JPH0823022A - ウエハー持ち上げ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は、半導体製造装置に係わり、その目的
は、カセット内にあるウエハーをカセットの外に損傷を
与えることなく、しかも簡単な構造で取り出す装置を提
供するにある。 【構成】カセット１内に収納されるウエハー２の枚数に
相当する数の真空ピンセット３Ａ〜３Ｆをウエハーの間
に挿入し電磁弁８Ａ〜８Ｆを逐次作動させて、その都度
真空圧センサでウエハーの有り無しを検出してウエハー
を真空ピンセットで吸着した後、アクチュエータ１１に
より持ち上げる。 【効果】本発明によれば、ウエハーを持ち上げる部材と
ウエハーが接触する部分はウエハーの裏面のみであるか
らウエハーにダメージを与えることがない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は半導体の製造工程におい
て、例えばウエハーを標準カセットより拡散炉専用石英
ボート等の他のカセットに複数枚同時にバッチ処理によ
り移し換える際にウエハーをカセットより持ち上げる装
置に係る。

【０００２】

【従来の技術】従来の技術を図４と図５により説明す
る。図４に於いて５０はカセットでウエハー５１を複数
枚収納させる治具を示す。図４に示すようにカセット５
０はウエハー５１が垂直に立つように横向きに置かれ
る。

【０００３】５２はウエハー持ち上げ具でエアーシリン
ダ等のアクチュエータ５３により上下動する。ウエハー
持ち上げ具５２が上方に移動するとウエハー持ち上げ具
５２に設けられている溝５４にウエハー５１の下部がは
まり込む。更にウエハー持ち上げ具５２が上昇すると図
５に示す状態となる。次にウエハー５１の有り無しを検
出するウエハーセンサ５５が矢印５７方向に案内軸５６
に沿って移動しながらウエハー５１の有り無しをチェッ
クし記憶装置（図示せず）に記憶される。ウエハー有り
無しの情報はウエハーの枚数管理等に用いられる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、ウエ
ハー５１の一端がウエハー持ち上げ具５２の溝５４には
まり込む時にウエハー５１が倒れないようにするために
溝幅はウエハーの厚みより僅かに広く作られているのみ
で、ウエハーが入りずらく且つウエハーの表面（半導体
のパタン面）に傷を付けるなどの欠点があった。又ウエ
ハーの有り無しをチェックするウエハーセンサ５５の機
構を別途必要とし装置を複雑なものとしていた。

【０００５】本発明の目的は、上記欠点に鑑みウエハー
に損傷を与える事無くしかも簡単な構造で信頼性を高め
た装置を提供するにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明においては従来の技術に用いられている溝付
きのウエハー持ち上げ具の代りにウエハーを一枚ずつ保
持する真空ピンセットを設けると共にウエハーが真空ピ
ンセットに吸着されたことを確認する真空圧センサを取
り付ける。真空ピンセットに吸着されたウエハーを持ち
上げるにはエアーシリンダ等のアクチュエータにより行
う。

【０００７】真空ピンセットと真空圧センサはバッチ処
理に必要なウエハーの数だけ用意される。

【０００８】

【作用】真空圧センサでウエハーの存在が確認されると
そのウエハーに対応する電磁弁が作動してウエハー裏面
を真空ピンセットが吸着する。

【０００９】続いてエアーシリンダ等のアクチュエータ
が作動して全ウエハーを持ち上げる。真空圧センサで確
認された情報は記憶装置に記憶される。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の実施例を、図１〜図３により
説明する。

【００１１】図１に於いて１はカセットでウエハー２を
複数枚収納させる治具である。図に示すようにカセット
１はウエハー２が垂直に立つように横向きに置かれる。
３Ａ〜３Ｆは真空ピンセットで、その詳細を図２に示
す。真空ピンセット３Ａ〜３Ｆはその一部に開口部４を
有し、ピンセット固定台５に固定される。

【００１２】ピンセット固定台５には、チューブ６が接
続されておりその先に真空圧センサ７と電磁弁８Ａ〜８
Ｆが接続される。電磁弁８Ａ〜８Ｆには真空元圧チュー
ブ９が接続される。真空ピンセット，真空圧センサと電
磁弁は一対として機能しバッチ枚数に必要な数だけ用意
される。

【００１３】ピンセット固定台５の中央にはリフト軸１
０が有り、エアーシリンダ等のアクチュエータ１１が取
り付けられている。

【００１４】アクチュエータ１１が作動するとリフト軸
１０が上方に移動する。

【００１５】これに伴い真空ピンセット３Ａ〜３Ｆも上
方に移動してウエハー２の裏面に挿入される。挿入され
た状態を図２に示す。次に電磁弁８Ａが作動すると真空
ピンセット３Ａの開口部４が真空状態となる。真空ピン
セット３Ａに対応する位置にウエハーが有る場合にはウ
エハーは開口部４の真空吸着力により真空ピンセット３
Ａに吸着される。ウエハーを吸着した情報は真空圧セン
サ７で検出され電磁弁８Ａを通電状態にさせると共に記
憶装置（図示せず）に記憶される。

【００１６】続いて電磁弁８Ｂが作動すると、同様にウ
エハーが真空ピンセット３Ｂに吸着される。この動作が
逐次行われる。

【００１７】ウエハーが無い場合には真空圧センサが、
検知して電磁弁への電力を遮断するので真空がリークす
ることはない。

【００１８】カセット１内に全ウエハー２が真空ピンセ
ットに吸着されると、再びアクチュエータ１１が作動し
てウエハーは図３に示す如くカセット１の上方に持ち上
げられる。

【００１９】

【発明の効果】本発明によれば、ウエハーを持ち上げる
部材とウエハーが接触する部分はウエハーの裏面のみで
あるからウエハーにダメージを与えることがない。又ウ
エハーは一枚一枚真空ピンセットにより真空吸着された
後持ち上げられるので移動中に位置ずれしたり、落下す
ることがない。カセット内に収納されているウエハーの
枚数管理は真空ピンセットでウエハーを吸着する際、真
空圧センサで検出され、このデータに基づいて行われる
ので別の検出器を必要とせず機構を簡単にすることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。

【図２】本発明のピンセット部を一部断面にした拡大図
である。

【図３】本発明の動作状態図である。

【図４】従来の技術を示す構成図である。

【図５】従来技術の動作図である。

【符号の説明】

２…半導体ウエハー、３Ａ〜３Ｆ…真空ピンセット、７
…真空圧センサ、８Ａ〜８Ｆ…電磁弁、１１…アクチュ
エータ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】複数枚の半導体ウエハー（以下ウエハーと
   いう）を収納するウエハーカセット（以下カセットとい
   う）よりウエハーを複数枚同時に取り出す装置におい
   て、ウエハーが垂直方向を向くようにカセットを設置
   し、真空圧力を検出する真空圧センサを具備した複数個
   からなる真空ピンセットをウエハー間に下方より挿入し
   てウエハー裏面の一部を真空吸着して、持ち上げる際
   に、前記の真空圧センサでウエハーの有り無しをチェッ
   クした後、ウエハーを順次吸着させ、持ち上げることを
   特徴とするウエハー持ち上げ装置。