JPH08222123A - 平行化抽出グリッド導体および方法 - Google Patents
平行化抽出グリッド導体および方法Info
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- JPH08222123A JPH08222123A JP32993495A JP32993495A JPH08222123A JP H08222123 A JPH08222123 A JP H08222123A JP 32993495 A JP32993495 A JP 32993495A JP 32993495 A JP32993495 A JP 32993495A JP H08222123 A JPH08222123 A JP H08222123A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J3/00—Details of electron-optical or ion-optical arrangements common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J3/02—Electron guns
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- H01J3/021—Electron guns using a field emission, photo emission, or secondary emission electron source
- H01J3/022—Electron guns using a field emission, photo emission, or secondary emission electron source with microengineered cathode, e.g. Spindt-type
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- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
- Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 電子ビームの発散を減少させる平行化抽出グ
リッド導体、および電子源を合焦する方法を提供する。 【解決手段】 電子源は新規な抽出グリッド導体（２
０，４０，４１）を用いて、電子源から放出される電子
ビームの合焦を補助する。抽出グリッド導体（２０，４
０，４１）は平行化導体（２９，３１）を有し、抽出グ
リッド導体の抽出グリッド部（１７，２１，２２）を、
導体ストリップ（２６，２４，３２，３３）から分離す
る。導体ストリップ（２６，２４，３２，３３）は、抽
出グリッド部（１７，２１，２２）を外部電圧源に電気
的に接続する。平行化導体（２９，３１）が発生する電
界によって、放出電子が導体ストリップ（２６，２４，
３２，３３）に引き付けられるのを防止し、放出電子ビ
ームをほぼ列形状に維持する。
リッド導体、および電子源を合焦する方法を提供する。 【解決手段】 電子源は新規な抽出グリッド導体（２
０，４０，４１）を用いて、電子源から放出される電子
ビームの合焦を補助する。抽出グリッド導体（２０，４
０，４１）は平行化導体（２９，３１）を有し、抽出グ
リッド導体の抽出グリッド部（１７，２１，２２）を、
導体ストリップ（２６，２４，３２，３３）から分離す
る。導体ストリップ（２６，２４，３２，３３）は、抽
出グリッド部（１７，２１，２２）を外部電圧源に電気
的に接続する。平行化導体（２９，３１）が発生する電
界によって、放出電子が導体ストリップ（２６，２４，
３２，３３）に引き付けられるのを防止し、放出電子ビ
ームをほぼ列形状に維持する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、一般的に電子放出素子
に関し、更に特定すれば、新規な電子源用抽出グリッド
(extraction grid)に関するものである。
に関し、更に特定すれば、新規な電子源用抽出グリッド
(extraction grid)に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】フィールド放出素子（ＦＥＤ）は当技術
では公知であり、画像表示装置を含む広範囲の用途に一
般的に用いられている。ＦＥＤの一例は、１９９２年８
月２５日にRobert C. Kaneに発行された米国特許第5,14
2,184号に記載されている。ＦＥＤは典型的に、密接配
置された複数の電子放出チップ即ちエミッタを有し、こ
れらを用いて蛍光体画面上の画素を照明する。エミッタ
と画面との間には、通常放出ゲート即ち抽出グリッドが
配置され、エミッタからの電子放出を刺激するために用
いられる。抽出グリッドは各エミッタ上に孔を有してい
るので、電子がエミッタから画面に移動することができ
る。
では公知であり、画像表示装置を含む広範囲の用途に一
般的に用いられている。ＦＥＤの一例は、１９９２年８
月２５日にRobert C. Kaneに発行された米国特許第5,14
2,184号に記載されている。ＦＥＤは典型的に、密接配
置された複数の電子放出チップ即ちエミッタを有し、こ
れらを用いて蛍光体画面上の画素を照明する。エミッタ
と画面との間には、通常放出ゲート即ち抽出グリッドが
配置され、エミッタからの電子放出を刺激するために用
いられる。抽出グリッドは各エミッタ上に孔を有してい
るので、電子がエミッタから画面に移動することができ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】電子が抽出グリッドか
ら画面までの距離を移動する際、電子が発散し、その結
果得られる画像は、抽出グリッドの面積よりも広い面積
を有することになる。この発散が画素を合焦し鮮明な画
像を得るのを困難にしている。
ら画面までの距離を移動する際、電子が発散し、その結
果得られる画像は、抽出グリッドの面積よりも広い面積
を有することになる。この発散が画素を合焦し鮮明な画
像を得るのを困難にしている。
【０００４】したがって、電子源の抽出グリッドを通過
する電子ビームの発散を減少させる電子源抽出グリッド
を有することが望ましい。
する電子ビームの発散を減少させる電子源抽出グリッド
を有することが望ましい。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、抽出グリッド
導体を用いて、電子源から放出される電子ビームの合焦
を補助する。抽出グリッド導体は平行化導体を有し、抽
出グリッド導体の抽出グリッド部を、導体ストリップか
ら分離する。導体ストリップは、抽出グリッド部を外部
電圧源に電気的に接続する。平行化導体が発生する電界
によって、放出電子が導体ストリップに引き付けられる
のを防止し、放出電子ビームをほぼ列形状に維持する。
導体を用いて、電子源から放出される電子ビームの合焦
を補助する。抽出グリッド導体は平行化導体を有し、抽
出グリッド導体の抽出グリッド部を、導体ストリップか
ら分離する。導体ストリップは、抽出グリッド部を外部
電圧源に電気的に接続する。平行化導体が発生する電界
によって、放出電子が導体ストリップに引き付けられる
のを防止し、放出電子ビームをほぼ列形状に維持する。
【０００６】抽出グリッド導体の抽出グリッド部の周囲
近くに電界を形成することにより、抽出グリッド導体の
導通部分から電子が反発されるので、電子は列形状を維
持し、発散が最少に抑えられる。コリメータ導体を導通
ストリップと抽出グリッド導体の抽出グリッド部との間
に配置することにより、抽出グリッド部周囲に容易に電
界を形成することができる。
近くに電界を形成することにより、抽出グリッド導体の
導通部分から電子が反発されるので、電子は列形状を維
持し、発散が最少に抑えられる。コリメータ導体を導通
ストリップと抽出グリッド導体の抽出グリッド部との間
に配置することにより、抽出グリッド部周囲に容易に電
界を形成することができる。
【０００７】
【実施例】図１は電界放出表示素子１０の一部を示す拡
大断面図である。電界放出表示素子１０は、電子ビーム
の発散を最少に抑える新規な平行化抽出グリッド導体(c
ollimating extraction grid conductor)を備えた電子
源を有する。素子１０は基板１１を含み、その上に素子
の他の部分が形成される。基板１１は、典型的に、例え
ば誘電体層またはガラスを有するシリコンのような、絶
縁性または半絶縁性物質である。好適実施例では、基板
１１はガラスである。素子１０の電子源は抵抗層１２を
含み、これは一般的に基板１１上に形成される。電子源
の電子放出チップ即ちエミッタ１３が層１２上に形成さ
れ、列(column)導体１４はエミッタ１３と外部電圧源
（図示せず）との間に電気接点を備えるために利用され
る。また、電子源は誘電体層１６上に配置された抽出グ
リッド部１７を含む。層１６は、基板１１、導体１４、
および層１２上に位置し、抽出グリッド部１７を基板１
１、層１２、および導体１４から電気的に絶縁する。以
下の説明で理解されようが、抽出グリッド部１７は、新
規な平行化抽出グリッド導体、即ち、第１抽出グリッド
導体２０の一部である。抽出グリッド部１７は、エミッ
タ１３のほぼ中央に位置付けられた放出開口１５を有す
る。導体２０が導体１４上に位置する領域およびエミッ
タ１３は、通常素子１０の画素領域と呼ばれている。ま
た、素子１０は陽極１８も含み、電子が陽極１８に衝突
すると表示が得られるように、エミッタ１３に面する表
面には蛍光体被膜を有する。
大断面図である。電界放出表示素子１０は、電子ビーム
の発散を最少に抑える新規な平行化抽出グリッド導体(c
ollimating extraction grid conductor)を備えた電子
源を有する。素子１０は基板１１を含み、その上に素子
の他の部分が形成される。基板１１は、典型的に、例え
ば誘電体層またはガラスを有するシリコンのような、絶
縁性または半絶縁性物質である。好適実施例では、基板
１１はガラスである。素子１０の電子源は抵抗層１２を
含み、これは一般的に基板１１上に形成される。電子源
の電子放出チップ即ちエミッタ１３が層１２上に形成さ
れ、列(column)導体１４はエミッタ１３と外部電圧源
（図示せず）との間に電気接点を備えるために利用され
る。また、電子源は誘電体層１６上に配置された抽出グ
リッド部１７を含む。層１６は、基板１１、導体１４、
および層１２上に位置し、抽出グリッド部１７を基板１
１、層１２、および導体１４から電気的に絶縁する。以
下の説明で理解されようが、抽出グリッド部１７は、新
規な平行化抽出グリッド導体、即ち、第１抽出グリッド
導体２０の一部である。抽出グリッド部１７は、エミッ
タ１３のほぼ中央に位置付けられた放出開口１５を有す
る。導体２０が導体１４上に位置する領域およびエミッ
タ１３は、通常素子１０の画素領域と呼ばれている。ま
た、素子１０は陽極１８も含み、電子が陽極１８に衝突
すると表示が得られるように、エミッタ１３に面する表
面には蛍光体被膜を有する。
【０００８】図２は、第１抽出グリッド導体２０の一部
を含む、複数の平行化抽出グリッド導体２０の一部を示
す拡大平面図である。図２において図１と同一要素に
は、同一参照番号が付されている。導体２０は第１抽出
グリッド導体ストリップ２６と、このストリップ２６の
延長上にある(coextensive)第２抽出グリッド導体スト
リップ２４とを含む。ストリップ２４，２６は抽出グリ
ッド部１７と同一面内にあり、矢線で示された第１スペ
ース(space)によって分離されている。抽出グリッド部
１７はストリップ２４，２６間のスペース３７内にあ
る。図１の断面図に示されているように、抽出グリッド
部１７は、複数のエミッタ（図示せず）上に複数の放出
開口１５を有する。抽出グリッド部１７はストリップ２
４からは第２スペース３９によって分離され、ストリッ
プ２６からは第３スペース３８によって分離されてい
る。スペース３８，３９は矢線で示されている。ストリ
ップ２４，２６の主軸３６はストリップ２４，２６の長
さ方向に伸びている。
を含む、複数の平行化抽出グリッド導体２０の一部を示
す拡大平面図である。図２において図１と同一要素に
は、同一参照番号が付されている。導体２０は第１抽出
グリッド導体ストリップ２６と、このストリップ２６の
延長上にある(coextensive)第２抽出グリッド導体スト
リップ２４とを含む。ストリップ２４，２６は抽出グリ
ッド部１７と同一面内にあり、矢線で示された第１スペ
ース(space)によって分離されている。抽出グリッド部
１７はストリップ２４，２６間のスペース３７内にあ
る。図１の断面図に示されているように、抽出グリッド
部１７は、複数のエミッタ（図示せず）上に複数の放出
開口１５を有する。抽出グリッド部１７はストリップ２
４からは第２スペース３９によって分離され、ストリッ
プ２６からは第３スペース３８によって分離されてい
る。スペース３８，３９は矢線で示されている。ストリ
ップ２４，２６の主軸３６はストリップ２４，２６の長
さ方向に伸びている。
【０００９】導体２０は、第１平行化導体即ち第１コリ
メータ(collimator)２９と、第２平行化導体即ち第２コ
リメータ３１とを含み、開口１５を通過する電子を列形
状(column-like)にまとめるのを補助する。第１コリメ
ータ２９は抽出グリッド部１７およびストリップ２６，
２８と同一平面にある導体であり、少なくともコリメー
タ２９の一部がスペース３８に入るように配置される。
同様に、コリメータ３１はストリップ２４，２６と同一
平面にある導体であり、少なくともコリメータ３１の一
部が抽出グリッド部１７とストリップ２４との間のスペ
ース内に入るように配置される。コリメータ２９，３１
は抽出グリッド部１７の周囲近くに形成され、抽出グリ
ッド部１７にできるだけ近い位置に電界を形成する。こ
れについては以下で説明する。コリメータ２９は軸３６
を二分し(bisect)、軸３６の各側では、少なくともスト
リップ２６の幅の半分に等しい長さを有し、ストリップ
に印加される電位によって発生される電界の影響を最少
に抑える構造となっている。これについても以下で説明
する。同様に、コリメータ３１はストリップ２４の主軸
を二分し、軸３６の各側では、少なくともストリップ２
４の幅の半分の長さを有する。好適実施例では、抽出グ
リッド部１７とコリメータ２９，３１には鋭角を形成せ
ず、かかる角度によって発生される密度の高い電界の影
響を最少に抑える。また、本好適実施例では、抽出グリ
ッド部１７はほぼ円形であり、各コリメータ２９，３１
はほぼ弓形であり、ストリップ２４，２６によって発生
される電界の影響を最少に抑えるために、抽出グリッド
部１７周囲を約６０度にわたって覆っている。コリメー
タ２９は、第２抽出グリッド導体４０の一部である導体
ストリップ３２に電気的に接続されている。第２抽出グ
リッド導体４０は導体２０と同様であり、導体２０に並
置されている。同様に、コリメータ３１は第３抽出グリ
ッド導体４１の一部である導体ストリップ３３に電気的
に接続されている。第３抽出グリッド導体４１も導体２
０と同様であり、導体２０に並置されている。以下で説
明するが、コリメータ２９，３１を導体４０，４１にそ
れぞれ電気的接続することによって、放出される電子ビ
ームをほぼ列形状に維持するのを容易にし、発散を最少
に抑える。導体４０，４１は、それぞれ抽出グリッド部
２１，２２も含む。これらは抽出グリッド部１７と同様
である。相互接続ストリップ２７がストリップ２６から
コリメータ２９付近およびコリメータ２９を通過して延
び、抽出グリッド部１７に電気的に接続されている。同
様に、相互接続ストリップ２８がストリップ２４からコ
リメータ３１付近およびコリメータ３１を通過して延
び、抽出グリッド部１７をストリップ２４に電気的に接
続する。
メータ(collimator)２９と、第２平行化導体即ち第２コ
リメータ３１とを含み、開口１５を通過する電子を列形
状(column-like)にまとめるのを補助する。第１コリメ
ータ２９は抽出グリッド部１７およびストリップ２６，
２８と同一平面にある導体であり、少なくともコリメー
タ２９の一部がスペース３８に入るように配置される。
同様に、コリメータ３１はストリップ２４，２６と同一
平面にある導体であり、少なくともコリメータ３１の一
部が抽出グリッド部１７とストリップ２４との間のスペ
ース内に入るように配置される。コリメータ２９，３１
は抽出グリッド部１７の周囲近くに形成され、抽出グリ
ッド部１７にできるだけ近い位置に電界を形成する。こ
れについては以下で説明する。コリメータ２９は軸３６
を二分し(bisect)、軸３６の各側では、少なくともスト
リップ２６の幅の半分に等しい長さを有し、ストリップ
に印加される電位によって発生される電界の影響を最少
に抑える構造となっている。これについても以下で説明
する。同様に、コリメータ３１はストリップ２４の主軸
を二分し、軸３６の各側では、少なくともストリップ２
４の幅の半分の長さを有する。好適実施例では、抽出グ
リッド部１７とコリメータ２９，３１には鋭角を形成せ
ず、かかる角度によって発生される密度の高い電界の影
響を最少に抑える。また、本好適実施例では、抽出グリ
ッド部１７はほぼ円形であり、各コリメータ２９，３１
はほぼ弓形であり、ストリップ２４，２６によって発生
される電界の影響を最少に抑えるために、抽出グリッド
部１７周囲を約６０度にわたって覆っている。コリメー
タ２９は、第２抽出グリッド導体４０の一部である導体
ストリップ３２に電気的に接続されている。第２抽出グ
リッド導体４０は導体２０と同様であり、導体２０に並
置されている。同様に、コリメータ３１は第３抽出グリ
ッド導体４１の一部である導体ストリップ３３に電気的
に接続されている。第３抽出グリッド導体４１も導体２
０と同様であり、導体２０に並置されている。以下で説
明するが、コリメータ２９，３１を導体４０，４１にそ
れぞれ電気的接続することによって、放出される電子ビ
ームをほぼ列形状に維持するのを容易にし、発散を最少
に抑える。導体４０，４１は、それぞれ抽出グリッド部
２１，２２も含む。これらは抽出グリッド部１７と同様
である。相互接続ストリップ２７がストリップ２６から
コリメータ２９付近およびコリメータ２９を通過して延
び、抽出グリッド部１７に電気的に接続されている。同
様に、相互接続ストリップ２８がストリップ２４からコ
リメータ３１付近およびコリメータ３１を通過して延
び、抽出グリッド部１７をストリップ２４に電気的に接
続する。
【００１０】動作において、導体２０に電圧が印加さ
れ、エミッタ１３（図１）から電子を抽出し、陽極１８
（図１）に向けてそれらを加速する。導体４０，４１は
より低い電位に保持され、抽出グリッド部分２１，２２
の下にあるエミッタから電子を抽出するのを防止する。
コリメータ２９は導体４０に電気的に接続され、コリメ
ータ３１は導体４１に電気的に接続されているので、コ
リメータ２９，３１はストリップ２４，２６よりもかな
り低い電位となる。結果的に、電圧が低いために、抽出
グリッド部１７の周囲近くに生じる電界が電子を反発(r
epel)することによって、電子がストリップ２４，２６
に印加された大きな正電位に引き付けられるのを防止す
る。好適実施例では、少なくとも１０ボルトの電位がス
トリップ２４，２６に印加され、接地未満の電位がコリ
メータ２９，３１に印加される。コリメータを有してい
ない従来技術の抽出グリッドでは、抽出グリッドの導体
部分近くの放出開口を通過する電子は、導体部分に引き
付けられる傾向があり、そのために電子が陽極に遷移す
る際に発散してしまう。しかしながら、導体ストリップ
２４，２６を抽出グリッド部１７から分離し、抽出グリ
ッド部１７の近くに電界を発生させ、導体ストリップに
よって発生される電界よりも強度が低い電界としたこと
により、抽出グリッド部１７を通過する電子を列形状に
維持することができる。尚、コリメータ２９およびコリ
メータ３１は、導体２０よりも低い電位を有する他の導
体に接続してもよいことを注記しておく。例えば、別個
の合焦用導体(tocusing conductor)を導体２０と導体４
０との間に配置し、コリメータ２９に電気的に接続して
もよく、この場合、導体４０に印加される電位より低い
電位が、当該別個の合焦用導体に印加される。
れ、エミッタ１３（図１）から電子を抽出し、陽極１８
（図１）に向けてそれらを加速する。導体４０，４１は
より低い電位に保持され、抽出グリッド部分２１，２２
の下にあるエミッタから電子を抽出するのを防止する。
コリメータ２９は導体４０に電気的に接続され、コリメ
ータ３１は導体４１に電気的に接続されているので、コ
リメータ２９，３１はストリップ２４，２６よりもかな
り低い電位となる。結果的に、電圧が低いために、抽出
グリッド部１７の周囲近くに生じる電界が電子を反発(r
epel)することによって、電子がストリップ２４，２６
に印加された大きな正電位に引き付けられるのを防止す
る。好適実施例では、少なくとも１０ボルトの電位がス
トリップ２４，２６に印加され、接地未満の電位がコリ
メータ２９，３１に印加される。コリメータを有してい
ない従来技術の抽出グリッドでは、抽出グリッドの導体
部分近くの放出開口を通過する電子は、導体部分に引き
付けられる傾向があり、そのために電子が陽極に遷移す
る際に発散してしまう。しかしながら、導体ストリップ
２４，２６を抽出グリッド部１７から分離し、抽出グリ
ッド部１７の近くに電界を発生させ、導体ストリップに
よって発生される電界よりも強度が低い電界としたこと
により、抽出グリッド部１７を通過する電子を列形状に
維持することができる。尚、コリメータ２９およびコリ
メータ３１は、導体２０よりも低い電位を有する他の導
体に接続してもよいことを注記しておく。例えば、別個
の合焦用導体(tocusing conductor)を導体２０と導体４
０との間に配置し、コリメータ２９に電気的に接続して
もよく、この場合、導体４０に印加される電位より低い
電位が、当該別個の合焦用導体に印加される。
【００１１】以上の説明から、電子源用の新規な抽出グ
リッド導体が提供されたことが認められよう。抽出グリ
ッド導体の抽出グリッド部の周囲近くに電界を形成する
ことにより、抽出グリッド導体の導通部分から電子が反
発されるので、電子は列形状を維持し、発散が最少に抑
えられる。コリメータ導体を導通ストリップと抽出グリ
ッド導体の抽出グリッド部との間に配置することによ
り、抽出グリッド部周囲に容易に電界を形成することが
できる。
リッド導体が提供されたことが認められよう。抽出グリ
ッド導体の抽出グリッド部の周囲近くに電界を形成する
ことにより、抽出グリッド導体の導通部分から電子が反
発されるので、電子は列形状を維持し、発散が最少に抑
えられる。コリメータ導体を導通ストリップと抽出グリ
ッド導体の抽出グリッド部との間に配置することによ
り、抽出グリッド部周囲に容易に電界を形成することが
できる。
【図１】本発明による電界放出表示素子の一部を示す拡
大断面図。
大断面図。
【図２】本発明による複数の抽出グリッドを概略的に示
す平面図。
す平面図。
１０ 電界放出表示素子 １１ 基板 １２ 抵抗層 １３ エミッタ １４ 列導体 １５ 放出開口 １６ 誘電体層 １７ 抽出グリッド部 １８ 陽極 ２０ 第１抽出グリッド導体 ２４ 第２抽出グリッド導体ストリップ ２６ 第１抽出グリッド導体ストリップ ２７ 相互接続ストリップ ２８ 相互接続ストリップ ２９ 第１コリメータ ３１ 第２コリメータ ３３ 導体ストリップ ３６ 主軸 ４０ 第２抽出グリッド導体 ４１ 第３抽出グリッド導体
Claims (3)
- 【請求項１】電子源用平行化抽出グリッド導体であっ
て：実質的に平面状の第１抽出グリッド導体ストリップ
（２６）であって、当該第１抽出グリッド導体ストリッ
プの長さ方向に沿った主軸（３６）を有する、前記第１
抽出グリッド導体ストリップ（２６）；前記第１抽出グ
リッド導体ストリップの延長上にあり、前記第１抽出グ
リッド導体ストリップの平面内にある、実質的に平面状
の第２抽出グリッド導体ストリップ（２４）であって、
第１スペース（３７）によって前記第１抽出グリッド導
体ストリップ（２６）から隔てられている、前記第２抽
出グリッド導体ストリップ（２４）；前記第１スペース
（３７）内にあり前記第１抽出グリッド導体ストリップ
（２６）の延長上にある、実質的に円形の抽出グリッド
部（１７）であって、放出開口（１５）を有し、前記第
１抽出グリッド導体ストリップ（２６）から第２スペー
ス（３８）によって隔てられており、更に前記第２抽出
グリッド導体ストリップ（２４）から第３スペース（３
９）によって隔てられている、前記抽出グリッド部（１
７）；前記抽出グリッド部（１７）と前記第１抽出グリ
ッド導体ストリップ（２６）との間で、前記第２スペー
ス（３８）内に配置された、実質的に弓型の第１平行化
導体（２９）；および前記抽出グリッド部（１７）と前
記第２抽出グリッド導体ストリップ（２４）との間で、
前記第３スペース（３９）内に配置された、ほぼ弓型の
第２平行化導体（３１）；から成ることを特徴とする平
行化抽出グリッド導体。 - 【請求項２】電子源抽出グリッド導体であって：第１導
体ストリップ（２６）；第２導体ストリップ（２４）；
および前記第１および第２導体ストリップから離間さ
れ、前記第１および第２導体に電気的に接続された抽出
グリッド部（１７）；から成り、 前記抽出グリッド（１７）と前記第１および第２導体ス
トリップとの間の電界が、前記抽出グリッド部（１７）
を通過する電子を、前記第１および第２導体ストリップ
から遠ざかるように作用することを特徴とする電子源抽
出グリッド導体。 - 【請求項３】電子源を合焦する方法であって：抽出グリ
ッド導体（２０）の抽出グリッド部（１７）の周囲に隣
接して電界を発生し、前記抽出グリッド部を通過する電
子が前記抽出グリッド導体から反発されるようにするこ
とを特徴とする方法。
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