JPH0822929B2 - パーフルオロポリマーの薄膜化方法 - Google Patents
パーフルオロポリマーの薄膜化方法Info
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- JPH0822929B2 JPH0822929B2 JP62095216A JP9521687A JPH0822929B2 JP H0822929 B2 JPH0822929 B2 JP H0822929B2 JP 62095216 A JP62095216 A JP 62095216A JP 9521687 A JP9521687 A JP 9521687A JP H0822929 B2 JPH0822929 B2 JP H0822929B2
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- polymer
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、主鎖に含フッ素環構造を有するパーフルオ
ロポリマーの薄膜下方法に関する。
ロポリマーの薄膜下方法に関する。
［従来の技術］ 従来、含フッ素ポリマーとしては、ポリテトラフルオ
ロエチレン（PTFE），パーフルオロアルコキシビニルエ
ーテル／テトラフルオロエチレン共重合体（PFA），テ
トラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重
合体（FEP），ポリクロロトリフルオロエチレン（PCTF
E）などが知られているが、これらの含フッ素ポリマー
は一般的に溶媒に不溶であるため、薄膜化は溶融成形法
あるいは溶融成形と切削との併用法などにより行なって
いる。
ロエチレン（PTFE），パーフルオロアルコキシビニルエ
ーテル／テトラフルオロエチレン共重合体（PFA），テ
トラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重
合体（FEP），ポリクロロトリフルオロエチレン（PCTF
E）などが知られているが、これらの含フッ素ポリマー
は一般的に溶媒に不溶であるため、薄膜化は溶融成形法
あるいは溶融成形と切削との併用法などにより行なって
いる。
［発明の解決しようとする問題点］ しかしながら、従来の含フッ素ポリマーにおいては、
これらを薄膜化する場合、特に50μ以下の薄膜を得よう
とする場合、ピンホール等の欠陥が生じたり、あるいは
大きな成形圧力、延伸力が必要であり、工業的実施に不
利を伴なうものであった。特にパーフルオロポリマーに
ついては上記の難点が顕著であり、厚さ50μ以下で無欠
陥の薄膜を円滑有利に得ることは困難であった。
これらを薄膜化する場合、特に50μ以下の薄膜を得よう
とする場合、ピンホール等の欠陥が生じたり、あるいは
大きな成形圧力、延伸力が必要であり、工業的実施に不
利を伴なうものであった。特にパーフルオロポリマーに
ついては上記の難点が顕著であり、厚さ50μ以下で無欠
陥の薄膜を円滑有利に得ることは困難であった。
本発明の目的は、パーフルオロポリマーについて、そ
の特性を損なうことなく、厚さ50μ以下で無欠陥の薄膜
を提供すること及び工業的に円滑有利に実施可能なパー
フルオロポリマーの薄膜化方法を提供することにある。
の特性を損なうことなく、厚さ50μ以下で無欠陥の薄膜
を提供すること及び工業的に円滑有利に実施可能なパー
フルオロポリマーの薄膜化方法を提供することにある。
［問題点を解決するための手段］ 本発明者は、種々研究、検討を重ねた結果、主鎖に環
構造を有するパーフルオロポリマーを採用することによ
り、パーフルオロポリマーの場合であっても、薄膜化が
容易であり、50μ以下で欠陥のない薄膜を円滑有利に製
造可能であることを見出した。さらには、前記特定のパ
ーフルオロポリマーをパーフルオロ化合物の溶媒に溶か
し、その溶液を用いることによって、これまでには得ら
れなかったような20μ以下、例えば0.02〜５μ程度の超
薄膜でも欠陥のない膜とすることができることを見出し
た。
構造を有するパーフルオロポリマーを採用することによ
り、パーフルオロポリマーの場合であっても、薄膜化が
容易であり、50μ以下で欠陥のない薄膜を円滑有利に製
造可能であることを見出した。さらには、前記特定のパ
ーフルオロポリマーをパーフルオロ化合物の溶媒に溶か
し、その溶液を用いることによって、これまでには得ら
れなかったような20μ以下、例えば0.02〜５μ程度の超
薄膜でも欠陥のない膜とすることができることを見出し
た。
かくして本発明は、上記知見に基いて完成されたもの
であり、主鎖に環構造を有するパーフルオロポリマーが
厚さ50μ以下に薄膜化されていることを特徴とするパー
フルオロポリマーの薄膜を新規に提供するものである。
であり、主鎖に環構造を有するパーフルオロポリマーが
厚さ50μ以下に薄膜化されていることを特徴とするパー
フルオロポリマーの薄膜を新規に提供するものである。
本発明において、主鎖に環構造を有するパーフルオロ
ポリマーとしては、例えば一般式 の如き環構造を有するものが挙げられる。これらの内、
次の如き環構造を有するポリマーが代表的である。ただ
し、本発明の内容はこれらのみに限定されるものではな
い。
ポリマーとしては、例えば一般式 の如き環構造を有するものが挙げられる。これらの内、
次の如き環構造を有するポリマーが代表的である。ただ
し、本発明の内容はこれらのみに限定されるものではな
い。
これら重合体の製造法を示すと、次の２通りである。
ただし、これら製造法に限定されるものではない。
ただし、これら製造法に限定されるものではない。
1.環化重合によるもの 2.環状モノマーを使用するもの（USP 3978030など） 重合反応としては、ラジカル的に進行するものであれ
ば特に限定されないが、例えば有機、無機ラジカル開始
剤、光、電離性放射線あるいは熱による重合などが挙げ
られる。また重合の方法も特に限定されるものではな
く、モノマーをそのまま重合に供するいわゆるバルク重
合、モノマーを溶解する有機溶媒中で行なう溶液重合、
水性媒体中で適当な有機溶剤の存在下あるいは非存在下
に行なう懸濁重合、水性媒体に乳化剤を添加して行なう
乳化重合などが例示される。
ば特に限定されないが、例えば有機、無機ラジカル開始
剤、光、電離性放射線あるいは熱による重合などが挙げ
られる。また重合の方法も特に限定されるものではな
く、モノマーをそのまま重合に供するいわゆるバルク重
合、モノマーを溶解する有機溶媒中で行なう溶液重合、
水性媒体中で適当な有機溶剤の存在下あるいは非存在下
に行なう懸濁重合、水性媒体に乳化剤を添加して行なう
乳化重合などが例示される。
また、これらの成分の本質を損なわない程度に共重合
成分を使用することは何ら差し支えがない。共重合せし
める他の単量体としては、ラジカル重合性を有するモノ
マーであれば、特に限定されずに含フツ素系が広範囲に
わたって例示され得る。当然のことであるが、これら他
の単量体は一種単独で前記の如き特定環構造を主鎖に導
入可能なモノマーとラジカル共重合せしめても良く、あ
るいは適宜の２種類以上を併用して上記共重合反応を行
なわせても良い。本発明においては、通常は他の単量体
としてフルオロオレフィン、フルオロビニルエーテルな
どの含フッ素系モノマーを選定するのが望ましい。例え
ば、テトラフルオロエチレン、パーフルオロビニルエー
テルなどは好適な具体例である。
成分を使用することは何ら差し支えがない。共重合せし
める他の単量体としては、ラジカル重合性を有するモノ
マーであれば、特に限定されずに含フツ素系が広範囲に
わたって例示され得る。当然のことであるが、これら他
の単量体は一種単独で前記の如き特定環構造を主鎖に導
入可能なモノマーとラジカル共重合せしめても良く、あ
るいは適宜の２種類以上を併用して上記共重合反応を行
なわせても良い。本発明においては、通常は他の単量体
としてフルオロオレフィン、フルオロビニルエーテルな
どの含フッ素系モノマーを選定するのが望ましい。例え
ば、テトラフルオロエチレン、パーフルオロビニルエー
テルなどは好適な具体例である。
共重合体組成としては、溶解性、製膜性および含フッ
素ポリマーとしての特性などを生かすために、環状構造
の組成が20％以上が好ましく、更に好ましくは40％以上
であることが望ましい。このようなポリマーは溶媒に可
溶であり、用いられる溶媒としては、上記ポリマーを溶
解するもののであれば限定はないが、パーフルオロベン
ゼン、“アフルード”（商品名：旭硝子社製のフッ素系
溶剤）、“フロリナート”（商品名:3M社製のパーフル
オロ（２−ブチルテトラヒドロフラン）を含んだ液体）
等のパーフルオロ化合物の溶媒が好適である。当然のこ
とであるが、適宜の２種類以上を併用して溶媒として用
いることができる。特に混合溶媒の場合、炭化水素系、
塩化炭化水素、弗塩化炭化水素、アルコール、その他の
有機溶媒も併用できる。溶液濃度は0.01wt％〜50wt％
で、好ましくは0.1wt％〜20wt％である。
素ポリマーとしての特性などを生かすために、環状構造
の組成が20％以上が好ましく、更に好ましくは40％以上
であることが望ましい。このようなポリマーは溶媒に可
溶であり、用いられる溶媒としては、上記ポリマーを溶
解するもののであれば限定はないが、パーフルオロベン
ゼン、“アフルード”（商品名：旭硝子社製のフッ素系
溶剤）、“フロリナート”（商品名:3M社製のパーフル
オロ（２−ブチルテトラヒドロフラン）を含んだ液体）
等のパーフルオロ化合物の溶媒が好適である。当然のこ
とであるが、適宜の２種類以上を併用して溶媒として用
いることができる。特に混合溶媒の場合、炭化水素系、
塩化炭化水素、弗塩化炭化水素、アルコール、その他の
有機溶媒も併用できる。溶液濃度は0.01wt％〜50wt％
で、好ましくは0.1wt％〜20wt％である。
薄膜化方法は上記の溶液を用い、ロールコーター法、
キャスト法、ディッピング法、スピンコート法、水上キ
ャスト法、ラングミュア・プロジェット法等の溶液から
膜を形成させる方法であれば特に限定はない。
キャスト法、ディッピング法、スピンコート法、水上キ
ャスト法、ラングミュア・プロジェット法等の溶液から
膜を形成させる方法であれば特に限定はない。
得られた薄膜は、基材上に接着させたまま、あるいは
基材から剥離させて用いることができ、基材上に接着さ
せたまま用いる場合、基材はあらゆる形状、あらゆる材
料が適用される。例えば、磁気ディスク基板、光ファイ
バー、電線、レンズ材料、分離膜支持体、ホローファイ
バー、磁気テープなど各種テープ、光学ガラス材料、電
極、血液バッグ等医用材料、各種建材、ステンレス、ガ
ラス、アルミニウム、金属、さらには現在用いられてい
るフッ素樹脂塗料、PFA、ETFE、PTFE、PCTFE、PVdF、FE
P等の含フッ素樹脂のコーティングされている基材など
も例示され得る。
基材から剥離させて用いることができ、基材上に接着さ
せたまま用いる場合、基材はあらゆる形状、あらゆる材
料が適用される。例えば、磁気ディスク基板、光ファイ
バー、電線、レンズ材料、分離膜支持体、ホローファイ
バー、磁気テープなど各種テープ、光学ガラス材料、電
極、血液バッグ等医用材料、各種建材、ステンレス、ガ
ラス、アルミニウム、金属、さらには現在用いられてい
るフッ素樹脂塗料、PFA、ETFE、PTFE、PCTFE、PVdF、FE
P等の含フッ素樹脂のコーティングされている基材など
も例示され得る。
薄膜は、ピンホールなどの欠陥がなく、透明で屈折率
が低く、耐熱性、耐薬品性に優れているため、各種コー
ティング材、電子部材、光学部材、分離膜等に用いるこ
とができる。
が低く、耐熱性、耐薬品性に優れているため、各種コー
ティング材、電子部材、光学部材、分離膜等に用いるこ
とができる。
［作用］ 本発明において、主鎖に環構造を有するパーフルオロ
ポリマーが薄膜を形成しやすい理由は、このポリマーは
パーフルオロ化合物の溶媒に可溶で、ディッピング、ス
ピンコートなど種々の薄膜形成方法を用いることができ
るためである。また、このポリマーが特殊な溶媒に可溶
である理由は明らかではないが、溶媒とポリマーの環構
造が類似していること、このポリマーの結晶性が低いこ
と等が考えられる。
ポリマーが薄膜を形成しやすい理由は、このポリマーは
パーフルオロ化合物の溶媒に可溶で、ディッピング、ス
ピンコートなど種々の薄膜形成方法を用いることができ
るためである。また、このポリマーが特殊な溶媒に可溶
である理由は明らかではないが、溶媒とポリマーの環構
造が類似していること、このポリマーの結晶性が低いこ
と等が考えられる。
［実施例］ 合成例１ パーフルオロアリルビニルエーテルの30g、トリクロ
ロトリフルオロエタンの30g及び重合開始剤 の10mgを50ccの耐圧アンプルに入れた。凍結脱気を２回
繰り返した後に20℃で16時間重合した。重合中の圧力は
大気圧よりも低かった。重合の結果、重合体を16g得
た。
ロトリフルオロエタンの30g及び重合開始剤 の10mgを50ccの耐圧アンプルに入れた。凍結脱気を２回
繰り返した後に20℃で16時間重合した。重合中の圧力は
大気圧よりも低かった。重合の結果、重合体を16g得
た。
この重合体の赤外線吸収スペクトルを測定したとこ
ろ、モノマーにあった二重結合に起因する1790cm-1付近
の吸収はなかった。また、このポリマーをパーフルオロ
ベンゼンに溶解し19FのNMRスペクトルを測定したとこ
ろ、以下の繰り返し構造を示すスペクトルが得られた。
ろ、モノマーにあった二重結合に起因する1790cm-1付近
の吸収はなかった。また、このポリマーをパーフルオロ
ベンゼンに溶解し19FのNMRスペクトルを測定したとこ
ろ、以下の繰り返し構造を示すスペクトルが得られた。
この重合体の固有粘度［η」は、“フロリナート"FC
−75（商品名:3M社製のパーフルオロ（２−ブチルテト
ラヒドロフラン）を主成分とした液体、以下、FC−75と
略記する）中30℃で0.530であった。重合体のガラス転
移点は69℃であり、室温ではタフで透明なガラス状の重
合体である。また10％熱分解温度は462℃であり、さら
にこの重合体は無色透明であり、屈折率は1.34と低く、
光線透過率は95％と高かった。
−75（商品名:3M社製のパーフルオロ（２−ブチルテト
ラヒドロフラン）を主成分とした液体、以下、FC−75と
略記する）中30℃で0.530であった。重合体のガラス転
移点は69℃であり、室温ではタフで透明なガラス状の重
合体である。また10％熱分解温度は462℃であり、さら
にこの重合体は無色透明であり、屈折率は1.34と低く、
光線透過率は95％と高かった。
合成例２ パーフルオロアリルビニルエーテルの30g、トリクロ
ロトリフルオロエタンの30g及び重合開始剤 の10mgを50ccの耐圧アンプルに入れた。凍結脱気を２回
繰り返した後に30℃で16時間重合した。重合中の圧力は
大気圧よりも低かった。重合の結果、重合体を19g得
た。
ロトリフルオロエタンの30g及び重合開始剤 の10mgを50ccの耐圧アンプルに入れた。凍結脱気を２回
繰り返した後に30℃で16時間重合した。重合中の圧力は
大気圧よりも低かった。重合の結果、重合体を19g得
た。
重合体の構造は、合成例１と同様な方法で確認した。
この重合体の固有粘度［η」はFC−75溶液中30℃で0.32
であった。
この重合体の固有粘度［η」はFC−75溶液中30℃で0.32
であった。
合成例３ パーフルオロアリルビニルエーテルの10g、テトラフ
ルオロエチレンの1g、トリクロロトリフルオロエタンの
30g及び重合開始剤 の5mgを100ccの耐圧アンプルに入れた。凍結脱気を２回
繰り返した後に30℃で６時間重合した。重合の結果、重
合体を4g得た。
ルオロエチレンの1g、トリクロロトリフルオロエタンの
30g及び重合開始剤 の5mgを100ccの耐圧アンプルに入れた。凍結脱気を２回
繰り返した後に30℃で６時間重合した。重合の結果、重
合体を4g得た。
19F NMRスペクトルの測定から、この共重合体 のような構造と組成であることがわかった。
実施例１ 合成例１で得られた重合体5gを、95gの“アフルード"
E−10（商品名：旭硝子社製のパーフルオロ（２−ブチ
ルテトラヒドロフラン））に溶解した。
E−10（商品名：旭硝子社製のパーフルオロ（２−ブチ
ルテトラヒドロフラン））に溶解した。
この溶液をステンレス基板上に流延し、窒素気流下40
℃16時間、減圧下110℃５時間で処理して溶媒を除去し
たところ、20μの潤膜が形成された。この薄膜を基板上
から剥したところピンホールなどの欠陥のない透明なフ
ィルムであった。この膜の引張強度は300kg/cm2、引張
り伸度は160％であった。
℃16時間、減圧下110℃５時間で処理して溶媒を除去し
たところ、20μの潤膜が形成された。この薄膜を基板上
から剥したところピンホールなどの欠陥のない透明なフ
ィルムであった。この膜の引張強度は300kg/cm2、引張
り伸度は160％であった。
実施例２ 実施例１で用いた溶液をガラス板に流延し、窒素気流
下40℃16時間、減圧下110℃５時間で処理して溶媒を除
去したところ、３μの薄膜が形成された。
下40℃16時間、減圧下110℃５時間で処理して溶媒を除
去したところ、３μの薄膜が形成された。
実施例３ 実施例１で用いた溶液にプラスチックレンズ（ジエチ
レングリコールビスアリルカーボネート系）をつけスピ
ンコートを行なった。スピン速度1500rpmで５秒間スピ
ンコートを行なった後、60℃ 1.5時間窒素気流下で乾
燥したところ、１μの薄膜がレンズ上にコートされた。
このレンズは低反射加工レンズとして使用することがで
きる。
レングリコールビスアリルカーボネート系）をつけスピ
ンコートを行なった。スピン速度1500rpmで５秒間スピ
ンコートを行なった後、60℃ 1.5時間窒素気流下で乾
燥したところ、１μの薄膜がレンズ上にコートされた。
このレンズは低反射加工レンズとして使用することがで
きる。
実施例４ 実施例１で用いた溶液を石英ガラスファイバーに塗布
し、400℃に保持された加熱硬化炉に導入し、２秒間で
通過させることによって、石英ガラスファイバー上に５
μの被膜が形成された光伝送ファイバーを得た。
し、400℃に保持された加熱硬化炉に導入し、２秒間で
通過させることによって、石英ガラスファイバー上に５
μの被膜が形成された光伝送ファイバーを得た。
実施例５ 合成例２の重合体1gを99gの“アフルード"E−16（商
品名：旭硝子社製のパーフルオロトリブチルアミン）に
溶解し金属基板上にスピンコートを行なった。スピン速
度は5000rpmで１分間回転させた。その後50℃で乾燥す
ると、0.05μの薄膜が金属基板上に形成された。この薄
膜のピンホールのないことは、この薄膜の電気抵抗を測
定したところ＞1015Ωcmであることから確認された。
品名：旭硝子社製のパーフルオロトリブチルアミン）に
溶解し金属基板上にスピンコートを行なった。スピン速
度は5000rpmで１分間回転させた。その後50℃で乾燥す
ると、0.05μの薄膜が金属基板上に形成された。この薄
膜のピンホールのないことは、この薄膜の電気抵抗を測
定したところ＞1015Ωcmであることから確認された。
実施例６ 合成例３の共重合体1gを99gのパーフルオロベンゼン
に溶解させた。上記溶液にアルミニウム基板を浸した後
40℃で１時間乾燥したところ、1.5μの薄膜がアルミ基
板上に形成された。
に溶解させた。上記溶液にアルミニウム基板を浸した後
40℃で１時間乾燥したところ、1.5μの薄膜がアルミ基
板上に形成された。
比較例１ 合成例１の重合体5gは、95gの1,1,2−トリクロロ−1,
2,2−トリフルオロエタンには溶解せず膨潤するのみで
あった。
2,2−トリフルオロエタンには溶解せず膨潤するのみで
あった。
［発明の効果］ 本発明は、主鎖に環構造を有するパーフルオロポリマ
ーを特殊な溶媒に溶解し、この溶液を用い薄膜を形成す
ることにより、50μ以下の薄膜を工業的に円滑有利に製
造することができるという効果を有し、また主鎖にパー
フルオロ環構造を有するポリマーはホモポリマーでも溶
媒に可溶なため、フッ素含量の高い重合体、共重合体で
あても可溶である。したがって得られた薄膜はフッ素樹
脂としての特性、例えば低屈折率、耐熱性、低透湿性、
高い抵抗、高い絶縁破壊強度等を低下することがない。
ーを特殊な溶媒に溶解し、この溶液を用い薄膜を形成す
ることにより、50μ以下の薄膜を工業的に円滑有利に製
造することができるという効果を有し、また主鎖にパー
フルオロ環構造を有するポリマーはホモポリマーでも溶
媒に可溶なため、フッ素含量の高い重合体、共重合体で
あても可溶である。したがって得られた薄膜はフッ素樹
脂としての特性、例えば低屈折率、耐熱性、低透湿性、
高い抵抗、高い絶縁破壊強度等を低下することがない。
さらに主鎖に環構造を有しているため結晶性が低く透
明な薄膜を得ることができるという特徴を有する。
明な薄膜を得ることができるという特徴を有する。
共重合体においては、コモノマーとして種々の有用な
機能を有するものを選択できるため、薄膜にさらに多く
の機能を付与せしめることができる。
機能を有するものを選択できるため、薄膜にさらに多く
の機能を付与せしめることができる。
Claims (1)
- 【請求項１】主鎖に含フッ素環構造を有するパーフルオ
ロポリマーをパーフルオロ化合物の溶媒に溶解した溶液
を用いて厚さ50μ以下の前記パーフルオロポリマーの薄
膜を形成することを特徴とする薄膜化方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62095216A JPH0822929B2 (ja) | 1987-04-20 | 1987-04-20 | パーフルオロポリマーの薄膜化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62095216A JPH0822929B2 (ja) | 1987-04-20 | 1987-04-20 | パーフルオロポリマーの薄膜化方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63260932A JPS63260932A (ja) | 1988-10-27 |
| JPH0822929B2 true JPH0822929B2 (ja) | 1996-03-06 |
Family
ID=14131552
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62095216A Expired - Fee Related JPH0822929B2 (ja) | 1987-04-20 | 1987-04-20 | パーフルオロポリマーの薄膜化方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0822929B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014049444A2 (ja) | 2012-09-27 | 2014-04-03 | 三井・デュポンフロロケミカル株式会社 | 非晶質含フッ素樹脂組成物および薄膜製造方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA2055446C (en) * | 1989-06-15 | 2000-08-29 | Stuart Marshall Nemser | Perfluorodioxole membranes |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3978030A (en) | 1973-08-01 | 1976-08-31 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Polymers of fluorinated dioxoles |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5838707A (ja) * | 1981-08-20 | 1983-03-07 | イ−・アイ・デユポン・デ・ニモアス・アンド・カンパニ− | パ−フルオロ−２，２−ジメチル−１，３−ジオキソ−ルの無定形共重合体 |
-
1987
- 1987-04-20 JP JP62095216A patent/JPH0822929B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3978030A (en) | 1973-08-01 | 1976-08-31 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Polymers of fluorinated dioxoles |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014049444A2 (ja) | 2012-09-27 | 2014-04-03 | 三井・デュポンフロロケミカル株式会社 | 非晶質含フッ素樹脂組成物および薄膜製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63260932A (ja) | 1988-10-27 |
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