JPH08215539A - ハロゲン系ガスの処理法 - Google Patents
ハロゲン系ガスの処理法Info
- Publication number
- JPH08215539A JPH08215539A JP7029742A JP2974295A JPH08215539A JP H08215539 A JPH08215539 A JP H08215539A JP 7029742 A JP7029742 A JP 7029742A JP 2974295 A JP2974295 A JP 2974295A JP H08215539 A JPH08215539 A JP H08215539A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- halogen
- gas
- weight
- parts
- koh
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
- Exhaust Gas Treatment By Means Of Catalyst (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】毒性のあるハロゲン系ガスを、固体ハロゲン化
物として固定化することにより安全に処理する。 【構成】ハロゲン系ガス（Ｆ2 ，Ｃｌ2 ，Ｂｒ2 ，Ｈ
Ｆ，ＣｌＦ3 ，ＳｉＦ4 ，ＢｒＦ3 ，ＢｒＦ5 ，Ｗ
Ｆ6 ，ＴｉＦ4 ，ＢＦ3 ，ＭｏＦ6 ，ＨＣｌ，ＳｉＣｌ
4 ）と水酸化カルシウム、水酸化ナトリウムおよび水酸
化カリウムの３種の混合物と反応させ、固定化させる。
物として固定化することにより安全に処理する。 【構成】ハロゲン系ガス（Ｆ2 ，Ｃｌ2 ，Ｂｒ2 ，Ｈ
Ｆ，ＣｌＦ3 ，ＳｉＦ4 ，ＢｒＦ3 ，ＢｒＦ5 ，Ｗ
Ｆ6 ，ＴｉＦ4 ，ＢＦ3 ，ＭｏＦ6 ，ＨＣｌ，ＳｉＣｌ
4 ）と水酸化カルシウム、水酸化ナトリウムおよび水酸
化カリウムの３種の混合物と反応させ、固定化させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は毒性のあるハロゲン系ガ
スを、固体アルカリ化合物と効率よく反応させ固体ハロ
ゲン化物として固定化することにより、安全に処理する
ハロゲン系ガスの処理法に関するものである。
スを、固体アルカリ化合物と効率よく反応させ固体ハロ
ゲン化物として固定化することにより、安全に処理する
ハロゲン系ガスの処理法に関するものである。
【０００２】
【従来技術】ハロゲン系ガスを化学的に分類すると、単
体としてはＦ2 、Ｃｌ2 、Ｂｒ2 、インターハロゲンと
してはＣｌＦ3 、ＢｒＦ3 、ＢｒＦ5 がある。また、ハ
ロゲン化金属ガスとしてもＳｉＦ4 をはじめ多く存在す
る。ハロゲン系ガスは、ハロゲン原子の持つ高い反応性
を特徴とし、半導体製造用をはじめ化学工業分野におい
て多くの用途がある。それらを使用した場合、その反応
物としても多くのハロゲン系ガスを生成する。これらの
ハロゲン系ガスは高い反応性を有するものが多く、危険
性および毒性の強いものが多い。そのため、これらのハ
ロゲン系ガスをそのまま大気中に放出することはできな
い。
体としてはＦ2 、Ｃｌ2 、Ｂｒ2 、インターハロゲンと
してはＣｌＦ3 、ＢｒＦ3 、ＢｒＦ5 がある。また、ハ
ロゲン化金属ガスとしてもＳｉＦ4 をはじめ多く存在す
る。ハロゲン系ガスは、ハロゲン原子の持つ高い反応性
を特徴とし、半導体製造用をはじめ化学工業分野におい
て多くの用途がある。それらを使用した場合、その反応
物としても多くのハロゲン系ガスを生成する。これらの
ハロゲン系ガスは高い反応性を有するものが多く、危険
性および毒性の強いものが多い。そのため、これらのハ
ロゲン系ガスをそのまま大気中に放出することはできな
い。
【０００３】従来は、これらハロゲン系ガスをアルカリ
スクラバーにより湿式方式で処理を行っていた。この方
式の多くは、高い塔の中にガスを導入し上方からアルカ
リ水を噴射させ接触させることによりハロゲン系ガスを
反応除去するものである。アルカリ水は処理可能であれ
ば循環再使用する場合や逐次一部抜き出し排出を行いア
ルカリ水を追加する場合がある。
スクラバーにより湿式方式で処理を行っていた。この方
式の多くは、高い塔の中にガスを導入し上方からアルカ
リ水を噴射させ接触させることによりハロゲン系ガスを
反応除去するものである。アルカリ水は処理可能であれ
ば循環再使用する場合や逐次一部抜き出し排出を行いア
ルカリ水を追加する場合がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする問題点】上記従来技術では、
ガス処理装置が大型化し、スケール除去の必要等の多く
の問題があった。一方乾式処理方法としては、ソーダ石
灰や活性アルミナを充填した固体層にハロゲン系ガスを
通して処理する方法があるが、処理量が少ないといった
問題がある。最近では活性炭等の吸着薬剤による小型の
ハロゲン系ガスの処理装置が出てきているが、それらに
おいては吸着処理薬剤の廃棄処理が困難等の問題があ
る。そのため、ガス処理装置が小型で処理量が多く使用
済みの処理剤の廃棄の容易なハロゲン系処理法の開発が
待たれていた。
ガス処理装置が大型化し、スケール除去の必要等の多く
の問題があった。一方乾式処理方法としては、ソーダ石
灰や活性アルミナを充填した固体層にハロゲン系ガスを
通して処理する方法があるが、処理量が少ないといった
問題がある。最近では活性炭等の吸着薬剤による小型の
ハロゲン系ガスの処理装置が出てきているが、それらに
おいては吸着処理薬剤の廃棄処理が困難等の問題があ
る。そのため、ガス処理装置が小型で処理量が多く使用
済みの処理剤の廃棄の容易なハロゲン系処理法の開発が
待たれていた。
【０００５】
【問題点を解決するための具体的手段】本発明は反応性
の高いハロゲン系ガスを固体アルカリ化合物と反応さ
せ、効率よく処理することを特徴とするハロゲン系ガス
の処理法を提供するものである。本発明者らは、ソーダ
石灰（水酸化カルシウムおよび水酸化ナトリウムの混合
物）と比べ、第三成分として水酸化カリウムを加えるこ
とにより、ハロゲン系ガスを効率よく反応させ処理量を
増大させることを見い出した。また同時にハロゲン系ガ
スの種類に応じて、水酸化カルシウム、水酸化ナトリウ
ムおよび水酸化カリウムを最適な組成にし使い分けるこ
とにより、最も高い効率で反応させることを見い出し、
本発明に到着したものである。
の高いハロゲン系ガスを固体アルカリ化合物と反応さ
せ、効率よく処理することを特徴とするハロゲン系ガス
の処理法を提供するものである。本発明者らは、ソーダ
石灰（水酸化カルシウムおよび水酸化ナトリウムの混合
物）と比べ、第三成分として水酸化カリウムを加えるこ
とにより、ハロゲン系ガスを効率よく反応させ処理量を
増大させることを見い出した。また同時にハロゲン系ガ
スの種類に応じて、水酸化カルシウム、水酸化ナトリウ
ムおよび水酸化カリウムを最適な組成にし使い分けるこ
とにより、最も高い効率で反応させることを見い出し、
本発明に到着したものである。
【０００６】すなわちハロゲン系ガスを固体アルカリ化
合物で処理する場合、ハロゲン系ガスの種類に応じて固
体アルカリ化合物の組成を、詳細には水酸化カルシウム
（９５重量部）をベースとして水酸化ナトリウムを０．
５〜５重量部の範囲で、また水酸化カリウムを同様に
０．５〜５重量部の範囲で最適な組成比で混合し使い分
ける。これによりハロゲン系ガスを乾式で効率よく反応
させ処理量を増大させることができ、ガス処理装置が小
型で処理量が多いハロゲン系ガス処理法が実現できる。
また、反応メカニズムが吸着ではなく、固体アルカリ化
合物との不可逆反応であるため使用済みの処理剤の廃棄
が安全であるといった特徴もある。
合物で処理する場合、ハロゲン系ガスの種類に応じて固
体アルカリ化合物の組成を、詳細には水酸化カルシウム
（９５重量部）をベースとして水酸化ナトリウムを０．
５〜５重量部の範囲で、また水酸化カリウムを同様に
０．５〜５重量部の範囲で最適な組成比で混合し使い分
ける。これによりハロゲン系ガスを乾式で効率よく反応
させ処理量を増大させることができ、ガス処理装置が小
型で処理量が多いハロゲン系ガス処理法が実現できる。
また、反応メカニズムが吸着ではなく、固体アルカリ化
合物との不可逆反応であるため使用済みの処理剤の廃棄
が安全であるといった特徴もある。
【０００７】
【実施例】以下実施例を挙げ、本発明を詳述するが係る
実施例に限定されるものではない。
実施例に限定されるものではない。
【０００８】実施例１〜１４ ハロゲン系ガスを窒素ガスで１０％の濃度に希釈したガ
スを５〜１５メッシュの粒状の固体アルカリ化合物１Ｋ
ｇを充填した内径２．５ｃｍ、長さ１ｍの固定床式縦型
反応器上部より、１００ｃｃ／分で室温、大気圧下で供
給し処理した。処理後のガスをＮＨ4 ＯＨ＝１％の希釈
水に通し、フッ素、塩素、臭素といったハロゲンを捕捉
し、イオン電極法により定量分析した。いずれのハロゲ
ンにおいてもガス中換算でその濃度が１ｐｐｍ以上で処
理の終点とし処理能力を求めた。各実施例の条件、結果
を表１、表２に示した。
スを５〜１５メッシュの粒状の固体アルカリ化合物１Ｋ
ｇを充填した内径２．５ｃｍ、長さ１ｍの固定床式縦型
反応器上部より、１００ｃｃ／分で室温、大気圧下で供
給し処理した。処理後のガスをＮＨ4 ＯＨ＝１％の希釈
水に通し、フッ素、塩素、臭素といったハロゲンを捕捉
し、イオン電極法により定量分析した。いずれのハロゲ
ンにおいてもガス中換算でその濃度が１ｐｐｍ以上で処
理の終点とし処理能力を求めた。各実施例の条件、結果
を表１、表２に示した。
【０００９】
【表１】
【００１０】
【表２】
【００１１】実施例１−１〜１−６のように、固体アル
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＮａＯＨおよびＫＯＨをそれぞれ５重量部以下の範囲で
変化させＦ2 ガスを処理した場合、１−１のソーダライ
ム組成と比較して１−２のようにＮａＯＨ＝３重量部，
ＫＯＨ＝２重量部とすることにより処理能力は増大す
る。また１−３のようにＮａＯＨの割合を５重量部と高
くし、ＫＯＨ＝２重量部とした場合さらにその効果は上
がる。また１−４のようにＮａＯＨ＝２重量部とし、Ｋ
ＯＨの割合を３重量部と高くすることにより処理能力は
著しく増大する。また、１−５のようにＫＯＨの割合を
５重量部と高くし、ＮａＯＨ＝２重量部とした場合さら
にその効果は上がる。ＮａＯＨ＝５重量部，ＫＯＨ＝５
重量部と共に割合を高くした場合、処理能力は更に増大
する。
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＮａＯＨおよびＫＯＨをそれぞれ５重量部以下の範囲で
変化させＦ2 ガスを処理した場合、１−１のソーダライ
ム組成と比較して１−２のようにＮａＯＨ＝３重量部，
ＫＯＨ＝２重量部とすることにより処理能力は増大す
る。また１−３のようにＮａＯＨの割合を５重量部と高
くし、ＫＯＨ＝２重量部とした場合さらにその効果は上
がる。また１−４のようにＮａＯＨ＝２重量部とし、Ｋ
ＯＨの割合を３重量部と高くすることにより処理能力は
著しく増大する。また、１−５のようにＫＯＨの割合を
５重量部と高くし、ＮａＯＨ＝２重量部とした場合さら
にその効果は上がる。ＮａＯＨ＝５重量部，ＫＯＨ＝５
重量部と共に割合を高くした場合、処理能力は更に増大
する。
【００１２】実施例２−１〜２−３のように、固体アル
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＮａＯＨとＫＯＨの合計を５重量部の範囲で変化させＣ
ｌ2ガスを処理した場合、２−１のソーダライム組成と
比較して２−２のようにＫＯＨを加えることにより処理
能力は増大する。さらに２−３のようにＫＯＨの割合を
高くすることにより処理能力は更に増大する。
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＮａＯＨとＫＯＨの合計を５重量部の範囲で変化させＣ
ｌ2ガスを処理した場合、２−１のソーダライム組成と
比較して２−２のようにＫＯＨを加えることにより処理
能力は増大する。さらに２−３のようにＫＯＨの割合を
高くすることにより処理能力は更に増大する。
【００１３】実施例３−１〜３−３のように、固体アル
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＮａＯＨとＫＯＨの合計を５重量部の範囲で変化させＢ
ｒ2ガスを処理した場合、３−１のソーダライム組成と
比較して３−２のようにＫＯＨを加えることにより処理
能力は増大する。さらに３−３のようにＫＯＨの割合を
高くすることにより処理能力は更に増大する。
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＮａＯＨとＫＯＨの合計を５重量部の範囲で変化させＢ
ｒ2ガスを処理した場合、３−１のソーダライム組成と
比較して３−２のようにＫＯＨを加えることにより処理
能力は増大する。さらに３−３のようにＫＯＨの割合を
高くすることにより処理能力は更に増大する。
【００１４】実施例４−１〜４−３のように、固体アル
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＮａＯＨとＫＯＨの合計を５重量部の範囲で変化させＨ
Ｆガスを処理した場合、４−１のソーダライム組成と比
較して４−２のようにＫＯＨを加えることにより処理能
力は増大する。さらに４−３のようにＫＯＨの割合を高
くすることにより処理能力は更に増大する。
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＮａＯＨとＫＯＨの合計を５重量部の範囲で変化させＨ
Ｆガスを処理した場合、４−１のソーダライム組成と比
較して４−２のようにＫＯＨを加えることにより処理能
力は増大する。さらに４−３のようにＫＯＨの割合を高
くすることにより処理能力は更に増大する。
【００１５】実施例５−１〜５−３のように、固体アル
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＮａＯＨとＫＯＨの合計を５重量部の範囲で変化させＣ
ｌＦ 3 ガスを処理した場合、５−１のソーダライム組成
と比較して５−２のようにＫＯＨを加えることにより処
理能力は増大する。さらに５−３のようにＫＯＨの割合
を高くすることにより処理能力は更に増大する。
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＮａＯＨとＫＯＨの合計を５重量部の範囲で変化させＣ
ｌＦ 3 ガスを処理した場合、５−１のソーダライム組成
と比較して５−２のようにＫＯＨを加えることにより処
理能力は増大する。さらに５−３のようにＫＯＨの割合
を高くすることにより処理能力は更に増大する。
【００１６】実施例６−１〜６−３のように、固体アル
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＮａＯＨとＫＯＨの合計を５重量部の範囲で変化させＳ
ｉＦ 4 ガスを処理した場合、６−１のソーダライム組成
と比較して６−２のようにＫＯＨを加えることにより処
理能力は増大する。さらに６−３のようにＫＯＨの割合
を高くすることにより処理能力は更に増大する。
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＮａＯＨとＫＯＨの合計を５重量部の範囲で変化させＳ
ｉＦ 4 ガスを処理した場合、６−１のソーダライム組成
と比較して６−２のようにＫＯＨを加えることにより処
理能力は増大する。さらに６−３のようにＫＯＨの割合
を高くすることにより処理能力は更に増大する。
【００１７】実施例７−１〜７−３のように、固体アル
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＮａＯＨとＫＯＨの合計を５重量部の範囲で変化させＢ
ｒＦ 3 ガスを処理した場合、７−１のソーダライム組成
と比較して７−２のようにＫＯＨを加えることにより処
理能力は増大する。さらに７−３のようにＫＯＨの割合
を高くすることにより処理能力は更に増大する。
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＮａＯＨとＫＯＨの合計を５重量部の範囲で変化させＢ
ｒＦ 3 ガスを処理した場合、７−１のソーダライム組成
と比較して７−２のようにＫＯＨを加えることにより処
理能力は増大する。さらに７−３のようにＫＯＨの割合
を高くすることにより処理能力は更に増大する。
【００１８】実施例８−１〜８−３のように、固体アル
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＮａＯＨとＫＯＨの合計を５重量部の範囲で変化させＢ
ｒＦ 5 ガスを処理した場合、８−１のソーダライム組成
と比較して８−２のようにＫＯＨを加えることにより処
理能力は増大する。さらに８−３のようにＫＯＨの割合
を高くすることにより処理能力は更に増大する。
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＮａＯＨとＫＯＨの合計を５重量部の範囲で変化させＢ
ｒＦ 5 ガスを処理した場合、８−１のソーダライム組成
と比較して８−２のようにＫＯＨを加えることにより処
理能力は増大する。さらに８−３のようにＫＯＨの割合
を高くすることにより処理能力は更に増大する。
【００１９】実施例９−１〜９−３のように、固体アル
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＮａＯＨとＫＯＨの合計を５重量部の範囲で変化させＷ
Ｆ6ガスを処理した場合、９−１のソーダライム組成と
比較して９−２のようにＫＯＨを加えることにより処理
能力は増大する。さらに９−３のようにＫＯＨの割合を
高くすることにより処理能力は更に増大する。
カリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースとして
ＮａＯＨとＫＯＨの合計を５重量部の範囲で変化させＷ
Ｆ6ガスを処理した場合、９−１のソーダライム組成と
比較して９−２のようにＫＯＨを加えることにより処理
能力は増大する。さらに９−３のようにＫＯＨの割合を
高くすることにより処理能力は更に増大する。
【００２０】実施例１０−１〜１０−３のように、固体
アルカリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースと
してＮａＯＨとＫＯＨの合計を５重量部の範囲で変化さ
せＴｉＦ4 ガスを処理した場合、１０−１のソーダライ
ム組成と比較して１０−２のようにＫＯＨを加えること
により処理能力は増大する。さらに１０−３のようにＫ
ＯＨの割合を高くすることにより処理能力は更に増大す
る。
アルカリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースと
してＮａＯＨとＫＯＨの合計を５重量部の範囲で変化さ
せＴｉＦ4 ガスを処理した場合、１０−１のソーダライ
ム組成と比較して１０−２のようにＫＯＨを加えること
により処理能力は増大する。さらに１０−３のようにＫ
ＯＨの割合を高くすることにより処理能力は更に増大す
る。
【００２１】実施例１１−１〜１１−３のように、固体
アルカリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースと
してＮａＯＨとＫＯＨの合計を５重量部の範囲で変化さ
せＢＦ3 ガスを処理した場合、１１−１のソーダライム
組成と比較して１１−２のようにＫＯＨを加えることに
より処理能力は増大する。さらに１１−３のようにＫＯ
Ｈの割合を高くすることにより処理能力は更に増大す
る。
アルカリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースと
してＮａＯＨとＫＯＨの合計を５重量部の範囲で変化さ
せＢＦ3 ガスを処理した場合、１１−１のソーダライム
組成と比較して１１−２のようにＫＯＨを加えることに
より処理能力は増大する。さらに１１−３のようにＫＯ
Ｈの割合を高くすることにより処理能力は更に増大す
る。
【００２２】実施例１２−１〜１２−３のように、固体
アルカリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースと
してＮａＯＨとＫＯＨの合計を５重量部の範囲で変化さ
せＭｏＦ6 ガスを処理した場合、１２−１のソーダライ
ム組成と比較して１２−２のようにＫＯＨを加えること
により処理能力は増大する。さらに１２−３のようにＫ
ＯＨの割合を高くすることにより処理能力は更に増大す
る。
アルカリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースと
してＮａＯＨとＫＯＨの合計を５重量部の範囲で変化さ
せＭｏＦ6 ガスを処理した場合、１２−１のソーダライ
ム組成と比較して１２−２のようにＫＯＨを加えること
により処理能力は増大する。さらに１２−３のようにＫ
ＯＨの割合を高くすることにより処理能力は更に増大す
る。
【００２３】実施例１３−１〜１３−３のように、固体
アルカリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースと
してＮａＯＨとＫＯＨの合計を５重量部の範囲で変化さ
せＨＣｌガスを処理した場合、１３−１のソーダライム
組成と比較して１３−２のようにＫＯＨを加えることに
より処理能力は増大する。さらに１３−３のようにＫＯ
ＨよりＮａＯＨの割合を高くすることにより処理能力は
更に増大する。
アルカリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースと
してＮａＯＨとＫＯＨの合計を５重量部の範囲で変化さ
せＨＣｌガスを処理した場合、１３−１のソーダライム
組成と比較して１３−２のようにＫＯＨを加えることに
より処理能力は増大する。さらに１３−３のようにＫＯ
ＨよりＮａＯＨの割合を高くすることにより処理能力は
更に増大する。
【００２４】実施例１４−１〜１４−３のように、固体
アルカリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースと
してＮａＯＨとＫＯＨの合計を５重量部の範囲で変化さ
せＳｉＣｌ4 ガスを処理した場合、１４−１のソーダラ
イム組成と比較して１４−２のようにＫＯＨを加えるこ
とにより処理能力は増大する。さらに１４−３のように
ＫＯＨの割合を高くすることにより処理能力は更に増大
する。
アルカリ組成をＣａ（ＯＨ)2（９５重量部）をベースと
してＮａＯＨとＫＯＨの合計を５重量部の範囲で変化さ
せＳｉＣｌ4 ガスを処理した場合、１４−１のソーダラ
イム組成と比較して１４−２のようにＫＯＨを加えるこ
とにより処理能力は増大する。さらに１４−３のように
ＫＯＨの割合を高くすることにより処理能力は更に増大
する。
【００２５】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば反
応性の高いハロゲン系ガスを適切な組成の固体アルカリ
化合物と反応させ、効率よく処理することをことができ
る。
応性の高いハロゲン系ガスを適切な組成の固体アルカリ
化合物と反応させ、効率よく処理することをことができ
る。
Claims (2)
- 【請求項１】 ハロゲンを含むガス（以下ハロゲン系ガ
ス）を水酸化カルシウム、水酸化ナトリウムおよび水酸
化カリウムの３種の混合物と反応させ、固体ハロゲン化
物として固定化させることを特徴とするハロゲン系ガス
の処理法。 - 【請求項２】 ハロゲン系ガスがＦ2 、Ｃｌ2 、Ｂ
ｒ2 、ＨＦ、ＣｌＦ3 、ＳｉＦ4 、ＢｒＦ3 、Ｂｒ
Ｆ5 、ＷＦ6 、ＴｉＦ4 、ＢＦ3 、ＭｏＦ6 、ＨＣｌ、
ＳｉＣｌ4 より選択される１種または２種以上であるこ
とを特徴とする請求項１記載のハロゲン系ガスの処理
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7029742A JPH08215539A (ja) | 1995-02-17 | 1995-02-17 | ハロゲン系ガスの処理法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7029742A JPH08215539A (ja) | 1995-02-17 | 1995-02-17 | ハロゲン系ガスの処理法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08215539A true JPH08215539A (ja) | 1996-08-27 |
Family
ID=12284564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7029742A Pending JPH08215539A (ja) | 1995-02-17 | 1995-02-17 | ハロゲン系ガスの処理法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08215539A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998026855A1 (en) * | 1996-12-19 | 1998-06-25 | British Nuclear Fuels Plc | Method for preparing alkali metal fluoride pellets and gas scrubbing method using the same |
| US6309618B1 (en) | 1999-03-12 | 2001-10-30 | Showa Denko K. K. | Method for treating exhaust gas containing fluorine-containing interhalogen compound, and treating agent and treating apparatus |
| JP2004059754A (ja) * | 2002-07-30 | 2004-02-26 | Taiheiyo Cement Corp | 廃棄物処理方法及びセメント原料製造方法 |
| EP1566210A4 (en) * | 2002-11-29 | 2006-06-21 | Kanto Denka Kogyo Kk | PROCESS FOR REMOVING POLLUTANTS FROM EXHAUST GAS |
| JP2011203029A (ja) * | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Hitachi-Ge Nuclear Energy Ltd | フッ化化合物の処理方法 |
| CN110665329A (zh) * | 2013-08-05 | 2020-01-10 | 纽麦特科技公司 | 递送用于离子注入的气体的方法 |
| CN113164862A (zh) * | 2018-12-21 | 2021-07-23 | 昭和电工株式会社 | 卤素氟化物的除去方法和卤素氟化物混合气体中含气体成分的定量分析方法、定量分析装置 |
-
1995
- 1995-02-17 JP JP7029742A patent/JPH08215539A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998026855A1 (en) * | 1996-12-19 | 1998-06-25 | British Nuclear Fuels Plc | Method for preparing alkali metal fluoride pellets and gas scrubbing method using the same |
| US6309618B1 (en) | 1999-03-12 | 2001-10-30 | Showa Denko K. K. | Method for treating exhaust gas containing fluorine-containing interhalogen compound, and treating agent and treating apparatus |
| JP2004059754A (ja) * | 2002-07-30 | 2004-02-26 | Taiheiyo Cement Corp | 廃棄物処理方法及びセメント原料製造方法 |
| EP1566210A4 (en) * | 2002-11-29 | 2006-06-21 | Kanto Denka Kogyo Kk | PROCESS FOR REMOVING POLLUTANTS FROM EXHAUST GAS |
| US7326279B2 (en) | 2002-11-29 | 2008-02-05 | Kanto Denka Kogyo Co., Ltd. | Method for removing harmful substance in vent gas |
| JP2011203029A (ja) * | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Hitachi-Ge Nuclear Energy Ltd | フッ化化合物の処理方法 |
| CN110665329A (zh) * | 2013-08-05 | 2020-01-10 | 纽麦特科技公司 | 递送用于离子注入的气体的方法 |
| CN113164862A (zh) * | 2018-12-21 | 2021-07-23 | 昭和电工株式会社 | 卤素氟化物的除去方法和卤素氟化物混合气体中含气体成分的定量分析方法、定量分析装置 |
| JPWO2020129726A1 (ja) * | 2018-12-21 | 2021-11-04 | 昭和電工株式会社 | ハロゲンフッ化物の除去方法およびハロゲンフッ化物混合ガス中の含有ガス成分の定量分析方法、定量分析装置 |
| EP3900810A4 (en) * | 2018-12-21 | 2022-09-07 | Showa Denko K.K. | METHOD OF REMOVAL OF FLUORINE HALIDE, METHOD OF QUANTITATIVE ANALYSIS FOR GAS COMPONENT CONTAINED IN A HYDROGEN MIXED GAS AND QUANTITATIVE ANALYZER |
| US11779877B2 (en) | 2018-12-21 | 2023-10-10 | Resonac Corporation | Method for removing halogen fluoride, quantitative analysis method for gas component contained in halogen fluoride mixed gas, and quantitative analyzer |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5322674A (en) | Method of treating waste gases containing halogen compounds | |
| US7976808B2 (en) | Method for removing halogen series gas and agent for removing halogen series gas | |
| US20070253879A1 (en) | Method for removing halogen series gas and agent for removing halogen series gas | |
| JPH08215539A (ja) | ハロゲン系ガスの処理法 | |
| JP2581642B2 (ja) | エッチング排ガス除害剤及び排ガス処理方法 | |
| KR100481584B1 (ko) | 유해물 제거제 및 할로겐함유가스를 무해화하는 방법과 그것의 용도 | |
| KR0173468B1 (ko) | ClF3를 함유한 폐가스 처리방법 | |
| JPH08215538A (ja) | ハロゲン系ガスの除去法 | |
| JP4564242B2 (ja) | 三フッ化塩素を含む無機ハロゲン化ガス含有排ガスの処理方法、処理剤及び処理装置 | |
| EP0739236B1 (en) | Metallo-oxomeric scrubber compositions, and method of gas purification utilizing same | |
| JPH02273511A (ja) | 窒素または炭素のハロゲン化物の無毒化方法 | |
| CN106744688A (zh) | 一种用于去除氯化氢气体中氟化氢气体的方法 | |
| KR920007856B1 (ko) | 기체상태의 산성 할로겐 화합물의 제거방법 | |
| JPH1170319A (ja) | 無機ハロゲン化ガスを含有する排ガスの処理方法及び処理装置 | |
| JP3260825B2 (ja) | 有害ガスの浄化方法 | |
| JPH08257359A (ja) | ペルフルオロカーボン含有ガスの流れを処理する方法 | |
| JP2561616B2 (ja) | 有害成分の固体除去剤 | |
| JP2681034B2 (ja) | フロンの無害化方法 | |
| JPH08192024A (ja) | 排ガスの処理剤及び処理方法 | |
| JPS60175522A (ja) | 半導体生産工程中の廃ガス乾式処理組成物 | |
| JP2663326B2 (ja) | ドライエッチング排ガスの処理方法 | |
| JPH10216479A (ja) | 三弗化窒素ガスの除害方法 | |
| JP2000354734A (ja) | フッ素含有化合物ガスの処理方法 | |
| JP2007137739A (ja) | ＣａＦ２の回収方法 | |
| WO2004050217A1 (ja) | ベントガスの除害方法 |