JPH0823933B2

JPH0823933B2 - 磁気記録媒体

Info

Publication number: JPH0823933B2
Application number: JP61231960A
Authority: JP
Inventors: 久則鈴木
Original assignee: ホ−ヤ株式会社
Priority date: 1986-09-30
Filing date: 1986-09-30
Publication date: 1996-03-06
Anticipated expiration: 2011-03-06
Also published as: JPS6386116A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、磁気記録装置に用いられる磁気記録媒体に
関し、特に、磁気記録媒体の始動時において、その始動
を円滑にするようにした磁気記録媒体に関する。

〔従来の技術〕

磁気記録媒体としては、第５図に示すものがある。こ
の円板状の磁気記録媒体１は、主として磁気ヘッドによ
り種々の情報が書きこまれたり、読みとられるリードラ
イトゾーン1aと、このリードライトゾーン1aの直径方向
内側に、主として情報の書きこみ又は読みとり終了後に
磁気ヘッドが配置されるランディングゾーン1bとに区画
されている。なお、磁気記録媒体１の中心には、磁気記
録媒体１を回転させるための回転軸を挿入する、断面円
状の貫通孔1cが形成されている。そして、従来、この磁
気記録媒体１の構造としては特開昭61-3322号公報に記
載されているように、第６図に示すものがあった。すな
わち、Al基板２及びニッケル下地メッキ層３からなる非
磁性支持体４（以下「支持体」という。）と、コバルト
磁性メッキ層５（膜厚0.2μ以下である。）とからなる
ものである。このニッケル下地メッキ層３は、その全面
をランディンクゾーン1bに必要な大きな面粗度とし、次
にリードライトゾーン1aの部分に限って、ランディング
ゾーン1bよりも小さな面粗度になるように研磨して仕上
げる。このような表面を有するニッケル下地メッキ層３
上のコバルト磁性メッキ層５の表面も、ニッケル下地メ
ッキ層３の表面と同様にランディンクゾーン1bの方がリ
ードライトゾーン1aよりも面粗度は大きい。

前述したランディングゾーン1bをリードライトゾーン
1aよりも面粗度を大きくしているのは、磁気ヘッドがラ
ンディングゾーン1bに配置しているとき、磁気ヘッドが
ランディングゾーンに吸着する現象、すなわち磁気記録
媒体を回転不能にさせたり、回転しずらくさせたりする
現象を防止するためである。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、従来の構造の磁気記録媒体では、支持
体を構成するニッケル下地メッキ層の表面を、リードラ
イトゾーン及びランディングゾーンのそれぞれに必要な
異なる面粗度を有するものとしているが、その表面をリ
ードライトゾーンとランディングゾーンに区画し、リー
ドライトゾーンを高密度記録に適した面粗度に研磨仕上
げすることは、非常に困難であった。すなわち、従来の
磁気記録媒体は高密度記録のためのものとしては問題が
あった。さらに、支持体のランディングゾーンの面粗度
を単に大きくしていることから、磁気ヘッドの吸着は生
じないが、磁気ヘッドをランディングゾーンで、コンタ
クトスタート／ストップを繰り返していると、支持体に
積層した膜に傷が生じ、極端なときは膜が削りとられて
しまうことがあり、ランディングゾーンにおいても情報
の書きこみ、又はその読みとりをするときに、良好に書
きこみ又は読みとりができない問題点もあった。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、上述の課題を解決するためになされたもの
で、その特徴は、非磁性支持体上に少なくとも磁性層及び保護層を有
し、その表面を浮上走行する磁気ヘッドによって情報の
書込又は読取が行なわれるタイプの磁気記録媒体であっ
て、情報の書込又は読取が行われる領域であるリードラ
イトゾーンと、情報の書込又は読取の開始又は終了の際
に磁気ヘッドを位置させるランディングゾーンとを備え
た磁気記録媒体において、前記ランディングゾーンに、前記支持体上に磁性層及
び保護層を形成する前又は後で前記支持体又は該支持体
の上に形成された磁性層及び保護層に、予め設計された
パターンを有するレジストパターンを形成し、このレジ
ストパターンをマスクにしてエッチングを行なって多数
の凹部を形成し、前記凹部の深さを、前記リードライトゾーンの面粗度
の値よりも大きい値の深さに制御すると共に、前記ランディングゾーンにおける凹部の数の存在密度
を、前記磁気ヘッドがランディングゾーンに位置すると
きに、その磁気ヘッドの浮上面に前記凹部が少なくとも
１個以上対向するようになる存在密度にしたことを特徴
とする磁気記録媒体である。

この場合、前記凹部の深さを1000オングストローム以
下にすることが好ましい。さらに、前記凹部の開口径を
略300μｍ以下にすることが好ましい。

〔実施例〕

本発明の一実施例を第１図〜第４図に基づき詳細に説
明する。なお、第１図は本例の支持体の要部を示す平面
図であり、第２図は本例の支持体の製造工程を示す要部
断面図であり、第３図は薄膜磁気ヘッドを示す平面図で
あり、第４図は、本例の磁気記録媒体を示す部分拡大断
面図である。また、第１図では、支持体10のランディン
グゾーン10eに形成された凹部11の一部を示し、他の部
分も同様に凹部11が形成されているが、その凹部11は省
略してある。

先ず、後記する磁性層を設ける一主表面10aを高精度
に研磨したソーダライムガラスからなる支持体10（一主
表面10aの面粗度は40Åであり、外径は130mm、内径（回
転軸を挿入する穴10bの外径）は40mm、厚さは1.9mmであ
る。）を用意し、一主表面10aのリードライトゾーン10c
と回転軸を保持する治具を挿着する領域10dのところは
全面に、一方ランディングゾーン10eには、第１図に示
すような凹部11を形成するために、それぞれスクリーン
印刷により耐フッ酸性のレジストインキ膜12（例えば、
吉川化工社製のNAZ-DAR205のレジストインキであり、膜
厚は20μｍである。）を塗布する（第２図（ａ））。な
お、ランディングゾーン10eのレジストインキ膜12は、
直径Ｄ＝200μｍでピッチ間隔Ｐ＝600μｍの凹部11（例
えば、凹部111,112,113,114）を形成する以外のところ
に塗布されている。さらに、リードライトゾーン10c又
は回転軸を保持する治具を挿着する領域10dに一部が侵
入する凹部11（例えば、凹部115,116）は、平面視円状
にせず、ランディングゾーン10e内のみに形成されるよ
うにレジストインキ膜12を塗布する。次に、レジストイ
ンキ膜12を80℃、５分間乾燥の後、硫酸:50％フッ酸：
水を体積比20:1:80で混合したエッチング液中に20秒浸
漬し、支持体10のレジストインキ12で被覆されていない
一主表面をエッチングし、凹部11を形成する（第２図
（ｂ））。次に、レジストインキ膜12をシンナー等の有
機溶剤で剥離し、第１図及び第２図（ｃ）に示すよう
に、凹部11を形成した支持体10を得る。すなわち、この
凹部11は、前述したピッチ間隔で格子状に形成され、第
３図に示す薄膜磁気ヘッド13の支持体10の一主表面10a
に対向する浮上面13a（長さＬ＝4.1mm、幅Ｗ＝0.7mm）
をランディングゾーン10eに配置したとき、凹部11のす
くなくとも一つが浮上面13aに対向するように形成され
ている。また、凹部11の直径（円状になっていないもの
は、円としたときの直径であり、又この直径は凹部11の
開口端11aの直径である。）も前述した値で、深さＨ
は、支持体10の一主表面10aの面粗度40Åも大きい700Å
である。したがって、浮上面13aの面積に比して、凹部1
1の開口端の面積及びピッチ間隔が共に小さいので、薄
膜磁気ヘッド13の移動には支障のない凹部である。

次に、第４図に示すように、凹部11を形成した支持体
10の一主表面10a上に、磁気特性を向上させる作用を有
する、クロム（Cr）からなる下地層14（膜厚:2000Å）
と、コバルト（Co）とニッケル（Ni）とからなる磁性層
15（Coの含有率は75重量％、Niの含有率は25重量％であ
り、膜厚は700Åである。）と、炭素（Ｃ）からなる保
護層16（膜厚:500Å）を順次、スパッタリング法により
積層し、磁気記録媒体17を製作した。なお、支持体10上
に順次、下地層14、磁性層15及び保護層16を積層する
と、保護層16に形成されたの凹部16aの直径は、支持体1
0の凹部11の直径よりも小さくなるが、その量は数100Å
であることから、実質的に凹部11の直径と凹部16aの直
径とは同一である。

以上、本例によれば、支持体10に形成した凹部11の影
響を受けるのは、ランディングゾーン10eの各層14,15,1
6であり、リードライトゾーン10cの各層14,15,16は影響
を受けず、かつ支持体10の一主表面10aを、リードライ
トゾーン10cとランディングゾーン10eにかかわらず、同
時に研磨し、リードライトゾーン10cの書きこみ、読み
とりに影響を与えない面粗度（40Å）に仕上げているこ
とから、高密度の記録ができ、かつリードライトゾーン
10cの支持体10の一主表面10aを良好な面粗度に形成する
ことが容易である。また、ランディングゾーン10eの一
主表面10aの面粗度も40Åと小さいために、磁気ヘッド1
3をコンタクトスタート／ストップを繰り返しても、情
報の書きこみ及び読みとりに影響を与える傷も生じなか
った。

ここで、本例の磁気記録媒体17の性能を評価するため
に、以下のように、磁気ヘッド13と磁気記録媒体17との
静止摩擦係数の測定及び耐久性試験を行った。

磁気ヘッド13に15グラムの荷重を加えたとき、ランデ
ィングゾーン10eのコンタクトスタート／ストップ試験
（磁気ヘッドを磁気記録媒体の表面に当接し、静止させ
た状態で磁気記録媒体の回転開始・回転停止を行なう試
験であり、以下「css試験」という。）を行った。この
試験の初期の静止摩擦係数が0.13であり、15000回css試
験後の静止摩擦係数も0.2であり、磁気ヘッド13によ
り、磁気記録媒体17の回転が不能となったり、回転しず
らくなる現象は生ぜず、また、磁気記録媒体17の保護層
16にも、情報の書きこみ及び読みとりに影響を与える傷
及び膜が削られることも発生せず、さらに薄膜磁気ヘッ
ド13も損傷しなかった。一方、比較のために、リードラ
イトゾーン10cにおいて、同様のcss試験を行ったとこ
ろ、初期の静止摩擦係数は0.2であったが、15000回試験
後においては2.5以上となり、磁気記録媒体17が回転し
ずらくなり、磁気記録媒体17を回転するために、回転源
に必要以上の起動トルクを負荷しなくてはならず、正常
な回転を維持することができなくなった。

本発明は、前記実施例に限らず次のものであってもよ
い。

先ず、磁気記録媒体のコンタクトスタート／ストップ
による保護層の損傷防止を向上させるために、保護層上
に、例えばフルオロカーボン系の液体からなる潤滑剤を
塗布してもよい。なお、ランディングゾーンの保護層に
は凹部が形成されていることから、ヘッドのコンタクト
スタート／ストップをし、潤滑剤が削りとられたとして
も、凹部には潤滑剤がたまっているので、この凹部中の
潤滑剤が保護層表面に引きだされ、長期間保護層の損傷
防止に効果がある。また、支持体の凹部の深さは700Å
に限らないが、望ましくは1000Å以下がよい。すなわ
ち、1000Åを越えると、ランデングゾーンにも情報を記
録する場合、磁気ヘッドと磁性層の凹部の底面との距離
が大きくなることから、その情報の書きこみ又は読みと
りの特性が劣化することがある。また、支持体の凹部は
平面視円状に限らず、角状、楕円状であってもよく、ま
た格子状に配列せずに、例えば、同心円状に配列しても
よい。また、支持体の凹部のピッチ間隔は600μｍに限
らず、他の間隔でもよく、さらに不規則的であってもよ
い。すなわち、この凹部は、磁気ヘッドをランディング
ゾーンに配置したとき、磁気ヘッドの浮上面に対して、
少なくとも一個が対向してあればよい。また、凹部はリ
ードライトゾーンに形成しなければよい。また、支持体
の凹部の開口端の大きさは、その開口端が円状のときは
直径、角状のときは対角線の長さが、それぞれ300μｍ
以下が望ましい。すなわち、300μｍを越えると、磁気
記録媒体の動作時に、磁気ヘッドが磁気記録媒体の凹部
のエッヂに引っかかり、支持体上の膜を損傷する恐れが
ある。また、支持体の材料はソーダライムガラス、アル
ミノシリケートガラス、石英ガラス等のガラスに限ら
ず、Al合金又はセラミックであってもよい。望ましく
は、Al合金と比較して主表面を所望する面粗度に加工す
ることが容易で、かつ高密度記録性に悪影響を与える10
00Åを越えるピットや突起が、主表面に非常に少ないガ
ラスやセラミックがよい。また、支持体の面粗度は150
Å以下が望ましい。すなわち、支持体の面粗度は磁性層
の面粗度に影響を与えることから、支持体の面粗度が15
0Åを越えると、磁性層の面粗度も150Åを越えてしま
い、磁気ヘッドの飛行の高さを低くして高密度記録を行
うとき、ミッシング（記録する信号が確実に記録されな
いこと）等の記録不良が発生することがある。すなわ
ち、記録の高密度化が損われるときがある。またランデ
ィングゾーンは、支持体の直径方向外側又は中程に設け
てもよく、さらに、前記実施例では、スクリーン印刷法
により凹部を形成したが、他の方法、例えばフォトリソ
グラフィ法で形成してもよい。なお、工程の単純さにお
いては、スクリーン印刷法がよい。

〔発明の効果〕

本発明の磁気記録媒体は以上のとおりであることか
ら、高密度記録ができ、また、ランディングゾーンの膜
に、情報の書きこみまたは読みとりに影響を与える傷の
発生も防止することができた。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の支持体を示す要部平面図、
第２図は本発明の一実施例の支持体の製造工程を示す要
部断面図である。第３図は薄膜磁気ヘッドを示す平面図
であり、第４図は本発明の一実施例を示す部分拡大断面
図である。第５図は一般の磁気記録媒体を示す平面図で
あり、第６図は従来の磁気記録媒体の要部断面図であ
る。 10……支持体、10a……一主表面、10c……リードライト
ゾーン、10e……ランディングゾーン、11……凹部、12
……レジストインキ膜、13……薄膜磁気ヘッド、13a…
…浮上面、14……下地層、15……磁性層、16……保護
層、17……磁気記録媒体

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】非磁性支持体上に少なくとも磁性層及び保
護層を有し、その表面を浮上走行する磁気ヘッドによっ
て情報の書込又は読取が行なわれるタイプの磁気記録媒
体であって、情報の書込又は読取が行われる領域である
リードライトゾーンと、情報の書込又は読取の開始又は
終了の際に磁気ヘッドを位置させるランディングゾーン
とを備えた磁気記録媒体において、前記ランディングゾーンに、前記支持体上に磁性層及び
保護層を形成する前又は後で前記支持体又は該支持体の
上に形成された磁性層及び保護層に、予め設計されたパ
ターンを有するレジストパターンを形成し、このレジス
トパターンをマスクにしてエッチングを行なって多数の
凹部を形成し、前記凹部の深さを、前記リードライトゾーンの面粗度の
値よりも大きい値の深さに制御すると共に、前記ランディングゾーンにおける凹部の数の存在密度
を、前記磁気ヘッドがランディングゾーンに位置すると
きに、その磁気ヘッドの浮上面に前記凹部が少なくとも
１個以上対向するようになる存在密度にしたことを特徴
とする磁気記録媒体。
【請求項２】前記凹部の深さを1000オングストローム以
下にしたことを特徴とする特許請求の範囲第（１）項に
記載の磁気記録媒体。
【請求項３】前記凹部の開口径を略300μｍ以下にした
ことを特徴とする特許請求の範囲第（１）項又は第
（２）項に記載の磁気記録媒体。