JPH08215645A - スクラブ洗浄装置 - Google Patents
スクラブ洗浄装置Info
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- JPH08215645A JPH08215645A JP7024904A JP2490495A JPH08215645A JP H08215645 A JPH08215645 A JP H08215645A JP 7024904 A JP7024904 A JP 7024904A JP 2490495 A JP2490495 A JP 2490495A JP H08215645 A JPH08215645 A JP H08215645A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被洗浄面へのパーティクルの再付着を低減で
きるとともに、洗浄時間の短縮を図ることができるスク
ラブ洗浄装置を提供する。 【構成】 洗浄ブラシ１を回転させた状態で洗浄毛に洗
浄液を供給しつつ毛先部分を被洗浄面に押し当てて洗浄
処理を行うスクラブ洗浄装置であって、洗浄ブラシ１に
洗浄毛を植毛するにあたり、洗浄ブラシ１の回転中心Ｐ
側の領域Ａをその外側領域Ｂよりも低い植毛密度で植毛
することにより、回転中心側の領域Ａで洗浄毛に付着残
留するパーティクルのトータル個数を減少させるように
した。
きるとともに、洗浄時間の短縮を図ることができるスク
ラブ洗浄装置を提供する。 【構成】 洗浄ブラシ１を回転させた状態で洗浄毛に洗
浄液を供給しつつ毛先部分を被洗浄面に押し当てて洗浄
処理を行うスクラブ洗浄装置であって、洗浄ブラシ１に
洗浄毛を植毛するにあたり、洗浄ブラシ１の回転中心Ｐ
側の領域Ａをその外側領域Ｂよりも低い植毛密度で植毛
することにより、回転中心側の領域Ａで洗浄毛に付着残
留するパーティクルのトータル個数を減少させるように
した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、薬品水溶液、有機溶
媒、水などの洗浄液を使用して洗浄処理を行うスクラブ
洗浄装置に関するもので、特に、回転する洗浄ブラシに
洗浄液を供給しつつ被洗浄面を洗浄処理する際に用いて
好適なものである。
媒、水などの洗浄液を使用して洗浄処理を行うスクラブ
洗浄装置に関するもので、特に、回転する洗浄ブラシに
洗浄液を供給しつつ被洗浄面を洗浄処理する際に用いて
好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は洗浄時におけるスクラブ洗浄装置
の動作状態を示す概略図である。この種の洗浄装置で
は、円盤型の洗浄ブラシ１を回転させて、例えば半導体
ウエハ等の洗浄物２を洗浄する。このとき、洗浄ブラシ
１の近傍に設置されたノズル３から洗浄液が吐出され、
これが洗浄ブラシ１の洗浄毛（不図示）に供給されるよ
うになっている。洗浄ブラシ１には、図５に示すよう
に、例えば３００本程度の洗浄毛の束１ａ，１ａ，・・
が同心円上に幾重にも植毛されている。また洗浄ブラシ
１は繰り返し使用しているうちに次第に汚れてくるた
め、定期的なブラシ交換のための取付穴φが設けられて
いる。
の動作状態を示す概略図である。この種の洗浄装置で
は、円盤型の洗浄ブラシ１を回転させて、例えば半導体
ウエハ等の洗浄物２を洗浄する。このとき、洗浄ブラシ
１の近傍に設置されたノズル３から洗浄液が吐出され、
これが洗浄ブラシ１の洗浄毛（不図示）に供給されるよ
うになっている。洗浄ブラシ１には、図５に示すよう
に、例えば３００本程度の洗浄毛の束１ａ，１ａ，・・
が同心円上に幾重にも植毛されている。また洗浄ブラシ
１は繰り返し使用しているうちに次第に汚れてくるた
め、定期的なブラシ交換のための取付穴φが設けられて
いる。
【０００３】このようなスクラブ洗浄装置においては、
図６に示すように、図示せぬモータ等の回転駆動源をも
って洗浄ブラシ１を回転させた状態で、ノズル３から吐
出させた洗浄液４を洗浄毛１ｂに供給しながら毛先部分
を被洗浄面２ａに押し当てて洗浄処理を行う。これによ
り、洗浄ブラシ１の洗浄毛１ｂが被洗浄面２ａに付着し
たパーティクル５と衝突し、被洗浄面２ａからパーティ
クル５が剥離する。また、こうして剥離したパーティク
ル５は、洗浄ブラシ１の回転に伴う遠心力によって、ノ
ズル３から供給された洗浄液４とともに被洗浄物２の端
縁部から排出される。
図６に示すように、図示せぬモータ等の回転駆動源をも
って洗浄ブラシ１を回転させた状態で、ノズル３から吐
出させた洗浄液４を洗浄毛１ｂに供給しながら毛先部分
を被洗浄面２ａに押し当てて洗浄処理を行う。これによ
り、洗浄ブラシ１の洗浄毛１ｂが被洗浄面２ａに付着し
たパーティクル５と衝突し、被洗浄面２ａからパーティ
クル５が剥離する。また、こうして剥離したパーティク
ル５は、洗浄ブラシ１の回転に伴う遠心力によって、ノ
ズル３から供給された洗浄液４とともに被洗浄物２の端
縁部から排出される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この種のスクラブ洗浄
装置においては、被洗浄面２ａから剥離したパーティク
ル５の一部が、洗浄液４とともに排出されずに、被洗浄
物２やブラシの洗浄毛１ｂに付着したまま残ることがあ
る。特に、洗浄ブラシ１の回転中心領域では、ブラシ回
転中の遠心力が極端に小さいことから、パーティクルの
排出作用が弱くなる。図７は洗浄処理を終えて洗浄ブラ
シ１を被洗浄物２から離したときに、洗浄毛１ｂに付着
していたパーティクルが被洗浄面２ａに再付着した様子
を示している。この図７からも、洗浄ブラシ１の回転中
心領域でパーティクルの再付着が顕著に発生しているこ
とが分かる。よって、洗浄ブラシ１の回転中心領域に対
しては必要且つ十分に洗浄液を供給する必要がある。と
ころが、洗浄ブラシ１の直径が大きくなると、その分だ
けブラシ端縁部から回転中心部までの距離が長くなるた
め、回転中心領域への洗浄液の供給が困難になる。その
ため洗浄時には、より多量の洗浄液が必要となり、これ
によってプロセスコストが大幅に上昇してしまう。これ
に対して、洗浄ブラシ１の直径が小さくなると、ブラシ
回転中心域での洗浄効率が上がってパーティクルの再付
着は低減するものの、近年にみられる半導体ウエハの大
口径化に対しては、ウエハ面全域を洗浄するのに専用の
走査機構が必要になったり、大径ブラシよりも洗浄時間
が長くなるなど、装置の高価格化やプロセスコストの上
昇を招いてしまう。
装置においては、被洗浄面２ａから剥離したパーティク
ル５の一部が、洗浄液４とともに排出されずに、被洗浄
物２やブラシの洗浄毛１ｂに付着したまま残ることがあ
る。特に、洗浄ブラシ１の回転中心領域では、ブラシ回
転中の遠心力が極端に小さいことから、パーティクルの
排出作用が弱くなる。図７は洗浄処理を終えて洗浄ブラ
シ１を被洗浄物２から離したときに、洗浄毛１ｂに付着
していたパーティクルが被洗浄面２ａに再付着した様子
を示している。この図７からも、洗浄ブラシ１の回転中
心領域でパーティクルの再付着が顕著に発生しているこ
とが分かる。よって、洗浄ブラシ１の回転中心領域に対
しては必要且つ十分に洗浄液を供給する必要がある。と
ころが、洗浄ブラシ１の直径が大きくなると、その分だ
けブラシ端縁部から回転中心部までの距離が長くなるた
め、回転中心領域への洗浄液の供給が困難になる。その
ため洗浄時には、より多量の洗浄液が必要となり、これ
によってプロセスコストが大幅に上昇してしまう。これ
に対して、洗浄ブラシ１の直径が小さくなると、ブラシ
回転中心域での洗浄効率が上がってパーティクルの再付
着は低減するものの、近年にみられる半導体ウエハの大
口径化に対しては、ウエハ面全域を洗浄するのに専用の
走査機構が必要になったり、大径ブラシよりも洗浄時間
が長くなるなど、装置の高価格化やプロセスコストの上
昇を招いてしまう。
【０００５】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたもので、その目的とするところは、被洗浄面へのパ
ーティクルの再付着を低減できるとともに、洗浄時間の
短縮を図ることができるスクラブ洗浄装置を提供するこ
とにある。
れたもので、その目的とするところは、被洗浄面へのパ
ーティクルの再付着を低減できるとともに、洗浄時間の
短縮を図ることができるスクラブ洗浄装置を提供するこ
とにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
複数本の洗浄毛が植毛された洗浄ブラシを備え、洗浄ブ
ラシを回転させた状態で洗浄毛に洗浄液を供給しつつそ
の毛先部分を被洗浄面に押し当てて洗浄処理を行うスク
ラブ洗浄装置であり、洗浄ブラシの回転中心側の領域が
その外側領域よりも低い植毛密度で植毛された構成とな
っている。
複数本の洗浄毛が植毛された洗浄ブラシを備え、洗浄ブ
ラシを回転させた状態で洗浄毛に洗浄液を供給しつつそ
の毛先部分を被洗浄面に押し当てて洗浄処理を行うスク
ラブ洗浄装置であり、洗浄ブラシの回転中心側の領域が
その外側領域よりも低い植毛密度で植毛された構成とな
っている。
【０００７】請求項２記載の発明は、複数本の洗浄毛が
植毛された洗浄ブラシを備え、洗浄ブラシを回転させた
状態で洗浄毛に洗浄液を供給しつつその毛先部分を被洗
浄面に押し当てて洗浄処理を行うスクラブ洗浄装置であ
り、洗浄ブラシの回転中心側の領域がその外側領域より
も太い洗浄毛で植毛された構成となっている。
植毛された洗浄ブラシを備え、洗浄ブラシを回転させた
状態で洗浄毛に洗浄液を供給しつつその毛先部分を被洗
浄面に押し当てて洗浄処理を行うスクラブ洗浄装置であ
り、洗浄ブラシの回転中心側の領域がその外側領域より
も太い洗浄毛で植毛された構成となっている。
【０００８】請求項３記載の発明は、複数本の洗浄毛が
植毛された洗浄ブラシを備え、洗浄ブラシを回転させた
状態で洗浄毛に洗浄液を供給しつつその毛先部分を被洗
浄面に押し当てて洗浄処理を行うスクラブ洗浄装置であ
り、洗浄ブラシの植毛面側にブラシ端縁部から回転中心
部に向けて導液路が形成された構成となっている。
植毛された洗浄ブラシを備え、洗浄ブラシを回転させた
状態で洗浄毛に洗浄液を供給しつつその毛先部分を被洗
浄面に押し当てて洗浄処理を行うスクラブ洗浄装置であ
り、洗浄ブラシの植毛面側にブラシ端縁部から回転中心
部に向けて導液路が形成された構成となっている。
【０００９】
【作用】請求項１記載のスクラブ洗浄装置では、洗浄ブ
ラシの回転中心側の領域がその外側領域よりも洗浄毛が
疎らに配置されるため、ブラシ回転中心側領域で洗浄毛
に付着残留するパーティクルのトータル的な個数が減少
する。
ラシの回転中心側の領域がその外側領域よりも洗浄毛が
疎らに配置されるため、ブラシ回転中心側領域で洗浄毛
に付着残留するパーティクルのトータル的な個数が減少
する。
【００１０】請求項２記載のスクラブ洗浄装置では、洗
浄ブラシの回転中心側の領域がその外側領域よりも太い
洗浄毛で植毛されているため、ブラシ回転中心側領域で
はパーティクルを捉える力が低下し、パーティクルが外
側に排出されやすくなる。
浄ブラシの回転中心側の領域がその外側領域よりも太い
洗浄毛で植毛されているため、ブラシ回転中心側領域で
はパーティクルを捉える力が低下し、パーティクルが外
側に排出されやすくなる。
【００１１】請求項３記載のスクラブ洗浄装置では、洗
浄ブラシの植毛面側に形成された導液路を通して洗浄液
がブラシ回転中心領域までスムーズに供給されるように
なるため、その回転中心領域におけるパーティクルの排
出作用が高まる。
浄ブラシの植毛面側に形成された導液路を通して洗浄液
がブラシ回転中心領域までスムーズに供給されるように
なるため、その回転中心領域におけるパーティクルの排
出作用が高まる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら詳細に説明する。なお、本実施例においては、上
記従来例と同様の構成部分に同じ符号を付して説明す
る。図１は本発明に係わるスクラブ洗浄装置の第１実施
例を説明する図である。本第１実施例のスクラブ洗浄装
置では、図１（ａ）に示すように、例えば円盤型の洗浄
ブラシ１に洗浄毛を植毛するにあたって、洗浄液の供給
が困難で且つパーティクルの再付着が起こりやすい洗浄
ブラシ１の回転中心Ｐ側の領域Ａを、その外側領域Ｂよ
りも低い植毛密度で植毛するようにした。具体的には、
例えば図１（ｂ）に示すように、洗浄ブラシ１の回転中
心側の領域Ａにおける洗浄毛の束１ａの植毛箇所を、そ
の外側領域Ｂよりも少なくすることにより、単位面積あ
たりの洗浄毛の本数、つまり植毛密度が低くなるように
構成した。
ながら詳細に説明する。なお、本実施例においては、上
記従来例と同様の構成部分に同じ符号を付して説明す
る。図１は本発明に係わるスクラブ洗浄装置の第１実施
例を説明する図である。本第１実施例のスクラブ洗浄装
置では、図１（ａ）に示すように、例えば円盤型の洗浄
ブラシ１に洗浄毛を植毛するにあたって、洗浄液の供給
が困難で且つパーティクルの再付着が起こりやすい洗浄
ブラシ１の回転中心Ｐ側の領域Ａを、その外側領域Ｂよ
りも低い植毛密度で植毛するようにした。具体的には、
例えば図１（ｂ）に示すように、洗浄ブラシ１の回転中
心側の領域Ａにおける洗浄毛の束１ａの植毛箇所を、そ
の外側領域Ｂよりも少なくすることにより、単位面積あ
たりの洗浄毛の本数、つまり植毛密度が低くなるように
構成した。
【００１３】上記構成からなるスクラブ洗浄装置におい
ては、領域Ａ，Ｂ間での植毛密度の違いから、洗浄ブラ
シ１の回転中心側の領域Ａがその外側領域Ｂよりも洗浄
毛が疎らに配置される。ここで、洗浄後に領域Ａに残留
するパーティクルの個数はその領域Ａ内に植毛されてい
る洗浄毛の本数に大きく依存することになる。そのため
本第１実施例のように、洗浄ブラシ１の回転中心側の領
域Ａをその外側領域Ｂよりも低い植毛密度で植毛すれ
ば、洗浄後にパーティクルの再付着が起こりやすいブラ
シ回転中心側の領域Ａにおいて、洗浄毛に付着残留する
パーティクルのトータル的な個数を確実に減少させるこ
とができる。
ては、領域Ａ，Ｂ間での植毛密度の違いから、洗浄ブラ
シ１の回転中心側の領域Ａがその外側領域Ｂよりも洗浄
毛が疎らに配置される。ここで、洗浄後に領域Ａに残留
するパーティクルの個数はその領域Ａ内に植毛されてい
る洗浄毛の本数に大きく依存することになる。そのため
本第１実施例のように、洗浄ブラシ１の回転中心側の領
域Ａをその外側領域Ｂよりも低い植毛密度で植毛すれ
ば、洗浄後にパーティクルの再付着が起こりやすいブラ
シ回転中心側の領域Ａにおいて、洗浄毛に付着残留する
パーティクルのトータル的な個数を確実に減少させるこ
とができる。
【００１４】ちなみに、被洗浄物としてシリコン酸化膜
を化学的機械研磨（ＣＭＰ）した後の半導体ウエハを用
い、以下の条件でスクラブ洗浄を行って洗浄効果を確認
してみた。 洗浄ブラシの直径 １７（ｃｍ） 洗浄毛の材質 ナイロン 洗浄毛の線径 ０．１（ｍｍ） 領域Ａの範囲 回転中心から半径１０（ｃｍ）内 領域Ａの植毛密度 ３３０（本／ｃｍ2 ） 領域Ｂの範囲 回転中心から半径１０（ｃｍ）外 領域Ｂの植毛密度 ３３（本／ｃｍ2 ） 洗浄液供給量 ０．５（ｌ／ｍｉｎ） 洗浄時間 ４（ｍｉｎ） ブラシ回転数 １００（ｒｐｍ） その結果、ブラシ全域が均一な植毛密度（３３０本／ｃ
ｍ2 ）で植毛された洗浄ブラシを用いた従来装置（植毛
密度以外の条件は同一）と比較して、ウエハ表面でのパ
ーティクルの再付着が減少していることが確認できた。
を化学的機械研磨（ＣＭＰ）した後の半導体ウエハを用
い、以下の条件でスクラブ洗浄を行って洗浄効果を確認
してみた。 洗浄ブラシの直径 １７（ｃｍ） 洗浄毛の材質 ナイロン 洗浄毛の線径 ０．１（ｍｍ） 領域Ａの範囲 回転中心から半径１０（ｃｍ）内 領域Ａの植毛密度 ３３０（本／ｃｍ2 ） 領域Ｂの範囲 回転中心から半径１０（ｃｍ）外 領域Ｂの植毛密度 ３３（本／ｃｍ2 ） 洗浄液供給量 ０．５（ｌ／ｍｉｎ） 洗浄時間 ４（ｍｉｎ） ブラシ回転数 １００（ｒｐｍ） その結果、ブラシ全域が均一な植毛密度（３３０本／ｃ
ｍ2 ）で植毛された洗浄ブラシを用いた従来装置（植毛
密度以外の条件は同一）と比較して、ウエハ表面でのパ
ーティクルの再付着が減少していることが確認できた。
【００１５】なお、上記第１実施例においては、図１
（ｂ）で示したように、洗浄ブラシ１に植毛される毛束
１ａの植毛箇所を領域毎に多くしたり少なくしたりする
ことで、領域Ａ，Ｂ間での植毛密度に格差を設けるよう
にしたが、本発明はこれに限定されることなく、例え
ば、一箇所に植毛される洗浄毛の本数を領域毎に多くし
たり少なくしたりすることでも植毛密度に格差を設ける
ことができる。また、洗浄ブラシ１の回転中心側の領域
Ａについては、必ずしも洗浄毛が植毛されている必要は
なく、洗浄毛の存在しない無毛領域になっていてもかま
わない。さらに本第１実施例では、洗浄ブラシ１の植毛
領域を二つの領域Ａ，Ｂに区分して植毛密度に格差をも
たせるようにしたが、これ以外にも、植毛領域の区分に
ついてはブラシの回転中心Ｐから例えば同心円上に３つ
又はそれ以上の領域を設定し、各々の領域に対して回転
中心側の領域をその外側領域よりも低い植毛密度で植毛
したブラシ構造を採用することもできる。
（ｂ）で示したように、洗浄ブラシ１に植毛される毛束
１ａの植毛箇所を領域毎に多くしたり少なくしたりする
ことで、領域Ａ，Ｂ間での植毛密度に格差を設けるよう
にしたが、本発明はこれに限定されることなく、例え
ば、一箇所に植毛される洗浄毛の本数を領域毎に多くし
たり少なくしたりすることでも植毛密度に格差を設ける
ことができる。また、洗浄ブラシ１の回転中心側の領域
Ａについては、必ずしも洗浄毛が植毛されている必要は
なく、洗浄毛の存在しない無毛領域になっていてもかま
わない。さらに本第１実施例では、洗浄ブラシ１の植毛
領域を二つの領域Ａ，Ｂに区分して植毛密度に格差をも
たせるようにしたが、これ以外にも、植毛領域の区分に
ついてはブラシの回転中心Ｐから例えば同心円上に３つ
又はそれ以上の領域を設定し、各々の領域に対して回転
中心側の領域をその外側領域よりも低い植毛密度で植毛
したブラシ構造を採用することもできる。
【００１６】図２は本発明に係わるスクラブ洗浄装置の
第２実施例を説明する図である。本第２実施例のスクラ
ブ洗浄装置では、図２に示すように、例えば円盤型の洗
浄ブラシ１に洗浄毛を植毛するにあたり、洗浄処理によ
って被洗浄面から剥離したパーティクルが洗浄液の表面
張力に助長されて洗浄毛の間に入り込んだ場合、洗浄毛
が細いほどパーティクルを捉えておく力が強くなるとい
う点に着目し、洗浄液の供給が困難で且つパーティクル
の再付着が起こりやすい洗浄ブラシ１の回転中心Ｐ側の
領域Ａを、その外側領域Ｂよりも太い洗浄毛で植毛する
ようにした。具体的には、例えば、回転中心側の領域Ａ
に線径０．１ｍｍの洗浄毛を植毛し、その外側領域Ｂに
は線径０．３ｍｍの洗浄毛を植毛することで、領域Ａ，
Ｂ間での洗浄毛の線径に格差をもたせた。
第２実施例を説明する図である。本第２実施例のスクラ
ブ洗浄装置では、図２に示すように、例えば円盤型の洗
浄ブラシ１に洗浄毛を植毛するにあたり、洗浄処理によ
って被洗浄面から剥離したパーティクルが洗浄液の表面
張力に助長されて洗浄毛の間に入り込んだ場合、洗浄毛
が細いほどパーティクルを捉えておく力が強くなるとい
う点に着目し、洗浄液の供給が困難で且つパーティクル
の再付着が起こりやすい洗浄ブラシ１の回転中心Ｐ側の
領域Ａを、その外側領域Ｂよりも太い洗浄毛で植毛する
ようにした。具体的には、例えば、回転中心側の領域Ａ
に線径０．１ｍｍの洗浄毛を植毛し、その外側領域Ｂに
は線径０．３ｍｍの洗浄毛を植毛することで、領域Ａ，
Ｂ間での洗浄毛の線径に格差をもたせた。
【００１７】上記構成からなるスクラブ洗浄装置におい
ては、洗浄ブラシ１の回転中心側の領域Ａで太い洗浄毛
が植毛されているため、その領域Ａ内ではパーティクル
を捉える力が低下する。これにより、回転中心側の領域
Ａではパーティクルを洗浄毛の間に残留させることな
く、その外側領域Ｂに排出させることができる。一方、
領域Ａの外側領域Ｂでは、洗浄液の供給が十分になされ
るうえに洗浄ブラシ１の回転によって強い遠心力が働く
ため、たとえ細い洗浄毛が植毛されていてもパーティク
ルを洗浄液とともにスムースに排出させることができ
る。その結果、特に、洗浄ブラシ１の回転中心側の領域
Ａにおいて、従来よりもパーティクルの残留個数を確実
に減少させることができる。
ては、洗浄ブラシ１の回転中心側の領域Ａで太い洗浄毛
が植毛されているため、その領域Ａ内ではパーティクル
を捉える力が低下する。これにより、回転中心側の領域
Ａではパーティクルを洗浄毛の間に残留させることな
く、その外側領域Ｂに排出させることができる。一方、
領域Ａの外側領域Ｂでは、洗浄液の供給が十分になされ
るうえに洗浄ブラシ１の回転によって強い遠心力が働く
ため、たとえ細い洗浄毛が植毛されていてもパーティク
ルを洗浄液とともにスムースに排出させることができ
る。その結果、特に、洗浄ブラシ１の回転中心側の領域
Ａにおいて、従来よりもパーティクルの残留個数を確実
に減少させることができる。
【００１８】なお、上記第２実施例においては、洗浄ブ
ラシ１の植毛領域を二つの領域Ａ，Ｂに区分して洗浄毛
の線径に格差をもたせるようにしたが、本発明はこれに
限定されることなく、上記第１実施例と同様に、植毛領
域の区分についてはブラシの回転中心Ｐから例えば同心
円上に３つ又はそれ以上の領域を設定し、各々の領域に
対して回転中心側の領域をその外側領域よりも太い洗浄
毛で植毛したブラシ構造を採用することもできる。
ラシ１の植毛領域を二つの領域Ａ，Ｂに区分して洗浄毛
の線径に格差をもたせるようにしたが、本発明はこれに
限定されることなく、上記第１実施例と同様に、植毛領
域の区分についてはブラシの回転中心Ｐから例えば同心
円上に３つ又はそれ以上の領域を設定し、各々の領域に
対して回転中心側の領域をその外側領域よりも太い洗浄
毛で植毛したブラシ構造を採用することもできる。
【００１９】図３は本発明に係わるスクラブ洗浄装置の
第３実施例を説明する図である。本第３実施例のスクラ
ブ洗浄装置においては、洗浄ブラシ１の植毛面（洗浄毛
が植毛されている面）側にブラシ端縁部から回転中心部
Ｐに向けて導液路Ｒを形成するようにした。この導液路
Ｒは、洗浄時に図示せぬノズルから吐出させた洗浄液を
洗浄ノズル１の回転中心部Ｐまで十分に行き渡らせるた
めのもので、図示のごとく円盤型の洗浄ノズル１に対し
ては、例えばその半径方向に沿って１本又は複数本にわ
たって形成されるものである。
第３実施例を説明する図である。本第３実施例のスクラ
ブ洗浄装置においては、洗浄ブラシ１の植毛面（洗浄毛
が植毛されている面）側にブラシ端縁部から回転中心部
Ｐに向けて導液路Ｒを形成するようにした。この導液路
Ｒは、洗浄時に図示せぬノズルから吐出させた洗浄液を
洗浄ノズル１の回転中心部Ｐまで十分に行き渡らせるた
めのもので、図示のごとく円盤型の洗浄ノズル１に対し
ては、例えばその半径方向に沿って１本又は複数本にわ
たって形成されるものである。
【００２０】導液路Ｒの形態としては、図例のように直
線的に形成する以外にも、例えばウエブ状や円弧状に形
成するなど種々の形態を適用できる。また導液路Ｒの形
成手段としては、例えば、導液路Ｒの形成領域をそれ以
外の植毛領域Ｓよりも低い植毛密度で植毛したり、導液
路Ｒの形成領域を洗浄毛の存在しない無毛領域とするこ
となどが具体例として挙げられる。
線的に形成する以外にも、例えばウエブ状や円弧状に形
成するなど種々の形態を適用できる。また導液路Ｒの形
成手段としては、例えば、導液路Ｒの形成領域をそれ以
外の植毛領域Ｓよりも低い植毛密度で植毛したり、導液
路Ｒの形成領域を洗浄毛の存在しない無毛領域とするこ
となどが具体例として挙げられる。
【００２１】上記構成からなるスクラブ洗浄装置におい
ては、洗浄時にノズル（不図示）から吐出させた洗浄液
が、洗浄ブラシ１の植毛面側に形成された導液路Ｒを通
してブラシの回転中心部Ｐまでスムーズに供給されるよ
うになる。これによって、遠心力の小さい洗浄ノズル１
の回転中心領域でも、導液路Ｒを通して洗浄液の供給が
十分になされることでパーティクルの排出が速やかに行
われるようになるため、洗浄後のパーティクルの残留個
数を大幅に減少させることができる。
ては、洗浄時にノズル（不図示）から吐出させた洗浄液
が、洗浄ブラシ１の植毛面側に形成された導液路Ｒを通
してブラシの回転中心部Ｐまでスムーズに供給されるよ
うになる。これによって、遠心力の小さい洗浄ノズル１
の回転中心領域でも、導液路Ｒを通して洗浄液の供給が
十分になされることでパーティクルの排出が速やかに行
われるようになるため、洗浄後のパーティクルの残留個
数を大幅に減少させることができる。
【００２２】ちなみに本第３実施例においても、被洗浄
物としてシリコン酸化膜を化学的機械研磨した後の半導
体ウエハを用い、以下の条件でスクラブ洗浄を行って洗
浄効果を確認してみた。 洗浄ブラシの直径 １７（ｃｍ） 洗浄毛の材質 ナイロン 洗浄毛の線径 ０．１（ｍｍ） 領域Ｓの植毛密度 ３３０（本／ｃｍ2 ） 導液路Ｒの植毛密度 ３３（本／ｃｍ2 ） 洗浄液供給量 ０．５（ｌ／ｍｉｎ） 洗浄時間 ４（ｍｉｎ） ブラシ回転数 １００（ｒｐｍ） その結果、導液路Ｒが無く均一な植毛密度（３３０本／
ｃｍ2 ）で植毛された洗浄ブラシを用いた従来装置と比
較して、ウエハ表面でのパーティクルの再付着が減少し
ていることが確認できた。
物としてシリコン酸化膜を化学的機械研磨した後の半導
体ウエハを用い、以下の条件でスクラブ洗浄を行って洗
浄効果を確認してみた。 洗浄ブラシの直径 １７（ｃｍ） 洗浄毛の材質 ナイロン 洗浄毛の線径 ０．１（ｍｍ） 領域Ｓの植毛密度 ３３０（本／ｃｍ2 ） 導液路Ｒの植毛密度 ３３（本／ｃｍ2 ） 洗浄液供給量 ０．５（ｌ／ｍｉｎ） 洗浄時間 ４（ｍｉｎ） ブラシ回転数 １００（ｒｐｍ） その結果、導液路Ｒが無く均一な植毛密度（３３０本／
ｃｍ2 ）で植毛された洗浄ブラシを用いた従来装置と比
較して、ウエハ表面でのパーティクルの再付着が減少し
ていることが確認できた。
【００２３】
【発明の効果】請求項１記載のスクラブ洗浄装置によれ
ば、洗浄ブラシの回転中心側の領域がその外側領域より
も低い植毛密度で植毛されているため、洗浄ブラシの回
転中心側の領域では洗浄毛に付着残留するパーティクル
のトータル的な個数を減少させることができる。これに
より、被洗浄面から剥離させたパーティクルを洗浄ブラ
シ全域にわたって効率良く外部に排出させることが可能
となるため、洗浄後に被洗浄面から洗浄ブラシを離した
ときに被洗浄面に再付着するパーティクルの個数が減少
し、洗浄効果の向上とともに洗浄時間の短縮が図られ
る。
ば、洗浄ブラシの回転中心側の領域がその外側領域より
も低い植毛密度で植毛されているため、洗浄ブラシの回
転中心側の領域では洗浄毛に付着残留するパーティクル
のトータル的な個数を減少させることができる。これに
より、被洗浄面から剥離させたパーティクルを洗浄ブラ
シ全域にわたって効率良く外部に排出させることが可能
となるため、洗浄後に被洗浄面から洗浄ブラシを離した
ときに被洗浄面に再付着するパーティクルの個数が減少
し、洗浄効果の向上とともに洗浄時間の短縮が図られ
る。
【００２４】請求項２記載のスクラブ洗浄装置によれ
ば、洗浄ブラシの回転中心側の領域がその外側領域より
も太い洗浄毛で植毛されているため、洗浄ブラシの回転
中心側の領域ではパーティクルを捉えておく力が低下し
てパーティクルがスムーズに外側に排出されるようにな
る。これにより、被洗浄面から剥離させたパーティクル
を洗浄ブラシ全域にわたって効率良く外部に排出させる
ことが可能となるため、洗浄後に被洗浄面から洗浄ブラ
シを離したときに被洗浄面に再付着するパーティクルの
個数が減少し、洗浄効果の向上とともに洗浄時間の短縮
が図られる。
ば、洗浄ブラシの回転中心側の領域がその外側領域より
も太い洗浄毛で植毛されているため、洗浄ブラシの回転
中心側の領域ではパーティクルを捉えておく力が低下し
てパーティクルがスムーズに外側に排出されるようにな
る。これにより、被洗浄面から剥離させたパーティクル
を洗浄ブラシ全域にわたって効率良く外部に排出させる
ことが可能となるため、洗浄後に被洗浄面から洗浄ブラ
シを離したときに被洗浄面に再付着するパーティクルの
個数が減少し、洗浄効果の向上とともに洗浄時間の短縮
が図られる。
【００２５】請求項３記載のスクラブ洗浄装置によれ
ば、洗浄ブラシの植毛面側にブラシ端縁部から回転中心
部に向けて導液路が形成されているため、洗浄時にはそ
の導液路を通して洗浄液をブラシ回転中心領域まで潤滑
に供給することが可能となる。これにより、洗浄ブラシ
の回転中心領域では洗浄液の供給によってパーティクル
の排出が促され、洗浄毛へのパーティクルの付着残留が
阻止されるようになるため、洗浄後におけるパーティク
ルの残留を洗浄ブラシ全域にわたって防止することがで
きる。その結果、被洗浄面へのパーティクルの再付着を
防止することが可能になるとともに、ブラシ全域にわた
ってパーティクルの排出作用が高まるため従来よりも洗
浄時間を短縮させることが可能となる。
ば、洗浄ブラシの植毛面側にブラシ端縁部から回転中心
部に向けて導液路が形成されているため、洗浄時にはそ
の導液路を通して洗浄液をブラシ回転中心領域まで潤滑
に供給することが可能となる。これにより、洗浄ブラシ
の回転中心領域では洗浄液の供給によってパーティクル
の排出が促され、洗浄毛へのパーティクルの付着残留が
阻止されるようになるため、洗浄後におけるパーティク
ルの残留を洗浄ブラシ全域にわたって防止することがで
きる。その結果、被洗浄面へのパーティクルの再付着を
防止することが可能になるとともに、ブラシ全域にわた
ってパーティクルの排出作用が高まるため従来よりも洗
浄時間を短縮させることが可能となる。
【図１】本発明に係わるスクラブ洗浄装置の第１実施例
を説明する図である。
を説明する図である。
【図２】本発明に係わるスクラブ洗浄装置の第２実施例
を説明する図である。
を説明する図である。
【図３】本発明に係わるスクラブ洗浄装置の第３実施例
を説明する図である。
を説明する図である。
【図４】スクラブ洗浄装置の一例を示す概略図である。
【図５】洗浄ブラシの植毛パターンの一例を示す図であ
る。
る。
【図６】スクラブ洗浄の模式図である。
【図７】洗浄後におけるパーティクルの付着分布図であ
る。
る。
１ 洗浄ブラシ Ａ 回転中心側の領域 Ｂ 外側領域 Ｐ 回転中心 Ｒ 導液路
Claims (3)
- 【請求項１】 複数本の洗浄毛が植毛された洗浄ブラシ
を備え、この洗浄ブラシを回転させた状態で前記洗浄毛
に洗浄液を供給しつつその毛先部分を被洗浄面に押し当
てて洗浄処理を行うスクラブ洗浄装置において、 前記洗浄ブラシの回転中心側の領域がその外側領域より
も低い植毛密度で植毛されていることを特徴とするスク
ラブ洗浄装置。 - 【請求項２】 複数本の洗浄毛が植毛された洗浄ブラシ
を備え、この洗浄ブラシを回転させた状態で前記洗浄毛
に洗浄液を供給しつつその毛先部分を被洗浄面に押し当
てて洗浄処理を行うスクラブ洗浄装置において、 前記洗浄ブラシの回転中心側の領域がその外側領域より
も太い洗浄毛で植毛されていることを特徴とするスクラ
ブ洗浄装置。 - 【請求項３】 複数本の洗浄毛が植毛された洗浄ブラシ
を備え、この洗浄ブラシを回転させた状態で前記洗浄毛
に洗浄液を供給しつつその毛先部分を被洗浄面に押し当
てて洗浄処理を行うスクラブ洗浄装置において、 前記洗浄ブラシの植毛面側にブラシ端縁部から回転中心
部に向けて導液路が形成されていることを特徴とするス
クラブ洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7024904A JPH08215645A (ja) | 1995-02-14 | 1995-02-14 | スクラブ洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7024904A JPH08215645A (ja) | 1995-02-14 | 1995-02-14 | スクラブ洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08215645A true JPH08215645A (ja) | 1996-08-27 |
Family
ID=12151172
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7024904A Pending JPH08215645A (ja) | 1995-02-14 | 1995-02-14 | スクラブ洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08215645A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008068223A (ja) * | 2006-09-15 | 2008-03-27 | Nec Lcd Technologies Ltd | 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 |
| JP2010003739A (ja) * | 2008-06-18 | 2010-01-07 | Tokyo Electron Ltd | 基板洗浄装置 |
| JP2011527221A (ja) * | 2008-07-07 | 2011-10-27 | マルク・デラエレ | 溝、接合部、凹凸及び／又は孔が設けられた表面の水平及び／又は垂直洗浄用機械のブラシ、及びこのブラシを備えた機械 |
| JP2012182507A (ja) * | 2012-06-28 | 2012-09-20 | Tokyo Electron Ltd | 基板洗浄装置 |
| JP2013038178A (ja) * | 2011-08-05 | 2013-02-21 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び同基板処理装置の除去処理体並びに基板処理方法 |
-
1995
- 1995-02-14 JP JP7024904A patent/JPH08215645A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008068223A (ja) * | 2006-09-15 | 2008-03-27 | Nec Lcd Technologies Ltd | 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 |
| JP2010003739A (ja) * | 2008-06-18 | 2010-01-07 | Tokyo Electron Ltd | 基板洗浄装置 |
| JP2011527221A (ja) * | 2008-07-07 | 2011-10-27 | マルク・デラエレ | 溝、接合部、凹凸及び／又は孔が設けられた表面の水平及び／又は垂直洗浄用機械のブラシ、及びこのブラシを備えた機械 |
| JP2013038178A (ja) * | 2011-08-05 | 2013-02-21 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び同基板処理装置の除去処理体並びに基板処理方法 |
| JP2012182507A (ja) * | 2012-06-28 | 2012-09-20 | Tokyo Electron Ltd | 基板洗浄装置 |
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