部より、１００ｃｃ／分で室温、大気圧下で供
給し除去した。除去後のガスをＮＨ4 ＯＨ＝１％の希釈
水に通し、フッ素、塩素、臭素といったハロゲンを捕捉
し、イオン電極法により定量分析した。いずれのハロゲ
ンにおいてもガス中換算でその濃度が１ｐｐｍ以上で除
去の終点とし除去能力を求めた。各実施例の条件及び結
果を表１、表２に示した。
【０００９】
【表１】
【００１０】
【表２】
【００１１】実施例１−１〜１−３のように、固体アル
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＫＯＨを５重量部の範囲で変化させＦ2 ガスを処理した
場合、１−１のソーダライム組成と比較して１−２のよ
うにＫＯＨを加えることにより処理能力は増大する。さ
らに１−３のようにＫＯＨの割合を５重量部と高くする
ことにより処理能力は更に増大する。
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＫＯＨを５重量部の範囲で変化させＦ2 ガスを処理した
場合、１−１のソーダライム組成と比較して１−２のよ
うにＫＯＨを加えることにより処理能力は増大する。さ
らに１−３のようにＫＯＨの割合を５重量部と高くする
ことにより処理能力は更に増大する。
【００１２】実施例２−１〜２−３のように、固体アル
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＫＯＨを５重量部の範囲で変化させＣｌ2 ガスを処理し
た場合、２−１のソーダライム組成と比較して２−２の
ようにＫＯＨを加えることにより処理能力は増大する。
さらに２−３のようにＫＯＨの割合を５重量部と高くす
ることにより処理能力は更に増大する。
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＫＯＨを５重量部の範囲で変化させＣｌ2 ガスを処理し
た場合、２−１のソーダライム組成と比較して２−２の
ようにＫＯＨを加えることにより処理能力は増大する。
さらに２−３のようにＫＯＨの割合を５重量部と高くす
ることにより処理能力は更に増大する。
【００１３】実施例３−１〜３−３のように、固体アル
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＫＯＨを５重量部の範囲で変化させＢｒ2 ガスを処理し
た場合、３−１のソーダライム組成と比較して３−２の
ようにＫＯＨを加えることにより処理能力は増大する。
さらに３−３のようにＫＯＨの割合を５重量部と高くす
ることにより処理能力は更に増大する。
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＫＯＨを５重量部の範囲で変化させＢｒ2 ガスを処理し
た場合、３−１のソーダライム組成と比較して３−２の
ようにＫＯＨを加えることにより処理能力は増大する。
さらに３−３のようにＫＯＨの割合を５重量部と高くす
ることにより処理能力は更に増大する。
【００１４】実施例４−１〜４−３のように、固体アル
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＫＯＨを５重量部の範囲で変化させＨＦガスを処理した
場合、４−１のソーダライム組成と比較して４−２のよ
うにＫＯＨを加えることにより処理能力は増大する。さ
らに４−３のようにＫＯＨの割合を５重量部と高くする
ことにより処理能力は更に増大する。
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＫＯＨを５重量部の範囲で変化させＨＦガスを処理した
場合、４−１のソーダライム組成と比較して４−２のよ
うにＫＯＨを加えることにより処理能力は増大する。さ
らに４−３のようにＫＯＨの割合を５重量部と高くする
ことにより処理能力は更に増大する。
【００１５】実施例５−１〜５−３のように、固体アル
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＫＯＨを５重量部の範囲で変化させＣｌＦ3 ガスを処理
した場合、５−１のソーダライム組成と比較して５−２
のようにＫＯＨを加えることにより処理能力は増大す
る。さらに５−３のようにＫＯＨの割合を５重量部と高
くすることにより処理能力は更に増大する。
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＫＯＨを５重量部の範囲で変化させＣｌＦ3 ガスを処理
した場合、５−１のソーダライム組成と比較して５−２
のようにＫＯＨを加えることにより処理能力は増大す
る。さらに５−３のようにＫＯＨの割合を５重量部と高
くすることにより処理能力は更に増大する。
【００１６】実施例６−１〜６−３のように、固体アル
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＫＯＨを５重量部の範囲で変化させＳｉＦ4 ガスを処理
した場合、６−１のソーダライム組成と比較して６−２
のようにＫＯＨを加えることにより処理能力は増大す
る。さらに６−３のようにＫＯＨの割合を５重量部と高
くすることにより処理能力は更に増大する。
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＫＯＨを５重量部の範囲で変化させＳｉＦ4 ガスを処理
した場合、６−１のソーダライム組成と比較して６−２
のようにＫＯＨを加えることにより処理能力は増大す
る。さらに６−３のようにＫＯＨの割合を５重量部と高
くすることにより処理能力は更に増大する。
【００１７】実施例７−１〜７−３のように、固体アル
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＫＯＨを５重量部の範囲で変化させＢｒＦ3 ガスを処理
した場合、７−１のソーダライム組成と比較して７−２
のようにＫＯＨを加えることにより処理能力は増大す
る。さらに７−３のようにＫＯＨの割合を５重量部と高
くすることにより処理能力は更に増大する。
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＫＯＨを５重量部の範囲で変化させＢｒＦ3 ガスを処理
した場合、７−１のソーダライム組成と比較して７−２
のようにＫＯＨを加えることにより処理能力は増大す
る。さらに７−３のようにＫＯＨの割合を５重量部と高
くすることにより処理能力は更に増大する。
【００１８】実施例８−１〜８−３のように、固体アル
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＫＯＨを５重量部の範囲で変化させＢｒＦ5 ガスを処理
した場合、８−１のソーダライム組成と比較して８−２
のようにＫＯＨを加えることにより処理能力は増大す
る。さらに８−３のようにＫＯＨの割合を５重量部と高
くすることにより処理能力は更に増大する。
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＫＯＨを５重量部の範囲で変化させＢｒＦ5 ガスを処理
した場合、８−１のソーダライム組成と比較して８−２
のようにＫＯＨを加えることにより処理能力は増大す
る。さらに８−３のようにＫＯＨの割合を５重量部と高
くすることにより処理能力は更に増大する。
【００１９】実施例９−１〜９−３のように、固体アル
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＫＯＨを５重量部の範囲で変化させＷＦ6 ガスを処理し
た場合、９−１のソーダライム組成と比較して９−２の
ようにＫＯＨを加えることにより処理能力は増大する。
さらに９−３のようにＫＯＨの割合を５重量部と高くす
ることにより処理能力は更に増大する。
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＫＯＨを５重量部の範囲で変化させＷＦ6 ガスを処理し
た場合、９−１のソーダライム組成と比較して９−２の
ようにＫＯＨを加えることにより処理能力は増大する。
さらに９−３のようにＫＯＨの割合を５重量部と高くす
ることにより処理能力は更に増大する。
【００２０】実施例１０−１〜１０−３のように、固体
アルカリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースと
してＫＯＨを５重量部の範囲で変化させＴｉＦ4 ガスを
処理した場合、１０−１のソーダライム組成と比較して
１０−２のようにＫＯＨを加えることにより処理能力は
増大する。さらに１０−３のようにＫＯＨの割合を５重
量部と高くすることにより処理能力は更に増大する。
アルカリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースと
してＫＯＨを５重量部の範囲で変化させＴｉＦ4 ガスを
処理した場合、１０−１のソーダライム組成と比較して
１０−２のようにＫＯＨを加えることにより処理能力は
増大する。さらに１０−３のようにＫＯＨの割合を５重
量部と高くすることにより処理能力は更に増大する。
【００２１】実施例１１−１〜１１−３のように、固体
アルカリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースと
してＫＯＨを５重量部の範囲で変化させＢＦ3 ガスを処
理した場合、１１−１のソーダライム組成と比較して１
１−２のようにＫＯＨを加えることにより処理能力は増
大する。さらに１１−３のようにＫＯＨの割合を５重量
部と高くすることにより処理能力は更に増大する。
アルカリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースと
してＫＯＨを５重量部の範囲で変化させＢＦ3 ガスを処
理した場合、１１−１のソーダライム組成と比較して１
１−２のようにＫＯＨを加えることにより処理能力は増
大する。さらに１１−３のようにＫＯＨの割合を５重量
部と高くすることにより処理能力は更に増大する。
【００２２】実施例１２−１〜１２−３のように、固体
アルカリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースと
してＫＯＨを５重量部の範囲で変化させＭｏＦ6 ガスを
処理した場合、１２−１のソーダライム組成と比較して
１２−２のようにＫＯＨを加えることにより処理能力は
増大する。さらに１２−３のようにＫＯＨの割合を５重
量部と高くすることにより処理能力は更に増大する。
アルカリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースと
してＫＯＨを５重量部の範囲で変化させＭｏＦ6 ガスを
処理した場合、１２−１のソーダライム組成と比較して
１２−２のようにＫＯＨを加えることにより処理能力は
増大する。さらに１２−３のようにＫＯＨの割合を５重
量部と高くすることにより処理能力は更に増大する。
【００２３】実施例１３−１〜１３−３のように、固体
アルカリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースと
してＫＯＨを５重量部の範囲で変化させＨＣｌガスを処
理した場合、１３−１のソーダライム組成と比較して１
３−２のようにＫＯＨを加えることにより処理能力は増
大する。さらに１３−３のようにＫＯＨの割合を５重量
部と高くすることにより処理能力は更に増大する。
アルカリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースと
してＫＯＨを５重量部の範囲で変化させＨＣｌガスを処
理した場合、１３−１のソーダライム組成と比較して１
３−２のようにＫＯＨを加えることにより処理能力は増
大する。さらに１３−３のようにＫＯＨの割合を５重量
部と高くすることにより処理能力は更に増大する。
【００２４】実施例１４−１〜１４−３のように、固体
アルカリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースと
してＫＯＨを５重量部の範囲で変化させＳｉＣｌ4 ガス
を処理した場合、１４−１のソーダライム組成と比較し
て１４−２のようにＫＯＨを加えることにより処理能力
は増大する。さらに１４−３のようにＫＯＨの割合を５
重量部と高くすることにより処理能力は更に増大する。
アルカリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースと
してＫＯＨを５重量部の範囲で変化させＳｉＣｌ4 ガス
を処理した場合、１４−１のソーダライム組成と比較し
て１４−２のようにＫＯＨを加えることにより処理能力
は増大する。さらに１４−３のようにＫＯＨの割合を５
重量部と高くすることにより処理能力は更に増大する。
【００２５】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば反
応性の高いハロゲン系ガスを適切な組成の固体アルカリ
化合物と反応させ、効率よく除去することをことができ
る。
応性の高いハロゲン系ガスを適切な組成の固体アルカリ
化合物と反応させ、効率よく除去することをことができ
る。
Claims (2)
- 【請求項１】 ハロゲンを含むガス（以下ハロゲン系ガ
ス）を水酸化カルシウムおよび水酸化カリウムの混合物
と反応させ、固体ハロゲン化物として固定化させること
を特徴とするハロゲン系ガスの除去法。 - 【請求項２】 ハロゲン系ガスがＦ2 、Ｃｌ2 、Ｂ
ｒ2 、ＨＦ、ＣｌＦ3 、ＳｉＦ4 、ＢｒＦ3 、Ｂｒ
Ｆ5 、ＷＦ6 、ＴｉＦ4 、ＢＦ3 、ＭｏＦ6 、ＨＣｌ、
ＳｉＣｌ4 より選択される１種または２種以上であるこ
とを特徴とする特許請求範囲第１項記載のハロゲン系ガ
スの除去法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7029741A JPH08215538A (ja) | 1995-02-17 | 1995-02-17 | ハロゲン系ガスの除去法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7029741A JPH08215538A (ja) | 1995-02-17 | 1995-02-17 | ハロゲン系ガスの除去法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08215538A true JPH08215538A (ja) | 1996-08-27 |
Family
ID=12284536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7029741A Pending JPH08215538A (ja) | 1995-02-17 | 1995-02-17 | ハロゲン系ガスの除去法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08215538A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0771579A1 (en) * | 1995-10-30 | 1997-05-07 | Central Glass Company, Limited | Method for decomposing halide-containing gas |
| US6309618B1 (en) | 1999-03-12 | 2001-10-30 | Showa Denko K. K. | Method for treating exhaust gas containing fluorine-containing interhalogen compound, and treating agent and treating apparatus |
| EP1087906A4 (en) * | 1998-04-09 | 2005-11-09 | Uhp Materials Inc | PREPARATION AND PURIFICATION OF DIBORANESE |
| WO2020129726A1 (ja) | 2018-12-21 | 2020-06-25 | 昭和電工株式会社 | ハロゲンフッ化物の除去方法およびハロゲンフッ化物混合ガス中の含有ガス成分の定量分析方法、定量分析装置 |
-
1995
- 1995-02-17 JP JP7029741A patent/JPH08215538A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0771579A1 (en) * | 1995-10-30 | 1997-05-07 | Central Glass Company, Limited | Method for decomposing halide-containing gas |
| EP1087906A4 (en) * | 1998-04-09 | 2005-11-09 | Uhp Materials Inc | PREPARATION AND PURIFICATION OF DIBORANESE |
| KR100731836B1 (ko) * | 1998-04-09 | 2007-06-25 | 허니웰 인터내셔널 인코포레이티드 | 디보란의 제조 및 정제 |
| US6309618B1 (en) | 1999-03-12 | 2001-10-30 | Showa Denko K. K. | Method for treating exhaust gas containing fluorine-containing interhalogen compound, and treating agent and treating apparatus |
| WO2020129726A1 (ja) | 2018-12-21 | 2020-06-25 | 昭和電工株式会社 | ハロゲンフッ化物の除去方法およびハロゲンフッ化物混合ガス中の含有ガス成分の定量分析方法、定量分析装置 |
| KR20210087083A (ko) | 2018-12-21 | 2021-07-09 | 쇼와 덴코 가부시키가이샤 | 할로겐 불화물의 제거 방법 및 할로겐 불화물 혼합가스 중의 함유 가스 성분의 정량 분석 방법, 정량 분석 장치 |
| CN113164862A (zh) * | 2018-12-21 | 2021-07-23 | 昭和电工株式会社 | 卤素氟化物的除去方法和卤素氟化物混合气体中含气体成分的定量分析方法、定量分析装置 |
| US11779877B2 (en) | 2018-12-21 | 2023-10-10 | Resonac Corporation | Method for removing halogen fluoride, quantitative analysis method for gas component contained in halogen fluoride mixed gas, and quantitative analyzer |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5322674A (en) | Method of treating waste gases containing halogen compounds | |
| JPWO2007135823A1 (ja) | ハロゲン系ガスの除去方法及びハロゲン系ガスの除去剤 | |
| JP4488545B2 (ja) | フッ化ハロゲンを含む排ガスの処理方法、処理剤及び処理装置 | |
| JPH08215539A (ja) | ハロゲン系ガスの処理法 | |
| JP2581642B2 (ja) | エッチング排ガス除害剤及び排ガス処理方法 | |
| KR100481584B1 (ko) | 유해물 제거제 및 할로겐함유가스를 무해화하는 방법과 그것의 용도 | |
| JPH08215538A (ja) | ハロゲン系ガスの除去法 | |
| EP0764457A2 (en) | A dioxin formation preventative in incinerators and method for preventing the formation of dioxins | |
| JP4564242B2 (ja) | 三フッ化塩素を含む無機ハロゲン化ガス含有排ガスの処理方法、処理剤及び処理装置 | |
| KR0173468B1 (ko) | ClF3를 함유한 폐가스 처리방법 | |
| EP0739236B1 (en) | Metallo-oxomeric scrubber compositions, and method of gas purification utilizing same | |
| EP1842579A1 (en) | Method for removing halogen based gas and agent for removing halogen based gas | |
| JPH02273511A (ja) | 窒素または炭素のハロゲン化物の無毒化方法 | |
| JP4357018B2 (ja) | ハロゲン化ガスの処理剤を用いた無害化方法 | |
| JPH0716582B2 (ja) | ガス状酸性ハロゲン化合物の除去方法 | |
| JPH1170319A (ja) | 無機ハロゲン化ガスを含有する排ガスの処理方法及び処理装置 | |
| JP3260825B2 (ja) | 有害ガスの浄化方法 | |
| JP2561616B2 (ja) | 有害成分の固体除去剤 | |
| JP2681034B2 (ja) | フロンの無害化方法 | |
| JPH10216479A (ja) | 三弗化窒素ガスの除害方法 | |
| JP4831924B2 (ja) | Ｈｆ含有ガスの乾式処理装置及び処理方法 | |
| JP2663326B2 (ja) | ドライエッチング排ガスの処理方法 | |
| JPS60175522A (ja) | 半導体生産工程中の廃ガス乾式処理組成物 | |
| JPH08192024A (ja) | 排ガスの処理剤及び処理方法 | |
| JP2007137739A (ja) | ＣａＦ２の回収方法 |