JPH08249669A - 光ヘッドの非点隔差補正方法および装置 - Google Patents

光ヘッドの非点隔差補正方法および装置

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JPH08249669A
JPH08249669A JP4693195A JP4693195A JPH08249669A JP H08249669 A JPH08249669 A JP H08249669A JP 4693195 A JP4693195 A JP 4693195A JP 4693195 A JP4693195 A JP 4693195A JP H08249669 A JPH08249669 A JP H08249669A
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astigmatic difference
objective lens
laser
laser beam
optical head
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 レーザとコリメータレンズの間に光ビームに
対して斜めに挿入される非点隔差補正のためのガラス板
の回転調整を容易にした光ヘッドの非点隔差補正方法お
よび非点隔差の調整の容易な装置を得ること。 【構成】 半導体レーザ31とコリメータレンズ32の
間には、非点隔差を補正するためのガラス板33が挿入
されており、レバー41によってその回転が行われる。
レーザビームは複合プリズム34と対物レンズ35を経
て球面ミラーユニット38の球面ミラーで反射され干渉
縞観測部39に入射し、内蔵のカメラが干渉縞をとら
え、モニタテレビジョン42に映し出す。そこで、レバ
ー44を調整しながらこの干渉縞が画面全体で均一にな
るように調整することで非点隔差を補正する。非点隔差
の補正の確認は干渉縞観測部39内の多分割センサでも
可能である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光ディスク等に対して情
報の書き込みや読み出しあるいは消去を行う際に使用す
る光ヘッドの非点隔差を補正するための光ヘッドの非点
隔差補正方法および補正のための装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、一般的な光ヘッドの光学系には、
半導体レーザの非点隔差を補正する装置が取り付けられ
ていない。このため、光ヘッドのトラッキング誤差信号
が最大のときのフォーカスオフセットの位置と光ディス
クの再生信号の最大のフォーカスオフセットの位置とが
異なるといった現象が存在した。トラッキング誤差信号
が最大のときにはトラッキングサーボ動作が安定する
が、RF(高周波)信号が劣化すると良好な信号再生を
行うことができない。また、RF信号が最大となるフォ
ーカスオフセットに設定するとトラッキング動作が不安
定になる。
【0003】そこで、従来の光ヘッドではトラッキング
についてのサーボ制御の安定性を優先させるようにして
おり、再生信号におけるキャリア/ノイズ比(CNR)
を犠牲にした調整を行っている。この結果として、十分
な高密度記録を行うことができない。これを次に図面と
共に説明する。
【0004】図6は、フォーカスオフセットがずれた場
合のキャリア/ノイズ比とトラッキング誤差信号のレベ
ル特性を示したものである。図で横軸はフォーカスオフ
セット(Focus offset)をとり、縦軸にキャリア/ノイ
ズ比(CNR)とトラッキング誤差信号(TE)レベルを
とっており、CNR特性11とトラッキング誤差信号レ
ベル特性12をそれぞれ表わしている。この図から了解
されるように、CNR特性11がベストの状態でのフォ
ーカスオフセット点14とトラッキング誤差信号がベス
トの状態でのフォーカスオフセットの点15との差は、
0.9μmとなる。これは、図示しないディスク上に収
束する光ビームにおけるディスクの接線方向と半径方向
の収束ビームウエストのフォーカスサーボにおけるフォ
ーカスオフセットの設定位置が、0.9μmだけずれて
いることを意味する。
【0005】そこで、高密度記録を可能とするために半
導体レーザの非点隔差を補正することが提案されてい
る。
【0006】図7は、非点隔差についての補正を行った
光磁気ヘッドの一例を示したものである。半導体レーザ
21から出た光ビームは非点隔差補正用のガラス板22
を通過してコリメータレンズ23に到達し、ここで平行
ビームとされて複合プリズム24内に入射される。複合
プリズム24は、2つのビームスプリッタ25、26お
よび45度ミラー27を備えた構成となっている。2つ
のビームスプリッタ25、26を通過して45度ミラー
27で反射された光ビームは、対物レンズ28に入射
し、図示しないディスク面上に収束するようになってい
る。
【0007】光磁気ヘッドでは、半導体レーザ21から
対物レンズ28に至る往路に存在する光学部品が非点隔
差の発生の原因となっている。ここで、非点隔差補正用
のガラス板22のない従来の構成の光磁気ヘッドで半導
体レーザ21のみが非点隔差の原因であるかどうかを調
べてみる。
【0008】コリメータレンズ23の焦点距離を12.
5mmとし、対物レンズ28の焦点距離を4.1mmと
する。すると、図6で示したディスクへの収束ビームの
フォーカスオフセット差としての0.9μmは、半導体
レーザ21の非点隔差として、9μmに相当することに
なる。これは、コリメータレンズ23の焦点距離と対物
レンズ28の焦点距離の比の二乗によって決定されるか
らである。半導体レーザ21自体が9μmの非点隔差を
有しているとするのは、数値的に大きすぎるため図7に
示すように、複合プリズム24や対物レンズ28自体も
非点隔差を有するものであることが分かる。
【0009】実際、光ヘッドの非点隔差は半導体レーザ
21の他に、ビームスプリッタ25、26および45度
ミラー27で構成される複合プリズム24ならびに対物
レンズ28で発生する。複合プリズム24の入射面と射
出面の平面度の劣化によっても発生する。
【0010】そこで、特開平6−144282号公報で
は、図7に示すように非点隔差補正用のガラス板22を
半導体レーザ21とコリメータレンズ23の間の光ビー
ム中に斜めに挿入するようにしている。そして、これを
光軸を中心として回転させ、非点隔差の補正を行うよう
になっている。
【0011】今、屈折率nのこのガラス板22の厚さを
tとし、光軸に対する傾きをθとする。ガラス板22に
よる非点隔差補正値ΔZ0 は、次の(1)式で表わされ
る。また、この非点隔差の補正値に対して、光軸を中心
としてガラス板22を回転角φで回転させると、このと
きの非点隔差補正値ΔZは(2)式で表わすようなもの
となる。
【0012】
【数1】
【0013】
【発明が解決しようとする課題】高密度記録や高速転送
レート化を図った光ヘッドでは、トラッキングサーボを
安定させると共に、良好なRF信号を得ることが重要で
ある。そこで図7に示すような非点隔差を補正する補正
方法および装置が提案されている。しかしながら、この
提案の光ヘッドは複合プリズム24を使用している。こ
の複合プリズム24はガラス材で構成されており、一般
にはアルミニウムベースに接着剤で固定している。この
固定の際に機械的な変形を受けることになり、結果的に
前記した入射面と射出面の平面度の劣化をきたすことに
なる。したがって、ガラス板22を光軸を中心として微
細に回転させて調整を行う必要があるが、調整の段階で
非点隔差が補正されたことを確認する方法がなかった。
このため、調整を行っては光ヘッドを使用してこれを確
認するといった繰り返しが必要であり、調整作業に手間
取るといった問題があった。
【0014】そこで本発明の目的は、レーザとコリメー
タレンズの間に光ビームに対して斜めに挿入される非点
隔差補正のためのガラス板の回転調整を容易にした光ヘ
ッドの非点隔差補正方法および非点隔差の調整の容易な
装置を提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明で
は、光ヘッドを構成するレーザから出力されたレーザビ
ームをコリメータレンズに入射させる手前に光軸に対し
て傾斜し、かつ光軸を中心として回動自在に配置された
所定形状の透明な非点隔差補正板を逐次回動させ、この
光ヘッドの対物レンズから射出されたレーザビームを所
定の反射手段の反射によってこの対物レンズに戻して得
られたレーザビームと対物レンズに至る前のレーザビー
ムとを合波したことによって得られた両レーザビームの
干渉による干渉縞が予め定められた所定のパターンにな
るその回動位置で光ヘッドにおける非点隔差補正板の回
動を停止させて、非点隔差の補正を終了させることを光
ヘッドの非点隔差補正方法の特徴としている。
【0016】すなわち、請求項1記載の発明では、ガラ
ス板あるいは円筒レンズ等からなる非点隔差補正板をレ
ーザとコリメータレンズの間に光軸に対して斜めに、か
つ光軸を中心として回動自在に配置した光ヘッドの対物
レンズの射出側に、球面ミラー等の反射手段を配置し
て、対物レンズから射出されたレーザビームを対物レン
ズに戻し、これを通過したレーザビームと、この対物レ
ンズに入射する手前で何らかの手段によって取り出され
たレーザビームとを合波させて干渉させるようにしてい
る。そして、観測手段で観測することによって、この干
渉縞が一定のピッチの平行な縞となるような所定のパタ
ーンになる回動位置に非点隔差補正板を回動させ、非点
隔差の補正を終了させる。このように本発明では干渉縞
のパターンを確認しながら非点隔差の補正を行うので、
熟練者でなくても非点隔差の調整作業を迅速かつ確実に
行うことができる。
【0017】請求項2記載の発明では、(イ)レーザ
と、(ロ)これから出力されるレーザビームを平行光と
するコリメータレンズと、(ハ)この平行光を所定の位
置に収束させるべく配置された対物レンズと、(ニ)レ
ーザとコリメータレンズの間に光軸と傾いた状態でかつ
光軸を中心として回動自在に配置された所定形状の透明
な非点隔差補正板と、(ホ)この非点隔差補正板を光軸
を中心に所望の角度だけ回動させる調整手段と、(ヘ)
対物レンズの射出側に配置され射出されたレーザビーム
をこの対物レンズ側に戻す反射手段と、(ト)この反射
手段によって反射され対物レンズを再度通過したレーザ
ビームとコリメータレンズを経て対物レンズに到達する
前のレーザビームとを合波して干渉を生じさせる合波手
段と、(チ)この合波手段により生じる干渉縞を観測す
る観測手段とを光ヘッドの非点隔差補正装置に具備させ
る。
【0018】すなわち請求項2記載の発明によれば、レ
ーザとコリメータレンズの間に光軸と傾いた状態でかつ
光軸を中心として回動自在に配置された所定形状の透明
な非点隔差補正板を配置している。そして、対物レンズ
の射出側に射出されたレーザビームをこの対物レンズ側
に戻す反射手段を配置し、この反射手段によって反射さ
れ対物レンズを再度通過したレーザビームとコリメータ
レンズを経て対物レンズに到達する前のレーザビームと
を合波して干渉縞を発生させ、これを観測手段によって
観測しながら非点隔差補正板の回動位置を決定するよう
にしている。このように本発明では観測手段によって干
渉縞のパターンを確認できるので、非点隔差の調整作業
を迅速かつ確実に行うことができる。
【0019】請求項3記載の発明では、(イ)レーザ
と、(ロ)これから出力されるレーザビームを平行光と
するコリメータレンズと、(ハ)この平行光を所定の位
置に収束させるべく配置された対物レンズと、(ニ)レ
ーザとコリメータレンズの間に光軸と傾いた状態でかつ
光軸を中心として回動自在に配置された所定形状の透明
な非点隔差補正板と、(ホ)この非点隔差補正板を光軸
を中心に所望の角度だけ回動させる調整用レバーと、
(ヘ)対物レンズの射出側に配置され射出されたレーザ
ビームをこの対物レンズ側に戻す球面ミラーと、(ト)
この球面ミラーによって反射され対物レンズを再度通過
したレーザビームとコリメータレンズを経て対物レンズ
に到達する前のレーザビームとを合波して干渉を生じさ
せるハーフミラーと、(チ)このハーフミラーにより生
じる干渉縞を観測する観測手段とを光ヘッドの非点隔差
補正装置に具備させる。
【0020】すなわち請求項3記載の発明によれば、レ
ーザとコリメータレンズの間に光軸と傾いた状態でかつ
光軸を中心として回動自在に配置された所定形状の透明
な非点隔差補正板を配置している。そして、対物レンズ
の射出側に射出されたレーザビームをこの対物レンズ側
に戻す球面ミラーを配置し、この球面ミラーによって反
射され対物レンズを再度通過したレーザビームとコリメ
ータレンズを経て対物レンズに到達する前のレーザビー
ムとをハーフミラーを用いて合波して干渉縞を発生さ
せ、これを観測手段によって観測しながら調整用レバー
で非点隔差補正板の回動位置を決定するようにしてい
る。このように本発明では観測手段によって干渉縞のパ
ターンを確認できるので、非点隔差の調整作業を迅速か
つ確実に行うことができる。
【0021】請求項4記載の発明では非点隔差補正板は
ガラス板であることを特徴としている。また、請求項5
記載の発明では非点隔差補正板は円筒レンズであること
を特徴としている。
【0022】更に請求項6記載の発明では、観測手段は
干渉縞を可視像としてとらえるテレビジョンカメラと、
このテレビジョンカメラに接続され干渉縞を映し出すモ
ニタテレビジョンと、同一干渉縞のパターンを複数の領
域の光の強度の差としてとらえる多分割光センサとによ
って構成されることを特徴としている。もちろん、テレ
ビジョンカメラと多分割光センサはいずれか一方を備え
るものであってもよい。また、テレビジョンカメラの他
に干渉縞を迅速に可視化できる装置、例えば電子カメラ
に対しても本発明を適用することができる。
【0023】
【実施例】以下実施例につき本発明を詳細に説明する。
【0024】図1は本発明の一実施例における光ヘッド
の非点隔差補正装置の外観を表わしたものである。非点
隔差補正装置は、半導体レーザ31と、これから出力さ
れたレーザビームを入射して平行光とするコリメータレ
ンズ32と、これらの間に配置された非点隔差補正用の
ガラス板33と、コリメータレンズ32から出た平行光
を入射する複合プリズム34および対物レンズ35を取
り付けた2軸アクチュエータ36から構成される光ヘッ
ド37を備えている。そして、この光ヘッド37におけ
る対物レンズ35の焦点面側に球面ミラーユニット38
を治具として着脱自在に配置すると共に、その反対側に
干渉縞観測部39を回動自在に配置した構成となってい
る。
【0025】光ヘッド37内に配置されたガラス板33
は、“?”マークを逆さにしたような形状の調整レバー
41を動かし、干渉縞観測部39の測定結果をモニタテ
レビジョン42に映し出す等によって調整するようにな
っている。
【0026】すなわち、半導体レーザ31を取り付けた
レーザペン43の図示しないシリンダ部には調整窓が開
けられており、調整レバー41の先端は、ガラス板33
が取り付けられた円筒部材33Aの曲率半径に合わせた
2点で、このシリンダを掴む回転調整軸と当接してい
る。したがって、調整レバー41の他端を矢印44方向
に回動すると、ガラス板33が取り付けられた円筒部材
33Aが矢印45方向に回転するようになっている。
【0027】図2は、この非点隔差補正装置の内部を光
軸に沿って切断して表わしたものである。半導体レーザ
31を出てガラス板33を通過しコリメータレンズ32
によって平行光にされたレーザビームは、複合プリズム
34内の2つのビームスプリッタ51、52を順に通過
し、45度ミラー53によって反射され、進路を90度
偏向される。そして、2軸アクチュエータ36に取り付
けられた対物レンズ35を通過して球面ミラーユニット
38内の球面ミラー54で反射される。
【0028】この反射されたレーザビームは、対物レン
ズ35を通って複合プリズム34内に入射し、45度ミ
ラー53によって反射された後、ビームスプリッタ52
で反射される。この反射されたレーザビームは干渉縞観
測部39に入射する。
【0029】干渉縞観測部39は、ハーフミラー56
と、これによって反射されたレーザビームの検出を行う
8分割光センサ57と、ハーフミラー56を透過したレ
ーザビームを可視化するCCDカメラ58によって構成
されている。この干渉縞観測部39はハーフミラー56
に入射するレーザビームを中心軸として光ヘッド37に
対して回動自在に配置されている。
【0030】ところで、コリメータレンズ32から複合
プリズム34に入射したレーザビームは、ビームスプリ
ッタ52でその一部が反射し、複合プリズム34の側面
61で一部が反射する。この反射したレーザビームの一
部は更にビームスプリッタ52を透過して干渉縞観測部
39内に入射する。すなわち、干渉縞観測部39内に入
射するレーザビームは、球面ミラー54で一度反射され
たものと、この反射前のものとが合波したものである。
したがって、CCDカメラ58はこれによる干渉縞を図
示しないモニタテレビジョン42に映し出し、8分割光
センサ57はこの干渉縞のパターンに対応した電気信号
を得るようになっている。
【0031】図3は、モニタテレビジョンに映し出され
た各種の干渉縞のパターンを示したものである。同図
(a)〜(d)は非点隔差の発生している各場合を示し
ており、同図(e)は、非点隔差が発生していない状態
あるいは非点隔差を補正した後のモニタ画面を表わして
いる。この図(e)では干渉縞の間隔はほぼ一定してい
る。
【0032】平行なレーザビームを対物レンズ35で収
束すると、非点隔差の発生方向によって楕円収束ビーム
となる。この結果、干渉縞は同図(a)〜(d)に示す
ようなものとなる。楕円収束ビームにおける楕円の長軸
が0度、90度、45度および135度のいずれに存在
するかによって、これら各図に示すように干渉縞は画面
の左半分、右半分に密に生じるか、「ハ」の字状、ある
いは逆向きの「ハ」の字状となる。
【0033】半導体レーザ31だけの非点隔差であれ
ば、同図(a)または(b)に示すような干渉縞とな
る。複合プリズム34や対物レンズ35に非点隔差があ
ると、その方位は一定しない。そこで干渉縞をモニタテ
レビジョン42に映し出して干渉縞の方位を定め、干渉
縞観測部39を回転させて、0度、90度、45度ある
いは135度の位置に回転調整を行うようにしている。
そして、このときの干渉縞を、8分割光センサ57で検
出することで調整レバー41を動かし、光軸を中心とし
てガラス板33の回転調整を行う。
【0034】図4は、8分割光センサにおける各センサ
エレメントの配置を表わしたものである。8分割光セン
サ57は、この図に示すように2つずつペアで8つのセ
ンサエレメントA〜Hを配置した構造となっている。
【0035】図5は、各種の干渉縞と8分割光センサの
それぞれ対となったセンサエレメントによる干渉縞の移
動による波形応答を示したものである。例えば同図
(a)のように干渉縞が均等に出た場合には、センサエ
レメントA−B、C−D、E−FおよびG−Hの各出力
は同位相となり、干渉縞が密に発生しているセンサエレ
メントC−Dにおける波形の振幅が大きくなっている。
【0036】同図(b)または(c)の場合には、干渉
縞が「ハ」の字状、あるいは逆向きの「ハ」の字状とな
っているので、位相がずれ、また干渉縞が粗となってい
る箇所の波形の振幅が小さくなっている。
【0037】したがって、8分割光センサ57を使用し
て非点隔差の補正を行う場合には、各対となるセンサエ
レメントA−B、C−D、E−F、G−Hの出力波形が
同位相となり、それぞれの波高値が同一となるようにガ
ラス板33の回転調整を行えばよい。ガラス板33の回
転調整により非点隔差の補正が終了したら、治具として
の球面ミラーユニット38を取り除くと共に、干渉縞観
測部39および調整レバー41も取り外し、この光ヘッ
ドを光ディスクの書き込みや読み取り等に使用すること
になる。
【0038】以上説明した実施例では半導体レーザ31
を使用した光ヘッドの非点隔差補正装置を示したが、他
のレーザ、例えばヘリウム−ネオンガスレーザに発明を
適用することができることは当然である。また、実施例
では球面ミラー54でレーザビームを反射させて他のレ
ーザビームとの干渉縞を発生させたが、これ以外に平面
ミラーを組み合わせた干渉計を使用して、干渉縞をモニ
タするようにしてもよい。
【0039】また、実施例では8分割光センサ57を使
用して非点隔差の補正を行ったが、一般に多分割センサ
を使用すれば同様の補正を行うことが可能であり、分割
数および各センサエレメントの配置の状態は実施例のも
のに限定されるものではない。
【0040】更に実施例ではガラス板を非点隔差の補正
に使用したが、円筒レンズをこの代わりに配置して補正
を行うようにしてもよい。
【0041】
【発明の効果】以上説明したように請求項1記載の発明
によれば、ガラス板あるいは円筒レンズ等からなる非点
隔差補正板を回動させながら、観測手段によって干渉縞
のパターンを観測し、これが一定のピッチの平行な縞と
なるような所定のパターンになる回動位置で非点隔差の
補正を終了させるようにしている。このように請求項1
記載の発明では干渉縞のパターンを確認しながら非点隔
差の補正を行うので、熟練者でなくても光学系全体を補
正するための非点隔差の調整作業を迅速かつ確実に行う
ことができる。したがって、フォーカスのオフセットと
トラッキング誤差信号ベストにおけるオフセットが正確
に一致することになり、トラッキングのサーボ制御を十
分良好に行うことができ、しかも光ヘッドによる良好な
記録や再生が可能になる。
【0042】また、請求項2〜請求項6記載の発明によ
れば、レーザとコリメータレンズの間に光軸と傾いた状
態でかつ光軸を中心として回動自在に配置されたガラス
板や円筒レンズ等の透明な非点隔差補正板を配置すると
共に、対物レンズの射出側に射出されたレーザビームを
この対物レンズ側に戻す球面ミラー等の反射手段を配置
し、この反射手段によって反射され対物レンズを再度通
過したレーザビームとコリメータレンズを経て対物レン
ズに到達する前のレーザビームとを合波して干渉縞を発
生させ、これを観測手段によって観測しながら非点隔差
補正板の回動位置を決定するようにしている。
【0043】したがって、これらの発明では調整の対象
となる光ヘッドに反射手段や観測手段等の所定の手段を
一時的に追加するだけで、熟練者でなくても干渉縞のパ
ターンの確認によって、光学系全体を補正するための非
点隔差補正板の位置を迅速かつ正確に設定することがで
きる。したがって、フォーカスのオフセットとトラッキ
ング誤差信号ベストにおけるオフセットが正確に一致す
ることになり、トラッキングのサーボ制御を十分良好に
行うことができ、しかも光ヘッドによる良好な記録や再
生が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例における光ヘッドの非点隔差
補正装置の外観を表わした斜視図である。
【図2】図1に示した非点隔差補正装置の内部を光軸に
沿って切断した状態を表わした断面図である。
【図3】モニタテレビジョンに映し出された各種の干渉
縞のパターンを示した説明図である。
【図4】本実施例の8分割光センサにおける各センサエ
レメントの配置を表わした平面図である。
【図5】各種の干渉縞と8分割光センサのそれぞれ対と
なったセンサエレメントによる干渉縞の移動による波形
応答の様子を表わした説明図である。
【図6】フォーカスオフセットがずれた場合のキャリア
/ノイズ比とトラッキング誤差信号のレベル特性を示し
た特性図である。
【図7】非点隔差についての補正を行った従来の光磁気
ヘッドの一例を示した原理図である。
【符号の説明】
31 半導体レーザ 32 コリメータレンズ 33 ガラス板 34 複合プリズム 35 対物レンズ 38 球面ミラーユニット 39 干渉縞観測部 41 調整レバー 42 モニタテレビジョン 51、52 ビームスプリッタ 53 45度ミラー 54 球面ミラー 56 ハーフミラー 57 8分割光センサ 58 CCDカメラ A〜H センサエレメント

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光ヘッドを構成するレーザから出力され
    たレーザビームをコリメータレンズに入射させる手前に
    光軸に対して傾斜しかつ光軸を中心として回動自在に配
    置された所定形状の透明な非点隔差補正板を逐次回動さ
    せ、この光ヘッドの対物レンズから射出されたレーザビ
    ームを所定の反射手段の反射によってこの対物レンズに
    戻して得られたレーザビームと対物レンズに至る前のレ
    ーザビームとを合波したことによって得られた両レーザ
    ビームの干渉による干渉縞が予め定められた所定のパタ
    ーンになるその回動位置で前記光ヘッドにおける前記非
    点隔差補正板の回動を停止させて、非点隔差の補正を終
    了させることを特徴とする光ヘッドの非点隔差補正方
    法。
  2. 【請求項2】 レーザと、 これから出力されるレーザビームを平行光とするコリメ
    ータレンズと、 この平行光を所定の位置に収束させるべく配置された対
    物レンズと、 前記レーザとコリメータレンズの間に光軸と傾いた状態
    でかつ光軸を中心として回動自在に配置された所定形状
    の透明な非点隔差補正板と、 この非点隔差補正板を前記光軸を中心に所望の角度だけ
    回動させる調整手段と、 前記対物レンズの射出側に配置され射出されたレーザビ
    ームをこの対物レンズ側に戻す反射手段と、 この反射手段によって反射され前記対物レンズを再度通
    過したレーザビームと前記コリメータレンズを経て対物
    レンズに到達する前のレーザビームとを合波して干渉を
    生じさせる合波手段と、 この合波手段により生じる干渉縞を観測する観測手段と
    を具備することを特徴とする光ヘッドの非点隔差補正装
    置。
  3. 【請求項3】 レーザと、 これから出力されるレーザビームを平行光とするコリメ
    ータレンズと、 この平行光を所定の位置に収束させるべく配置された対
    物レンズと、 前記レーザとコリメータレンズの間に光軸と傾いた状態
    でかつ光軸を中心として回動自在に配置された所定形状
    の透明な非点隔差補正板と、 この非点隔差補正板を前記光軸を中心に所望の角度だけ
    回動させる調整用レバーと、 前記対物レンズの射出側に配置され射出されたレーザビ
    ームをこの対物レンズ側に戻す球面ミラーと、 この球面ミラーによって反射され前記対物レンズを再度
    通過したレーザビームと前記コリメータレンズを経て対
    物レンズに到達する前のレーザビームとを合波して干渉
    を生じさせるハーフミラーと、 このハーフミラーにより生じる干渉縞を観測する観測手
    段とを具備することを特徴とする光ヘッドの非点隔差補
    正装置。
  4. 【請求項4】 前記非点隔差補正板はガラス板であるこ
    とを特徴とする請求項2または3記載の光ヘッドの非点
    隔差補正装置。
  5. 【請求項5】 前記非点隔差補正板は円筒レンズである
    ことを特徴とする請求項2または3記載の光ヘッドの非
    点隔差補正装置。
  6. 【請求項6】 前記観測手段は干渉縞を可視像としてと
    らえるテレビジョンカメラと、このテレビジョンカメラ
    に接続され干渉縞を映し出すモニタテレビジョンと、同
    一干渉縞のパターンを複数の領域の光の強度の差として
    とらえる多分割光センサとによって構成されることを特
    徴とする請求項2または3記載の光ヘッドの非点隔差補
    正装置。
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